CN201827656U - 高纯度三氯氧磷储运供料装置 - Google Patents
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Abstract
一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。本实用新型减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种剧毒危险品高纯度三氯氧磷的储运供料装置。
背景技术
目前，高纯度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前对高纯度三氯氧磷的储运供料一种是使用高纯石英容器(0.4～1.5L)盛装，进出高纯氮气管采用PFA阀门密封、连接，作为运输和使用容器，其缺点是玻璃容器易碎、换瓶频繁、操作危险、泄漏风险高、人力成本高、物流成本高；另一种是使用19L不锈钢SS316L储罐，其缺点是操作烦琐、装置结构复杂、工作压力高、装置自身成本高、维护成本高(需专业维护人员)，且不能彻底杜绝金属杂质对物料的污染。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用方便，运行成本低的高纯度三氯氧磷储运供料装置。
本实用新型的目的是这样实现的：高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。
高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀还连接带安全阀和排压阀的尾气排放管。
石英鼓泡器上有高纯氮气供气管。
由于本实用新型采用上述结构，减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；极大地减少了顾客的购置和维护成本；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构图。
图中1高纯三氯氧磷储料罐、2出料口阀、3回料口阀、4氮气入口阀、5高纯度耐腐蚀泵、6石英鼓泡器、7半导体冷阱、8高纯氮气供气管、9磷扩散器、10调压阀、11次级输料管、12输料管、13尾气排放管、14安全阀、15排压阀、16高纯氮气进气管。
具体实施方式
实施例：高纯三氯氧磷储料罐1上的出料口阀门2通过带高纯耐腐蚀泵5的输料管12连接高纯三氯氧磷储料罐1上的回料口阀门3，形成闭路循环，输料管12上的次级输料管道11连接外包半导体冷阱7的石英鼓泡器6，石英鼓泡器6连接磷扩散器9，带调压阀10的高纯氮气进气管16分别连接高纯三氯氧磷储料罐1上的氮气入口阀4、回料口阀门3和出料口阀门2，高纯三氯氧磷储料罐1上的氮气入口阀4还连接带安全阀14和排压阀15的尾气排放管13，石英鼓泡器6上有高纯氮气供气管8。
三氯氧磷储料罐1的氮气入口阀4连接尾气排放管13，尾气排放管13后并联连接安全阀14和排压阀15，关闭排压阀15后调节调压阀10至合适压力，保证三氯氧磷储料罐1内压力平衡。三氯氧磷储料罐1的出料口阀2连接高纯耐腐蚀泵5，高纯耐腐蚀泵5连接输料管12，输料管12连接三氯氧磷储料罐1的回料口阀3，形成闭路循环。输料管12分出多支次级输料管11，次级输料管11连接外包半导体冷阱7的石英鼓泡器6，石英鼓泡器6连接磷扩散器9，高纯三氯氧磷储料罐1上有氮气入口阀4，石英鼓泡器6上有高纯氮气供气管8。调节调节阀10至合适压力，20L高纯三氯氧磷储料罐1上部一端通过氮气入口阀4接入使用现场的高纯氮气，三氯氧磷储料罐1的出料口阀2连接高纯耐腐泵5，高纯耐腐蚀泵5通过输送管12连接到回料口阀3，启动高纯耐腐泵5，并形成闭路循环系统。待闭路循环稳定，打开次级输料管11上的供料阀门，给待供料石英源瓶供料，使用时在石英鼓泡器6内按磷扩散工艺需求打开进料阀门放入一定量的高纯三氯氧磷，开启半导体冷阱7将石英鼓泡器6内物料调节到20℃，再开启现场的高纯氮气，将氮气流量控制在合适的范围，持续鼓泡带走物料，待物料使用将尽，重新打开进料阀门放入物料以供系统连续稳定运行。
本装置用的所有管、阀、泵、罐的材质均为高纯PFA，防止了物料泄漏并方便安装管道。
Claims (3)
1.一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是：高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是：高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀还连接带安全阀和排压阀的尾气排放管。
3.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是：石英鼓泡器上有高纯氮气供气管。
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|---|---|---|---|---|
| WO2014201996A1 (zh) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | Xiang Dong | 高纯度三氯氧磷安全供料系统 |
| CN111041560A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-04-21 | 阳光中科（福建）能源股份有限公司 | 一种改进型磷扩散炉及其排除三氯氧磷的方法 |
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| WO2014201996A1 (zh) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | Xiang Dong | 高纯度三氯氧磷安全供料系统 |
| US9890903B2 (en) | 2013-06-19 | 2018-02-13 | Dong Xiang | High purity phosphorus oxychloride safe feeding system |
| CN111041560A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-04-21 | 阳光中科（福建）能源股份有限公司 | 一种改进型磷扩散炉及其排除三氯氧磷的方法 |
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Legal Events
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Assignee: Guiyang Jingyi Technology Co., Ltd. Assignor: Xiang Dong Contract record no.: 2014520000013 Denomination of utility model: High-purity phosphorus oxychloride storage and transportation device Granted publication date: 20110511 License type: Exclusive License Record date: 20140603 |
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| LICC | Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model | ||
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Assignee: Guiyang Jingyi Technology Co., Ltd. Assignor: Xiang Dong Contract record no.: 2014520000013 Date of cancellation: 20171226 |
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| EC01 | Cancellation of recordation of patent licensing contract | ||
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Granted publication date: 20110511 |
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