CN210261990U - 一种向管式pecvd的tma介质输送系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，包括供给系统和蒸发系统；供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接；蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道，第二TMA液体管道设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，TMA气体管道也设置有两个端口，TMA气体管道一端口连接着蒸发瓶出口，TMA气体管道另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计，第二气体管道上还连接有惰性气体质量流量计；本实用新型的有益效果是：该系统改善生产工艺，达到提高转换效率的目的。

Description

一种向管式PECVD的TMA介质输送系统

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，更具体地说，是涉及一种向管式PECVD的TMA介质输送系统。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一批化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。

随着PECVD设备技术的发展，降成本、提高效率的要求越来越高，电池片的转换效率也需提高，PREC电池是当前最为有效提升晶体硅电池转换效率并有望形成量产的新工艺路线。为了提高电池硅片的转换效率，只需在原有设备外增加独立气体输送系统，同时改善生产工艺，就能达到提高转换效率的目的。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，改善生产工艺，提高了转换效率，节约成本。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其改进之处在于：包括供给系统和蒸发系统；

所述的供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道上设置有第一手动阀，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道上设置有第一气动阀，所述的第一手动阀与钢瓶进口之间的第一气体管道上设置有相串联的第一减压阀、第一单向阀以及第二气动阀；

所述的蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道，第二TMA液体管道上设置有第二手动阀，所述的第二TMA液体管道设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，蒸发瓶入口和出口均设置有气动阀，所述第二手动阀与蒸发瓶入口气动阀之间还设置有第六气动阀，所述的TMA气体管道也设置有两个端口，TMA气体管道一端口连接着蒸发瓶出口，TMA气体管道另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计、第七气动阀以及第三手动阀，所述的第二气体管道连接在第七气动阀与第三手动阀之间的管道上，第二气体管道上还串联有第四手动阀、第二减压阀、惰性气体质量流量计以及第九气动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述的第二气动阀与第一单向阀之间还设置有第三气动阀，第三气动阀与第一单向阀之间还连接有一泄气通道，在该通道上还设置有一泄气阀。

作为上述技术方案的进一步改进，第二气动阀与第三气动阀之间设置有一通道，所述通道连接在第一气动阀与钢瓶出口之间的位置，该通道上还设置有第四气动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述钢瓶进口与第二气动阀之间、钢瓶出口与第一气动阀之间均连接有第一通道和第二通道，第一通道上设置有第五气动阀，所述第一通道与第二通道连接处还连接有第一尾气处理管道，第一尾气处理管道上有一开关阀。

作为上述技术方案的进一步改进，第一减压阀与第一单向阀之间还设置有第一管路附件。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第二减压阀与惰性气体质量流量计之间还设置有第二管路附件。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第二管路附件与惰性气体质量流量计之间还设置有一通道，该通道连接在第二手动阀与第六气动阀之间，所述的通道上还串联有第二单向阀和第五手动阀。第二单向阀和第五手动阀之间还设置有第三通道，第三通道连接在TMA气体质量流量计与蒸发瓶出口之间的管道上，所述第三通道上还设置有第十气动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第三通道、TMA气体质量流量计以及蒸发瓶出口之间的连接处还设置有一通道，该通道连接在TMA气体质量流量计与第七气动阀之间的管道上，通道上还设置有第六手动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第二气体管道、第七气动阀以及第三手动阀之间的管道连接处设置有一节点，该节点与第三手动阀之间还设置有第二尾气处理管道。

作为上述技术方案的进一步改进，所述在蒸发瓶上还设置有一压力传感器和一温度传感器。

本实用新型的有益效果是：本实用提供了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，改善生产工艺，提高了转换效率，节约成本。

附图说明

图1是本实用新型一种TMA介质的蒸发系统的主视图。

图2是本实用新型一种TMA介质的蒸发系统的侧视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。

参照图1，本实用新型揭示了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其改进之处在于：包括供给系统和蒸发系统；所述的供给系统包括TMA钢瓶4、第一气体管道50以及第一TMA液体管道60，第一气体管道50上设置有第一手动阀500，第一气体管道50与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道60与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道60上设置有第一气动阀600，所述的第一手动阀500与钢瓶进口之间的第一气体管道50上设置有相串联的第一减压阀501、第一单向阀502以及第二气动阀503；所述的蒸发系统包括TMA蒸发瓶4、第二TMA液体管道20、TMA气体管道30以及第二气体管道40，第二TMA液体管道20上设置有第二手动阀200，所述的第二TMA液体管道20设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道60连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，蒸发瓶入口和出口均设置有气动阀，所述第二手动阀200与蒸发瓶入口气动阀之间还设置有第六气动阀201，所述的第二TMA气体管道20也设置有两个端口，第二TMA气体管道20一端口连接着蒸发瓶出口，第二TMA气体管道20另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计301、第七气动阀302以及第三手动阀303，所述的第二气体管道40连接在第七气动阀302与第三手动阀303之间的管道上，第二气体管道40上还串联有第四手动阀400、第二减压阀401、惰性气体质量流量计402以及第九气动阀403。当启动该向管式PECVD的TMA介质系统时，供给系统与蒸发系统开始工作，打开第一手动阀500，第一气体管道50充入惰性气体，惰性气体进入第一减压阀501，第一减压阀501缓解过多惰性气体带来的压力，打开第二气动阀503、第三气动阀504以及钢瓶进口手动阀，惰性气体进入TMA钢瓶4，打开钢瓶出口手动阀，惰性气体压缩TMA液体流出钢瓶，TMA液体从钢瓶出口进入第一TMA液体管道60，由于第一TMA液体管道60与第二TMA液体管道20连接，连续打开第二手动阀200、第六气动阀201以及蒸发瓶入口手动阀，TMA液体直接进入到蒸发瓶，进入蒸发瓶的TMA液体经过加热蒸发变成TMA气体，打开蒸发瓶出口气动阀，TMA气体从蒸发瓶出口导出进入TMA气体质量流量计301，控制TMA气体的流量，同时，第二气体管道40充入惰性气体，打开第四手动阀400，惰性气体进入第二减压阀401，减压阀缓解过多惰性气体带来的压力，惰性气体进入惰性气体质量流量计402，该质量流量计进一步控制惰性气体的流量，打开第九气动阀403和第七气动阀302，此时惰性气体和TMA气体在两处管道汇合位置会合，两种气体进入反应管300。

进一步的，所述的第二气动阀503与第一单向阀502之间还设置有第三气动阀504，第三气动阀504与第一单向阀502之间还连接有一泄气通道，在该通道上还设置有一泄气阀700。第二气动阀503与第三气动阀504之间设置有一通道，所述通道连接在第一气动阀600与钢瓶出口之间的位置，该通道上还设置有第四气动阀800。所述钢瓶进口与第二气动阀之间、钢瓶出口与第一气动阀600之间均连接有第一通道和第二通道，第一通道上设置有第五气动阀900，所述第一通道与第二通道连接处还连接有第一尾气处理管道10，第一尾气处理管道上有一开关阀，控制尾气处理管道的开通与关闭。当打开第一手动阀500时，第一气体管道50充入惰性气体，惰性气体进入第一减压阀501，第一减压阀501缓解过多惰性气体带来的压力，气体来到第一单向阀502位置，有一部分惰性气体进入泄气管道排出，另一部分气体来到第三气动阀504，此时惰性气体兵分两路，一部分气体进入第二气动阀503与第三气动阀504之间的通道，另一部分气体还留在第一气体管道50，留在第一气体管道50的惰性气体，有一部分直接进入TMA钢瓶4，另一部分进入第一通道；进入第二气动阀503与第三气动阀504之间通道的惰性气体，一部分会进入第一尾气处理管道10，还有一部分会进入第一TMA液体管道60。

通过上述实施例，本实用新型的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，可以实现改善生产工艺，提高转换率的目的。当一种向管式PECVD的TMA介质输送系统启动时，打开第一手动阀500，第一气体管道50充入惰性气体，惰性气体进入第一减压阀501，打开第二气动阀503、第三气动阀504以及钢瓶进口手动阀，惰性气体进入TMA钢瓶4，当打开钢瓶出口手动阀，来到钢瓶的惰性气体压缩TMA液体流出钢瓶，TMA液体从钢瓶出口进入第一TMA液体管道60，由于第一TMA液体管道60与第二TMA液体管道20连接，TMA液体进入到蒸发瓶，进入蒸发瓶的TMA液体经过加热蒸发变成TMA气体，打开蒸发瓶出口气动阀，TMA气体从蒸发瓶出口导出进入TMA气体质量流量计301，控制TMA气体的流量，同时，第二气体管道40充入惰性气体，惰性气体进入第二减压阀401，惰性气体进入惰性气体质量流量计402，当打开第九气动阀403和第七气动阀302时，被控制流量的惰性气体和TMA气体在两处管道汇合位置会和，两种气体进入反应管300。

其中，第一减压阀501与第一单向阀502之间还设置有第一管路附件505，第一管路附件505进一步检测和调节气体压力和流量，充分操控气体进入供给系统的流量。

另外，所述第二减压阀401与惰性气体质量流量计402之间还设置有第二管路附件309。所述第二管路附件309与惰性气体质量流量计402之间还设置有一通道，该通道连接在第二手动阀200与第六气动阀201之间，所述的通道上还串联有第二单向阀202和第五手动阀203。第二单向阀202和第五手动阀203之间还设置有第三通道，第三通道连接在TMA气体质量流量计301与蒸发瓶出口之间的管道上，所述第三通道上还设置有第十气动阀204。所述第三通道、TMA气体质量流量计301以及蒸发瓶出口之间的连接处还设置有一通道，该通道连接在TMA气体质量流量计301与第七气动阀302之间的管道上，通道上还设置有第六手动阀311。所述第二气体管道40、第七气动阀302以及第三手动阀303之间的管道连接处设置有一节点，该节点与第三手动阀之间还设置有第二尾气处理管道11。

在上述实施例中，惰性气体进入蒸发系统的第二气体管道40，经过第二减压阀401降压、第二管路附件309检测和调节，有一部分惰性气体进入惰性气体质量流量计402，另一部分气体来到第二单向阀202位置，来到单向阀位置的惰性气体会有一部分经过第五手动阀203进入第二TMA液体管道20，另一部分惰性气体经过第十气动阀204来到第三通道、TMA气体质量流量计301以及蒸发瓶出口之间的连接处，来到连接处的惰性气体有一部分进入TMA气体质量流量计301，另一部分惰性首先会经过第六手动阀311的管道，再与进入TMA气体质量流量计301的惰性气体会合，会合的惰性气体经过第七气动阀302后，与进入惰性气体质量流量计402的惰性气体集合，集合的三部分惰性气体最终进入反应管300或者第二尾气处理管道11。

最后，所述在蒸发瓶上还设置有一压力传感器和一温度传感器。所述压力传感器检测蒸发瓶内的压力，温度传感器检测蒸发瓶内的温度，以免气体在蒸发瓶内反应剧烈，导致蒸发瓶爆炸毁坏。

本实用新型的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统在具体实施时，供给系统与蒸发系统开始工作，首先，打开第一手动阀500，第一气体管道50充入惰性气体，惰性气体进入第一减压阀501，第一减压阀501缓解过多惰性气体带来的压力，打开第二气动阀503、第三气动阀504以及钢瓶进口手动阀，惰性气体进入TMA钢瓶4，打开钢瓶出口手动阀，惰性气体压缩TMA液体流出钢瓶，TMA液体从钢瓶出口进入第一TMA液体管道60，由于第一TMA液体管道60与第二TMA液体管道20连接，连续打开第二手动阀200、第六气动阀201以及蒸发瓶入口手动阀，TMA液体直接进入到蒸发瓶，进入蒸发瓶的TMA液体经过加热蒸发变成TMA气体，打开蒸发瓶出口气动阀，TMA气体从蒸发瓶出口导出进入TMA气体质量流量计301，控制TMA气体的流量，同时，第二气体管道40充入惰性气体，打开第四手动阀400，惰性气体进入第二减压阀401，减压阀缓解过多惰性气体带来的压力，惰性气体进入惰性气体质量流量计402，该质量流量进一步计控制惰性气体的流量，打开第九气动阀403和第七气动阀302，此时惰性气体和TMA气体在两处管道汇合位置会合，两种气体进入反应管300。

当停止该系统运行时，停止充入惰性气体，关闭第一气动阀600，打开泄气阀700，由于钢瓶里边充满了惰性气体，第一进气口管道50含有第一单向阀502，此时的惰性气体或者其他杂气体从700泄气阀排出，此时的供给系统恢复零压力状态；对于整个系统，关闭钢瓶进出口手动阀、泄气阀700以及开关阀，打开所有的气动阀和手动阀，第一气体管道50和第二气体管道40继续通入惰性气体，惰性气体首先会把供给系统的所有管道里残留的TMA液体和少量的TMA气体(第一TMA液体通道60和第二液体通道20连接，蒸发系统的部分TMA气体会进入供给系统)排进蒸发系统，进入蒸发系统的气体直接进入蒸发瓶，进入蒸发瓶的TMA液体经过加热蒸发变成TMA气体，该TMA气体和惰性气体最终进入反应管300；最后，关闭钢瓶进出口手动阀、蒸发瓶出入口气动阀以及第三手动阀303，在第一气体管道50或者第二气体管道40通入适量的惰性气体，残留的气体最终从泄气管通道、第一尾气处理管道10以及第二尾气处理管道11排出。本实用新型的有益效果是：提供了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，改善生产工艺，提高了转换效率，节约成本。

以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (10)

1.一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：包括供给系统和蒸发系统；

所述的供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道上设置有第一手动阀，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道上设置有第一气动阀，所述的第一手动阀与钢瓶进口之间的第一气体管道上设置有相串联的第一减压阀、第一单向阀以及第二气动阀；

所述的蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道，第二TMA液体管道上设置有第二手动阀，所述的第二TMA液体管道设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，蒸发瓶入口和出口均设置有气动阀，所述第二手动阀与蒸发瓶入口气动阀之间还设置有第六气动阀，所述的TMA气体管道也设置有两个端口，TMA气体管道一端口连接着蒸发瓶出口，TMA气体管道另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计、第七气动阀以及第三手动阀，所述的第二气体管道连接在第七气动阀与第三手动阀之间的管道上，第二气体管道上还串联有第四手动阀、第二减压阀、惰性气体质量流量计以及第九气动阀。

2.根据权利要求1所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：所述的第二气动阀与第一单向阀之间还设置有第三气动阀，第三气动阀与第一单向阀之间还连接有一泄气通道，在该通道上还设置有一泄气阀。

3.根据权利要求2所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：第二气动阀与第三气动阀之间设置有一通道，所述通道连接在第一气动阀与钢瓶出口之间的位置，该通道上还设置有第四气动阀。

4.根据权利要求1所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：所述钢瓶进口与第二气动阀之间、钢瓶出口与第一气动阀之间均连接有第一通道和第二通道，第一通道上设置有第五气动阀，所述第一通道与第二通道连接处还连接有第一尾气处理管道，第一尾气处理管道上有一开关阀。

5.根据权利要求1所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：第一减压阀与第一单向阀之间还设置有第一管路附件。

6.根据权利要求1所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：所述第二减压阀与惰性气体质量流量计之间还设置有第二管路附件。

7.根据权利要求6所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：所述第二管路附件与惰性气体质量流量计之间还设置有一通道，该通道连接在第二手动阀与第六气动阀之间，所述的通道上还串联有第二单向阀和第五手动阀，第二单向阀和第五手动阀之间还设置有第三通道，第三通道连接在TMA气体质量流量计与蒸发瓶出口之间的管道上，所述第三通道上还设置有第十气动阀。

8.根据权利要求7所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：所述第三通道、TMA气体质量流量计以及蒸发瓶出口之间的连接处还设置有一通道，该通道连接在TMA气体质量流量计与第七气动阀之间的管道上，通道上还设置有第六手动阀。

9.根据权利要求1所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：所述第二气体管道、第七气动阀以及第三手动阀之间的管道连接处设置有一节点，该节点与第三手动阀之间还设置有第二尾气处理管道。

10.根据权利要求1所述的一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，其特征在于：所述在蒸发瓶上还设置有一压力传感器和一温度传感器。

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