CN213708476U - 一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路之间，包括侧壁开设有分支管的管道一、管道二、止回阀和电磁阀，所述管道一的主管的一端与所述的尾排管路相连，另一端通过所述的止回阀与设备反应腔尾部相连，所述的管道二用于通入N2气流，所述的管道二通过所述的电磁阀与所述的管道一相通。采用本实用新型的装置能够在不拆除尾气管路和设备停机运行的前提下定期的对尾气管路进行疏通，能够有效的清除管路腔体中的固体沉积物，解决管路堵塞的危险。
Description
技术领域
本实用新型属于镀膜设备领域，具体涉及一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置。
背景技术
现有电池片制造镀膜工艺，需将设备腔体内过盈的氮化硅结合物及混合气体通过真空泵排放至设备外侧的废气处理系统中进行处理。单是随着使用周期增加，尾排管路中氮化硅粉尘会逐渐凝结导致堵塞，不仅难以清理，而且还容易导致氮化硅回涌污染腔体及产品。针对排气管路易堵塞的问题，目前采用的方式是设备定期的停机维修清理，但是该方式需要长时间大规模停机处理，严重影响产品产出。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提出一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置。
实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：
一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路之间，包括侧壁开设有分支管的管道一、管道二、止回阀和电磁阀，所述管道一的主管的一端与所述的尾排管路相连，另一端通过所述的止回阀与设备反应腔尾部相连，所述的管道二用于通入N2气流，所述的管道二通过所述的电磁阀与所述的管道一相通。
作为本实用新型的进一步改进，所述管道二的管径小于所述管道一的管径，所述管道一的主管的管径与所述尾排管路的管径相匹配，所述管道一的分支管的管径与所述管道二的管径相同。
作为本实用新型的进一步改进，所述的管道二选用工作耐受压力不小于0.6mpa的压力管。
作为本实用新型的进一步改进，所述的电磁阀选用真空挡阀板电磁阀，包括两个垂直设置的阀口连接端。
作为本实用新型的进一步改进，还包括PLC控制模块，所述的PLC控制模块与所述的电磁阀相连，用于控制电磁阀的开启。
作为本实用新型的进一步改进，还包括设置在所述止回阀和设备反应腔尾部之间的管道三。
作为本实用新型的进一步改进，所述管道一、所述管道二或所述管道三各个连接处通过KF快接接头连接，还包括若干个设置在各个连接处的密封紧固机构。
本实用新型的有益效果：采用本实用新型的装置能够在不拆除尾气管路和设备停机运行的前提下定期的对尾气管路进行疏通，能够有效的清除管路腔体中的固体沉积物，解决管路堵塞的危险。
附图说明
图1为本实用新型装置的装配结构图；
图2为本实用新型中所使用的止回阀的主视图；
其中：1-管道三，2-止回阀，3-管道一，300-主管，301-分支管，4-尾排管路，5-密封紧固机构，6-电磁阀，7-PLC模块，8-管道二。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
下面结合附图对本实用新型的应用原理作详细的描述。
如图1所示的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路4之间，包括侧壁开设有分支管301的管道一3、管道二8、止回阀2和电磁阀6，所述管道一3的主管300的一端与所述的尾排管路4相连，另一端通过所述的止回阀2与设备反应腔尾部相连，所述的管道二8用于通入N2气流，所述的管道二8通过所述的电磁阀6与所述的管道一3相通。
其中，所述的管道二8通入的是气压不低于0.6mpa的N2气流，故管道二8选用工作耐受压力不小于0.6mpa的压力管。另外在本实用新型中所述管道二8的管径小于所述管道一3的管径，所述管道一3的主管300的管径与所述尾排管路4的管径相匹配，所述管道一3的分支管301的管径与所述管道二8的管径相同。从而能够形成高冲击力的气流，能够有效的对尾排管路进行清洁。
所采用的止回阀2的结构如图2所示，用将反应腔尾部与尾排管路4隔离开来，防止N2向设备腔体方向流动。
在本实用新型中，所述的电磁阀6选用真空挡阀板电磁阀6，包括两个垂直设置的阀口连接端，分别与管道二8和管道一3的分支管301相连。
还包括PLC控制模块1，如PLC控制电脑，所述的PLC控制模块7与所述的电磁阀6相连，用于控制电磁阀6的开启。PLC控制模块7根据设定的程序定时开启电磁阀6，执行吹扫。
另外，为了便于止回阀2的安装，还包括设置在所述止回阀2和设备反应腔尾部之间的管道三1，所述的管道三1选用的是波纹管。
在安装的过程中，所述管道一3、所述管道二8或所述管道三1各个连接处首先通过KF快接接头连接实现快速的对接连接，之后在连接处的设置密封紧固机构5将连接的两端进行加固，并保证装置内部管道整体的密封性。密封紧固机构5根据管径和所承受压力的大小具有多样向，例如，管道一3的主管300的两端采用的是KF40密封圈及卡箍，电磁阀6的两个阀口的连接端采用的是KF10密封圈及卡箍。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路（4）之间，包括侧壁开设有分支管（301）的管道一（3）、管道二（8）、止回阀（2）和电磁阀（6），所述管道一（3）的主管（300）的一端与所述的尾排管路（4）相连，另一端通过所述的止回阀（2）与设备反应腔尾部相连，所述的管道二（8）用于通入N2气流，所述的管道二（8）通过所述的电磁阀（6）与所述的管道一（3）相通。
2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：所述管道二（8）的管径小于所述管道一（3）的管径，所述管道一（3）的主管（300）的管径与所述尾排管路（4）的管径相匹配，所述管道一（3）的分支管（301）的管径与所述管道二（8）的管径相同。
3.根据权利要求2所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：所述的管道二（8）选用工作耐受压力不小于0.6mpa的压力管。
4.根据权利要求1所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：所述的电磁阀（6）选用真空挡阀板电磁阀（6），包括两个垂直设置的阀口连接端。
5.根据权利要求1或4所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：还包括PLC控制模块（7），所述的PLC控制模块（7）与所述的电磁阀（6）相连，用于控制电磁阀（6）的开启。
6.根据权利要求1所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：还包括设置在所述止回阀（2）和设备反应腔尾部之间的管道三（1）。
7.根据权利要求6所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：所述管道一（3）、所述管道二（8）或所述管道三（1）各个连接处通过KF快接接头连接，还包括若干个设置在各个连接处的密封紧固机构（5）。
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2020
- 2020-11-11 CN CN202022593793.6U patent/CN213708476U/zh active Active
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