CN202546241U - 高纯度三氯氧磷安全供料系统 - Google Patents

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Abstract

一种高纯度三氯氧磷安全供料系统，恒温箱内的高纯度三氯氧磷储运罐连接有氮气进气管和氮气出气管，恒温箱上有温度数显仪表，氮气进气管一端插入高纯度三氯氧磷储运罐的底部，另一端连接有氮气阀。由于本实用新型采用上述结构，增强了操作使用的连续性，简化操作、减少劳动强度；彻底杜绝了高纯度三氯氧磷遇水产生的爆炸危险，极大提高了高纯度三氯氧磷使用过程中的安全性；极大地减少了高纯度三氯氧磷使用方的生产、维护成本和高纯度三氯氧磷供应方的物流成本；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险。

Description

高纯度三氯氧磷安全供料系统
技术领域
本实用新型涉及一种三氯氧磷安全供料设备，尤其是在太阳能电池片扩散工艺中使用的高纯度三氯氧磷安全供料设备。
背景技术
高纯度的三氯氧磷（99.9999%~99.99999%）是生产太阳能电池主要原材料之一，也是集成电路、制造光纤预制棒、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的原料，被广泛运用于光伏、IC产业，但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前，高纯度三氯氧磷的使用方法是用高纯石英容器（0.4~1.5L）盛装，进出氮气管采用PFA阀门密封、连接，1/4英寸口径管为进氮气管，3/8英寸管为出氮气的扩散管，在20℃恒温水浴下（将石英瓶放入水浴锅中）利用氮气将高纯度三氯氧磷带出至扩散炉。作为运输和使用容器，其缺点是玻璃容器易碎、换瓶频繁、操作危险（高纯度三氯氧磷遇水会产生爆炸）、泄漏风险高、人力成本高、物流成本高；另一种是使用19L不锈钢SS316L储罐，其缺点是操作烦琐、装置结构复杂、工作压力高（需用氮气压力作为动力源）、装置自身成本高、维护成本高（需专业维护人员），且不能彻底杜绝金属杂质对物料的污染。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、高效率、无泄漏、无污染、使用方便、运行成本低的高纯度三氯氧磷安全供料系统。
本实用新型的目的是这样实现的：恒温箱内的高纯度三氯氧磷储运罐连接有氮气进气管和氮气出气管，恒温箱上有温度数显仪表。
氮气进气管一端插入高纯度三氯氧磷储运罐的底部，另一端连接有氮气阀。
由于本实用新型采用上述结构，增强了操作使用的连续性，简化操作、减少劳动强度； 彻底杜绝了高纯度三氯氧磷遇水产生的爆炸危险，极大提高了高纯度三氯氧磷使用过程中的安全性；极大地减少了高纯度三氯氧磷使用方的生产、维护成本和高纯度三氯氧磷供应方的物流成本；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构图。
图中1恒温箱、2高纯度三氯氧磷储运罐、3温度数显仪表、4氮气进气管、5氮气出气管、6氮气进气阀、7氮气出气阀、8氮气阀。
具体实施方式
实施例：恒温箱1内的高纯度三氯氧磷储运罐2顶部连接有带氮气进气阀6的氮气进气管5和带氮气出气阀7的氮气出气管4，恒温箱1上有温度数显仪表3，氮气进气管4一端插入高纯度三氯氧磷储运罐2的底部，另一端连接有氮气阀8。
 恒温箱1依靠空气作为热交换介质，需恒定温度的精确度在0.3℃、均匀度在0.5℃，箱体上开多个恒温部分与外界连接的孔（用于氮气的进出），并做到管道连接后管道与箱体完全密封。恒温箱1按照电池片扩散设备的不同可设计为一桶装恒温箱、两桶装恒温箱和多桶装恒温箱。
高纯度三氯氧磷储料罐2材质为进口高纯PFA,耐腐蚀、耐撞击、耐磨损、耐高温，容积按实际使用情况分为5L、10L、20L等不同规格，高纯度三氯氧磷储料罐2顶部分布有出气口、进气口、以及口径稍大的装料口，进气口在高纯度三氯氧磷储料罐2内的氮气出气管4伸至高纯度三氯氧磷储料罐2的底部，进出气口均配有纯PFA安全阀门，防止物料泄漏并方便安装管道。高纯度三氯氧磷储料罐2通过联合国UN组织安全认证，可保证运输的安全性，高纯度三氯氧磷储料罐2外部配有高强度硬质带盖塑料桶。
以某太阳能厂家使用为例。
高纯度三氯氧磷储运罐2在高纯度三氯氧磷供应方厂家完成灌装并安全运送到高纯度三氯氧磷使用方厂家。
高纯度三氯氧磷储运罐2与使用系统连接：
将高纯度三氯氧磷储运罐2放置入恒温箱1内，通过高纯度三氯氧磷储运罐2上的氮气进气阀6连接氮气进气管4（氮气进气管4另一端连接氮气阀8）、氮气出气阀7连接氮气出气管5（氮气出气管5另一端连接到扩散炉）。
打开氮气出气阀7、氮气进气阀6，然后开启恒温箱1的恒温系统，将温度设置在20℃，通过温度数显仪表3观察箱内温度直至温度恒定在20℃后，打开本系统所连接的氮气阀8即可进行使用。
连续使用5个月后，电池片的方块电阻、均匀度、转换效率等指标均优于现行标准。使用厂家通知供应方更换物料，供应方运送下一批次物料至使用厂家，更换物料，回收包装物。
此过程使用厂家不需要设危化品仓库。
针对石英源瓶和不锈钢压力储罐存在安全、繁琐、高成本等问题，高纯三氯氧磷安全供料系统将以它全面的优势取代传统的电池片磷源供料装置。
由于本实用新型采用了上述高纯度三氯氧磷储运和使用方式，与石英源瓶使用方式和不锈钢压力使用方式比较，优点具体如下：1、安全：避免了石英源瓶在更换和使用过程中出现的源瓶破裂，瓶内高纯度三氯氧磷遇水产生的爆炸危险，极大提高了高纯度三氯氧磷使用过程中的安全性。2、高效：避免了频繁更换石英源瓶，增强了操作系统的连续性，简化操作、减少劳动强度；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险。3、节约：极大地减少了高纯度三氯氧磷使用方的生产、维护成本和高纯度高纯度三氯氧磷供应方的物流成本。4、提高了工艺稳定性：温度对电池片磷源扩散效果影响最大，精密恒温箱0.3℃的精准控温和高纯度三氯氧磷储运罐2大体积空间对扩散温度具有更优的恒温效果，确保工艺的稳定性。

