CN102465306A - 氢氟酸添加装置及添加方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种氢氟酸添加装置及添加方法，该添加装置包括：输送管路，用于将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；开关阀，用于接收外部控制打开或关闭，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。本发明由氢氟酸源作为添加站，集中为机台各个瓶子进行氢氟酸的添加，不需作业人员反复领用，节省了时间也便于管理，在添加氢氟酸时只需对开关阀施加外部控制，将开关阀打开，氢氟酸源就对机台容器进行添加，将开关阀关闭则停止添加，无需再对机台容器进行任何操作，也不需再与氢氟酸进行任何接触，安全便捷，极大程度的保护了作业人员的安全，避免安全事故的发生。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种氢氟酸添加装置及添加方法。
【背景技术】
半导体产品制造过程中，化学气相淀积工序是在化学气相淀积(APCVD)机台中完成的。
半导体产品在化学气相淀积机台淀积过程中，会有二氧化硅副产物产生并残留在机台的金属传送带上。二氧化硅副产物会对半导体产品造成不良影响，故需要用氢氟酸清洗金属传送带，去除金属传送带上残留的二氧化硅副产物。清洗金属传送带使用49％的氢氟酸，氢氟酸存放在机台内部的瓶子中。氢氟酸会随着使用而减少，减少到一定程度将不能满足清洗的需求，作业人员需要机台维护保养时进行添加。
传统氢氟酸的添加都由作业人员手动进行。作业人员将进入瓶子的氮气关掉后打开瓶子上盖，手动添加氢氟酸后关闭瓶子上盖将氮气打开，即完成添加。但是，由于氢氟酸是具有高腐蚀性的液体，且极易挥发，无论接触或者吸入都会对人体造成极大的伤害，作业人员在添加氢氟酸时瓶中会有部分氢氟酸剩余，为保证安全作业人员需要佩戴全覆式防毒面具，防酸手套以及围裙，作业以及行动极不灵活、方便，消耗大量体力和时间。由于生产中对氢氟酸的消耗量较大，添加时都是使用大瓶进行灌装，在灌装氢氟酸时很难稳定操作，氢氟酸容易溅出造成事故，威胁作业人员以及机台的安全。
【发明内容】
有鉴于此，有必要提供一种安全、便捷的氢氟酸添加装置。
此外，提供一种安全、便捷的氢氟酸添加方法。
一种氢氟酸添加装置，包括：
输送管路，用于将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；
开关阀，用于接收外部控制打开或关闭，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。
优选的，所述开关阀为信号开关阀；所述装置还包括：
监测器，用于监测并获取机台容器氢氟酸的剩余量；
控制器，接收并根据氢氟酸的剩余量，向所述开关阀发送控制命令控制开关阀打开或关闭。
优选的，所述控制器接收氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开，当氢氟酸的剩余量添加到第二剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀关闭。
优选的，所述控制器接收氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开，在预设时间后所述控制器向开关阀发送控制命令，控制开关阀关闭。
优选的，所述装置还包括：
开关阀控制按钮，连接开关阀，直接控制开关阀的打开与关闭。
优选的，所述装置还包括：
显示器，与控制器连接，实时显示机台容器氢氟酸的剩余量。
一种氢氟酸添加方法，包括如下步骤：
采用输送管路，将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；
设置接收外部控制打开或关闭的开关阀，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。
优选的，所述开关阀采用信号开关阀；所述开关阀接收外部控制打开或关闭具体为：
监测并获取机台容器氢氟酸的剩余量；
接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开和关闭。
优选的，所述接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开和关闭的步骤具体为：接收氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开，当氢氟酸的剩余量添加到第二剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀关闭。
优选的，所述方法还包括设置直接对开关阀进行外部控制的开关阀控制按钮的步骤。
上述氢氟酸添加装置及方法，采用输送管路将机台容器连接到氢氟酸源，并设置控制机台容器与氢氟酸源导通和阻断的开关阀，由氢氟酸源作为添加站，集中为机台各个瓶子进行氢氟酸的添加，不需作业人员反复领用，节省了时间也便于管理，尤其避免了假日和夜间的领用不便等问题，在添加氢氟酸时只需对开关阀施加外部控制，将开关阀打开，氢氟酸源就对机台容器进行添加，将开关阀关闭则停止添加，无需再对机台容器进行任何操作，也不需再与氢氟酸进行任何接触，安全便捷，极大程度的保护了作业人员的安全，避免安全事故的发生。
【附图说明】
图1是一个实施例中氢氟酸添加装置结构示意图；
图2是另一个实施例中氢氟酸添加装置结构示意图；
图3是一个实施例中氢氟酸添加方法流程图；
图4是一个实施例中开关阀控制方法流程图。
【具体实施方式】
下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。
图1是一个实施例中氢氟酸添加装置结构示意图。该装置包括输送管路100、开关阀200。
输送管路100用于将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连。
该实施例中，采用输送管路100将机台容器连接到氢氟酸源，由氢氟酸源作为添加站，集中为机台各个瓶子进行氢氟酸的添加。不需作业人员事先领用，节省了时间也便于管理，尤其避免了假日和夜间的领用不便等问题。
开关阀200用于接收外部控制打开或关闭，控制氢氟酸源通过所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器能够进行氢氟酸添加。
由于输送管路100将机台容器与氢氟酸源连接，在不需要对机台容器进行添加时，机台容器不能与氢氟酸源连通，所以需要设置开关阀200，用来控制机台容器与厂务氢氟酸的连通与阻断。开关阀200可以设置在氢氟酸源端，其后连接输送管路100。在其他实施例中，开关阀200还可设置在输送管路100的中间，开关阀200两端都连接输送管路100。或者，开关阀200设置机台容器端。
开关阀200可为信号开关阀也可为手动开关阀。若开关阀200为手动开关阀，则由作业人员直接对开关阀200进行外部控制，使开关阀200打开或者关闭即可对机台容器进行氢氟酸添加。若开关阀200为信号开关阀则如图2所示，由监测器300以及控制器400共同控制。
监测器300设置在机台容器端，用于监测并获取机台容器内氢氟酸的剩余量。
机台容器是否需要添加氢氟酸是由氢氟酸的剩余量来决定的。监测器300设置在机台容器端来监测和获取氢氟酸的剩余量。该实施例中，监测器300设置在机台容器内部的底部，采用液位传感器来监测获取氢氟酸的深度，通过深度(结合瓶子的高度和容积)来监测获取氢氟酸的剩余量。其他实施例中，监测器300还可设置在机台容器的瓶盖处，采用光电传感器、距离传感器以及声波传感器中的至少一种，监测获取瓶盖与机台容器内氢氟酸液面的距离，通过该距离(结合机台容器的高度和容积)来监测获取氢氟酸的剩余量。
控制器400接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀200发送控制命令控制开关阀200打开和关闭，使氢氟酸源与机台容器连通或者阻断，控制氢氟酸源对机台容器进行添加。
该实施例中，控制器400接收并根据氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀200发送控制命令控制开关阀200打开，使氢氟酸源与机台容器连通对机台容器进行添加，当氢氟酸的剩余量添加到第二剩余量时，向开关阀200发送控制命令控制开关阀200关闭，使氢氟酸源与机台容器阻断停止添加。
其中，第一剩余量是保证机台容器内氢氟酸能够对机台金属传送带进行正常清洗的剩余量，根据实际生产需要设定，也可根据自身需求设定。
第二剩余量是保证机台容器内氢氟酸不会满溢或者不会超过最大容积的剩余量，根据机台容器的设计参数设定，也可根据自身需求设定。
其他实施例中，控制器400在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀200发送控制命令，控制开关阀200打开，使氢氟酸源与机台容器导通对机台容器进行添加；在预设时间后控制器400向开关阀200发送控制命令，控制开关阀200关闭，使氢氟酸源与机台容器阻断停止添加。
其中，预设时间大小可根据输送管路100的流速以及机台容器的容积进行设定，也可根据对机台容器添加所需量氢氟酸，通过时间计时获取。
此外，在开关阀200为信号开关阀时，该装置还设置有开关阀控制按钮500，连接开关阀200，直接控制开关阀200的打开与关闭，在监测器300或者控制器400出现故障时(或者该装置不设置监测器300与控制器400时)，作业人员只要通过开关阀控制按钮500仍然可以对机台容器进行添加。作业人员也可以随时通过开关阀控制按钮500控制开关阀200。
同时，该装置还设置了显示器600，连接控制器400，对机台容器氢氟酸的剩余量进行实时显示，告之作业人员。
该装置将输送管路100将机台容器连接到氢氟酸源，并设置控制机台容器与氢氟酸源导通和阻断的开关阀200，只需对开关阀200施加外部控制，将开关阀200打开，氢氟酸源与机台容器导通，氢氟酸源即对机台容器进行添加，将开关阀200关闭则停止添加，作业人员无需再对机台容器进行任何操作，也不需再与氢氟酸进行任何接触，安全便捷。
此外，提供一种氢氟酸添加方法。
图3是一个实施例中氢氟酸添加方法流程图。该方法包括：
S31：采用输送管路，将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连。
该实施例中，采用输送管路将机台容器连接到氢氟酸源，由氢氟酸源作为添加站，集中为机台各个瓶子进行氢氟酸的添加。不需作业人员事先领用，节省了时间也便于管理，尤其避免了假日和夜间的领用不便等问题。
S32：设置接收外部控制打开或关闭的开关阀，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。
由于输送管路将机台容器与氢氟酸源连接，在不需要对机台容器进行添加时，机台容器不能与氢氟酸源连通，所以需要设置开关阀，用来控制机台容器与厂务氢氟酸的连通与阻断。开关阀可以设置在氢氟酸源端，其后连接输送管路。在其他实施例中，开关阀还可设置在输送管路的中间，开关阀两端都连接输送管路。或者，开关阀设置机台容器端。
开关阀可采用信号开关阀也可采用手动开关阀。若开关阀为手动开关阀，则由作业人员直接对开关阀进行外部控制，使开关阀打开或者关闭即可对机台容器进行氢氟酸添加。若开关阀为信号开关阀，进行外部控制则采用如图4所示方法：
S41：监测并获取机台容器氢氟酸的剩余量。
机台容器是否需要添加氢氟酸是由氢氟酸的剩余量来决定的。该实施例中，通过在机台容器端设置监测器来监测和获取氢氟酸的剩余量。监测器设置在机台容器内部的底部，采用液位传感器来监测获取氢氟酸的深度，通过深度(结合瓶子的高度和容积)来监测获取氢氟酸的剩余量。其他实施例中，监测器还可设置在机台容器的瓶盖处，采用光电传感器、距离传感器以及声波传感器中的至少一种，监测获取瓶盖与机台容器内氢氟酸液面的距离，通过该距离(结合机台容器的高度和容积)来监测获取氢氟酸的剩余量。
S42：接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开和关闭。
该实施例中，接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开和关闭的步骤具体为：接收并根据氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开，使氢氟酸源与机台容器连通对机台容器进行添加，当氢氟酸的剩余量添加到第二剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀关闭，使氢氟酸源与机台容器阻断停止添加。
其中，第一剩余量是保证机台容器内氢氟酸能够对机台金属传送带进行正常清洗的剩余量，根据实际生产需要设定，也可根据自身需求设定。
第二剩余量是保证机台容器内氢氟酸不会满溢或者不会超过最大容积的剩余量，根据机台容器的设计参数设定，也可根据自身需求设定。
其他实施例中，接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开和关闭的步骤具体还可为：在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令，控制开关阀打开，使氢氟酸源与机台容器导通对机台容器进行添加；在预设时间后向开关阀发送控制命令，控制开关阀关闭，使氢氟酸源与机台容器阻断停止添加。
其中，预设时间大小可根据输送管路的流速以及机台容器的容积进行设定，也可根据对机台容器添加所需量氢氟酸，通过时间计时获取。
此外，在开关阀为信号开关阀时，还包括设置开关阀控制按钮的步骤，开关阀控制按钮连接开关阀，直接控制开关阀的打开与关闭，作业人员只要通过开关阀控制按钮就可以对机台容器进行添加。
上述氢氟酸添加装置及方法，采用输送管路将机台容器连接到氢氟酸源，并设置控制机台容器与氢氟酸源导通和阻断的开关阀，由氢氟酸源作为添加站，集中为机台各个瓶子进行氢氟酸的添加，不需作业人员反复领用，节省了时间也便于管理，尤其避免了假日和夜间的领用不便等问题，在添加氢氟酸时只需对开关阀施加外部控制，将开关阀打开，氢氟酸源就对机台容器进行添加，将开关阀关闭则停止添加，无需再对机台容器进行任何操作，也不需再与氢氟酸进行任何接触，安全便捷，极大程度的保护了作业人员的安全，避免安全事故的发生。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种氢氟酸添加装置，其特征在于，包括：
输送管路，用于将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；
开关阀，用于接收外部控制打开或关闭，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。
2.根据权利要求1所述的氢氟酸添加装置，其特征在于，所述开关阀为信号开关阀；所述装置还包括：
监测器，用于监测并获取机台容器氢氟酸的剩余量；
控制器，接收并根据氢氟酸的剩余量，向所述开关阀发送控制命令控制开关阀打开或关闭。
3.根据权利要求2所述的氢氟酸添加装置，其特征在于，所述控制器接收氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开，当氢氟酸的剩余量添加到第二剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀关闭。
4.根据权利要求2所述的氢氟酸添加装置，其特征在于，所述控制器接收氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开，在预设时间后所述控制器向开关阀发送控制命令，控制开关阀关闭。
5.根据权利要求2至4任一所述的氢氟酸添加装置，其特征在于，所述装置还包括：
开关阀控制按钮，连接开关阀，直接控制开关阀的打开与关闭。
6.根据权利要求5所述的氢氟酸添加装置，其特征在于，所述装置还包括：
显示器，与控制器连接，实时显示机台容器氢氟酸的剩余量。
7.一种氢氟酸添加方法，包括如下步骤：
采用输送管路，将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；
设置接收外部控制打开或关闭的开关阀，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。
8.根据权利要求7所述的氢氟酸添加方法，其特征在于，所述开关阀采用信号开关阀；所述开关阀接收外部控制打开或关闭具体为：
监测并获取机台容器氢氟酸的剩余量；
接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开和关闭。
9.根据权利要求8所述的氢氟酸添加方法，其特征在于，所述接收并根据氢氟酸的剩余量，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开和关闭的步骤具体为：接收氢氟酸的剩余量，在氢氟酸的剩余量低于第一剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀打开，当氢氟酸的剩余量添加到第二剩余量时，向开关阀发送控制命令控制开关阀关闭。
10.根据权利要求7至9任一所述的氢氟酸添加方法，其特征在于，所述方法还包括设置直接对开关阀进行外部控制的开关阀控制按钮的步骤。
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|---|---|---|---|---|
| CN1717978A (zh) * | 2005-06-03 | 2006-01-11 | 南京大学 | 一种建筑物空间绿化装置系统构建方法及其应用 |
| CN201072025Y (zh) * | 2007-08-01 | 2008-06-11 | 上海正帆超净技术有限公司 | 一种三氯氧磷的安全输送装置 |
| CN101245965A (zh) * | 2007-02-14 | 2008-08-20 | Lg电子株式会社 | 自动液体供给装置 |
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2010
- 2010-11-05 CN CN2010105339555A patent/CN102465306A/zh active Pending
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