JP5044956B2 - 水質評価方法及びそれに用いられる水質評価用部材 - Google Patents
水質評価方法及びそれに用いられる水質評価用部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5044956B2 JP5044956B2 JP2006083280A JP2006083280A JP5044956B2 JP 5044956 B2 JP5044956 B2 JP 5044956B2 JP 2006083280 A JP2006083280 A JP 2006083280A JP 2006083280 A JP2006083280 A JP 2006083280A JP 5044956 B2 JP5044956 B2 JP 5044956B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- substrate
- evaluated
- pipe
- holding container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
上記実施の形態の保持容器10を用い、上記実施の形態と同様の手順にて基板表面の分析を行った。なお、基板としてはSiウェハを用いた。流速1L/minにて1時間、保持容器10内に被評価水(超純水)を通水した後、各バルブ20〜22を閉鎖して3日間保管し、その後Siウェハを取り出して表面付着有機物の測定を行った。この測定は、ウェハ表面から有機物を昇温離脱し、ガスクロマトグラフ/マススペクトルにより行った。結果を図6に示す。
Siウェハに、流速1L/minにて1時間、被評価水を接触させた後、直ちに表面付着有機物の測定を行った。この測定方法は参考例1と同様である。結果を図6に示す。
図5に示す保持容器10Aを用いた。
参考例1において、通水終了後、Siウェハの表面温度が5℃以下となるようにして3日間保管した後、Siウェハを取り出して表面付着有機物の測定を行った。この測定方法は、参考例1と同様である。結果を図7に示す。
参考例1において、通水終了後、Siウェハの表面温度が15℃(比較例3)、25℃(比較例4)、及び40℃(比較例5)となるようにして3日間保管した後、Siウェハを取り出して表面付着有機物の測定を行った。この測定方法は、参考例1と同様である。結果を図7に示す。
図7に示すように、保管時(搬送時)の温度が低い方が、表面付着有機物の増加が抑えられ、被評価水接触後の基板表面の状態が維持されることが分かる。
4 チューブ継手
10 保持容器
11 保持容器本体
12 底盤
13 上蓋
14 給水口
15 排水口
16 給水管
17 排水管
18 導入管
19 導出管
20〜22 ボールバルブ
Claims (6)
- 基板の保持容器と、該保持容器を収容して搬送するための搬送容器とを有する水質評価用部材であって、
該保持容器は、基板に被評価水を接触させた後、該基板の表面を分析することによって被評価水中の不純物を検出又は測定する水質評価方法で使用される基板を収容して保持するための保持容器であり、
内部に被評価水を流入させるための給水口と、該内部から被評価水を排出するための排水口とを備えており、
該給水口に給水管が接続され、該排水口に排水管が接続された保持容器において、
該給水管の上流側は、導入管と導出管とに二叉に分岐しており、
該導入管、導出管及び排水管にそれぞれ開閉バルブが接続されており、
上記の接続はいずれも螺じ込みにより行われており、
該導入管の該開閉バルブの上流側に、被評価水供給用の配管を着脱可能に接続するための接続部が設けられている保持容器であり、
該搬送容器は、内部の温度を15℃以下に保つ保冷手段を備えていることを特徴とする水質評価用部材。 - 請求項1において、該開閉バルブはボールバルブであることを特徴とする水質評価用部材。
- 請求項1又は2の水質評価用部材を用い、前記基板に被評価水を接触させた後、該基板の表面を分析することによって被評価水中の不純物を検出又は測定する被評価水の水質評価方法であって、
該基板を収容した保持容器内に被評価水を通水して該基板に被評価水を接触させた後、該基板を分析設備に搬送して該基板の表面の分析を行う水質評価方法であって、
該保持容器内に基板を収容し、前記導入管の開閉バルブの上流側の前記接続部に被評価水供給用の配管を接続し、該導入管、前記導出管及び前記排水管の各開閉バルブを開として該保持容器内に被評価水を通水し、該基板に被評価水を接触させた後、各開閉バルブを閉とし、その後、該被評価水供給用の配管を該接続部から取り外し、該保持容器内に基板を収容したまま、該保持容器を搬送容器に収容して搬送容器内の温度を15℃以下に保って前記分析設備に搬送することを特徴とする水質評価方法。 - 請求項3において、該搬送容器は、密閉容器であることを特徴とする水質評価方法。
- 請求項3又は4において、該搬送容器は、その内部に収容された保持容器を略水平に支持する支持部材を備えていることを特徴とする水質評価方法。
- 請求項3ないし5のいずれか1項において、該搬送容器内に水が充填されており、保持容器はこの水中に浸漬された状態で搬送されることを特徴とする水質評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006083280A JP5044956B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 水質評価方法及びそれに用いられる水質評価用部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006083280A JP5044956B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 水質評価方法及びそれに用いられる水質評価用部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007256181A JP2007256181A (ja) | 2007-10-04 |
JP5044956B2 true JP5044956B2 (ja) | 2012-10-10 |
Family
ID=38630563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006083280A Active JP5044956B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 水質評価方法及びそれに用いられる水質評価用部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5044956B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4893156B2 (ja) * | 2006-08-21 | 2012-03-07 | 栗田工業株式会社 | 水質評価方法及びそれに用いられる基板接触器具 |
JP5661348B2 (ja) * | 2010-06-29 | 2015-01-28 | オルガノ株式会社 | 水質評価装置および水質評価方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6130658U (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-24 | 株式会社 コバヤシ | 保冷型搬送容器 |
JPH0363176U (ja) * | 1989-10-24 | 1991-06-20 | ||
JPH10183232A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Nippon Steel Corp | 真空脱ガス装置のガスクーラーのダスト除去装置および方法 |
JP4449135B2 (ja) * | 2000-01-25 | 2010-04-14 | 栗田工業株式会社 | 半導体基板の保持容器 |
JP4487364B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2010-06-23 | 栗田工業株式会社 | 半導体基板の保持容器、及び水質の評価方法 |
JP4507659B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-07-21 | 栗田工業株式会社 | 超純水の評価方法 |
-
2006
- 2006-03-24 JP JP2006083280A patent/JP5044956B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007256181A (ja) | 2007-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101208872B1 (ko) | 웨이퍼 반송 용기의 세정 | |
CN108352345B (zh) | 测量用于基片的气氛输送和存储的运输箱的污染物的方法和系统 | |
KR101565091B1 (ko) | 반도체 공정 오염감시용 웨이퍼 이송장치 | |
JP5044956B2 (ja) | 水質評価方法及びそれに用いられる水質評価用部材 | |
US10167551B2 (en) | Apparatus, method and reaction chamber | |
KR101217037B1 (ko) | 수질 평가 방법 및 그에 이용하는 기판 접촉 기구 | |
TWI683095B (zh) | 用於容器的乾燥及分析測試之系統及方法 | |
KR102357430B1 (ko) | 샘플 전처리 장치 및 샘플 전처리 방법 | |
JP2007273697A (ja) | 基板搬送容器および基板搬送容器内空間のガス置換方法 | |
US6684721B2 (en) | Method and apparatus for preparing a liquid sample | |
JPH0320758Y2 (ja) | ||
JP2004109072A (ja) | 液中の金属不純物分析方法 | |
JP2017050181A (ja) | 搬送装置、処理装置、真空装置および荷電粒子ビーム装置 | |
JP5661348B2 (ja) | 水質評価装置および水質評価方法 | |
KR102373773B1 (ko) | 케미컬 내압용기 | |
JP2006234608A (ja) | 基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法 | |
JP2009115728A (ja) | 運搬容器および気体中の不純物の測定方法 | |
KR20230018664A (ko) | 고순도 공업 용수 생산 시설의 소재, 부품 및 장치 용출 특성 가속 평가 장치 및 그의 용출 특성 평가 방법 | |
TW202346825A (zh) | 特種氣體的線上分析系統及方法 | |
KR20160056510A (ko) | 기판용기 커버 개폐장치 | |
JP5066887B2 (ja) | 水質評価方法及び装置 | |
KR20020064578A (ko) | 샘플링 용기 | |
JPH0712670A (ja) | 半導体製造装置のリークガス検出方法及びその装置 | |
JPH11281536A (ja) | 薄膜分析装置 | |
JPH11347509A (ja) | 洗浄処理装置及び洗浄処理装置における排気方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120619 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120702 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150727 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5044956 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |