CN210104072U - 一种tma介质的供给系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种TMA介质的供给系统，包括TMA钢瓶和控制输送管路，所述的TMA钢瓶设置有钢瓶进口和钢瓶出口，在钢瓶进口和钢瓶出口位置设置有一进口手动阀和一出口手动阀；所述的控制输送管路包括第一气体管道和第一TMA液体管道，第一气体管道上设置有第一手动阀，第一气体管道的一端与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道上设置有第一气动阀；所述的第一手动阀与钢瓶进口之间的第一气体管道上设置有相串联的第一减压阀、第一单向阀以及第二气动阀，所述的第二气动阀与第一单向阀之间还设置有第三气动阀；本实用新型的有益效果是：通过增加独立的供给系统，改善生产工艺，达到了提高转换效率的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，更具体地说，是涉及一种TMA介质的供给系统。
背景技术
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一批化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。
随着PECVD设备技术的发展，降成本、提高效率的要求越来越高，电池片的转换效率也需提高，PREC电池是当前最为有效提升晶体硅电池转换效率并有望形成量产的新工艺路线。为了提高电池硅片的转换效率，需在原有设备外增加独立气体供给系统，同时改善生产工艺，以达到提高转换效率的目的。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种TMA介质的供给系统，通过增加独立气体供给系统，改善生产工艺，达到提高转换效率的目的。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种TMA介质的供给系统，其改进之处在于：包括TMA钢瓶和控制输送管路，
所述的TMA钢瓶设置有钢瓶进口和钢瓶出口，在钢瓶进口和钢瓶出口位置设置有一进口手动阀和一出口手动阀；
所述的控制输送管路包括第一气体管道和第一TMA液体管道，第一气体管道上设置有第一手动阀，第一气体管道的一端与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道上设置有第一气动阀；
所述的第一手动阀与钢瓶进口之间的第一气体管道上设置有相串联的第一减压阀、第一单向阀以及第二气动阀。
作为上述技术方案的进一步改进，所述的第二气动阀与第一单向阀之间还设置有第三气动阀。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第三气动阀与第一单向阀之间还连接有一泄气通道，在该通道上还设置有一泄气阀。
作为上述技术方案的进一步改进，第二气动阀与第三气动阀之间设置有一通道，所述通道连接在第一气动阀与钢瓶出口之间的位置，该通道上还设置有第四气动阀。
作为上述技术方案的进一步改进，所述钢瓶进口与第二气动阀之间、钢瓶出口与第一气动阀之间均连接有第一通道和第二通道，第一通道上设置有第五气动阀，所述第一通道与第二通道连接处还连接有第一尾气处理管道，该尾气处理管道末端设置有一尾气口。
作为上述技术方案的进一步改进，第一减压阀与第一单向阀之间还设置有第一管路附件。
本实用新型的有益效果是：在原有设备外增加独立气体供给系统，同时改善生产工艺，达到提高转换效率的目的。
附图说明
图1是本实用新型的一种TMA介质供给系统的主视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
参照图1，本实用新型揭示了一种TMA介质的供给系统，包括TMA钢瓶4和控制输送管路，所述的TMA钢瓶4设置有钢瓶进口和钢瓶出口，在钢瓶进口和钢瓶出口位置设置有一进口手动阀和一出口手动阀；所述的控制输送管路包括第一气体管道50和第一TMA液体管道60，第一气体管道50上设置有第一手动阀500，第一气体管道50的一端与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道60与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道60上设置有第一气动阀600；所述的第一手动阀500与钢瓶进口之间的第一气体管道50上设置有相串联的第一减压阀501、第一单向阀502以及第二气动阀503，所述的第二气动阀503与第一单向阀502之间还设置有第三气动阀504。当供给系统启动时，打开第一手动阀500，第一气体管道50充入惰性气体，惰性气体进入第一减压阀501，第一减压阀501缓解过多惰性气体带来的压力，打开第二气动阀503、第三气动阀504以及钢瓶进口手动阀，惰性气体进入TMA钢瓶4，打开钢瓶出口手动阀，惰性气体压缩TMA液体流出钢瓶，TMA液体从钢瓶出口进入第一TMA液体管道60。
进一步的，所述第三气动阀504与第一单向阀502之间还连接有一泄气通道，在该通道上还设置有一泄气阀700。
通过上述实施例，本实用新型的一种TMA介质的供给系统，可以实现在原有设备外增加独立气体供给系统，提高转换率，当TMA介质系统在启动时，打开第一手动阀500，惰性气体从第一气体管道50进入，管道里边设置的第一减压阀501检测并控制惰性气体的流量，气体从第一单向阀502来到第三气动阀504位置，此时的泄气阀700关闭，打开第三气动阀504、第二气动阀503以及钢瓶进口手动阀，惰性气体进入钢瓶并压缩TMA钢瓶里的液体，打开钢瓶出口手动阀，TMA液体被挤进第一TMA液体管道60。当停止充入惰性气体时，打开泄气阀700，由于钢瓶里边充满了惰性气体，第一气体管道50含有的第一单向阀502，此时的惰性气体或者其他杂气体从泄气阀700排出。