Claims (2)

1.一种高纯度三氯氧磷安全供料系统，其特征是：恒温箱内的高纯度三氯氧磷储运罐连接有氮气进气管和氮气出气管，恒温箱上有温度数显仪表。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷安全供料系统，其特征是：氮气进气管一端插入高纯度三氯氧磷储运罐的底部，另一端连接有氮气阀。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103032671A (zh) * 2012-11-29 2013-04-10 宜兴市昌吉利化工有限公司 一种烷基锂包装钢瓶
WO2014201996A1 (zh) * 2013-06-19 2014-12-24 Xiang Dong 高纯度三氯氧磷安全供料系统
CN115978430A (zh) * 2021-10-16 2023-04-18 非视觉污染分析科学技术有限公司 化学品压力容器

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Assignee: Guiyang Jingyi Technology Co., Ltd.

Assignor: Xiang Dong

Contract record no.: 2014520000013

Denomination of utility model: High-purity phosphorus oxychloride safely feeding system

Granted publication date: 20121121

License type: Exclusive License

Record date: 20140603

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EC01 Cancellation of recordation of patent licensing contract
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Assignee: Guiyang Jingyi Technology Co., Ltd.

Assignor: Xiang Dong

Contract record no.: 2014520000013

Date of cancellation: 20171226

IW01 Full invalidation of patent right
IW01 Full invalidation of patent right

Decision date of declaring invalidation: 20200210

Decision number of declaring invalidation: 43319

Granted publication date: 20121121