CN115978430A - 化学品压力容器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于容易处理供应至检测晶片等的污染度的分析仪的化学品和纯净水等工序化学物质的化学品压力容器，具体地提供一种化学品压力容器，其使用由金属元素产生的污染较少的氟材料，以避免来自高反应性化学物质的工序污染，并且，在高压下不存在破损、变形、漏气等问题，且提高结构安全性。

Description

化学品压力容器

技术领域

本发明涉及一种化学品压力容器，为了检查空气、化学气体、液体和半导体基板等的污染度，而将含有化学品(chemical)和纯净水(DIW)等工序化学物质的储存液单独储存并保管，并提供至分析仪或晶片等，所述储存液的保管前或后，迅速清洗/稀释容器内部，减少污染发生，能够顺利移送高纯度储存液，具体涉及如下的化学品压力容器，由几乎没有金属污染源的材料的容器和盖制成，即使因吹扫气体等而容器内部的压力发生变化，也能够保持密封状态。

背景技术

一般的半导体晶片制造工序包括各种工序，每道工序都要对半导体设备或晶片表面进行金属异物检查，测定其金属含量，分析晶片等的金属异物的污染程度。

尤其，在半导体器件制造中用作基板的硅晶片，在晶片制造和半导体器件制造过程中由于受到硅晶片的表面和内部所含的铁、铜、铝、镍等金属异物的污染，性能受到很大影响。即，即使在半导体制造工序中存在微量的这样的金属异物，也会对特性造成很大影响，严重时整个半导体装置不能发挥其功能，而需要废弃整个半导体装置，导致半导体装置整体的收率降低等问题。因此，为了提高半导体器件的特性，将异物的含量抑制得尽可能低是很重要的，而作为抑制异物的量的前提，必须准确地测量和分析这种异物的浓度。

对于这样的测定或分析，分析设备等不仅需要ICP-MS等分析仪，还需要将液体试样或化学品、DIW等储存液暂时储存并保管在内部，并在需要时提供给分析仪或晶片侧的容器，这种容器应能承受容器内部的压力环境，还不会造成污染等额外问题。

通常，对于工业压力容器，为了在内部压力下保持高刚性，使用能够承受加压工序的金属或金属合金，例如Fe、Ni、Al、Cu、Cr等。但是，半导体工序和污染分析中使用的化学品具有非常高的化学反应性，因此可能在装置或工序容器中导致额外的金属或金属合金腐蚀，由此背景污染物被添加到用于确认半导体设备或晶片表面污染的分析用试样中，导致分析结果不可靠的问题。为了防止这种背景污染，传统的压力容器有时会在内部使用耐化学性材料内衬，但在这种情况下，内衬形成和维护的负担增加，难以避免周围化学烟雾引起的外部腐蚀导致的污染以及耐久性下降等问题。

发明的内容

发明要解决的技术问题

本发明是鉴于这种问题提出的，本发明的目的在于提供一种化学品压力容器，其使用耐腐蚀性、耐化学性特性的氟树脂材料，形成耐压力和密封力优秀的结构的化学品压力容器，减少高反应性化学品或DIW等各种工序化学物质引起的污染/损坏，防止试样受到污染，提高分析率。

并且，本发明的目的在于提供一种化学品压力容器，其在用于测定和分析的内部储存液的保管前或后，迅速清洗/稀释容器内部，减少污染发生，能够顺利移送高纯度储存液。

用于解决问题的技术方案

为了解决所述技术问题，本发明一实施例的化学品压力容器是用于储存并移送供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置的储存液的化学品压力容器，包括：容器本体部，提供用于收纳含有试样或工序化学物质的储存液的内部空间；及盖部，覆盖所述容器本体部，以封闭所述内部空间；出入部件，设置在所述盖部或容器本体部，将储存液引入所述容器本体部的内部空间；固定部件，用于将所述盖部和容器本体部相互结合并固定，所述容器本体部和盖部由氟树脂形成，以对所述储存液具有耐化学性或耐腐蚀性。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器中，所述出入部件包括：第一管线，用于将含有试样或工序化学物质的储存液供应至所述容器本体部的内部空间；以及第二管线，用于向所述容器本体部的内部空间供应惰性气体，所述容器本体部的内部空间中储存的储存液通过所述惰性气体产生的内部压力供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置，或者排出到压力容器的外部。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器中，所述出入部件还包括用于将所述容器本体部的内部空间中储存的储存液供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置的汲取管，所述汲取管可以具有一端处于浸渍在所述储存液的状态。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器中，所述容器本体部是用于承受所述惰性气体产生的内部压力的结构，由所述盖部封闭的部分的面积可以形成为小于内部空间的截面积。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器中，所述容器本体部可以在底部设有用于排出所述储存液的排出部或者在上部一侧设有溢流排出部，以对内部空间进行清洗。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器中，还包括密封部件，其安装在所述盖部与所述容器本体部之间的槽，执行密封功能，所述密封部件由氟树脂材料形成并具有四边形截面形状。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器中，所述固定部件可以具有由聚醚醚酮(PEEK，Polyether ether ketone)材料制成的螺栓-螺母结构。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器中，所述螺母可以具有插入并布置在形成于所述容器本体部的外壁的凹槽的结构。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器的流体移送方法中，所述化学品压力容器用于储存并移送供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置的储存液，所述化学品压力容器的流体移送方法包括：储存液保管步骤，通过第一管线，将含有试样或工序化学物质的储存液引入并保管至化学品压力容器的内部空间；及移送步骤，通过第二管线，将惰性气体供应至化学品压力容器的内部空间，从而将所述储存液供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置，或者排出到压力容器的外部。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器的流体移送方法中，所述移送步骤可以以汲取管的一端浸渍在所述储存液的状态执行，其中汲取管用于将所述容器本体部的内部空间中储存的储存液供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器的流体移送方法中，所述储存液保管步骤之前或移送步骤之后还包括：用于清洗所述化学品压力容器的清洗步骤，所述清洗步骤包括：排出步骤，通过设置在化学品压力容器的底部的排出部排出残留储存液或洗涤液；或者，溢流排出步骤，将残留储存液或洗涤液稀释，并通过设置在化学品压力容器的上部的溢流排出部排出。

发明的效果

根据如上所述的解决问题的技术方案具有如下效果，本发明的化学品压力容器由几乎没有金属污染源的氟树脂材料制成，在内部压力环境下也能够稳定保管含有化学品、DIW等工序化学物质的储存液，减少背景污染。

并且，本发明使用了耐化学性和耐腐蚀性突出但由于柔软的特性不适合用于压力容器的氟树脂，将其形成为可以承受内部压力的结构，从而具有减少传统金属或金属合金的压力容器中发生的背景污染的效果。

并且，本发明在用于测定和分析的内部储存液的保管前或后，迅速清洗/稀释容器内部，减少污染发生，能够顺利移送高纯度储存液，从而具有提高分析仪的可靠性和使用性等的效果。

应当理解，本发明的效果不限于上述效果，而是包括可以从本发明的具体说明或权利要求书中记载的本发明的构成推断的所有效果。

附图说明

图1为本发明一实施例的化学品压力容器的整体立体图。

图2为显示本发明一实施例的化学品压力容器的盖部和出入部件的附图。

图3为设计成能够承受内部压力的结构的化学品压力容器的容器本体部的剖视图。

图4为本发明一实施例的化学品压力容器中设有汲取管的使用状态图。

图5为显示本发明一实施例的化学品压力容器的密封结构的附图。

图6为显示本发明一实施例的化学品压力容器中固定部件的结合状态的剖视图。

图7为显示本发明一实施例的化学品压力容器中固定部件的具体结构的附图。

具体实施方式

下面参照附图对本发明进行说明。但是本发明可以以各种不同的形式实施，因此并非限于在此说明的实施例。

在整篇说明书中，当一个部件与另一个部件“连接(connected、contacted、coupled)”时，它不仅包括“直接连接”，而且还可以包括通过介于其间的另一个部件“间接连接”的情况。此外，当一个部件“包括”另一个部件时，未作另外说明的，并非排除其它构成要素，还可包括其它构成要素。

本说明书中所用术语仅用于说明具体实施例，并非用于限制本发明。除非上下文另有明确规定，否则单数表达包括复数表达。在本说明书中，“包含”或“具有”等用语是指存在说明书中记载的特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或它们的组合，但并不排除一个或多个其他特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或它们的组合的存在以及附加可能性。

本发明涉及一种化学品压力容器，为了检查晶片等的污染度，而将试样或含有化学品、DIW(deionized water，纯净水)等工序化学物质的储存液储存并保管在内部，并供应至分析仪或晶片等，提供一种化学品压力容器，其由几乎没有金属元素引起的污染源的氟材料制成，以防止半导体工序和清洗等过程中使用的高反应性工序化学物质的工序污染。所述化学品压力容器可以用于测定装置或分析装置、工序处理装置等装置的内部构成模块。

使用所述化学品压力容器，可以将供应至分析仪等的含有DIW、化学品等工序化学物质的储存液稳定保管在化学品压力容器，并供应至分析仪等。即，在工序路径上设置化学品压力容器，以防止在供应至分析仪等的工序化学物质的移送过程中发生额外的背景污染，从而将所述工序化学物质稳定提供至分析仪等，可以在压力容器的使用前或后顺利进行反复稀释/洗涤，储存或提供高纯度工序化学物质。

首先，介绍用于描述本发明一实施例的化学品压力容器的各附图，图1为用于说明本发明一实施例的化学品压力容器的整体结构的外观的立体图，本发明的化学品压力容器设置在分析设备的内部空间等，在内部稳定保管储存液，根据需要基本上可以执行分析仪等的其他部件的功能。

图2为显示本发明一实施例的化学品压力容器的盖部和出入部件的附图，图2的(a)图示化学品压力容器的上部，图2的(b)是俯视图。各个出入部件可以与用于试样或化学品、DIW等的流动的配管管线连接。

图3为设计成能够承受内部压力的结构的化学品压力容器的容器本体部的剖视图，以图2的(b)所示的A-A为基准图示了剖视图，将在容器本体部设置的固定部件的凹槽和溢流排出部、传感器安装部等的示例性具体结构一起示出。

图4为本发明一实施例的化学品压力容器中设有汲取管的使用状态图，以图2的(b)所示的A-A为基准图示了剖视图，将压力容器的内部结构和汲取管的结合布置关系一起示出。

图5为显示本发明一实施例的化学品压力容器的密封结构的附图，图5的(a)为显示容器本体部与盖部之间设置密封部件来加压结合的结构的剖视图，图5的(b)为用于说明密封部件的上下部结构的俯视图。

图6为显示本发明一实施例的化学品压力容器中固定部件的结合状态的剖视图，用于描述固定部件的具体布置结构和结合关系，图6的(a)为图6的(b)的C-C基准平面剖视图，图6的(b)为图6的(a)的B-B基准垂直剖视图。

图7为显示本发明一实施例的化学品压力容器中固定部件的具体结构的附图，与外部立体图和垂直平剖视图一并示出。

具体观察本发明的构成和结构，如图1至图6所示，本发明一实施例的化学品压力容器100大致包括盖部10、出入部件20、容器本体部30、固定部件40。

所述盖部10是封闭打开的容器本体的上端部并保持化学品压力容器的密封力的盖。

所述出入部件20是用于使流体可以被移动并控制的一个或多个端口，可以根据需要或目的改变端口的数量。

所述容器本体部30是具有能够用于储存含有化学品、DIW等工序化学物质的储存液的内部空间的压力容器，由具有耐化学性/耐腐蚀性的氟材料制成。所述容器本体部在本发明的附图中以圆柱形图示，但并不限于此。

所述固定部件40是用于固定容器本体部和盖部以承受高压的固定单元，优选地，可以具有螺栓-螺母结构。本发明一实施例中，使用金属污染源少且能够满足内部压力的材料制作螺栓和螺母来进行固定。

接着，描述本发明一实施例的化学品压力容器中所述盖部和出入部件的具体形状，本发明一实施例的所述盖部10是位于容器本体部的上部而使得化学品压力容器保持密封状态的盖，如图2所示，形成为与压力容器的容器本体部上部的形状对应的形状，并且，优选地形成为具有规定厚度的形状，以确保刚性。

