CN219472374U - 一种分子泵预抽真空系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种分子泵预抽真空系统，包括：一条前级真空总路和多条并联的分子泵支路，每条所述分子泵支路均包括依次连接的真空腔室、分子泵、第二高真空挡板阀和第二前级真空管道，所述前级真空总路包括通过管路依次连接的前级真空泵组、第一前级真空管道和第一高真空挡板阀，各条分子泵支路上的第二前级真空管道均通过管路与第一高真空挡板阀连接，以实现各条分子泵支路均与前级真空总路连接。本实用新型具有结构紧凑、操作简单、运行稳定等优点，解决了因前级真空泵组故障而导致管道压力急剧上升并进入分子泵，造成分子泵损坏，致使设备停机时间长、维护成本高等问题，延长了分子泵的使用寿命，并提高了真空系统的运行稳定性。

Description

一种分子泵预抽真空系统

技术领域

本实用新型属于真空系统设备技术领域，具体涉及一种分子泵预抽真空系统。

背景技术

HJT太阳能电池生产常采用PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工艺，在n型硅片的双面上沉积形成一层透明导电氧化物薄膜。PVD工艺属于真空镀膜技术，采用PVD设备对其内部的硅片镀膜时，需要进行抽真空处理。

真空系统为PVD设备提供工作的基本条件，PVD设备由多个高真空腔室组成，高真空腔室配置一至两台分子泵作为高真空泵对高真空腔室进行抽空，分子泵前级真空泵组采用罗茨泵+干泵的泵组。常规的分子泵预抽真空系统中，多台分子泵前级真空管道由一套前级真空泵组抽至分子泵的背压，此时，分子泵高真空挡板阀打开，分子泵启动。若前级真空泵组故障，前级真空管道压力会急剧上升，超过分子泵的最大备压，压力进入分子泵导致分子泵损坏。

综上可见，现有的PVD分子泵预抽真空系统无法对脆弱的磁悬浮分子泵进行保护，容易造成分子泵损坏，使得设备停机时间长、维护成本高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、操作简单、运行稳定且可以提高分子泵的使用寿命的分子泵预抽真空系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种分子泵预抽真空系统，包括：一条前级真空总路和多条并联的分子泵支路，每条所述分子泵支路均包括依次连接的真空腔室、分子泵、第二高真空挡板阀和第二前级真空管道，所述前级真空总路包括通过管路依次连接的前级真空泵组、第一前级真空管道和第一高真空挡板阀，各条分子泵支路上的第二前级真空管道均通过管路与第一高真空挡板阀连接，以实现各条分子泵支路均与前级真空总路连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空腔室上设有真空计，真空腔室侧部设有真空阀门。

作为本实用新型的进一步改进，连接所述第一前级真空管道与第一高真空挡板阀的管路上设有真空计。

作为本实用新型的进一步改进，连接所述第一前级真空管道与第一高真空挡板阀的管路上还设有泄压阀。

作为本实用新型的进一步改进，连接所述第一前级真空管道与前级真空泵组的管路上设有手动挡板阀。

作为本实用新型的进一步改进，所述分子泵为涡轮分子泵。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一前级真空管道和第二前级真空管道均为金属波纹软管；所述管路均为金属硬管。

作为本实用新型的进一步改进，所述金属硬管和金属波纹软管的材质均为304不锈钢。

作为本实用新型的进一步改进，所述前级真空泵组包括罗茨泵和干泵。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空腔室与分子泵通过真空法兰进行连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

1、本实用新型的分子泵预抽真空系统，通过在分子泵支路的第二前级真空管道与前级真空总路的前级真空泵组之间设置了第一高真空挡板阀，当前级真空泵组出现故障时，将第一高真空挡板阀关断，可以避免因压力进入分子泵而导致分子泵损坏，对分子泵进行了隔离保护，具有运行成本低、操作简单、隔离效果显著等特点，有效延长了分子泵的使用寿命。

2、本实用新型的分子泵预抽真空系统，通过在第一高真空挡板阀与前级真空泵组之间设置了真空计和泄压阀，能够对管路内的真空状态进行实时监测，确保了分子泵的稳定运行；当系统需要进行停机检修时，可以通过打开泄压阀，使得前级真空管道的压力提升至常压。

附图说明

图1为本实用新型分子泵预抽真空系统的结构原理示意图。

图例说明：1、真空阀门；2、分子泵；3、第一高真空挡板阀；31、第二高真空挡板阀；4、第一前级真空管道；41、第二前级真空管道；5、真空计；6、泄压阀；7、手动挡板阀；8、前级真空泵组；10、真空腔室；101、第一真空腔室；102、第二真空腔室；103、第三真空腔室。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述，但并不因此而限制本实用新型的保护范围。

实施例

如图1所示，本实用新型的分子泵预抽真空系统，包括：一条前级真空总路和三条并联的分子泵支路，第一分子泵支路均包括依次连接的第一真空腔室101、分子泵2、第二高真空挡板阀31和第二前级真空管道41，第二分子泵支路均包括依次连接的第二真空腔室102、分子泵2、第二高真空挡板阀31和第二前级真空管道41，第三分子泵支路均包括依次连接的第三真空腔室103、分子泵2、第二高真空挡板阀31和第二前级真空管道41，前级真空总路包括通过管路依次连接的前级真空泵组8、第一前级真空管道4和第一高真空挡板阀3，三条分子泵支路上的第二前级真空管道41均通过管路与第一高真空挡板阀3连接，以实现三条分子泵支路均与前级真空总路连接。

本实施例中，真空腔室10的两侧部设有真空阀门1，相邻真空腔室10之间可以通过真空阀门1实现通断。真空腔室10上设有真空计5，实时监测真空腔室10内的真空度变化，提高系统运行的稳定性。

本实施例中，分子泵2为涡轮分子泵，真空腔室10与分子泵2通过真空法兰进行连接。前级真空泵组8包括罗茨泵和干泵。

本实施例中，第一前级真空管道4和第二前级真空管道41均为金属波纹软管；管路均为金属硬管。进一步地，金属硬管和金属波纹软管的材质均为304不锈钢。

本实施例中，通过在分子泵支路的第二前级真空管道41与前级真空总路的前级真空泵组8之间设置了第一高真空挡板阀3，当前级真空泵组8出现故障时，将第一高真空挡板阀3关断，可以避免因压力进入分子泵2而导致分子泵2损坏，对分子泵2进行了隔离保护，具有运行成本低、操作简单、隔离效果显著等特点，有效延长了分子泵2的使用寿命。

可以理解，为了提高系统的自动化程度，也可以将前级真空泵组8和第一高真空挡板阀3与外部控制器(例如PLC控制器)连接，利用外部控制器对前级真空泵组8和第一高真空挡板阀3进行联动控制，当前级真空泵组8出现故障时，第一高真空挡板阀3也会联动关断，以实现对分子泵2进行更精准地保护。

本实施例中，连接第一前级真空管道4与第一高真空挡板阀3的管路上设有真空计5。进一步地，连接第一前级真空管道4与第一高真空挡板阀3的管路上还设有泄压阀6。通过在第一高真空挡板阀3与前级真空泵组8之间设置了真空计5和泄压阀6，能够对管路内的真空状态进行实时监测，确保了分子泵2的稳定运行；当系统需要进行停机检修时，可以通过打开泄压阀6，使得前级真空管道的压力提升至常压。

本实施例中，连接第一前级真空管道4与前级真空泵组8的管路上设有手动挡板阀7。在系统运行的阶段，手动挡板阀7处于关闭状态，当系统需要进行真空检漏时，接入氦气检漏仪，打开手动挡板阀7对系统进行检漏。

本实施例中，高真空挡板阀具体可以是手动挡板阀，也可以是气动先导阀。

具体操作步骤：

按图1所示连接好真空系统，关闭泄压阀6及手动挡板阀7，开启前级真空泵组8，打开前级真空总路上的第一高真空挡板阀3，当前级真空总路上的真空计5的读数小于10pa时，打开分子泵2和第二前级真空管道41之间的第二高真空挡板阀31，开启分子泵2对真空腔室10进行抽空直至本底真空压力。

当需要关机时，先关闭分子泵2，待分子泵2转速降至0后，关闭分子泵2和第二前级真空管道41之间的第二高真空挡板阀31，再关闭第二前级真空管道41和前级真空泵组8间的第一高真空挡板阀3，最后关闭前级真空泵组8。

虽然本实用新型以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神实质和技术方案的情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种分子泵预抽真空系统，其特征在于，包括：一条前级真空总路和多条并联的分子泵支路，每条所述分子泵支路均包括依次连接的真空腔室(10)、分子泵(2)、第二高真空挡板阀(31)和第二前级真空管道(41)，所述前级真空总路包括通过管路依次连接的前级真空泵组(8)、第一前级真空管道(4)和第一高真空挡板阀(3)，各条分子泵支路上的第二前级真空管道(41)均通过管路与第一高真空挡板阀(3)连接，以实现各条分子泵支路均与前级真空总路连接。

2.根据权利要求1所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，所述真空腔室(10)上设有真空计(5)，真空腔室(10)侧部设有真空阀门(1)。

3.根据权利要求1所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，连接所述第一前级真空管道(4)与第一高真空挡板阀(3)的管路上设有真空计(5)。

4.根据权利要求3所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，连接所述第一前级真空管道(4)与第一高真空挡板阀(3)的管路上还设有泄压阀(6)。

5.根据权利要求1所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，连接所述第一前级真空管道(4)与前级真空泵组(8)的管路上设有手动挡板阀(7)。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，所述分子泵(2)为涡轮分子泵。

7.根据权利要求1至5中任意一项所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，所述第一前级真空管道(4)和第二前级真空管道(41)均为金属波纹软管；所述管路均为金属硬管。

8.根据权利要求7所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，所述金属硬管和金属波纹软管的材质均为304不锈钢。

9.根据权利要求1至5中任意一项所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，所述前级真空泵组(8)包括罗茨泵和干泵。

10.根据权利要求1至5中任意一项所述的分子泵预抽真空系统，其特征在于，所述真空腔室(10)与分子泵(2)通过真空法兰进行连接。