CN216715874U - 一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置 - Google Patents
一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置，其包含吹扫气体进气管主路和由进气管主路一分为二的两条进气管支路；所述两条进气管支路分别为制程状态下和非制程状态下的进气管路；所述进气管主路和两条进气管支路的进气口处都安装有气动阀；所述非制程状态下的进气管支路还安装有节流阀。所述进气管主路进气口端与吹扫气体供气管道相连；所述两条进气管路的出气口端与干式真空泵相连。该干式真空泵吹扫气体流量切换装置可以有效控制非制程状态下吹扫气体的流量大小，从而大幅节省非制程状态下干泵吹扫气体的用量。因此，可以进一步降低基于干式真空泵的真空镀膜工艺制造成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备及干式真空泵技术领域，尤其涉及一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置。
背景技术
干式真空泵全称为无油干式机械真空泵，是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气去，泵腔内无油或其他工作介质，而泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
干式真空泵被广泛应用于一些容易产生微粒或者制程中含有腐蚀性气体的工艺中，而氮气吹扫作为泵本身的一种保护动作，它主要的功能就是辅助干泵将这些杂质排出泵外。在一些制程废气较多的工艺下，干泵氮气吹扫所需的氮气量也大，这就使得制造成本相应的上升。现有的干泵氮气吹扫技术受到单一的进气管路限制，无法调节进气量的大小，所以在许多情况下会造成氮气使用上的浪费，造成产品制造成本高。
发明内容
为了节约吹扫气体的用量，进一步降低基于干式真空泵的真空镀膜成本，实现新兴工艺产业化，提高行业竞争力，本实用新型提供一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置，所述干式真空泵吹扫气体流量切换装置包含吹扫气体进气管主路和由进气管主路一分为二的两条进气管支路；所述两条进气管支路分别为制程状态下和非制程状态下的进气管路；所述进气管主路和两条进气管支路的进气口处都安装有气动阀；所述非制程状态下的进气管支路还安装有节流阀。所述进气管主路进气口端与吹扫气体供气管道相连；所述两条进气管路的出气口端与干式真空泵相连；
进一步的，所述吹扫气体为氮气(N2)或氩气(Ar)中的至少一种；
进一步的，所述进气管主路是利用三通接头将进气管主路分成两条进气管支路；
进一步的，所述气动阀通断及节流阀调节都是通过软件根据制程状态和非制程状态的判断结果进而进行控制的。
和现有技术相比，本实用新型提供的干式真空泵吹扫气体流量切换装置的有益效果：
本实用新型采用将进气管主路分成两条进气管支路，分别作为制程状态下和非制程状态下的进气管路，分别为制程过程和非制程过程提供吹扫气体，可以大幅节省非制程状态下干泵吹扫气体的用量。因此，可以进一步降低基于干式真空泵的真空镀膜工艺制造成本。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型提供的干式真空泵吹扫气体流量切换装置的结构示意图；
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1所示，本实用新型提供一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置，其包含吹扫气体进气管主路1和由进气管主路1一分为二的两条进气管支路21和22；所述两条进气管支路22和21分别为制程状态下和非制程状态下的进气管路；所述进气管主路1和两条进气管支路22和21的进气口处都安装有气动阀11、22-1和21-1；所述非制程状态下的进气管支路21还安装有节流阀21-2。所述进气管主路1进气口端与吹扫气体供气管道相连；所述两条进气管路的出气口端22和21与干式真空泵3相连；
其中，所述吹扫气体为氮气(N2)或氩气(Ar)中的至少一种；所述进气管主路1是利用三通接头将进气管主路分成两条进气管支路21和22；所述气动阀11、22-1和21-1的通断及节流阀21-2的调节都是通过软件根据制程状态和非制程状态的判断结果进而进行控制的。
当在制程状态下，气动阀21-1关闭、气动阀22-1打开；在非制程状态下气动阀21-1打开、气动阀22-1关闭，并通过节流阀21-2控制调节非制程状态下吹扫气体的流量大小，从而节约非制程状态下吹扫气体的用量。因此，本实用新型提供的干式真空泵吹扫气体流量切换装置进一步降低基于干式真空泵的真空镀膜工艺制造成本。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置，其特征在于：所述干式真空泵吹扫气体流量切换装置包含吹扫气体进气管主路和由进气管主路一分为二的两条进气管支路；所述两条进气管支路分别为制程状态下和非制程状态下的进气管路；所述进气管主路和两条进气管支路的进气口处都安装有气动阀；所述非制程状态下的进气管支路还安装有节流阀；所述进气管主路进气口端与吹扫气体供气管道相连；所述两条进气管路的出气口端与干式真空泵相连。
2.根据权利要求1所述的干式真空泵吹扫气体流量切换装置，其特征还在于：所述吹扫气体为氮气(N2)或氩气(Ar)中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的干式真空泵吹扫气体流量切换装置，其特征还在于：所述进气管主路是利用三通接头将进气管主路分成两条进气管支路。
4.根据权利要求1所述的干式真空泵吹扫气体流量切换装置，其特征还在于：所述制程状态下的进气管路的气动阀在制程状态下打开，在非制程状态下关闭；所述非制程状态下的进气管路的气动阀在制程状态下关闭，在非制程状态下打开。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122483710.2U CN216715874U (zh) | 2021-10-15 | 2021-10-15 | 一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置 |
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Publications (1)
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| CN216715874U true CN216715874U (zh) | 2022-06-10 |
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Family Applications (1)
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| CN202122483710.2U Active CN216715874U (zh) | 2021-10-15 | 2021-10-15 | 一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN216715874U (zh) |
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2021
- 2021-10-15 CN CN202122483710.2U patent/CN216715874U/zh active Active
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