在所述盖部10的外围设置有一个或多个用于放置固定部件的放置槽，用户可以考虑密封效率，而任意调整固定部件和放置槽的数量。

本发明一实施例的化学品压力容器中，所述盖部10由污染可能性低的氟树脂制成，以与用于化学品、DIW供应、分析仪或其他设备供应、惰性气体供应等的管路连接。作为这种氟树脂的例包括聚四氟乙烯(PTFE，Polytetrafluoroethylene)、全氟烷氧基(PFA，Perfluoroalkoxy)、氟化乙烯丙烯(FEP，Fluorinated ethylene propylene)、乙烯三氟氯乙烯(ECTFE，Ethylene Chlor Trifluoro Ethylene)等，考虑到材料的供需以及加工性等方面，优选使用聚四氟乙烯(PTFE，Polytetrafluoroethylene)。

本发明一实施例的化学品压力容器中，所述出入部件20是指与所述盖部10中的容器本体部连通而移送/排出流体的一个以上端口，可以使用与盖部一体形成而永久固定，或者与盖部组装结合而可拆卸固定的结构等。

所述出入部件20可以包括用于移送化学品、DIW等液体的端口、用于将所述液体排出至容器本体部外而提供压力源(气体)的端口、用于执行吹扫操作而所需的阀以及其他结构要素。并且，所述阀可以使用手动阀，也可以使用自动阀，例如气动、液压、电磁等，优选地通过控制部，以符合相应工序的方式控制打开/关闭或流量。

具体地，本发明一实施例中，所述出入部件20可以区分使用用于供应化学品和/或DIW等工序化学物质的第一管线21、用于供应吹扫操作所用的惰性气体的第二管线22、与分析仪或晶片扫描设备、外部设备等连接的第三管线23，还可包括用于移送并控制其余工序化学物质的出入部件。

所述出入部件优选由耐化学性、耐腐蚀性材料制成，优选地可以使用氟树脂。

进而，本发明一实施例的化学品压力容器中，参照图3说明所述容器本体部30的具体形状，所述容器本体部30可以包括储存罐31、容器上端部32、容器下端部33、排出部34、溢流排出部35、传感器安装部36等。

本发明一实施例中，将含有化学品、DIW等的储存液供应至分析仪或晶片扫描设备、其他设备前或后包括：从设备内部路径或储存罐等中去除或稀释金属污染源或残留化学品等的工序；为了将提供并保管在压力容器的试样等的含有高纯度工序化学物质的储存液供应至分析仪等，而向本发明的化学品压力容器的上部提供纯化的高纯度氮气(PN2)来执行吹扫功能，将储存液供应至分析仪等的工序；排出储存液的工序等。此时，若PN2气体注入压力容器，则压力容器内部的压力上升，因此需要设计成能够承受内部压力，氟材料本身因为柔软的特性而难以用作压力容器，因此需要这方面的技术方案。

本发明考虑氟材料因柔软的特性而不适合用作压力容器的问题，如图3所示，形成上端入口的开放面积减少的结构，即锥形结构，以减少内部压力的影响。即，使得与盖部组装的压力容器上端部部分的截面积减少，从而能够形成减少支撑由容器内的压力产生的膨胀排斥力的负担的结合结构。

使用所述一实施例进行具体说明，所述容器本体部30中，储存罐31具有圆柱形状，以能够承受压力，并具有内部空间，以储存含有化学品、DIW、其他工序化学物质的储存液。并且，作为所述储存罐的上部的容器上端部32具有越向与盖部接触的上部，其内壁倾斜且开放面积变窄的结构，以减少内部压力的影响。

设计成如上所述的结构的氟树脂的化学品压力容器即使不使用传统的金属或金属合金，也可以形成能够承受内部压力的刚性结构。

用于所述容器本体的材料的氟树脂包括聚四氟乙烯(PTFE，Polytetrafluoroethylene)、全氟烷氧基(PFA，Perfluoroalkoxy)、氟化乙烯丙烯(FEP，Fluorinated ethylene propylene)、乙烯三氟氯乙烯(ECTFE，Ethylene Chlor TrifluoroEthylene)、聚乙烯四氟乙烯(ETFE，polyethylenetetrafluoroethylene)、聚偏二氟乙烯(PVDF，Polyvinylidene fluoride)、聚氯三氟乙烯(PCTFE，Polychlorotrifluoroethylene)等，优选使用四氟乙烯(PTFE，Polytetrafluoroethylene)。

所述容器下端部33优选具有向下部变窄的漏斗形状，以便于收集储存液、异物等，所述容器下端部33的底部可以设置有用于排出含有化学品、DIW等的储存液、异物等的排出部34。

所述溢流排出部35位于所述储存罐的上端一侧，可以与单独的管等排出流路连接。需要清洗储存罐或稀释储存液时，可以通过所述溢流排出部使得储存液，清洗液等溢流排出，主要用于洗涤等非分析工序过程中，也可用于测定或分析工序中用于稀释处理等。

所述传感器安装部36是用于安装至少一个用于检测储存罐内侧液体量、温度等的传感器的结构。例如，所述传感器安装部36可以包括用于获知水位的水位传感器，虽然图示在附图中下端一侧，但根据传感器的种类和方便，可以改变位置或添加数量。所述水位传感器可以包括金属或非金属浮动式传感器、不连续或连续式超声波液位传感器、连续或不连续式热传感器、电容和/或电导式液位传感器、基于射频的液位传感器和其他类似的内部液位传感器，或设置在容器上或化学物质移送管线周围的外部传感器，例如秤、负载计、外部超声波或热传感器，以及用于检测低液位的其他类似装置。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器可以通过汲取管25将储存在容器本体部内的含有化学品、DIW等的储存液移送至分析仪或扫描设备、外部设备。

所述汲取管25是一侧延伸至容器本体下端而永久或拆卸式附着的金属或非金属管，汲取管的另一侧与连接至分析仪的管线连接，或者与晶片扫描设备、单独的其他设备管路合并来流动。所述汲取管的长度没有特别限制，但需要充分进入储存罐31的储存液，以便于储存罐内部液体顺利引入和流动，通过调节汲取管的一侧与容器本体部的底部或排出部34隔开的位置或高度程度，具有可以限制储存液的移送中混入残留污染物、异物等的优点。

即，本发明可以形成为单独使用或共用设置在容器本体部的底部的排出部34，来将所述储存液等移送至分析仪等的结构，或者如上所述，优选地形成为使用汲取管的移送结构，以限制残留污染物、异物等混入。

为了使用所述汲取管移送本发明的化学品压力容器内部所储存的工序化学物质，在与外部罐连接的出入部件需要用于吹扫工序的惰性气体。所述惰性气体可以使用氮气、二氧化碳气体、氩气等，也可以使用对相应化学品为惰性的其他气体。

随着惰性气体供应至容器本体部，压力容器的压力上升，随着集中在压力容器上端部的惰性气体推动下部的储存液，压力容器中储存的储存液引入汲取管并流动。可以通过调节供应至储存罐内部的惰性气体的吹扫量、时间等来适当地控制内部压力，以调节引入所述汲取管并流动的储存液的流量，通过这种内部压力的调节，可以将所需流量的储存液移送至分析仪或其他设备。另一方面，残留在容器本体部下端的液体通过排出部34排出。

与直接接触储存液以引起储存液流动的泵流动方式相比，这种使用惰性气体的储存液的移送结构具有降低储存液污染可能性、减少流动启动延迟、限制化学品等对泵的损坏等的优点。

下面，进一步具体说明使用所述汲取管将流体移送至外部的过程。通过与外部结构连接的第一管线21，试样或化学品或DIW等工序化学物质移送至容器本体部30，作为储存液储存到本发明的容器本体部。

此时，通过传感器安装部36中包括的液位传感器，确认液位等级，当容器本体部满足适当液位时，吹扫工序所需的信号传递至吹扫控制器和/或操作人员。容器本体部内填充满含有污染物质、化学品、DIW等的储存液时，用于移送、控制惰性气体的第二管线22引入惰性气体(PN2)以执行吹扫工序。当容器本体部内部充分加压时，惰性气体(PN2)通过汲取管25将储存液推至第三管线23的出口，并移送至分析仪或晶片扫描设备、外部设备等。将储存液充分移送至分析仪和/或外部设备后，容器本体部中残留的残留储存液通过下端的排出部34排出。

接着，本发明一实施例中，容器本体部30或移送管线等中残留的各种污染物质、化学品等的清洗过程如下。通过与外部结构连接的出入部件，DIW等的洗涤液移送至容器本体部30。洗涤液的液位充足时，停止并保留供应洗涤液，或者通过排出部34排出洗涤液，通过反复执行这种过程来清洗容器本体部和移送管线等。

并且，还可以使用设置在储存罐31的上部的溢流排出部35来进行稀释方式的清洗。即，溢流排出部35开放的状态下，向容器本体部30按照规定流量或时间、周期引入清洗液，通过稀释方式对容器本体部或移送管线进行清洗。

将这种本发明一实施例的化学品压力容器与分析仪一起连接在半导体制造管线等的产业工序中间路径时，具有如下改善的效果：在相应的工业工序中提取的试样中所含的各种污染物质、化学品等的分析工作或相应分析工业工序中使用的管路和设备中的各种污染物质、残留化学品等的分析工作明显更容易，分析前后的清洗变得更容易，保持晶片制造过程中的清洁度，提高污染分析的可靠性等。

另一方面，本发明一实施例的化学品压力容器设置有密封部件45，以能够防止杂质流入并保持高压。所述密封部件45放置在拆卸附着的盖部10与容器本体部30之间的槽，起到密封功能，以防止化学烟雾或惰性气体等泄漏(leak)。

如图5所示，所述密封部件可以使用四边形截面形状的环部件，并具有用于提高密封功能的附加结构。例如，所述密封部件可以具有上下接触面附加形成有突起46的结构，在加压状态下，盖部与容器本体部之间压缩，压缩量与突起高度对应，从而具有提高密封力的效果。

所述密封部件可以使用高纯度氟树脂材料制成，在此情况下，具有污染度低于制造工序中金属污染可能性高的一般的O型环的优点。

接着，参照图6描述本发明一实施例的化学品压力容器的内部结合结构。

本发明的化学品压力容器需要设计成能够承受规定的内部压力(例如，0Mpa至0.5Mpa的压力)，以使用惰性气体移送内部储存液，并且为了限制储存液的化学成分等的腐蚀可能性，盖部和容器本体部由氟树脂制成，在此情况下，因为氟树脂材料的柔软的特性，而盖部和容器本体部的牢固结合需要单独的技术手段。即，例如，在容器本体部30进行用于螺栓固定的攻丝加工(tapping)时，丝由于刚性降低而难以固定，还存在损坏的危险。

考虑到这种问题，本发明中使用聚醚醚酮(PEEK，Polyether ether ketone)材料的螺栓41和螺母42，使得盖部和容器本体部相互结合来固定，具有耐化学性、耐腐蚀性，金属污染较少，提供能够充分承受内部压力的拉伸结合力。这种PEEK材料的固定部件在盖部和容器本体部受压时不会变形，起到牢固固定的效果。

本发明一实施例中，为了螺栓-螺母紧固，而盖部和容器本体部的上端形成为沿水平方向局部扩张的法兰结构，优选地，具有PEEK材料的螺母42插入于以规定间隔形成在容器本体部的外壁内部的凹槽37的结构。

所述螺母与贯通盖部和容器本体部插入的螺栓紧固，由此形成盖部和容器本体部的牢固结合结构，像这样，具有凹槽37中以内入方式设置固定部件的螺母的结构，对容器本体部的上部开放部或密封部件在更靠近的位置提供固定结合力，除了凹槽之外的剩余部分提供提高容器本体部的刚性的效果。

本发明的所述一实施例中，固定部件示出了6个，但根据需要可以适当增减数量。

并且，本发明一实施例的化学品压力容器的下部或任一侧面等可以设置结合凹凸部，以提供至分析设备等的内部结构时实现稳定结合。即，本发明的化学品压力容器可以通过所述结合凹凸部，狭窄的空间也可以容易组装结合至分析设备等的内部结构。

所述结合凹凸部的具体结构不限于所述实施例，可以根据需要改变位置和形状，可以额外提供单独的紧固结构或提供单独的紧固结构作为替代。

此外，上述对本发明的描述是仅仅是为了说明，本发明所属领域的普通技术人员将理解，在不改变本发明的技术精神或本质特征的情况下，可以容易地修改为其他具体形式。因此，应理解，上述实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。例如，描述为单一类型的各结构要素可以实现为分布式或划分式，类似地，描述为分布式或划分式的结构要素也可以在本领域普通技术人员的范围内以组合形式实现。此外，方法的步骤可以单独执行多次，也可以与至少一个其他步骤组合执行多次。

本发明的范围由所附权利要求书表示，凡从权利要求书及其等同物推出的所有变更或修改均应理解为包含在本发明的范围内。

Claims (11)

1.一种化学品压力容器，其为用于储存并移送提供给分析仪或晶片扫描设备、外部装置的储存液的化学品压力容器，其特征在于，

包括：

容器本体部，提供用于收纳含有试样或工序化学物质的储存液的内部空间；以及

盖部，覆盖所述容器本体部，以封闭所述内部空间；

出入部件，设置在所述盖部或容器本体部，将储存液引入所述容器本体部的内部空间；

固定部件，用于将所述盖部和容器本体部相互结合并固定，

所述容器本体部和盖部由氟树脂形成，以对所述储存液具有耐化学性或耐腐蚀性。

2.根据权利要求1所述的化学品压力容器，其特征在于，

所述出入部件包括：

第一管线，用于将含有试样或工序化学物质的储存液供应至所述容器本体部的内部空间；以及

第二管线，用于向所述容器本体部的内部空间供应惰性气体，

所述容器本体部的内部空间中储存的储存液通过所述惰性气体产生的内部压力供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置，或者排出到压力容器的外部。

3.根据权利要求2所述的化学品压力容器，其特征在于，

所述出入部件还包括用于将所述容器本体部的内部空间中储存的储存液供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置的汲取管，所述汲取管的一端以浸渍在所述储存液的状态配置。

4.根据权利要求2所述的化学品压力容器，其特征在于，

所述容器本体部为用于承受所述惰性气体产生的内部压力的结构，由所述盖部封闭的部分的面积形成为小于内部空间的截面积。

5.根据权利要求2所述的化学品压力容器，其特征在于，

所述容器本体部在底部设有用于排出所述储存液的排出部或者在上部一侧设有溢流排出部，以对内部空间进行清洗。

6.根据权利要求1所述的化学品压力容器，其特征在于，

还包括密封部件，其安装在所述盖部与所述容器本体部之间的槽，执行密封功能，

所述密封部件由氟树脂材料形成并具有四边形截面形状。

7.根据权利要求1所述的化学品压力容器，其特征在于，

所述固定部件具有由聚醚醚酮材料制成的螺栓-螺母结构。

8.根据权利要求6所述的化学品压力容器，其特征在于，

所述固定部件的螺母具有插入并布置在形成于所述容器本体部的外壁的凹槽的结构。

9.一种化学品压力容器的流体移送方法，其中，所述化学品压力容器用于储存并移送供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置的储存液，所述化学品压力容器的流体移送方法特征在于，

包括以下步骤：

储存液保管步骤，通过第一管线，将含有试样或工序化学物质的储存液引入并保管至化学品压力容器的内部空间；及

移送步骤，通过第二管线，将惰性气体供应至化学品压力容器的内部空间，从而将所述储存液供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置，或者排出到压力容器的外部。

10.根据权利要求9所述的化学品压力容器的流体移送方法，其特征在于，

所述移送步骤以汲取管的一端浸渍在所述储存液的状态配置，其中汲取管用于将所述化学品压力容器的内部空间中储存的储存液供应至分析仪或晶片扫描设备、外部装置。

11.根据权利要求9所述的化学品压力容器的流体移送方法，其特征在于，

所述储存液保管步骤之前或移送步骤之后还包括：用于清洗所述化学品压力容器的清洗步骤，

所述清洗步骤包括：

排出步骤，通过设置在化学品压力容器的底部的排出部排出残留储存液或洗涤液；或者，

溢流排出步骤，将残留储存液或洗涤液稀释，并通过设置在化学品压力容器的上部的溢流排出部排出。

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