CN220665427U - 一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统 - Google Patents
一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220665427U CN220665427U CN202322227181.9U CN202322227181U CN220665427U CN 220665427 U CN220665427 U CN 220665427U CN 202322227181 U CN202322227181 U CN 202322227181U CN 220665427 U CN220665427 U CN 220665427U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipeline
- air exhaust
- gas
- exhaust pipeline
- gas valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 9
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 7
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 abstract description 6
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，涉及抽气管道技术领域，旨在解决管道出现异常时，无法及时处理的问题，其技术要点是：包含主抽气管道、若干腔体单元、若干支抽气管道、进气管道、排气管道、马达轴封和中缝泵。腔体单元和主抽气管道通过支抽气管道连接，支抽气管道上设置有检测组件，检测组件用于控制并检测支抽气管道内的气体流动；本方案通过设置检测组件、第三气体阀门、第四气体阀门、第一气体过滤器以及第二气体过滤器之间相互配合，实现了每个腔体单元和马达轴封的独立控制，从而快速判断哪一部分管道出现的真空度异常，并快速应急处理异常点，进而提高了维修效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，属于抽气管道技术领域。
背景技术
镀膜线中缝抽气管道系统由单元密封面狭缝、阴极端头狭缝以及传动马达轴封三大部分组成,通过抽气管道上的真空计可以检测管道气密性。
传统的抽气管道系统由于系统复杂性,当需要排查马达轴封还是腔体单元密封面气密性时，需要单独拆开每一个抽气管道接口才能查找问题点，一旦排查出某一点抽气管道异常时，在无法及时处理的情况下，需要应急封堵抽气接口，这样操作起来比较麻烦，因此需要提出新的方案解决这个问题。
实用新型内容
本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：包含主抽气管道、若干腔体单元、若干支抽气管道、进气管道、排气管道、马达轴封和中缝泵；所述腔体单元和主抽气管道通过支抽气管道连接，支抽气管道上设置有检测组件，所述检测组件用于控制并检测支抽气管道内的气体流动；所述进气管道和排气管道均设置在主抽气管道上；所述马达轴封位于进气管道的进气端，马达轴封用于密封进气管道的进气端；所述中缝泵设置在排气管道的排气端，中缝泵用于抽出排气管道内的气体。
优选的，所述检测组件包括第一检测管道、第一气体阀门和第一气体过滤器；所述第一检测管道安装在支抽气管道上；所述第一气体阀门安装在第一检测管道上，第一气体阀门用于控制第一检测管道内的气体流通；所述第一气体过滤器安装在第一检测管道的排气端。
优选的，所述支抽气管道上还设有第二气体阀门；当第一气体阀门关闭时，所述第二气体阀门用于控制支抽气管道内的气体流动。
优选的，所述进气管道上安装有第二检测管道，所述第二检测管道上设有第三气体阀门；所述第三气体阀门用于控制第二检测管道内的气体流动；所述第二检测管道的排气端设有第二气体过滤器。
优选的，所述进气管道上还设有第四气体阀门；当第三气体阀门关闭时，第四气体阀门用于控制进气管道内的气体流动。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
本实用新型方案的一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统改善了现有技术中由于系统复杂性，出现真空度变化很难及时判断异常点的情况，通过设置检测组件、第三气体阀门、第四气体阀门、第一气体过滤器以及第二气体过滤器之间相互配合，实现了每个腔体单元和马达轴封的独立控制，从而快速判断哪一部分管道出现的真空度异常，并快速应急处理异常点，进而提高了维修效率。
附图说明
下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：
附图1为本实用新型的结构示意图。
图中：1、主抽气管道；2、腔体单元；3、支抽气管道；4、进气管道；5、排气管道；6、马达轴封；7、中缝泵；8、第一检测管道；9、第一气体阀门；10、第一气体过滤器；11、第二气体阀门；12、第二检测管道；13、第三气体阀门；14、第二气体过滤器；15、第四气体阀门。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
如附图1所示，本实用新型所述的一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，包含主抽气管道1、若干腔体单元2、若干支抽气管道3、进气管道4、排气管道5、马达轴封6和中缝泵7。
腔体单元2和主抽气管道1通过支抽气管道3连接，支抽气管道3上设置有检测组件，检测组件用于控制并检测支抽气管道3内的气体流动；进气管道4和排气管道5均设置在主抽气管道1上；马达轴封6位于进气管道4的进气端，马达轴封6用于密封进气管道4的进气端；中缝泵7设置在排气管道5的排气端，中缝泵7用于抽出排气管道5内的气体。
检测组件包括第一检测管道8、第一气体阀门9和第一气体过滤器10；第一检测管道8安装在支抽气管道3上；第一气体阀门9安装在第一检测管道8上，第一气体阀门9用于控制第一检测管道8内的气体流通；第一气体过滤器10安装在第一检测管道8的排气端，支抽气管道3上还设有第二气体阀门11；当第一气体阀门9关闭时，第二气体阀门11用于控制支抽气管道3内的气体流动。
正常使用时，第二气体阀门11打开，第一气体阀门9关闭；当出现真空度异常时，将第二气体阀门11关闭，第一气体阀门9打开，通过第一气体过滤器10来判断腔体单元2是否出现故障，找出出现故障的腔体单元2，可以进行维修；也可以同时关闭第一气体阀门9和第二气体阀门11进行应急处理。
进气管道4上安装有第二检测管道12，第二检测管道12上设有第三气体阀门13；第三气体阀门13用于控制第二检测管道12内的气体流动；第二检测管道12的排气端设有第二气体过滤器14，进气管道4上还设有第四气体阀门15；当第三气体阀门13关闭时，第四气体阀门15用于控制进气管道4内的气体流动。
通过第三气体阀门13、第四气体阀门15以及第二气体过滤器14可以判断马达轴封6是否出现故障，若马达轴封6出现故障，可以及时处理。
以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制；凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。
Claims (5)
1.一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，其特征在于：包含主抽气管道(1)、若干腔体单元(2)、若干支抽气管道(3)、进气管道(4)、排气管道(5)、马达轴封(6)和中缝泵(7)；所述腔体单元(2)和主抽气管道(1)通过支抽气管道(3)连接，支抽气管道(3)上设置有检测组件，所述检测组件用于控制并检测支抽气管道(3)内的气体流动；所述进气管道(4)和排气管道(5)均设置在主抽气管道(1)上；所述马达轴封(6)位于进气管道(4)的进气端，马达轴封(6)用于密封进气管道(4)的进气端；所述中缝泵(7)设置在排气管道(5)的排气端，中缝泵(7)用于抽出排气管道(5)内的气体。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，其特征在于：所述检测组件包括第一检测管道(8)、第一气体阀门(9)和第一气体过滤器(10)；所述第一检测管道(8)安装在支抽气管道(3)上；所述第一气体阀门(9)安装在第一检测管道(8)上，第一气体阀门(9)用于控制第一检测管道(8)内的气体流通；所述第一气体过滤器(10)安装在第一检测管道(8)的排气端。
3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，其特征在于：所述支抽气管道(3)上还设有第二气体阀门(11)；当第一气体阀门(9)关闭时，所述第二气体阀门(11)用于控制支抽气管道(3)内的气体流动。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，其特征在于：所述进气管道(4)上安装有第二检测管道(12)，所述第二检测管道(12)上设有第三气体阀门(13)；所述第三气体阀门(13)用于控制第二检测管道(12)内的气体流动；所述第二检测管道(12)的排气端设有第二气体过滤器(14)。
5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，其特征在于：所述进气管道(4)上还设有第四气体阀门(15)；当第三气体阀门(13)关闭时，第四气体阀门(15)用于控制进气管道(4)内的气体流动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322227181.9U CN220665427U (zh) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | 一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322227181.9U CN220665427U (zh) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | 一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220665427U true CN220665427U (zh) | 2024-03-26 |
Family
ID=90329414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322227181.9U Active CN220665427U (zh) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | 一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220665427U (zh) |
-
2023
- 2023-08-18 CN CN202322227181.9U patent/CN220665427U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI847611B (zh) | 抽真空系統、半導體製程設備及其抽真空方法 | |
| CN220665427U (zh) | 一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统 | |
| CN212155086U (zh) | 真空泵负压机组并联管路组件 | |
| CN112502976B (zh) | 一种高端光伏组件生产用真空系统及其抽真空工艺 | |
| CN208950952U (zh) | 凝结水泵的密封系统 | |
| CN219186817U (zh) | 一种药厂的真空处理系统 | |
| CN219472374U (zh) | 一种分子泵预抽真空系统 | |
| CN220522638U (zh) | 一种汽轮机汽封系统 | |
| CN210441235U (zh) | 一种节能控制烟气除尘装置 | |
| CN220395934U (zh) | 一种高效低能耗的抽真空系统 | |
| CN108118310B (zh) | 一种五管pecvd设备的真空排气系统 | |
| CN221644448U (zh) | 一种气动葫芦用阀箱 | |
| CN213335547U (zh) | 一种可选择性炉门抽气气路结构 | |
| CN211339482U (zh) | 一种发酵废气收集处理装置 | |
| CN213013081U (zh) | 一种连续式镀膜线用高真空抽气系统 | |
| CN214247425U (zh) | 一种提高汽轮机组真空严密性的装置 | |
| CN216044274U (zh) | 一种真空泵气体保护装置 | |
| CN215448373U (zh) | 一种应用于阀门加工的气密性检测装置 | |
| CN214499173U (zh) | 一种汽封管路 | |
| CN209555297U (zh) | 一种精炼炉密封圈保护装置 | |
| CN217654751U (zh) | 一种用于真空阀门的维修工装 | |
| CN221881158U (zh) | 用于制备半导体芯片的管路和设备 | |
| CN221371279U (zh) | 一种镀膜设备用集成真空系统 | |
| CN221759829U (zh) | 一种带废气处理功能的微生物气体培养汇流板及处理系统 | |
| CN220017018U (zh) | 用于建筑暖通管道的连接装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |