CN213335547U - 一种可选择性炉门抽气气路结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可选择性炉门抽气气路结构，涉及扩散炉技术领域，本实用新型包括炉管和炉门，炉门与炉管配合后形成内腔室和炉口腔室，内腔室和炉口腔室通过通道连通，所述炉门上设置有与炉口腔室连通的炉口抽气管，所述内腔室内部设置有尾气管，所述尾气管一端延伸出内腔室与抽空主管道连接，炉口抽气管通过调压管件与抽空主管道连接，抽空主管道连接有真空泵；本实用新型结构简单，可以减少炉门因偏磷酸成绩导致的异常停机和方阻不良产生，可以提高产品的一次通过率；同时降低了技术人员处理异常频次和劳动强度。

Description

一种可选择性炉门抽气气路结构

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，更具体的是涉及可选择性炉门抽气气路结构技术领域。

背景技术

随着光伏产业的迅速发展，太阳能暨光伏电池产品制造商的不断增加，大多企业对于制造的成本控制要求变得越来越高，人们对太阳能光伏电池产品生产的主要设备趋于国产化、设备组成零部件的研究发明和制造成本的趋于逐步降低，简洁灵活的操作性能成了为众多电池产品制造商的主要关注点。

对于扩散炉而言，设备的稳定性是方阻良率的有效保证，而对于磷扩散而言，三氯氧磷和氧气反应产生的衍生物偏磷酸比较容易凝聚在炉门上的密封件上，在冷凝过后，容易产生固态的偏磷酸，不利于炉口腔室的压力抽空，导致检漏失败和充气出舟，产生大量的不良隔离。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种可选择性炉门抽气气路结构。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种可选择性炉门抽气气路结构，包括炉管和炉门，炉门与炉管配合后形成内腔室和炉口腔室，内腔室和炉口腔室通过通道连通，所述炉门上设置有与炉口腔室连通的炉口抽气管，所述内腔室内部设置有尾气管，所述尾气管一端延伸出内腔室与抽空主管道连接，炉口抽气管通过调压管件与抽空主管道连接，抽空主管道连接有真空泵。

更优地，所述调压管件包括并联的设置在炉口抽气管上的调压主管道和支管道，调压主管道上设置有气动阀，所述调压主管道的管径大于支管道的管径。

更优地，所述炉管一端封闭一端开口，炉管封闭端设置有与炉管内部连通的进气管和排气管，炉管开口处与炉门配合。

更优地，所述炉门为双层炉门机构，尾气管一端通过排气管伸出炉管。

本实用新型的有益效果如下：

1、该装置主要采用了可选择性的气路结构，采用该结构，在炉管内腔室和炉口腔室抽空至低压状态后，通过切换气路主管道至分支小管，通过缩小管径的方式，降低炉口腔室抽气量，使真空泵主要抽气来源集中在内腔室，让炉口压力略微大于炉管内腔室压力，使多数衍生物废气从内腔室由尾气管抽走，减少偏磷酸堆积至炉口腔室，降低偏磷酸在炉门密封件上的凝结级率，可以有效的提高炉口抽空，提高设备利用率，减少宕机维修时间，同时可以有效的提高和稳定产品线路良率。

2、可以减少炉门因偏磷酸成绩导致的异常停机和方阻不良产生，可以提高产品的一次通过率；同时降低了技术人员处理异常频次和劳动强度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是炉管和炉门的结构示意图；

图3是管道系统的结构示意图；

图4是图1炉门处的结构示意图；

附图标记：1-炉管，2-内腔室，3-炉门，4-炉口抽气管，5-炉口腔室，6-尾气管，7-排气管， 8-调压管件，8-1-气动阀，8-2-调压主管道，8-3-支管道，9-抽空主管道，10-真空泵，11-进气管。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施方式的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

如图1到4所示，本实施例提供一种可选择性炉门抽气气路结构，包括炉管1和炉门3，炉门 3与炉管1配合后形成内腔室2和炉口腔室5，内腔室2和炉口腔室5通过通道连通，所述炉门3 上设置有与炉口腔室5连通的炉口抽气管4，所述内腔室2内部设置有尾气管6，所述尾气管6一端延伸出内腔室2与抽空主管道9连接，炉口抽气管4通过调压管件8与抽空主管道9连接，抽空主管道9连接有真空泵10。

所述调压管件8包括并联的设置在炉口抽气管4上调压主管道8-2和支管道8-3，调压主管道 8-2上设置有气动阀8-1，所述调压主管道8-2的管径大于支管道8-3的管径。

所述炉管1一端封闭一端开口，炉管1封闭端设置有与炉管1内部连通的进气管11和排气管 7，炉管1开口处与炉门3配合。

所述炉门3为双层炉门机构，尾气管6一端通过排气管7延伸出炉管1。

在工艺过程当中，在炉门关闭后，炉口腔室压力抽下之后，将炉门抽气抽至低压后，利用设备机台端PLC输出信号，控制气动阀关闭，真空泵主要抽气从炉尾抽气，这使得炉管内腔室压力略小于炉口腔室，利用压力平衡原理的气流由压力高的位置流向压力低处原理，控制反应衍生物尽可能的从炉尾排放，减少炉口炉口腔室沉积。

Claims (4)

1.一种可选择性炉门抽气气路结构，包括炉管(1)和炉门(3)，其特征在于，炉门(3)与炉管(1)配合后形成内腔室(2)和炉口腔室(5)，内腔室(2)和炉口腔室(5)通过通道连通，所述炉门(3)上设置有与炉口腔室(5)连通的炉口抽气管(4)，所述内腔室(2)内部设置有尾气管(6)，所述尾气管(6)一端延伸出内腔室(2)与抽空主管道(9)连接，炉口抽气管(4)通过调压管件(8)与抽空主管道(9)连接，抽空主管道(9)连接有真空泵(10)。

2.根据权利要求1所述的一种可选择性炉门抽气气路结构，其特征在于，所述调压管件(8)包括并联的设置在炉口抽气管(4)上调压主管道(8-2)和支管道(8-3)，调压主管道(8-2)上设置有气动阀(8-1)，所述调压主管道(8-2)的管径大于支管道(8-3)的管径。

3.根据权利要求1所述的一种可选择性炉门抽气气路结构，其特征在于，所述炉管(1)一端封闭一端开口，炉管(1)封闭端设置有与炉管(1)内部连通的进气管(11)和排气管(7)，炉管(1)开口处与炉门(3)配合。

4.根据权利要求3所述的一种可选择性炉门抽气气路结构，其特征在于，所述炉门(3)为双层炉门机构，尾气管(6)一端通过排气管(7)延伸出炉管(1)。

Images