CN217881418U - 一种尾排管路结构及离子注入设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种尾排管路结构及离子注入设备，所述尾排管路结构至少包括：三通接头、尾排管、开关阀门。本实用新型通过三通接头和开关阀门的配合设计，使装置能够实现尾排管的快速替换，省去了需要进行尾气排放的装置在替换过程中需要进行的破真空操作，减少了替换尾排管的时间，提高了装置工作效率和便捷性。

Description

一种尾排管路结构及离子注入设备

技术领域

本实用新型属于半导体集成电路制造设备领域，特别是涉及一种尾排管路结构及离子注入设备。

背景技术

目前半导体行业发展迅速，对应的半导体加工设备应用也越来越广泛。大多半导体加工设备(例如离子注入器)需要进行尾气排放，而在工程师进行故障排除和定期维护时有时需要更换尾气排放管。而现有的尾气排放管的更换需要很长时间，需要尾气排放设备停机、停止生产，这一过程在故障排除时带来的损失是半导体生产过程中难以承受的，其所耗费的时间会大大降低半导体的生产效率。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种尾排管路结构及离子注入设备，用于解决现有技术中尾气排放管更换时间过长的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供以下技术方案：

第一方面，本实用新型提供一种尾排管路结构，所述尾排管路结构包括：三通接头、尾排管、开关阀门；所述三通接头包括初级三通接头和次级三通接头；所述尾排管包括第一尾排管；所述初级三通接头包括第一初级端口、第二初级端口和第三初级端口，所述第一初级端口与尾气排放设备连接，所述第二初级端口和所述第三初级端口均设有开关阀门；所述次级三通接头包括第一次级端口、第二次级端口和第三次级端口，所述第一次级端口与尾气处理设备连接，所述第二次级端口和所述第三次级端口均设有开关阀门；所述初级三通接头的第二初级端口与所述次级三通接头的第二次级端口相对设置以形成第一安装区，所述初级三通接头的第三初级端口与所述次级三通接头的第三次级端口相对设置以形成第二安装区，所述第一安装区及所述第二安装区中的至少其中之一安装有所述尾排管。

可选地，所述三通接头均与所述开关阀门通过卡扣进行密封连接；所述初级三通接头和所述尾气排放设备通过卡扣进行密封连接；所述次级三通接头和所述尾气处理设备通过卡扣进行密封连接。

可选地，所述开关阀门结构为球阀、挡板阀、翻板阀、蝶阀、隔板阀、针阀或插板阀中的一种。

可选地，所述开关阀门的驱动方式为手动驱动、电动驱动、电磁驱动、气动驱动或液压驱动中的一种或一种以上的任意组合。

可选地，所述三通接头为螺纹三通、卡套三通或承插三通中的一种。

可选地，所述三通接头的材质为碳钢、合金钢、不锈钢、铜或聚氯乙烯中的一种。

可选地，所述第一安装区及所述第二安装区中未安装所述尾排管的两端口设有盲板以将该端口密封。

可选地，所述第一尾排管设置为直管或弯管。

可选地，所述尾排管路结构还包括尾排处理设备，所述尾排处理设备包括尾排管道和清洁机，所述尾排管道与次级三通接头的第一次级端口连接。

第二方面，本实用新型提供一种离子注入设备，所述离子注入设备的尾气排放管路为上述任意一种尾排管路结构。

如上所述，本实用新型的尾排管路结构及离子注入设备，具有以下有益效果：

本实用新型通过三通接头和开关阀门的配合设计，使装置能够实现尾排管的快速替换，省去了需要进行尾气排放的装置在替换过程中需要进行的破真空操作，减少了替换尾排管的时间，提高了装置工作效率和便捷性。

附图说明

图1显示为现有技术中的尾排管路结构。

图2显示为本实用新型一示例中尾排管路的结构示意图。

图3显示为本实用新型一示例中尾排管路的结构示意图。

元件标号说明

11 初级三通接头

12 次级三通接头

21 第一尾排管

22 第二尾排管

31 开关阀门

32 卡扣

41 初级泵

51 尾排管道

52 清洁机

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

如在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示装置结构的示意图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

为了方便描述，此处可能使用诸如“之下”、“下方”、“低于”、“下面”、“上方”、“上”等的空间关系词语来描述附图中所示的一个元件或特征与其他元件或特征的关系。将理解到，这些空间关系词语意图包含使用中或操作中的器件的、除了附图中描绘的方向之外的其他方向。

在本申请的上下文中，所描述的第一特征在第二特征“之上”的结构可以包括第一和第二特征形成为直接接触的实施例，也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之间的实施例，这样第一和第二特征可能不是直接接触。

需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图1所示，现有的第一尾排管21在更换前，要依次隔离制冷泵(cryopump)、停止涡轮泵(turbopump)、停止初级泵41(roughpump)，对设备进行破真空操作，以使设备停止工作，不会继续排放尾气；在第一尾排管21更换后，其连接的初级泵41、涡轮泵、制冷泵要依次对设备内部空间进行抽气建真空操作，以使设备再次开始工作，还要进行试运行(rundummy)和颗粒物监测(particlemonitor)。这一过程一共需要大约七个小时，如果发生在项目预期以外的故障排查过程中将会带来巨大的损失。

实施例一

为解决上述问题，如图2-图3所示，本实用新型提供一种尾排管路结构，尾排管路结构包括：三通接头、尾排管、开关阀门(例如可以为真空阀门31)；三通接头包括初级三通接头11和次级三通接头12；尾排管包括第一尾排管21；初级三通接头11包括第一初级端口、第二初级端口和第三初级端口，第一初级端口与尾气排放设备连接，第二初级端口和第三初级端口均设有开关阀门；次级三通接头12包括第一次级端口、第二次级端口和第三次级端口，第一次级端口与尾气处理设备连接，第二次级端口和第三次级端口均设有开关阀门；初级三通接头11的第二初级端口与次级三通接头12的第二次级端口相对设置以形成第一安装区，初级三通接头11的第三初级端口与次级三通接头12的第三次级端口相对设置以形成第二安装区，第一安装区及第二安装区中的至少其中之一安装有尾排管。

本实用新型通过三通接头的设计，使尾气排放设备有备用的尾排管路通道，可以在第一尾排管21进行替换时保持工作状态，继续进行尾排而不需要停止工作，提高了更换尾排管的效率；开关阀门31的配合使用使替换第一尾排管21的过程中尾气不会泄漏，从而保证了替换尾排管的安全可靠性。

本实用新型工作时，在初级三通接头11的第三初级端口通过开关阀门31连接第二尾排管22的一端，次级三通接头12的第三次级端口通过开关阀门31连接第二尾排管22的另一端；第一尾排管21两端的开关阀门31关闭，同时第二尾排管22两端的开关阀门31打开；更换第一尾排管21。更换第一尾排管21后，第二尾排管22可以继续使用直到下一次更换，也可以关闭第二尾排管22两端的开关阀门31同时打开更换后的第一尾排管21的两端开关阀门31进行使用。

具体地，初级三通接头11和次级三通接头12仅用于区分不同部位设置的三通接头，不表示任何优先顺序等不同；第一初级端口、第二初级端口、第三初级端口、第一次级端口、第二次级端口、第三次级端口也仅用于区分连接不同部件的不同端口，不表示任何优先顺序或功能结构的不同；第一尾排管21用于表示需要被替换的尾排管，第二尾排管22用于表示在更换第一尾排管21期间替代第一尾排管21继续进行尾排的尾排管。

在另一示例中，用多通接头替换三通接头，多通接头可以同时连接n个尾排管，n为大于等于3的整数，以保证尾气排放装置在替换尾排管过程中尾气排放的正常进行，提高尾排管路结构的容错率。

作为示例，三通接头均与开关阀门31通过卡扣32进行密封连接；初级三通接头11和尾气排放设备通过卡扣32进行密封连接；次级三通接头12和尾气处理设备通过卡扣32进行密封连接。

具体地，卡扣32用于连接前后部件，起到密封接口作用，方便组装同时节约成本。优选地，卡扣32配合其螺钉的位置布局进行连接，以提高尾排管路连接强度和可靠性。

作为示例，开关阀门31结构为球阀、挡板阀、翻板阀、蝶阀、隔板阀、针阀或插板阀中的一种。

优选地，开关阀门31采用真空阀门，以保障设备的真空状态。

具体地，开关阀门31结构的选用根据尾气排放的排放标准选择不同漏率大小，根据尾气排放设备应用环境的温度选择适合的使用温度范围，根据排放尾气的种类选择不同抗腐蚀能力，根据尾气排放设备的空间需求选择不同体积。优选地，使用真空蝶阀，其漏率可以小于1.3×10^-7Pa·L/s，且结构简单、占用体积小。

作为示例，开关阀门31的驱动方式为手动驱动、电动驱动、电磁驱动、气动驱动或液压驱动中的一种或一种以上的任意组合。

优选地，采用电动、液动集成驱动的方法，使用电液执行器作驱动器，以实现快速响应、高精度控制、结构紧凑、易于维护等优良性能，提高尾排管路结构的可靠性和便捷性。

作为示例，三通接头为螺纹三通、卡套三通或承插三通中的一种。

具体地，选择不同的三通接头类型对应使用不同的卡扣32结构，以适应与其他部件的连接。

作为示例，三通接头的材质为碳钢、合金钢、不锈钢、铜或聚氯乙烯中的一种。

具体地，三通接头的材料根据排放尾气的温度、压力、腐蚀性和尾气排放环境选择。作为示例，当尾气中无腐蚀性气体时三通接头可采用铜或碳钢材料，当使用环境温度超过425°时三通接头的材料采用合金钢或不锈钢，当尾气腐蚀性强时使用聚氯乙烯材料。

作为示例，第一安装区及第二安装区中未安装尾排管的两端口设有盲板以将该端口密封。

具体地，盲板的设置可以进一步提高尾排管路密封保障，同时阻挡外界灰尘或其他干扰物质进入管道，以使更换管道时尾排管路的尾排性能不会受到明显影响。

具体地，不同形态的第一尾排管21根据不同的尾排管路安装空间进行设置。作为示例，当应用环境需要第一尾排管21有较大抗弯抗扭能力或对尾排管路结构的重量、材料使用量有较高要求时使用异型管。

作为示例，第一尾排管21设置为直管或弯管。

优选地，尾排管道51的形态选择与第一尾排管21材料选择一致。

作为示例，尾排管路结构还包括尾排处理设备，尾排处理设备包括尾排管道51和清洁机 52，尾排管道51与次级三通接头12的第一次级端口连接。

实施例二

本实用新型提供一种离子注入设备，离子注入设备的尾气排放管路为实施例一中任意一种尾排管路结构。

具体地，初级泵41对离子注入设备内部空间进行粗抽真空，涡轮泵对初级泵41处理过的离子注入设备内部空间进行进一步抽真空，制冷泵对涡轮泵处理过的离子注入设备内部空间进行再次抽真空，以保证离子注入设备内部空间的真空度达到设备运行标准。

在另一示例中，离子注入设备也可以为其他有真空工作环境要求且需要进行尾气排放的设备。

综上所述，本实用新型的尾排管路结构及离子注入设备，可以通过三通接头和开关阀门的配合设计，使装置能够实现尾排管的快速替换，省去了需要进行尾气排放的装置在替换过程中需要进行的破真空操作，减少了替换尾排管的时间，提高了装置工作效率和便捷性。

所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种尾排管路结构，其特征在于，所述尾排管路结构包括：三通接头、尾排管、开关阀门；

所述三通接头包括初级三通接头和次级三通接头；

所述尾排管包括第一尾排管；

所述初级三通接头包括第一初级端口、第二初级端口和第三初级端口，所述第一初级端口与尾气排放设备连接，所述第二初级端口和所述第三初级端口均设有开关阀门；

所述次级三通接头包括第一次级端口、第二次级端口和第三次级端口，所述第一次级端口与尾气处理设备连接，所述第二次级端口和所述第三次级端口均设有开关阀门；

所述初级三通接头的第二初级端口与所述次级三通接头的第二次级端口相对设置以形成第一安装区，所述初级三通接头的第三初级端口与所述次级三通接头的第三次级端口相对设置以形成第二安装区，所述第一安装区及所述第二安装区中的至少其中之一安装有所述尾排管。

2.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述三通接头均与所述开关阀门通过卡扣进行密封连接；

所述初级三通接头和所述尾气排放设备通过卡扣进行密封连接；

所述次级三通接头和所述尾气处理设备通过卡扣进行密封连接。

3.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述开关阀门结构为球阀、挡板阀、翻板阀、蝶阀、隔板阀、针阀或插板阀中的一种。

4.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述开关阀门的驱动方式为手动驱动、电动驱动、电磁驱动、气动驱动或液压驱动中的一种或一种以上的任意组合。

5.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述三通接头为螺纹三通接头、卡套三通接头或承插三通接头中的一种。

6.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述三通接头的材质为碳钢、合金钢、不锈钢、铜或聚氯乙烯中的一种。

7.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述第一安装区及所述第二安装区中未安装所述尾排管的两端口设有盲板以将该端口密封。

8.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述第一尾排管设置为直管或弯管。

9.根据权利要求1所述尾排管路结构，其特征在于：所述尾排管路结构还包括尾排处理设备，所述尾排处理设备包括尾排管道和清洁机，所述尾排管道与次级三通接头的第一次级端口连接。

10.一种离子注入设备，其特征在于，所述离子注入设备的尾气排放管路为权利要求1-8中任意一项所述的尾排管路结构。

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