CN201072025Y - 一种三氯氧磷的安全输送装置 - Google Patents

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CN201072025Y CNU2007200732024U CN200720073202U CN201072025Y CN 201072025 Y CN201072025 Y CN 201072025Y CN U2007200732024 U CNU2007200732024 U CN U2007200732024U CN 200720073202 U CN200720073202 U CN 200720073202U CN 201072025 Y CN201072025 Y CN 201072025Y
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李东升
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Shanghai Zhengfan Semiconductor Equipment Co., Ltd.
Shanghai Zhengfan Superclean Technology Co., Ltd.
Shanghai Zhengfan Technology Co., Ltd.
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SHANGHAI ZHENGFAN SUPERCLEAN TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及一种三氯氧磷的安全输送装置，一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所述的自动补液装置内设有瓶源，该瓶源通过流量控制与扩散炉内的鼓泡器连接，所述的鼓泡器与扩散炉管连接。与现有技术相比，本实用新型具有运输方便，安全可靠，给物流操作带来极大便利等优点。

Description

一种三氯氧磷的安全输送装置
技术领域
本实用新型涉及气体输送方法，尤其涉及一种三氯氧磷的安全输送装置。
背景技术
三氯氧磷(POCl3)是无色透明液体，属于液态磷源，用于N-型半导体的扩散掺杂。与磷烷相比，POCl3具有毒性低、副产物少、工艺控制简单等优点，在太阳能、集成电路等行业应用广泛。
由于POCl3属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的化学品，目前用户使用的均为石英瓶容器(0.4～1.5L)，并采用PFA阀门。作为运输和输送容器。其缺点是玻璃容器易碎，换瓶频繁、操作危险，泄露风险高，纯度风险大，人力成本高，物流和环保成本高。
国内某著名太阳能客户，其POCl3月消耗量是800kg，采用400mL的石英瓶，需要1200瓶。由于换瓶操作需要穿戴呼吸器和防化服，且每天的源瓶更换频繁，给现场操作人员带来了很大困扰。
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种运输方便，安全可靠的三氯氧磷的安全输送装置。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所述的自动补液装置内设有瓶源，该瓶源通过流量控制与扩散炉内的鼓泡器连接，所述的鼓泡器与扩散炉管连接。
所述的源瓶为19L不锈钢SS316L圆筒形，所述的源瓶上设有用于进气和出液的两个高纯隔膜阀，顶部设有阀门保护杆。
所述的自动补液装置与扩散炉附近的鼓泡器相连，所述的补液装置设有两个钢瓶、电子秤、化学品输送面板，并是设有抽风柜体，配置泄露侦测器；底部设有110％容纳溢流，配置溢出液位探头；所述的采用两块独立面板的补液装置配置高真空隔膜泵。
所述的面板为气体面板、液体控制面板。
所述的鼓泡器与扩散炉管相连，鼓泡器配置液位开关、温度计套管，并被置于恒温箱内。
所述的流量控制包括控制携带气体在鼓泡器上游的质量流量控制器，下游的限流孔板。
所述的三氯氧磷的输送管线为PFA材质的双套管，外管为不锈钢，中间为氮气吹扫层。
与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：
1)新型19升容器运输方便，安全可靠，给物流操作带来极大便利；
2)基本杜绝人工更换石英容器，彻底消除安全隐患；
3)实现连续供液，提高产品质量和工艺的稳定性；
4)大大降低生产成本、物流成本；
5)有效降低环境污染。
附图说明
图1为本实用新型三氯氧磷的安全输送装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步说明。
实施例：
如图1所示，一种三氯氧磷的安全输送方法，该方法采用一种新型三氯氧磷的安全输送装置，该输送装置主要包括四个部分：19L源瓶容器1、自动补液装置2、鼓泡器3、流量控制等。所有容器和阀门均经过特殊防腐处理，可确保POCl3的纯度。三氯氧磷通过自动补液装置2，由源瓶1送到鼓泡器3。氮气经过质量流量计，进入鼓泡器3，携带三氯氧磷蒸汽，进入扩散炉管4。
源瓶为圆筒形，容积19L，采用不锈钢SS316L，配置两个高纯隔膜阀，用于进气和出液，顶部设阀门保护杆。
自动补液装置2采用高纯氮气，将POCl3压送到扩散炉4附近的1号鼓泡器31和2号鼓泡器32内。供液信号来源于鼓泡器的需求指令。补液装置可容纳两个钢瓶，配置电子秤，监测钢瓶重量，以实现左右切换。化学品输送面板均采用防腐处理。设备采用抽风柜体，配置泄漏检测器；底部采用110％容纳溢流，配置溢出液位探头；采用两块独立的面板(气体面板、液体控制面板)。补液装置配置高真空隔膜泵，以便更换钢瓶时辅助吹扫。
鼓泡器使用氮气，将液体蒸汽携带至1号扩散炉管41、2号扩散炉管42、3号扩散炉管43、4号扩散炉管44。鼓泡器配置液位开关。在低液位时，且气体出口阀门关闭的情况下，补液阀门将自动打开。鼓泡器还配置了温度计套管，用于监测化学品温度。鼓泡器将被置于现场已经有的恒温箱内，用于控制温度。
携带气体在鼓泡器上游由质量流量控制器(MFC)控制。下游通过限流孔板，平衡两路气体的流量。
POCL3输送管线采用双套管，内管为PFA材质，外管为不锈钢。中间采用氮气吹扫，防止空气中水分渗漏至PFA管线内部。

Claims (7)

1.一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所述的自动补液装置内设有瓶源，该瓶源通过流量控制与扩散炉内的鼓泡器连接，所述的鼓泡器与扩散炉管连接。
2.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的源瓶为19L不锈钢SS316L圆筒形，所述的源瓶上设有用于进气和出液的两个高纯隔膜阀，顶部设有阀门保护杆。
3.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的自动补液装置与扩散炉附近的鼓泡器相连，所述的补液装置设有两个钢瓶、电子秤、化学品输送面板，并是设有抽风柜体，配置泄露侦测器；底部设有110％容纳溢流，配置溢出液位探头；所述的采用两块独立面板的补液装置配置高真空隔膜泵。
4.根据权利要求3所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的面板为气体面板、液体控制面板。
5.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的鼓泡器与扩散炉管相连，鼓泡器配置液位开关、温度计套管，并被置于恒温箱内。
6.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的流量控制包括控制携带气体在鼓泡器上游的质量流量控制器，下游的限流孔板。
7.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的三氯氧磷的输送管线为PFA材质的双套管，外管为不锈钢，中间为氮气吹扫层。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102109091A (zh) * 2010-12-20 2011-06-29 上海正帆科技有限公司 高纯液化气体的输送装置及其输送方法
CN102109092A (zh) * 2010-12-20 2011-06-29 上海正帆科技有限公司 高纯液化气体的电热输送装置及其输送方法
CN102465306A (zh) * 2010-11-05 2012-05-23 无锡华润上华半导体有限公司 氢氟酸添加装置及添加方法
CN106006525A (zh) * 2016-05-18 2016-10-12 上海正帆科技股份有限公司 一种三甲基铝的安全输送装置

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