CN216922448U - 真空容器抽真空的装置 - Google Patents

Abstract

本公开涉及抽真空设备技术领域，尤其涉及一种真空容器抽真空的装置。该真空容器抽真空的装置包括真空容器，还包括隔膜泵；所述隔膜泵的进气口与所述真空容器连接，所述隔膜泵的出气口与外部环境连接；所述隔膜泵上设有电子阀门，所述电子阀门的进气孔与外部环境连接，所述电子阀门的排气孔与所述隔膜泵的第一腔室连接。该真空容器抽真空的装置，通过将电子阀门连接第一腔室和外部环境，能够利用电子阀门的开闭防止管道和泵体内产生积水，保证管道和泵体的洁净程度，并且利用隔膜泵作为抽真空的泵体结构简单可靠，无油无尘，也能进一步保证整个装置的洁净度。

Description

真空容器抽真空的装置

技术领域

本公开涉及抽真空设备技术领域，尤其涉及一种真空容器抽真空的装置。

背景技术

目前在生产加工过程中，很多加工工作都是需要在具有相对洁净的真空环境的真空容器中进行，现在普遍使用机械泵来对真空容器进行抽真空的动作。

但是目前使用的机械泵很多都存在内部积水以及后端管路积水从而导致无法对真空容器抽真空的问题；为了解决这个问题，很多厂家在机械泵上安装电子气镇阀用于解决隔膜泵内产生水珠无法排出的问题。

由于隔膜泵从进气口到出气口之间依次通过管道串联有第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室；当把气镇阀安装在第二腔室的入口时，连接第一腔室和第二腔室的管道内会出现积水，同时连接第三腔室和第四腔室的管道内也会出现积水；当把气镇阀安装在第三腔室的入口时，连接第一腔室和第二腔室的管道内会出现积水，同时连接第二腔室和第三腔室的管道内也会出现积水；当把气镇阀安装在第四腔室的入口时，连接第一腔室和第二腔室的管道内会出现积水，同时连接第二腔室和第三腔室的管道内也会出现积水；当把气镇阀安装在第一腔室的出口时，连接第三腔室和第四腔室的管道内会出现积水，但是通过增加气镇阀的通径尺寸会使凝水位置向后移动至出气口管路中，但是这样会导致隔膜泵进气口的压力急剧升高，影响隔膜泵和真空容器之间其他结构的正常工作，继而导致出气口管路中的水珠无法排出。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本公开提供了一种真空容器抽真空的装置。

本公开提供了一种真空容器抽真空的装置，包括真空容器，还包括隔膜泵；

所述隔膜泵的进气口与所述真空容器连接，所述隔膜泵的出气口与外部环境连接；

所述隔膜泵上设有电子阀门，所述电子阀门的进气孔与外部环境连接，所述电子阀门的排气孔与所述隔膜泵的第一腔室连接。

可选的，所述电子阀门的通径为0.6-1mm。

可选的，所述电子阀门以设定频率进行开闭动作。

可选的，所述电子阀门以开启3s、关闭15s的频率进行开闭动作。

可选的，所述电子阀门的进气孔处设有过滤器。

可选的，所述出气口与外部环境通过管道连接，用于连接所述出气口和外部环境的管道上设有电磁阀。

可选的，所述真空容器通过管道连接有压力容器，所述压力容器中填充有保护气体。

可选的，用于连接所述真空容器和所述压力容器的管道上设有电磁阀。

可选的，所述隔膜泵和所述真空容器之间设有分子泵。

可选的，所述分子泵与所述隔膜泵之间设有电磁阀。

本公开实施例提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：

本公开提供的真空容器抽真空的装置，通过将电子阀门连接第一腔室和外部环境，能够利用电子阀门的开闭防止管道和泵体内产生积水，保证管道和泵体的洁净程度，并且利用隔膜泵作为抽真空的泵体结构简单可靠，无油无尘，也能进一步保证整个装置的洁净度。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本公开实施例所述的真空容器抽真空的装置的结构示意图；

图2为本公开实施例所述的真空容器抽真空的装置背面的结构示意图；

图3为本公开实施例所述的真空容器抽真空的装置内部的结构示意图。

其中，1、真空容器；2、隔膜泵；21、第一腔室；22、第二腔室；23、第三腔室；24、第四腔室；25、进气口；26、出气口；27、第一单向阀；28、第二单向阀；29、第三单向阀；20、第四单向阀；3、电子阀门；41、第一管道；42、第二管道；43、第三管道；44、第四管道。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本公开的上述目的、特征和优点，下面将对本公开的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本公开，但本公开还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施例只是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。

目前在生产加工过程中，很多加工工作都是需要在具有相对洁净的真空环境的真空容器中进行，现在普遍使用机械泵来对真空容器进行抽真空的动作。

但是目前使用的机械泵很多都存在内部积水以及后端管路积水从而导致无法对真空容器抽真空的问题；为了解决这个问题，很多厂家在机械泵上安装电子气镇阀用于解决隔膜泵内产生水珠无法排出的问题。

由于隔膜泵从进气口到出气口之间依次通过管道串联有第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室；当把气镇阀安装在第二腔室的入口时，连接第一腔室和第二腔室的管道内会出现积水，同时连接第三腔室和第四腔室的管道内也会出现积水；当把气镇阀安装在第三腔室的入口时，连接第一腔室和第二腔室的管道内会出现积水，同时连接第二腔室和第三腔室的管道内也会出现积水；当把气镇阀安装在第四腔室的入口时，连接第一腔室和第二腔室的管道内会出现积水，同时连接第二腔室和第三腔室的管道内也会出现积水；当把气镇阀安装在第一腔室的出口时，连接第三腔室和第四腔室的管道内会出现积水，但是通过增加气镇阀的通径尺寸会使凝水位置向后移动至出气口管路中，但是这样会导致隔膜泵进气口的压力急剧升高，影响隔膜泵和真空容器之间其他结构的正常工作，继而导致出气口管路中的水珠无法排出。

基于此，本实施例提供一种真空容器抽真空的装置，通过将电子阀门连接第一腔室和外部环境，能够利用电子阀门的开闭防止管道和泵体内产生积水，保证管道和泵体的洁净程度，并且利用隔膜泵作为抽真空的泵体结构简单可靠，无油无尘，也能进一步保证整个装置的洁净度。下面通过具体的实施例对其进行详细说明：

参照图1和图2所示，本实施例提供的一种真空容器抽真空的装置包括真空容器1，还包括隔膜泵2；隔膜泵2的进气口25与真空容器1连接，隔膜泵2的出气口26与外部环境连接；隔膜泵2上设有电子阀门3，电子阀门3的进气孔与外部环境连接，电子阀门3的排气孔与隔膜泵2的第一腔室21连接。通过将电子阀门3连接第一腔室21和外部环境，能够利用电子阀门3的开闭防止管道和泵体内产生积水，保证管道和泵体的洁净程度，并且利用隔膜泵2作为抽真空的泵体结构简单可靠，无油无尘，也能进一步保证整个装置的洁净度。

其中，隔膜泵2包括通过管道依次连通的第一腔室21、第二腔室22、第三腔室23和第四腔室24；

第一腔室21与进气口25连通，第四腔室24与出气口26连通，进气口25与真空容器1连接，出气口26与四通5连接；

第一腔室21和第二腔室22之间设有第一管道41和第二管道42，第一管道41和第二管道42均用于连通第一腔室21和第二腔室22；

第一腔室21内设有两组第一单向阀27，其中一组第一单向阀27的一端与进气口25连接，另一端与第一管道41连接，另一组第一单向阀27与第二管道42连接；

第二腔室22和第三腔室23通过第三管道43连通，第二腔室22内设有两组第二单向阀28，其中一组第二单向阀28与第一管道41连接，另一组第二单向阀28与第三管道43连接；

第三腔室23和第四腔室24通过第四管道44连通，第三腔室23内设有两组第三单向阀29，其中一组第三单向阀29与第三管道43连接，另一组第三单向阀29与第四管道44连接；

第四腔室24内设有两组第四单向阀20，其中一组第四单向阀20与第四管道44连接，另一组第四单向阀20与出气口26连接；

第一单向阀27、第二单向阀28、第三单向阀29和第四单向阀20的流通方向均与隔膜泵2的送气方向同向设置；

电子阀门3安装在隔膜泵2上，电子阀门3连接第一腔室21和外部环境，通过电子阀门3控制第一腔室21和外部环境的连通情况的方式，能够增强隔膜泵2的排水汽能力，防止隔膜泵2的内部水汽浓度过高凝结形成水珠，将电子阀门3连接第一腔室21，能够有效地控制隔膜泵2自身以及其后端管路的水汽浓度，从而保证整个封闭循环系统内的气体纯度始终能够符合要求。

在一些实施例中，电子阀门3的通径为0.6-1mm。

在一些实施例中，电子阀门3以设定频率进行开闭动作。

在进一步的实施例中，电子阀门3以开启3s、关闭15s的频率进行开闭动作。按照此频率开关能够既不影响电子阀门3的寿命，又能有效地防止管路中发生凝水珠的情况发生。

在一些实施例中，电子阀门3的进气孔处设有过滤器，通过过滤器的设置，能够进一步保证整个封闭循环系统内部的洁净度。

在一些实施例中，出气口26与外部环境通过管道连接，用于连接出气口26和外部环境的管道上设有电磁阀。

在一些实施例中，真空容器1通过管道连接有压力容器，压力容器中填充有保护气体，通过压力容器和保护气体的设置，能够进一步保证在真空容器1中进行加工工作的可靠性。

在进一步的实施例中，用于连接真空容器1和压力容器的管道上设有电磁阀。

在一些实施例中，隔膜泵2和真空容器1之间设有分子泵，通过增加分子泵的设置，能够使真空容器1抽真空的动作效率更高，效果更好。

在进一步的实施例中，分子泵与隔膜泵2之间设有电磁阀，多处电磁阀的设置能够使整个系统的封闭性更强，防止发生漏气等情况，影响真空容器1的内部环境以及保护气体的纯度。

具体实现方式和实现原理与上述实施例相同，并能带来相同或者类似的技术效果，在此不再一一赘述，具体可参照上述真空容器抽真空的装置实施例的描述。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本公开的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本公开。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本公开的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本公开将不会被限制于本文所述的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种真空容器抽真空的装置，包括真空容器(1)，其特征在于，还包括隔膜泵(2)；

所述隔膜泵(2)的进气口(25)与所述真空容器(1)连接，所述隔膜泵(2)的出气口(26)与外部环境连接；

所述隔膜泵(2)上设有电子阀门(3)，所述电子阀门(3)的进气孔与外部环境连接，所述电子阀门(3)的排气孔与所述隔膜泵(2)的第一腔室(21)连接。

2.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述电子阀门(3)的通径为0.6-1mm。

3.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述电子阀门(3)以设定频率进行开闭动作。

4.根据权利要求3所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述电子阀门(3)以开启3s、关闭15s的频率进行开闭动作。

5.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述电子阀门(3)的进气孔处设有过滤器。

6.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述出气口(26)与外部环境通过管道连接，用于连接所述出气口(26)和外部环境的管道上设有电磁阀。

7.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述真空容器(1)通过管道连接有压力容器，所述压力容器中填充有保护气体。

8.根据权利要求7所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，用于连接所述真空容器(1)和所述压力容器的管道上设有电磁阀。

9.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述隔膜泵(2)和所述真空容器(1)之间设有分子泵。

10.根据权利要求9所述的真空容器抽真空的装置，其特征在于，所述分子泵与所述隔膜泵(2)之间设有电磁阀。

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