CN202230992U - 一种扩散炉管dce吹扫的进气路装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭示了一种扩散炉管DCE吹扫的进气路装置，该进气路装置具有一个两位三通气动阀，其入口接氮气源，且其出口具有在常开端和常闭端相切换的两条气路，两条气路分别各自连接一个单向阀，其中该常开端的单向阀另一端与排风装置相接；该常闭端的单向阀另一端连入DCE鼓泡装置的进气口，并且该DCE鼓泡装置的排气口通过第三单向阀与扩散炉管相连通。本实用新型DCE气路改进的应用，能够消除扩散炉管使用DCE吹扫过程中的着火隐患，保证低压氮气的气流平稳，提高了工艺设备的安全可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工中的扩散设备，尤其针对扩散炉管在使用DCE（即二氯乙烯）吹扫过程中安全性的改善，即气路改善方面。
背景技术
在半导体分立器件生产过程中，很多关键工序都需要使用扩散炉。这其中扩散炉管中干净、无金属杂质至关重要，直接关系到半导体产品的良率。因此扩散炉管需要定期进行DCE吹扫清洁，而DCE属于易燃易爆气体，在实际使用中易燃并已有燃烧的记录，存在一定的安全隐患。为此势必对DCE吹扫的气路加以改善，使其保持气流平稳，防止发生意外燃烧或爆炸。
发明内容
鉴于上述现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的是提出一种扩散炉管DCE吹扫的进气路装置，消除扩散炉管在使用DCE吹扫过程中的安全隐患。
本发明的目的，将通过以下技术方案得以实现：
一种扩散炉管DCE吹扫的进气路装置，其特征在于：所述进气路装置具有一个两位三通气动阀，所述两位三通气动阀的入口接氮气源，且其出口具有在常开端和常闭端相切换的两条气路，两条气路分别各自连接一个单向阀，其中所述常开端的单向阀另一端与排风装置相接；所述常闭端的单向阀另一端连入DCE鼓泡装置的进气口，并且所述DCE鼓泡装置的排气口通过第三单向阀与扩散炉管相连通。
进一步地，所述扩散炉管为石英炉管。
本实用新型DCE气路改进的应用，其突出效果为能够消除扩散炉管使用DCE吹扫过程中的着火隐患，保证低压氮气的气流平稳，提高了工艺设备的安全可靠性。
以下便结合实施例附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详述，以使本发明技术方案更易于理解、掌握。
附图说明
图1是本实用新型扩散炉管DCE吹扫进气路装置的结构改善示意图。
具体实施方式
本实用新型为了消除扩散炉管在使用DCE吹扫过程中的安全隐患，对设备原来的气路进行改造，保证气流的平稳，最终实现安全可靠的目的。
为达到上述效果，如图1所示的本实用新型进气路装置具有一个两位三通气动阀1，该两位三通气动阀1的入口COM接氮气源，且其出口具有在常开端NO和常闭端NC相切换的两条气路，常开端NO的气路连接一个单向阀21，常闭端NC的气路连接一个单向阀22，其中该常开端的单向阀21另一端与排风装置3相接；且常闭端的单向阀22另一端连入DCE鼓泡装置4的进气口，并且该DCE鼓泡装置4的排气口通过第三单向阀23与扩散炉管5相连通。
其中，为改善该扩散炉的耐用性，本实用新型选择在扩散炉管口外接石英炉管，或直接采用石英材质的扩散炉管。
在实际操作过程中，低压氮气进入两位三通气动阀1的公共端COM，首先从三通阀的常开端NO出，经单向阀21进入排风口3；待低压氮气气流平稳后，工艺程序再驱动两位三通气动阀1由常开端NO切换到常闭端NC，低压氮气改从常闭端NC出后，经单向阀22进入DCE鼓泡装置4，并携带其中的DCE气体从排气口排出，最后经单向阀23进入石英炉管5，对扩散炉管进行DCE吹扫。
通过以上装置结构及工作过程的简述可见本实用新型的突出效果：能够消除扩散炉管使用DCE吹扫过程中的着火隐患，保证低压氮气的气流平稳，提高了工艺设备的安全可靠性。
Claims (2)
1.一种扩散炉管DCE吹扫的进气路装置，其特征在于：所述进气路装置具有一个两位三通气动阀，所述两位三通气动阀的入口接氮气源，且其出口具有在常开端和常闭端相切换的两条气路，两条气路分别各自连接一个单向阀，其中所述常开端的单向阀另一端与排风装置相接；所述常闭端的单向阀另一端连入DCE鼓泡装置的进气口，并且所述DCE鼓泡装置的排气口通过第三单向阀与扩散炉管相连通。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉管的DCE吹扫的进气路装置，其特征在于：所述扩散炉管为石英炉管。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN109654899A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-04-19 | 通威太阳能（成都）有限公司 | 一种实用的扩散炉压力传感器保护系统 |
| CN111681991A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-09-18 | 西安微电子技术研究所 | 一种多晶硅表面粗糙度的处理方法 |
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2011
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| CN109654899B (zh) * | 2019-01-28 | 2024-03-29 | 通威太阳能（成都）有限公司 | 一种实用的扩散炉压力传感器保护系统 |
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