CN103270314B - 快速释放真空泵 - Google Patents

快速释放真空泵 Download PDF

Info

Publication number
CN103270314B
CN103270314B CN201180063768.8A CN201180063768A CN103270314B CN 103270314 B CN103270314 B CN 103270314B CN 201180063768 A CN201180063768 A CN 201180063768A CN 103270314 B CN103270314 B CN 103270314B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
vacuum pump
support tube
suction port
filtering material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201180063768.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103270314A (zh
Inventor
赵镐英
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KOREA PRESSURE SYSTEM CO Ltd
Original Assignee
KOREA PRESSURE SYSTEM CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KOREA PRESSURE SYSTEM CO Ltd filed Critical KOREA PRESSURE SYSTEM CO Ltd
Publication of CN103270314A publication Critical patent/CN103270314A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103270314B publication Critical patent/CN103270314B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40Casings; Connections of working fluid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17DPIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D1/00Pipe-line systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F04B37/16Means for nullifying unswept space
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/10Adaptations or arrangements of distribution members
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02Surge control
    • F04D27/0292Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F04F5/16Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
    • F04F5/20Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/46Arrangements of nozzles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/48Control
    • F04F5/52Control of evacuating pumps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/794With means for separating solid material from the fluid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

本发明涉及一种能够将通过相关装置形成的真空及负压迅速释放的快速释放真空泵。本发明的真空泵除了泵装置外,还包括释放装置和过滤材料。上述释放装置包括:设置在外罩吸入口上侧的支撑管;通过气压上下移动并使上述支撑管上侧开闭的裙状止回阀;与上述流入口连通,设置在经由阀门裙的通路末端的压力室。另外,上述过滤材料设置在上述吸入口与支撑管之间。上述过滤材料当泵运转时将吸入的气体通过上侧过滤,当泵停止时依靠经由支撑管通过下侧的压缩空气进行清扫。依据本发明的真空泵与依靠电子机械装置运转的现有设计相比,更易于设计并实现,特别是,真空的释放更加迅速。另外,无需专门进行清扫,过滤材料的清扫也会适当地进行。

Description

快速释放真空泵
技术领域
本发明涉及一种主要适用于真空移送系统的真空泵,特别是,涉及一种能够简便而迅速地释放(release)真空并能够自然且反复地进行过滤器的过滤及清扫的真空泵。
背景技术
在本发明中,所谓的“真空泵”是指在高速供给的压缩空气作用下将吸附垫的内部空间排空的装置。当上述真空泵运转后,吸附垫内部空间就形成真空及负压,真空移送系统利用上述负压将对象物把持后移送到规定的场所。
一般情况下,真空泵包括:一侧设置有流入口并且另一侧设置有排出口的外罩;在上述外罩内部串联排列的喷嘴。例如:吸附垫的内部空间通过外罩与喷嘴内部连通。因此,当压缩空气向上述流入口供给并通过喷嘴高速排出时,上述内部空间被排气的同时形成移送所需的真空及负压。
另外,当对象物的移送完成后,吸附垫为了反复执行后行操作就必须迅速与对象物分离。但是,仅靠中断压缩空气的供给是不能实现迅速分离的。因此,就需要能够使上述吸附垫与对象物强制分离的特别的设计及方法。
依据与此相关的已知方法,除了与上述喷嘴连接的真空管线外,需要另行设计与吸附垫连接的释放管线,并确保能够向各条管线供给压缩空气,且通过电子方式控制各条管线的开闭。在这里,如果中断向上述真空管线供给压缩空气,释放管线打开,向吸附垫供给压缩空气,由此将内部空间的真空被释放(release)或者被破坏(breaking),同时使吸附垫与对象物分离。
上述方法可以通过向吸附垫供给压缩空气使吸附垫与对象物迅速分离,从这点上来看,它是非常实用的。但是,上述方法在实际运用中存在其电子式和机械式设计及构造复杂、频繁发生误运转、瑕疵补修困难等问题,从其经济性、生产性、操作性等多方面来说都是相当不利的。
发明内容
【技术课题】
本发明就是为解决上述现有真空泵存在的问题而研发的。本发明的目的在于,提供一种设计及构造都不复杂,不会发生误运转,且能够规律而正确运转的真空泵。
本发明的另一个目的在于,提供一种能够更加迅速地执行真空释放的真空泵。本发明的另一个目的在于,提供一种在适当位置设置有空气过滤器,无需特殊操作也能够自然且反复地进行过滤器清扫的真空泵。
【课题解决方法】
本发明的真空泵作为在彼此相对的侧面设置有压缩空气流入口和排出口及在底面设置有吸入口的外罩内部的一个构成要素,包括:
真空泵装置,其包括贯通上述流入口和排出口并延长,且在一侧与上述吸入口疏通的圆筒形孔;两侧端部以分别与流入口和排出口连通的状态设置在上述孔的内部,并具有与上述孔疏通的插槽,且按串联方式排列的喷嘴;
释放装置,其包括在上述吸入口的上侧形成的支撑管;通过气压上下移动并使上述支撑管的上侧开闭的裙状止回阀;与上述流入口连通,在经由阀门裙的通路末端上形成的压力室;
过滤材料,其设置于上述吸入口和支撑管之间,当泵装置运转时将吸入的气体通过上侧过滤,当泵装置静止时依靠从压力室经由支撑管向下侧吸入口供给的空气而被清扫。
优选地,上述喷嘴设置在壁上形成有通孔的圆筒形主体内,构成一个泵筒。从而,其以上述泵筒为媒介安装于上述孔内。另外,优选地,在上述吸入口的上端形成有用于上述过滤材料的稳定放置的肋。
【发明的效果】
依据本发明,当压缩空气开始向真空泵装置供给时,其一部分填充压力室,如果中断压缩空气的供给,压力室内的空气即刻逆流,从而释放真空。因此,本发明的真空泵与现有的产品相比,设计和操作更加简单,不会发生误运转,任何时候都会规律而正确地运转。另外,为了释放真空,无需执行线路的开闭、释放用压缩空气的供给及与之相关的电路控制等先行操作,从而使真空的释放更加迅速。
另外,释放真空时,压力室内的空气经由过滤材料排出,此时在气压的作用下将真空时粘在过滤材料底面的异物抖落清除,因此无需另行清扫就可以连续且反复地执行过滤材料的过滤及清扫。
附图说明
图1是示出依据本发明的真空泵外观的斜视图;
图2是图1所示的"A-A"线放大后的剖面图;
图3是图1所示的"B-B"线放大后的剖面图;
图4是对依据本发明真空泵的真空操作进行说明的示意图;
图5是对依据本发明真空泵的释放操作进行说明的示意图。
<图中主要部分附图标记说明>
10.真空泵      20.外罩
21.流入口      22.排出口
23.吸入口      30.真空泵装置
31.孔          32a、32b、32c.喷嘴
33.插槽        34.主体
35.通孔        36.泵筒
40.释放装置    41.支撑管
42.止回阀      43.裙
44.通路        45.压力室
51.肋
具体实施方式
下面,将参照附图对本发明的实施例进行详细说明,由此可以进一步了解本发明的特征及效果。在附图中,依据本发明的真空泵用附图标记10标示。
参照图1至图3可以看出,依据本发明的真空泵10由一定形状的外罩20和设置在其内部的组成要素构成。上述外罩20包括在彼此相对的侧面设置的压缩空气流入口21和排出口22及在底面设置的吸入口23。另外,作为上述外罩20的内部构成要素,包括真空泵装置30、释放装置40、过滤材料50。
上述真空泵装置30的作用是将对与上述外罩20的吸入口23连接的吸附垫其它的内部空间排气以形成真空及负压。
上述真空泵装置30包括:贯通上述流入口21和排出口22并延长,在一侧与上述吸入口23疏通的中空圆筒形孔31;两侧端部分别以与流入口21和排出口22连通的状态安装在上述孔31内,并在彼此之间设置有插槽33,且按串联方式排列的喷嘴32a、32b、32c。上述喷嘴32a、32b、32c包括2个以上的喷嘴,是一种内口径逐渐扩大形状的所谓"多级喷嘴"(multi-stage nozzles)。在附图中,附图标记37是安装在外罩20的排出口22一侧的消音器(silencer)。
上述喷嘴32a、32b、32c虽然也可以设计为直接设置在孔31的内部,但是,在本实施例中,上述喷嘴32a、32b、32c是以圆筒形主体34为媒介安装在上述孔31的内部。具体地说,喷嘴32a、32b、32c在主体34内部按串联方式排列,上述主体34壁上形成有通孔35以构成一个泵筒36。
上述泵筒36安装在上述孔31上,从而喷嘴32a、32b、32c也可以在孔31的内部适当地进行排列并固定。另外,上述孔31以通孔35为媒介可以与泵筒36内部及喷嘴32a、32b、32c疏通。这种构造与直接将喷嘴32a、32b、32c安装在孔31内的结构相比,从安装性、组装性、稳定性等方面来看,都是非常有利的。
上述释放装置40的作用是迅速释放或者破坏由上述真空泵装置30的操作而形成的真空及负压。
上述释放装置40包括:向外罩20吸入口23的上侧突出的支撑管41;设置在上述支撑管41上侧,通过气压上下移动使上述支撑管41的上侧开口开闭的裙(skirt)状止回(check)阀42;和上述吸入口23经由阀门裙43部分的通路44末端上设置的压力室45。
在这一结构中,向流入口21供给而流经上述通路44的压缩空气对裙43部分进行挤压,经由阀42进入压力室45。但是,填充在压力室45内的空气不能逆向回流,它在阀42的气升(air-lift)作用下通过上侧开口开启的支撑管41向吸入口23一侧流动。
另外,上述过滤材料50将通过吸入口23进入的空气过滤后使其进入上述孔31内。
这里适用的过滤材料50从形状上既可以采用衬垫形也可以采用皱折形。上述过滤材料50设置于上述吸入口23上,过滤通过吸入口23进入的空气。具体地说,上述过滤材料50设置于吸入口23与支撑管41之间,为了确保过滤材料50稳定放置,在上述吸入口23的上端设置有放置用肋51。从设计上看,上述肋51必须确保不妨碍空气的流动。在附图中,附图标记52表示垫圈。
参照图2及图4可以看出,外罩20的吸入口23与吸附垫(未图示)连接,当然,上述吸附垫与移送对象物的表面接触。在这种状态下,如果通过外罩20的流入口21供给压缩空气,真空泵装置30就开始运转。压缩空气依次高速通过设置在泵筒36内部的喷嘴32a、32b、32c后,再通过与排出口22一侧结合的消音器37向外部排出(参照图2中的箭头①)。
在上述过程中,喷嘴32a、32b、32c之间的压力会下降,由此导致吸附垫的内部空气依次通过吸入口23-过滤材料50-孔31-通孔35-插槽33后,引导进入喷嘴32a、32b、32c内部。然后,与压缩空气一起向外部排出(参照图4中的箭头②)。由于这种排气导致吸附垫内部空间形成真空及负压,在上述产生的负压作用下可以把持并移送对象物。
另外,向流入口21供给的最初压缩空气的一部分流经始于流入口21一侧的通路44后,对上述阀42的头部加压,使支撑管41关闭的同时,对外侧裙43部分加压,然后继续流入压力室45内。最终,压力室45由压缩空气填充(参照图4中的箭头③),上述空气在释放真空时利用。
参照图5可以看出,完成对象物的移送后,压缩空气的供给就被中断。因此,真空泵装置30的运转也停止。由此,对阀42的头部加压的强大力量也将消失,从而导致压力室45内的空气逆流。
此时,裙43及阀42在逆流的压缩空气作用下而上浮。因此,支撑管41上侧开口打开,压缩空气从压力室45开始依次通过支撑管41-过滤材料50-吸入口23,而进入吸附垫的内部空间(参照箭头④)。由此,通过本装置产生的真空及负压瞬间被释放。
本发明的装置10具有真空/释放的机械装置,其单独存储真空用压缩空气的一部分,当停止真空时将其释放。因此,它与真空/释放全都通过电子机械装置实现的现有设计相比,更易于设计和实现。另外,任何时候都会规律而正确地运转。特别是,真空的释放会更加迅速。
另外,当真空泵装置30运转时,吸附垫的排气空气向上侧经由过滤材料50进行过滤。因此,上述过滤材料50的底面就会粘上异物(参照图4)。但是,当上述真空泵装置30停止运转后,通过支撑管41的压缩空气就会由上至下通过上述过滤材料50,随后流入吸入口23。
在上述过程中,当形成真空时,粘在过滤材料50底面的异物就会被抖落清除。因此,无需另行清扫,就可以自然且反复地执行过滤材料50的清扫。作为能够迅速释放真空并有效进行过滤器清扫的构造,上述止回阀42和支撑管41、过滤材料50、吸入口23上下相互关联并处于同一条直线上,这种结构比其它任何形态的构造都更加有利。

Claims (4)

1.一种快速释放真空泵,其特征在于,
外罩包括压缩空气流入口、排出口及吸入口,压缩空气流入口和排出口设置在外罩侧面且彼此相对,吸入口设置在外罩底面,
该外罩的内部构成要素包括:
真空泵装置,其包括:圆筒形孔,其在所述流入口和排出口之间形成,且该圆筒形孔的一侧与所述吸入口疏通;喷嘴,其设置在所述圆筒形孔的内部且按串联方式排列,而且该喷嘴两侧端部分别与流入口和排出口连通,并在喷嘴之间设置有与所述圆筒形孔疏通的插槽;
释放装置,其包括:支撑管,其在所述吸入口的上侧形成;裙状止回阀,其通过气压上下移动以使所述支撑管的上侧开闭;压力室,其与所述流入口连通且在经由阀门裙的通路末端上形成;
过滤材料,其位于所述吸入口和支撑管之间,当泵装置运转时使吸入的排气空气流过过滤材料过滤,当泵装置静止时依靠从压力室经由支撑管向下侧吸入口供给的空气而被清扫。
2.根据权利要求1所述的快速释放真空泵,其特征在于,
所述喷嘴设置在圆筒形主体内,以构成一个泵筒,在圆筒形主体的壁上形成有通孔,从而所述喷嘴以所述泵筒为媒介安装于所述圆筒形孔内部。
3.根据权利要求1所述的快速释放真空泵,其特征在于,
在所述吸入口的上端形成有用于所述过滤材料的稳定放置的肋。
4.根据权利要求1所述的快速释放真空泵,其特征在于,
所述止回阀和支撑管、过滤材料、吸入口上下相互关联并处于同一条直线上。
CN201180063768.8A 2011-01-03 2011-12-07 快速释放真空泵 Active CN103270314B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110000081A KR101029967B1 (ko) 2011-01-03 2011-01-03 퀵-릴리즈 진공펌프
KR10-2011-0000081 2011-01-03
PCT/KR2011/009410 WO2012093777A2 (ko) 2011-01-03 2011-12-07 퀵-릴리즈 진공펌프

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103270314A CN103270314A (zh) 2013-08-28
CN103270314B true CN103270314B (zh) 2015-10-14

Family

ID=44050288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201180063768.8A Active CN103270314B (zh) 2011-01-03 2011-12-07 快速释放真空泵

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20130291966A1 (zh)
EP (1) EP2662574B1 (zh)
JP (1) JP5716982B2 (zh)
KR (1) KR101029967B1 (zh)
CN (1) CN103270314B (zh)
BR (1) BR112013017075A2 (zh)
WO (1) WO2012093777A2 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101424959B1 (ko) 2014-04-08 2014-08-01 한국뉴매틱(주) 진공펌프
CN108273805B (zh) * 2018-04-09 2023-05-26 上汽大众汽车有限公司 涵道式真空发生器及其真空管体
CN113217346B (zh) * 2021-05-08 2023-04-25 武安市永盛机械泵业有限公司 一种用于化工生产的真空泵
CN114623378A (zh) * 2022-01-21 2022-06-14 北京国科环宇科技股份有限公司 真空容器抽真空的方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1606803A (en) * 1925-02-18 1926-11-16 Lalor Fuel Oil System Company Pressure-regulating device
US4073602A (en) * 1976-04-12 1978-02-14 Sahlin International Inc. Vacuum producing device
JPH0353039Y2 (zh) * 1987-05-30 1991-11-19
JP2559238Y2 (ja) * 1989-02-18 1998-01-14 アネスト岩田株式会社 エジェクタポンプの真空破壊装置
CN2059945U (zh) * 1989-11-14 1990-08-01 天津市同达机电技术开发公司 多功能真空发生器
DE4023845C1 (en) * 1990-07-27 1992-04-02 Vat Holding Ag, Haag, Ch Shut-off valve for semiconductor producinvacuum equipment - has valve disc pressed against valve seal by actuator and seal between disc and seat
DE19817249C1 (de) * 1998-04-18 1999-08-26 Schmalz J Gmbh Ejektor
KR100433284B1 (ko) * 2001-11-01 2004-05-28 한국뉴매틱(주) 진공이송 시스템용 부압 발생/해제 장치
JP2005163619A (ja) * 2003-12-02 2005-06-23 Smc Corp 真空発生用ユニット
KR100578540B1 (ko) * 2004-07-28 2006-05-15 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 펌프
KR200371804Y1 (ko) * 2004-10-11 2005-01-06 한국뉴매틱(주) 에어 필터 장치
JP2006342765A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Smc Corp 真空ユニット及び真空ユニットに用いられるフィルタの製造方法
CN2830738Y (zh) * 2005-07-11 2006-10-25 张育瑞 改进的真空产生装置
US7540309B2 (en) * 2005-07-11 2009-06-02 Delaware Capital Formation, Inc. Auto-release vacuum device
US8079578B2 (en) * 2007-09-05 2011-12-20 Hgs Aerospace, Inc. Universal holding fixture
JP5174418B2 (ja) * 2007-10-16 2013-04-03 Juki株式会社 真空発生装置
WO2009081467A1 (ja) * 2007-12-21 2009-07-02 Koganei Corporation 真空発生装置
KR100889638B1 (ko) * 2008-03-17 2009-03-20 한국뉴매틱(주) 진공 패드장치
KR101066212B1 (ko) * 2011-03-10 2011-09-20 한국뉴매틱(주) 퀵-릴리즈 진공펌프

Also Published As

Publication number Publication date
EP2662574A2 (en) 2013-11-13
CN103270314A (zh) 2013-08-28
JP2014504693A (ja) 2014-02-24
JP5716982B2 (ja) 2015-05-13
WO2012093777A2 (ko) 2012-07-12
EP2662574B1 (en) 2017-11-22
US20130291966A1 (en) 2013-11-07
BR112013017075A2 (pt) 2020-11-03
WO2012093777A3 (ko) 2012-09-07
EP2662574A4 (en) 2016-12-28
KR101029967B1 (ko) 2011-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103857923B (zh) 快速释放真空泵
CN103270314B (zh) 快速释放真空泵
CN101351649B (zh) 真空喷射泵
JP4784129B2 (ja) インクジェット印刷装置
CN101506578A (zh) 燃烧器清洁装置
US20070114160A1 (en) Fuel filter of an internal combustion engine
KR101351768B1 (ko) 프로파일형 진공 이젝터 펌프
US3165390A (en) Dust ejector for air cleaners
JP4660263B2 (ja) 真空発生装置および該真空発生装置の起動方法
KR100840149B1 (ko) 백필터 집진기용 압축공기 분사장치
CN104711060B (zh) 一种多级过滤型天然气压缩机
CN112518115B (zh) 一种自带除尘功能的激光切割机床身
CN215804878U (zh) 空滤器及工程车辆
CN108162939A (zh) 用于制动力放大器的真空系统
CN211886015U (zh) 一种负压式烟雾净化系统
JP2640895B2 (ja) 消防ポンプにおける吸水管内部の空気を同一真空ホンプにより吸引排気する装置
JP5859270B2 (ja) 廃蒸気回収装置
CN215804877U (zh) 空滤器及工程车辆
JPH08312600A (ja) 真空ポンプ装置
CN210343708U (zh) 一种应用于喷水单螺杆压缩机的抽真空装置
JP2010181449A (ja) ヘッド洗浄装置およびヘッド洗浄方法
KR200274370Y1 (ko) 진공펌프용 에어 가이드
JP2013088068A (ja) 廃蒸気回収装置
CN118817176A (zh) 一种阀门密封性检测机及其检测方法
CN2722623Y (zh) 压气过滤桶的改进

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant