CN216483782U - 一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，包括连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出去口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表。本实用新型真空负压装置结构简单，操作方便，制造成本低，可用于特气管道的进行五项测试前的清洗、检漏预测试以及日常检修维护和清洗，填补了特气管道定期检修维护和清洗设备的空白。

Description

一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置

技术领域

本实用新型涉及特气输送技术领域，特别是一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置。

背景技术

特气（又称电子气体）是半导体、微电子、太阳能电池等高科技行业必不可少的耗材，被广泛用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、清洗等工艺的反应气或者载气。随着半导体和微电子技术的发展，对特气的纯度要求越来越高。为保证特气纯度，一方面需要提升特气纯度，目前气体纯化技术可制备8N-9N纯度的特气。另一方面特气需要通过特气管道输送至使用端，特气管道的洁净度和密封性，防止特气输送过程中的污染对保证特气纯度也至关重要。

特气管道的材质为不锈钢材质，在不锈钢炼制过程中，每吨不锈钢可吸收高达200g左右的气体，在管道成型过程中，不锈钢表面也会沾染颗粒等污物，这些吸附的气体和污物会污染在管道中流动的特气。此外不锈钢管道需要焊接，若焊口密封性不佳，空气也会渗透进管道污染特气。因此特气管道的清洗和密封性对于保证特气纯度至关重要。特气管道工程安装结束后，需要进行压力测试、氦检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试，当五项测试合格后，特气管道工程才被认定合格。特气管道在日常使用过程中，需要定期检修维护和清洗，目前尚无专用设备。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种结构简单，操作方便，制造成本低的用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置。

本实用新型采用以下方案实现：一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，包括连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出去口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表。

进一步的，所述连接管上旁接有与其连通的支管，真空压力表连接于支管端部。

进一步的，所述连接管、排空管和支管均采用EP级不锈钢管。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型真空负压装置结构简单，操作方便，制造成本低，可用于特气管道的进行五项测试前的清洗、检漏预测试以及日常检修维护和清洗，填补了特气管道定期检修维护和清洗设备的空白。

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下将通过具体实施例和相关附图，对本实用新型作进一步详细说明。

附图说明

图1是本实用新型实施例构造示意图；

图中标号说明：1-负压真空泵、2-截止球阀、3-真空压力表、4-排空球阀、5-连接管。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

如图1所示，一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，包括连接管5和负压真空泵1，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵1的出去口连接，所述连接管5上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀4，所述连接管上设有截止球阀2和真空压力表3；该真空负压装置结构简单，操作方便，制造成本低，可用于特气管道的进行五项测试前的清洗、检漏预测试以及日常检修维护和清洗，填补了特气管道定期检修维护和清洗设备的空白。

可检测外部气体是否漏入管道内：用此装置将特气管道内的气体压力抽至负压，进行保压测试，但特气管道的气密性不佳时，空气会渗入特气管道，导致真空压力表示数上升。如果特气管道气密性良好，则真空压力表示数不变。

可用于特气管道的清洗：用此装置将管道抽成负压，然后向管道中通入清洗气体（一般为高纯氮气），如此循环往复清洗特气管道中吸附的气体、水分以颗粒物。

在本实施例中，所述连接管上旁接有与其连通的支管，真空压力表连接于支管端部。

在本实施例中，所述连接管、排空管和支管均采用EP级不锈钢管。

本实用新型用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置使用方法如下：

1、用于检测外部气体是否漏入特气管道内：

（1）将真空负压装置与特气管道连接；

（2）关闭气源阀门；

（3）打开特气管道中所有阀门，保证气源阀门至真空负压装置所有管道畅通。

（4）打开真空负压装置的排空球阀；

（5）观察压力真空表，压力为1bar时关闭排空球阀；

（6）打开负压真空泵的电源；

（7）打开真空负压装置的截止球阀；

（8）观察压力真空表的压力，当真空压力表压力不再下降时，根据特气管道的长度，继续抽真空30-60分钟；

（9）关闭真空负压装置截止球阀；

（10）关闭负压真空泵；

（11）记录压力真空表的读数，保压24小时以上，压力真空表的读数不变为合格，压力上升为不合格。

2、用于特气管道的清洗：

（1）将真空负压装置与特气管道连接，关闭真空负压装置的排空球阀与截止球阀，打开负压真空泵电源；

（2）将清洗管道的高纯氮气连接在特气管道供气气源；

（3）打开管道中所有阀门，保证气源手阀至真空负压装置所有管道畅通；

（4）打开高纯氮气气源开关，调节高压调压阀、终端调压阀，保证输出压力为4bar左右，关闭高纯氮气气源开关；

（5）打开真空负压装置排空球阀，观察压力真空表的压力为1bar时关闭排空球阀；

（6）打开真空负压装置的截止球阀；

（7）观察压力真空表的压力，当压力不再下降时，再抽真空10分钟以上，关闭真空负压装置的截止球阀；

（8）打开高纯氮气气源开关，观察压力真空表的压力为4bar时，1分钟后关闭高纯氮气气源开关；

（9）重复5-8步操作10-15次；

（10）关闭特气管道与真空负压装置连接处的手阀；

（11）关闭负压真空泵电源；

（12）拆卸真空负压装置与特气管道的连接，管道清洗结束。

上述本实用新型所公开的任一技术方案除另有声明外，如果其公开了数值范围，那么公开的数值范围均为优选的数值范围，任何本领域的技术人员应该理解：优选的数值范围仅仅是诸多可实施的数值中技术效果比较明显或具有代表性的数值。由于数值较多，无法穷举，所以本实用新型才公开部分数值以举例说明本实用新型的技术方案，并且，上述列举的数值不应构成对本实用新型创造保护范围的限制。

本实用新型如果公开或涉及了互相固定连接的零部件或结构件，那么，除另有声明外，固定连接可以理解为：能够拆卸地固定连接( 例如使用螺栓或螺钉连接)，也可以理解为：不可拆卸的固定连接(例如铆接、焊接)，当然，互相固定连接也可以为一体式结构(例如使用铸造工艺一体成形制造出来) 所取代(明显无法采用一体成形工艺除外)。

另外，上述本实用新型公开的任一技术方案中所应用的用于表示位置关系或形状的术语除另有声明外其含义包括与其近似、类似或接近的状态或形状。

本实用新型提供的任一部件既可以是由多个单独的组成部分组装而成，也可以为一体成形工艺制造出来的单独部件。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非是对本发明作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本发明技术方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (3)

1.一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，其特征在于：包括连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出去口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表。

2.根据权利要求1所述的用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，其特征在于：所述连接管上旁接有与其连通的支管，真空压力表连接于支管端部。

3.根据权利要求2所述的用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，其特征在于：所述连接管、排空管和支管均采用EP级不锈钢管。

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