在上述实施例的基础上，第二气动阀503与第三气动阀504之间设置有一通道，所述通道连接在第一气动阀600与钢瓶出口之间的位置，该通道上还设置有第四气动阀800，所述的通道使得钢瓶进口和钢瓶出口连接。
另外，所述钢瓶进口与第二气动阀503之间、钢瓶出口与第一气动阀600之间均连接有第一通道和第二通道，第一通道上设置有第五气动阀900，所述第一通道与第二通道连接处还连接有第一尾气处理管道10，该尾气处理管道10末端设置有一尾气口。当泄气通道排除多余气体时，把泄气阀700、钢瓶进口手动阀、第一气动阀600以及钢瓶出口手动阀均关闭，其他手动阀和气动阀全部打开，此时通入惰性气体，参杂在各个管道的气体从第一尾气处理管道10排除。
最后，第一减压阀501与第一单向阀502之间还设置有第一管路附件505。该管路附件进一步检测和调节气体压力和流量，充分操控气体进入供给系统的流量。
本实用新型的一种TMA介质的供给系统在具体实施时，可以实现在原有设备外增加独立气体供给系统，提高转换率，当TMA介质系统在启动时，打开第一手动阀500，惰性气体从第一气体管道50进入，管道里边设置的第一减压阀501检测并控制惰性气体的流量，气体从第一单向阀502来到第三气动阀504位置，此时的泄气阀700关闭，打开第三气动阀504、第二气动阀503以及钢瓶进口手动阀，惰性气体进入钢瓶并压缩TMA钢瓶里的液体，打开钢瓶出口手动阀，TMA液体被挤进第一TMA液体管道60。当停止充入惰性气体时，关闭第一气动阀600，打开泄气阀700，由于钢瓶里边充满了惰性气体，第一进气口管道50含有第一单向阀502，此时的惰性气体或者其他杂气体从700泄气阀排出，此时的供给系统恢复零压力状态。当泄气通道排除多余气体时，把泄气阀700、钢瓶进口手动阀、第一气动阀600以及钢瓶出口手动阀均关闭，其他手动阀和气动阀全部打开，此时通入适量的惰性气体，把参杂在各个管道的气体从第一尾气处理管道10排出，管道内的剩下惰性气体不会影响整个供给系统。本实用新型的有益效果是：在原有设备外增加独立气体供给系统，同时改善生产工艺，达到提高转换效率的目的。
以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (6)
1.一种TMA介质的供给系统，其特征在于：包括TMA钢瓶和控制输送管路，
所述的TMA钢瓶设置有钢瓶进口和钢瓶出口，在钢瓶进口和钢瓶出口位置设置有一进口手动阀和一出口手动阀；
所述的控制输送管路包括第一气体管道和第一TMA液体管道，第一气体管道上设置有第一手动阀，第一气体管道的一端与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接，在第一TMA液体管道上设置有第一气动阀；
所述的第一手动阀与钢瓶进口之间的第一气体管道上设置有相串联的第一减压阀、第一单向阀以及第二气动阀。
2.根据权利要求1所述的一种TMA介质的供给系统，其特征在于：所述的第二气动阀与第一单向阀之间还设置有第三气动阀。
3.根据权利要求2所述的一种TMA介质的供给系统，其特征在于：所述第三气动阀与第一单向阀之间还连接有一泄气通道，在该通道上还设置有一泄气阀。
4.根据权利要求2所述的一种TMA介质的供给系统，其特征在于：第二气动阀与第三气动阀之间设置有一通道，所述通道连接在第一气动阀与钢瓶出口之间的位置，该通道上还设置有第四气动阀。
5.根据权利要求1所述的一种TMA介质的供给系统，其特征在于：所述钢瓶进口与第二气动阀之间、钢瓶出口与第一气动阀之间均连接有第一通道和第二通道，第一通道上设置有第五气动阀，所述第一通道与第二通道连接处还连接有第一尾气处理管道，该尾气处理管道末端设置有一尾气口。
6.根据权利要求1所述的一种TMA介质的供给系统，其特征在于：第一减压阀与第一单向阀之间还设置有第一管路附件。
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| CN201920715675.2U CN210104072U (zh) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 一种tma介质的供给系统 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113502460A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-10-15 | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 | 一种半导体结构的制备方法、半导体生长设备 |
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2019
- 2019-05-16 CN CN201920715675.2U patent/CN210104072U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN113502460A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-10-15 | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 | 一种半导体结构的制备方法、半导体生长设备 |
| CN113502460B (zh) * | 2021-09-09 | 2021-12-03 | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 | 一种半导体结构的制备方法、半导体生长设备 |
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