KR20020064578A - 샘플링 용기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 초순수(UPW:Ultrapure Water)의 수질 분석을 위한 샘플 액을 담아 분석기로 공급하기 위해 사용되는 샘플링 용기에 관한 것으로, 성분 분석을 위한 샘플 용액을 보관하는 그리고 그 용액을 분석기로 공급하기 위한 샘플링 용기는 마개에 샘플링 주입 튜브와, 샘플링 배출 튜브 및 에어 벤트 포트가 설치되어 있다.

Description

샘플링 용기{A SAMPLING BOTTLE}

본 발명은 샘플링 용기에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조 공정에 사용되는 초순수(UPW:Ultrapure Water)의 수질 분석을 위한 샘플 액을 담아 분석기로 공급하기 위해 사용되는 샘플링 용기에 관한 것이다.

반도체 제조공정 특히, 세정공정에 사용되는 초순수의 수질은 디바이스의 고집적화에 따라 함유 오염원에 대한 허용치도 초극미량으로 제어되고 있다.

이와 같은 초순수 수질 평가 항복 중 이온의 분석 수준은 현재 50ppt에 이르고 있다 하지만 256M 또는 300mm 대응 초순수 수질 요구 조건을 평가하기 위해서는 10ppt 이하의 분석 한계가 요구된다. 그러나 기존의 초순수 샘플링시에는 용기의 두껑을 분리한 후 3~4회 헹군 다음 용기에 배관의 샘플링 포인트에서 초순수를 담았다. 그렇기 때문에, 샘플링 중 외부 공기의 유입 영향을 배제할 수 없었다.

결국, 종래 샘플링 용기는 샘플을 담을 때 외부 공기가 용기 내에 인입되게 되고, 그 외부 공기 중에 포함된 오염원이 상기 샘플을 오염시키게 되는 문제점이 있다. 따라서, 이러한 용기에 담긴 오염된 샘플로는 정확한 수질 분석을 하지 못하므로 신뢰성이 떨어진다. 특히, 암모니아 이온과 같이 물과 쉽게 반응하는 불순물은 작업자의 습성 및 환경조건에 따라 데이터가 쉽게 변동할 수 있음을 여러 실험을 통해 확인할 수 있었다.

이와 같은 초극미량의 이온 분석을 성공적으로 수행하기 위해서는 무엇보다도 평가대상 샘플(즉,초순수)을 분석기(HPIC)로 외부 오염 없이 안전하게 이동시키는 기술이 요구된다.

따라서, 본 발명의 목적은 샘플 채취 과정에서의 외부 오염을 차단하여 평가 오차를 최대한 줄일 수 있는 새로운 형태의 샘플링 용기를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기를 보여주는 측면도;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기의 사용상태도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

12 : 몸통 14 : 마개

16 : 주입 튜브 18 : 에어 벤트 포트

20 : 배출 튜브30 : 분석기

32 : 주입구40 : 샘플링 포인트

42 : 연결 튜브

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 성분 분석을 위한 샘플 용액을 보관하는 그리고 그 용액을 분석기로 공급하기 위한 샘플링 용기는 샘플 용액을 담아두기 위한 내부 공간을 갖는 몸통과; 상기 몸통의 입구를 덮는 마개와; 상기 마개에 설치되는 샘플링 주입 튜브와; 상기 마개에 설치되는 샘플링 배출 튜브 및; 에어 벤트 포트를 포함한다.

이와 같은 본 발명에서 상기 샘플링 주입 튜브는 상기 샘플링 배출 튜브보다 길이가 길 수 있다. 이 샘플링 주입 튜브는 샘플 용액이 몸통 내부에 서서히 차 오르도록 상기 몸통의 바닥에 근접하도록 길게 형성할 수 있다.

상기 몸통은 폴리에틸렌 재질로 이루어질 수 있다.

이와 같은 본 발명에서 상기 샘플링 주입 튜브와 상기 샘플링 배출 튜브는 내열성, 내화학성이 뛰어난 PEEK 재질로 이루어질 수 있다. 상기 샘플링 유입 튜브와 샘플링 배출 튜브 그리고 에어 벤트 포트에는 밸브가 설치될 수 있다.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 및 도 2를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기를 보여주는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기의 사용상태도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 샘플링 용기(10)는 몸통(12), 마개(14), 주입 튜브(16), 에어 벤트 포트(18) 그리고 배출 튜브(20)를 갖는다. 상기 몸통(12)은 샘플 초순수를 담아둘 수 있는 내부 공간을 갖는다. 상기 마개(14)는 상기 몸통(12)의 입구를 덮어 외부 공기의 유입을 차단한다. 상기 마개(14)에는 주입 튜브(16), 에어 벤트 포트(18) 그리고 배출 튜브(20)가 설치된다.

상기 주입 튜브(16)는 샘플링 포인트(40)에서 샘플 초순수를 받기 위한 관으로, 주입 튜브(16)와 샘플링 포인트(40)는 연결 튜브(42)에 의해 연결된다. 이 주입 튜브(16)는 하단이 상기 몸통(12)의 내부공간 하단에 위치되도록 상기 배출 튜브(20)보다 길이를 길게 형성하는 것이 바람직하다. ` 이는 주입 튜브(16)를 통해 인입되는 샘플 용액이 몸통(12) 내부 공간에 서서히 차 오르도록 하기 위함이다.

상기 배출 튜브(20)는 상기 용기 내부에 담겨진 샘플 초순수를 분석기(30)로 보내기 위한 관으로, 샘플 채취 후에 샘플 초순수를 분석기(30)로 공급하는 단계에 상기 배출 튜브(20)에는 상기 분석기(30)의 주입관(32)에 연결된다.

한편, 상기 주입 튜브(16)와 배출 튜브(20)는 내열성, 내화학성이 뛰어난 폴리 에테르 에테르 케톤(PEEK;POLY ETHER ETHER KETINE)으로 이루어진다. 이 PEEK는 영국의 ICI사에 의해 개발된 결정성 타입의 방향족 직고리 자기 소화성 플라스틱이다.

상기 샘플링 용기(10)는 상기 에어 벤트 포트(18)를 통해 몸통(12) 내부 공간을 퍼지하기 위한 그리고 상기 몸통(12)의 내부 공간을 가압하기 위한 질소 가스가 유입될 수 있다. 상기 에어 벤트 포트(18)의 상단에는 질소가스 공급 라인이연결 될 수 있다.

한편, 상기 주입 튜브(16)와 배출 튜브(20) 그리고 에어 벤트 포트(18)에는 밸브(22)가 설치되어 있다.

이와 같이 본 발명의 구조적인 특징은 샘플 포인트에서의 샘플 채취 과정 및 샘플링 후 준비된 샘플 초순수를 분석기로 공급하는 과정에서 외부 공기의 유입을 차단할 수 있다는데 있다.

상기 샘플링 용기는 자체의 오염 용출이 적고 화학용액을 이용한 용기 세정시에도 오염을 용출시키지 않는 폴리에틸렌 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

이상에서, 본 발명에 따른 베이크 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 초순수 평가를 위한 샘플 포인트에서의 샘플 채취과정 및 준비된 샘플링 용기에서 분석기로 샘플 초순수를 보내는 과정에서 외부 공기 유입이 차단되기 때문에 외부 공기로 인한 샘플 초순수의 오염을 예방할 수 있다. 그 결과 샘플 초순수에 대한 정확한 분석을 수행할 수 있는 이점이 있다.

Claims (7)

1. 성분 분석을 위한 샘플 용액을 보관하는 그리고 그 용액을 분석기로 공급하기 위한 샘플링 용기에 있어서:

   샘플 용액을 담아두기 위한 내부 공간을 갖는 몸통과;

   상기 몸통의 입구를 덮는 마개와;

   상기 마개에 설치되는 샘플링 주입 튜브와;

   상기 마개에 설치되는 샘플링 배출 튜브 및;

   에어 벤트 포트를 포함하여, 배관의 샘플 포인트에서의 샘플 채취 과정 및 샘플링 후 준비된 샘플 용액을 분석기로 공급하는 과정에서 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 샘플링 주입 튜브는 상기 샘플링 배출 튜브보다 길이가 긴 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 샘플링 주입 튜브는 샘플 용액이 몸통 내부에 서서히 차 오르도록 상기 몸통의 바닥에 근접하도록 길게 형성한 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 몸통은 폴리에틸렌 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 샘플링 주입 튜브와 상기 샘플링 배출 튜브는 내열성, 내화학성이 뛰어난 PEEK(Poly Ether Ether Ketone) 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 샘플링 유입 튜브와 샘플링 배출 튜브 그리고 에어 벤트 포트에는 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 샘플 용액은 초순수인 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.