CN114623378A - 真空容器抽真空的方法 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及抽真空设备技术领域，尤其涉及一种真空容器抽真空的方法。该真空容器抽真空的方法包括以下步骤：步骤一：将第一电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀和第五电磁阀均调整为关闭状态；步骤二：打开第三电磁阀并启动第一真空泵，第一真空泵将真空容器中的气体抽出到外部环境中；步骤三：打开第一电磁阀，使压力容器中的保护气体流入到真空容器中，接着关闭第一电磁阀；步骤四：在真空容器中进行特定加工工作。该真空容器抽真空的方法，能够利用四通、废气瓶、第二升压泵和第五电磁阀的配合工作，使四通处的残留空气不会进入到封闭循环的系统里，防止保护气体从真空容器流入到压力容器的过程中被外界空气污染。

Description

真空容器抽真空的方法
技术领域
本公开涉及抽真空设备技术领域，尤其涉及一种真空容器抽真空的方法。
背景技术
工程中常常会有对一个封闭循环系统抽真空的需求，封闭循环系统中配置一个压力容器和一个真空容器，真空容器负责提供一个相对洁净的真空加工环境，压力容器负责为真空容器注入一定量的保护气体，为节约成本，保护气体是循环利用的，在真空容器中完成特定加工后，真空容器中的保护气体需要回收至压力容器。
但是目前使用的封闭循环系统往往存在当保护气体在经过多次循环利用后，无法达到符合要求的纯度，影响加工工作的效果。
发明内容
为了解决上述技术问题，本公开提供了一种真空容器抽真空的方法。
本公开提供了一种真空容器抽真空的方法，包括以下步骤：
步骤一：将第一电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀和第五电磁阀均调整为关闭状态；
步骤二：打开第三电磁阀并启动第一真空泵，第一真空泵将真空容器中的气体抽出到外部环境中，当真空容器中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀和第一真空泵；
步骤三：打开第一电磁阀，使压力容器中的保护气体流入到真空容器中，接着关闭第一电磁阀；
步骤四：在真空容器中进行特定加工工作；
步骤五：打开第五电磁阀和第二升压泵，将四通处残留的空气收入到废气瓶内，关闭第五电磁阀和第二升压泵；
步骤六：打开第一升压泵、第一真空泵和第四电磁阀，使真空容器中的保护气体重新流入到压力容器内，完成保护气体的回收，接着关闭第一升压泵、第一真空泵和第四电磁阀。
可选的，所述步骤二中的第一真空泵为隔膜泵。
可选的，所述第一真空泵包括第一腔室和电子阀门；所述电子阀门安装在所述第一真空泵的本体上，所述电子阀门连接所述第一腔室和外部环境。
可选的，所述电子阀门的排气孔与所述第一腔室连通，所述电子阀门的进气孔与外部环境连通，所述电子阀门的通径为0.6-1mm。
可选的，所述步骤二和所述步骤六中，当所述第一真空泵工作时，所述电子阀门以设定频率进行开闭动作。
可选的，当所述第一真空泵工作时，所述电子阀门以开启3s、关闭15s的频率反复开闭。
可选的，所述电子阀门的进气孔处设有过滤器。
可选的，所述步骤一具体为：将第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀和第五电磁阀均调整为关闭状态；
所述步骤二具体为：打开第三电磁阀和第二电磁阀，并启动第一真空泵和第二真空泵，第一真空泵和第二真空泵将真空容器中的气体抽出到外部环境中，当真空容器中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀、第二电磁阀、第一真空泵和第二真空泵；
所述步骤六具体为：打开第一升压泵、第一真空泵、第二真空泵、第二电磁阀和第四电磁阀，使真空容器中的保护气体重新流入到压力容器内，完成保护气体的回收，接着关闭第一升压泵、第一真空泵、第二真空泵、第二电磁阀和第四电磁阀。
可选的，所述第二真空泵为分子泵。
本公开实施例提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：
本公开提供的真空容器抽真空的方法，能够利用四通、废气瓶、第二升压泵和第五电磁阀的配合工作，使四通处的残留空气不会进入到封闭循环的系统里，防止保护气体从真空容器流入到压力容器的过程中被外界空气污染，影响保护气体自身的纯度，继而保证整个封闭循环系统在进行多次循环工作后仍然能为真空容器提供较高纯度的符合要求的保护气体，保证加工工作的顺利进行。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本公开实施例利用所述的真空容器抽真空的方法的系统的示意图；
图2为本公开实施例所述的第一真空泵的结构示意图；
图3为图2背面的结构示意图；
图4为本公开实施例所述的第一真空泵的内部结构示意图。
其中，1、压力容器；2、真空容器；31、第一升压泵；32、第二升压泵；33、第一真空泵；331、第一腔室；332、第二腔室；333、第三腔室；334、第四腔室；335、进气口；336、出气口；337、第一单向阀；338、第二单向阀；339、第三单向阀；330、第四单向阀；34、第二真空泵；41、第一电磁阀；42、第二电磁阀；43、第三电磁阀；44、第四电磁阀；45、第五电磁阀；5、四通；6、废气瓶；71、第一管道；72、第二管道；73、第三管道；74、第四管道；8、电子阀门。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本公开的上述目的、特征和优点，下面将对本公开的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本公开，但本公开还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施例只是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。
工程中常常会有对一个封闭循环系统抽真空的需求，封闭循环系统中配置一个压力容器和一个真空容器，真空容器负责提供一个相对洁净的真空加工环境，压力容器负责为真空容器注入一定量的保护气体，为节约成本，保护气体是循环利用的，在真空容器中完成特定加工后，真空容器中的保护气体需要回收至压力容器。
但是目前使用的封闭循环系统往往存在当保护气体在经过多次循环利用后，无法达到符合要求的纯度，影响加工工作的效果。
基于此，本实施例提供一种真空容器抽真空的方法，能够利用四通、废气瓶、第二升压泵和第五电磁阀的配合工作，使四通处的残留空气不会进入到封闭循环的系统里，防止保护气体从真空容器流入到压力容器的过程中被外界空气污染，影响保护气体自身的纯度，继而保证整个封闭循环系统在进行多次循环工作后仍然能为真空容器提供较高纯度的符合要求的保护气体，保证加工工作的顺利进行。下面通过具体的实施例对其进行详细说明：
参照图1所示，本实施例提供的一种真空容器抽真空的方法，包括以下步骤：
步骤一：将第一电磁阀41、第三电磁阀43、第四电磁阀44和第五电磁阀45均调整为关闭状态；
步骤二：打开第三电磁阀43并启动第一真空泵33，第一真空泵33将真空容器2中的气体抽出到外部环境中，当真空容器2中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀43和第一真空泵33；
步骤三：打开第一电磁阀41，使压力容器1中的保护气体流入到真空容器2中，接着关闭第一电磁阀41；
步骤四：在真空容器2中进行特定加工工作；
步骤五：打开第五电磁阀45和第二升压泵32，将四通5处残留的空气收入到废气瓶6内，关闭第五电磁阀45和第二升压泵32，通过废气瓶6、第二升压泵32和第五电磁阀45的设置，能够使四通5处的残留空气不会进入到封闭循环的系统里，防止保护气体从真空容器2流入到压力容器1的过程中被外界空气污染，影响纯度；
步骤六：打开第一升压泵31、第一真空泵33和第四电磁阀44，使真空容器2中的保护气体重新流入到压力容器1内，完成保护气体的回收，接着关闭第一升压泵31、第一真空泵33和第四电磁阀44。
其中，步骤二中的第一真空泵33为隔膜泵，隔膜泵的结构可靠，无油无尘，能够有效地保证系统的洁净度，需要说明的是，第一升压泵31和第二升压泵32也采用结构类似的摇摆活塞泵。
参照图2至图4所示，第一真空泵33包括通过管道依次连通的第一腔室331、第二腔室332、第三腔室333和第四腔室334以及电子阀门8；
第一腔室331与进气口335连通，第四腔室334与出气口336连通，进气口335与真空容器2连接，出气口336与四通5连接；
第一腔室331和第二腔室332之间设有第一管道71和第二管道72，第一管道71和第二管道72均用于连通第一腔室331和第二腔室332；
第一腔室331内设有两组第一单向阀337，其中一组第一单向阀337的一端与进气口335连接，另一端与第一管道71连接，另一组第一单向阀337与第二管道72连接；
第二腔室332和第三腔室333通过第三管道73连通，第二腔室332内设有两组第二单向阀338，其中一组第二单向阀338与第一管道71连接，另一组第二单向阀338与第三管道73连接；
第三腔室333和第四腔室334通过第四管道74连通，第三腔室333内设有两组第三单向阀339，其中一组第三单向阀339与第三管道73连接，另一组第三单向阀339与第四管道74连接；
第四腔室334内设有两组第四单向阀330，其中一组第四单向阀330与第四管道74连接，另一组第四单向阀330与出气口336连接；
第一单向阀337、第二单向阀338、第三单向阀339和第四单向阀330的流通方向均与第一真空泵33的送气方向同向设置；
电子阀门8安装在第一真空泵33上，电子阀门8连接第一腔室331和外部环境，通过电子阀门8的设置，能够增强第一真空泵33的排水汽能力，防止第一真空泵33的内部水汽浓度过高凝结形成水珠，将电子阀门8连接第一腔室331，能够有效地控制第一真空泵33自身以及其后端管路的水汽浓度，从而保证整个封闭循环系统内的气体纯度始终能够符合要求。
在进一步的实施例中，电子阀门8的排气孔与第一腔室331连通，电子阀门8的进气孔与外部环境连通，电子阀门8的通径为0.6-1mm，通过将通径调整为大口径能够有效的防止积水的产生。
在一些实施例中，步骤二和步骤六中，当第一真空泵33工作时，电子阀门8以设定频率进行开闭动作。
在进一步的实施例中，当第一真空泵33工作时，电子阀门8以开启3s、关闭15s的频率反复开闭，按照此频率开关能够既不影响电子阀门8的寿命，又能有效地防止管路中发生凝水珠的情况发生。
在一些实施例中，电子阀门8的进气孔处设有过滤器，通过过滤器的设置，能够进一步保证整个封闭循环系统内部的洁净度。
在进一步的实施例中，步骤一具体为：将第一电磁阀41、第二电磁阀42、第三电磁阀43、第四电磁阀44和第五电磁阀45均调整为关闭状态；
步骤二具体为：打开第三电磁阀43和第二电磁阀42，并启动第一真空泵33和第二真空泵34，第一真空泵33和第二真空泵34将真空容器2中的气体抽出到外部环境中，当真空容器2中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀43、第二电磁阀42、第一真空泵33和第二真空泵34；
步骤六具体为：打开第一升压泵31、第一真空泵33、第二真空泵34、第二电磁阀42和第四电磁阀44，使真空容器2中的保护气体重新流入到压力容器1内，完成保护气体的回收，接着关闭第一升压泵31、第一真空泵33、第二真空泵34、第二电磁阀42和第四电磁阀44。
通过第二真空泵34的设置，能够提高真空容器2内抽真空工作的效率，同时也能对第一真空泵33和第二真空泵34的本身提供保护，降低故障率。
在一些实施例中，第二真空泵34为分子泵。
继续参照图1所示，利用真空容器抽真空的方法的系统包括压力容器1、真空容器2、第一升压泵31、第二升压泵32、第一真空泵33、第二真空泵34、第一电磁阀41、第二电磁阀42、第三电磁阀43、第四电磁阀44、第五电磁阀45、四通5、废气瓶6以及电子阀门8；
压力容器1和真空容器2通过管道连通，并且在连接压力容器1和真空容器2的管道上设有第一电磁阀41。
四通5的四个连接口依次与压力容器1、真空容器2、废气瓶6和外部环境连接；第一升压泵31设置在四通5和压力容器1之间，并且用于从真空容器2中抽取保护气体到压力容器1内，第四电磁阀44设置在第一升压泵31和四通5之间；第一真空泵33、第二电磁阀42和第二真空泵34依次设置在四通5和真空容器2之间，其中第一真空泵33靠近四通5设置；第二升压泵32和第五电磁阀45设置在四通5和废气瓶6之间；第三电磁阀43设置在四通5和外部环境之间。
具体实现方式和实现原理与上述实施例相同，并能带来相同或者类似的技术效果，在此不再一一赘述，具体可参照上述真空容器抽真空的方法实施例的描述。
需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅是本公开的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本公开。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本公开的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本公开将不会被限制于本文所述的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种真空容器抽真空的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：将第一电磁阀(41)、第三电磁阀(43)、第四电磁阀(44)和第五电磁阀(45)均调整为关闭状态；
步骤二：打开第三电磁阀(43)并启动第一真空泵(33)，第一真空泵(33)将真空容器(2)中的气体抽出到外部环境中，当真空容器(2)中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀(43)和第一真空泵(33)；
步骤三：打开第一电磁阀(41)，使压力容器(1)中的保护气体流入到真空容器(2)中，接着关闭第一电磁阀(41)；
步骤四：在真空容器(2)中进行特定加工工作；
步骤五：打开第五电磁阀(45)和第二升压泵(32)，将四通(5)处残留的空气收入到废气瓶(6)内，关闭第五电磁阀(45)和第二升压泵(32)；
步骤六：打开第一升压泵(31)、第一真空泵(33)和第四电磁阀(44)，使真空容器(2)中的保护气体重新流入到压力容器(1)内，完成保护气体的回收，接着关闭第一升压泵(31)、第一真空泵(33)和第四电磁阀(44)。
2.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述步骤二中的第一真空泵(33)为隔膜泵。
3.根据权利要求2所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述第一真空泵(33)包括第一腔室(331)和电子阀门(8)；所述电子阀门(8)安装在所述第一真空泵(33)的本体上，所述电子阀门(8)连接所述第一腔室(331)和外部环境。
4.根据权利要求3所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述电子阀门(8)的排气孔与所述第一腔室(331)连通，所述电子阀门(8)的进气孔与外部环境连通，所述电子阀门(8)的通径为0.6-1mm。
5.根据权利要求3所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述步骤二和所述步骤六中，当所述第一真空泵(33)工作时，所述电子阀门(8)以设定频率进行开闭动作。
6.根据权利要求5所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，当所述第一真空泵(33)工作时，所述电子阀门(8)以开启3s、关闭15s的频率反复开闭。
7.根据权利要求3所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述电子阀门(8)的进气孔处设有过滤器。
8.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，
所述步骤一具体为：将第一电磁阀(41)、第二电磁阀(42)、第三电磁阀(43)、第四电磁阀(44)和第五电磁阀(45)均调整为关闭状态；
所述步骤二具体为：打开第三电磁阀(43)和第二电磁阀(42)，并启动第一真空泵(33)和第二真空泵(34)，第一真空泵(33)和第二真空泵(34)将真空容器(2)中的气体抽出到外部环境中，当真空容器(2)中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀(43)、第二电磁阀(42)、第一真空泵(33)和第二真空泵(34)；
所述步骤六具体为：打开第一升压泵(31)、第一真空泵(33)、第二真空泵(34)、第二电磁阀(42)和第四电磁阀(44)，使真空容器(2)中的保护气体重新流入到压力容器(1)内，完成保护气体的回收，接着关闭第一升压泵(31)、第一真空泵(33)、第二真空泵(34)、第二电磁阀(42)和第四电磁阀(44)。
9.根据权利要求8所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述第二真空泵(34)为分子泵。
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