CN215745218U - 干式真空泵的吹扫系统 - Google Patents

Abstract

本申请属于真空泵技术领域，具体涉及干式真空泵的吹扫系统，包括用于提供压缩空气的气源、用于连通气源和干式真空泵的主管道和设于主管道上的电磁阀；电磁阀用于在所述真空泵运行时,控制压缩空气输送至所述干式真空泵中。本申请利用压缩空气吹扫干式抽真空泵，相较于利用惰性气体的传统吹扫方式，本申请能够降低使用成本。并且压缩空气中存在氧气，压缩空气能够使真空泵中的氧化物充分燃烧，从而减少泵内氧化物的堆积。电磁阀在干式真空泵运行时控制压缩空气输送到真空泵内部，压缩气体完成吹扫工作后，能够在干式真空泵自身的抽气作用下从排气口排出。在真空泵停止工作后，电磁阀阻止压缩空气进入到泵内，防止泵内有残留氧化物燃烧。

Description

干式真空泵的吹扫系统

技术领域

本申请涉及真空泵技术领域，具体涉及干式真空泵的吹扫系统。

背景技术

抽真空设备在光伏行业中应用较为广泛，由于光伏产品在生产过程中对真空环境的要求较高，干式真空泵因其具有无油润滑和对气体中的灰尘和水蒸气不敏感等特性，逐步取代油泵成为单晶炉主要的抽真空设备。

干式抽真空泵在工作过程中需要通入氩气或氮气等惰性气体，以吹扫出泵内的氧化物，避免泵内的机械结构被氧化物卡死。

由于氩气或氮气等惰性气体的成本较高，亟待研发一种新型的干式真空泵的吹扫系统，使该吹扫系统能够在不影响使用的前提下，降低使用成本。

发明内容

针对上述问题，本申请提供了一种干式真空泵的吹扫系统，吹扫系统利用压缩空气代替氩气或氮气等惰性气体吹扫干式真空泵，能够降低使用成本，提高经济性能。

本申请的方案如下：

干式真空泵的吹扫系统，包括：

气源，用于提供压缩空气；

主管道，用于连通所述气源和干式真空泵；

电磁阀，设于所述主管道上，用于在所述真空泵运行时,控制压缩空气输送至所述干式真空泵中。

优选的，所述主管道在所述电磁阀的上游安装有控制开关。

优选的，所述主管道在所述电磁阀的下游设有调压装置。

优选的，所述主管道通过支管连通至所述干式真空泵，所述支管包括连接至泵腔入口的第一支管、连接至油封入口的第二支管和连接至排气口的第三支管。

优选的，所述第一支管、第二支管和第三支管上均设有止逆阀。

优选的，所述第一支管在所述止逆阀的上游安装有调节阀。

优选的，所述干式真空泵通过抽真空管道连接单晶炉。

优选的，所述电磁阀与所述干式真空泵采用并联的方式接入电路。

优选的，所述电磁阀与所述干式真空泵的启闭通过空气开关控制。

优选的，所述空气开关为双匹空开。

本申请通过采用压缩空气气源，并在连接气源和干式真空泵的主管道上设置能够在真空泵运行时使压缩空气进入真空泵、在真空泵停止工作时阻止压缩空气进入真空泵的电磁阀，从而实现利用压缩空气作为吹扫气体对干式真空泵进行吹扫。本申请利用压缩空气吹扫干式抽真空泵，相较于利用惰性气体的传统吹扫方式，本申请能够降低使用成本。并且压缩空气中存在氧气，压缩空气能够使真空泵中的氧化物充分燃烧，从而减少泵内氧化物的堆积。电磁阀在干式真空泵运行时控制压缩空气输送到真空泵内部，压缩气体完成吹扫工作后，能够在干式真空泵自身的抽气作用下从排气口排出。在真空泵停止工作后，电磁阀阻止压缩空气进入到泵内，防止泵内有残留氧化物燃烧。

附图说明

图1为本申请的气路示意图；

图2为吹扫系统主视方向的结构示意图；

图3为电磁阀与干式真空泵的电路示意图。

图中，主管道1、控制开关2、电磁阀3、调压阀41、压力表42、第一支管51、第二支管52、第三支管53、调节阀6、止逆阀7、排气口8、电源输入端91、第一开关92、输入线路93、第二开关94、第三开关95。

具体实施方式

下面通过具体实施方式进一步详细的说明：

如图1和图2所示，本实施例提供了一种干式真空泵的吹扫系统，包括气源、用于连通气源和干式真空泵的主管道1、以及依次安装在主管道1上的控制开关2、电磁阀3和调压装置。在本实施例中，气源可选用制造压缩空气的空压机，也可选用储存有压缩空气的储气罐，调压装置为常见的调压阀41和压力表42。

在本实施例中，控制开关2优选用球阀开关，通过控制开关2可手动控制主管道1与空压设备的连通状态，在实际生产过程中，控制开关2常开。电磁阀3与干式真空泵同步运行。在干式真空泵工作过程中，电磁阀3能够控制主管道1往干式真空泵中输送压缩空气。相较于利用惰性气体的传统吹扫方式，本实施例中的压缩空气的价格较低，能够降低使用成本。并且压缩空气中存在氧气，压缩空气能够使真空泵中的氧化物充分燃烧，从而减少泵内氧化物的堆积。本实施例中的同步运行是指，当干式真空泵运行时，电磁阀3的阀门打开，使压缩空气能够沿主管道1流向干式真空泵；当干式真空泵停止工作时，电磁阀3的阀门关闭，阻止压缩空气在主管道1中流动。

在本实施例中，电磁阀3在干式真空泵运行时控制压缩空气输送到真空泵内部，压缩气体完成吹扫工作后，能够在干式真空泵自身的抽气作用下从排气口8排出。在真空泵停止工作后，电磁阀3阻止压缩空气进入到泵内，避免压缩空气经过干式真空泵进入到需要抽真空的容器中，并防止泵内有残留氧化物燃烧。

可以理解的是，本实施例中，为了实现利用压缩空气吹扫干式真空泵，在采用压缩空气气源的同时，考虑到压缩空气吹扫和惰性气体吹扫的不同，在连接压缩空气气源和干式真空泵的主管道1上设置了能够在真空泵运行时使压缩空气进入真空泵、在真空泵停止工作时阻止压缩空气进入真空泵的电磁阀3。

在本实施例中，主管道1通过三条支管连接干式真空泵，三条支管具体包括连接至泵腔入口的第一支管51、连接至轴封入口的第二支管52以及连接至排气口8的第三支管53。第一支管51、第二支管52和第三支管53上均设有止逆阀7，以防止压缩空气回流至主管道1中。为方便调节泵腔入口的气流量，在第一支管51上的止逆阀7上游还设有调节阀6。

如图3所示的电路图，电源输入端91通过第一开关92连接输入线路93，控制电磁阀3的第二开关94和控制干式真空泵的第三开关95以并联的方式连接到输入线路93上。电磁阀3与干式真空泵能够独立运行，在电磁阀3损坏后，干式真空泵能够正常对需要抽真空的容器执行抽真空操作。为进一步提高安全性能，第二开关94和第三开关95为空气开关，空气开关优选用双匹空开。

本实施例的吹扫系统优选应用在单晶炉的干式抽真空泵上。干式抽真空泵的抽真空管道与单晶炉连接，利用干式抽真空泵对单晶炉抽真空时，主管道1向干式抽真空泵内通入压力范围为0.15MPa-0.2MPa的压缩空气。由于单晶炉中存在氩气，而氩气的化学性质不活泼，泵内同时存在氩气和压缩气体，有助于提高吹扫系统和干式抽真空泵的安全性。

本申请并不仅仅限于说明书和实施方式中所描述，因此对于熟悉领域的人员而言可容易地实现另外的优点和修改，故在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念的精神和范围的情况下，本申请并不限于特定的细节、代表性的设备和这里示出与描述的图示示例。

Claims (10)

1.干式真空泵的吹扫系统，其特征在于，包括：

气源，用于提供压缩空气；

主管道，用于连通所述气源和干式真空泵；

电磁阀，设于所述主管道上，用于在所述真空泵运行时,控制压缩空气输送至所述干式真空泵中。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述主管道在所述电磁阀的上游安装有控制开关。

3.根据权利要求2所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述主管道在所述电磁阀的下游设有调压装置。

4.根据权利要求3所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述主管道通过支管连通至所述干式真空泵，所述支管包括连接至泵腔入口的第一支管、连接至油封入口的第二支管和连接至排气口的第三支管。

5.根据权利要求4所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述第一支管、第二支管和第三支管上均设有止逆阀。

6.根据权利要求5所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述第一支管在所述止逆阀的上游安装有调节阀。

7.根据权利要求1所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述干式真空泵通过抽真空管道连接单晶炉。

8.根据权利要求1-7任一项所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述电磁阀与所述干式真空泵采用并联的方式接入电路。

9.根据权利要求8所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述电磁阀与所述干式真空泵的启闭通过空气开关控制。

10.根据权利要求9所述的干式真空泵的吹扫系统，其特征在于：所述空气开关为双匹空开。

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