CN212426174U - 一种溅射镀膜抽真空系统 - Google Patents
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Abstract
为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，仅仅使用扩散泵5对真空镀膜设备腔体抽真空需要花费的很长时间，生产效率低的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜抽真空系统，包括真空室2、通过管道与真空室2连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统1，当开机时，在抽低真空阶段，启动扩散泵5，关闭罗茨泵4和旋片泵3，在抽高真空阶段，旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5可以同时运行，这样就大大减少了抽低真空的时间，提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，较为具体的，涉及到一种溅射镀膜抽真空系统。
背景技术
目前，真空磁控溅射镀膜机是对金属、玻璃和塑料表面进行镀膜的专用设备，其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室的上料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，可利用物理气相沉积(以下简称“PVD”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。
真空镀膜设备由真空设备和抽真空系统两大部分组成，而抽真空系统主要利用扩散泵作为主泵达到抽真空的目的，真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，仅仅使用扩散泵对真空镀膜设备腔体抽真空需要花费的很长时间，生产效率低。
实用新型内容
有鉴于此，为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，仅仅使用扩散泵对真空镀膜设备腔体抽真空需要花费的很长时间，生产效率低的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜抽真空系统，当开机时，在抽低真空阶段，启动扩散泵5，关闭罗茨泵4和旋片泵3，在抽高真空阶段，旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5可以同时运行，这样就大大减少了抽低真空的时间，提高了生产效率。
一种溅射镀膜抽真空系统，包括真空室2、通过管道与真空室2连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统1；其特征在于：所述抽真空机构包括旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5通过管道顺序连接与真空室2之间形成一条由泵体通向真空室2的抽真空气路，所述真空检测机构包括第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8，所述第一真空规6设置在真空室2与扩散泵5连接的管道上，第二真空规7设置在罗茨泵4和扩散泵5之间的管道上，第三真空规8设置在旋片泵3和罗茨泵4连接的管道上，所述扩散泵5、罗茨泵4和旋片泵3分别与PLC控制系统1电性连接受PLC控制系统1控制，所述第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8分别与PLC控制系统1的信号输入端连接。
进一步的，旋片泵3电性连接马达9，通过马达9产生驱动力抽真空。
进一步的，罗茨泵4的上端与扩散泵5的中部通过管道连接，罗茨泵4与扩散泵5的管道上设有电机10，通过电机10产生驱动力抽真空。
进一步的，罗茨泵4和旋片泵3之间的管道上设置有第一阀门11。
进一步的，旋片泵3上端设置有放气管14，放气管14上安装有放气阀15。
进一步的，罗茨泵4与扩散泵5的管道上设定第二阀门12。
进一步的，真空室2与扩散泵5的管道上设定第三阀门13。
进一步的，第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均为电动阀，第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均与PLC控制系统1电性连接受PLC控制系统1控制。
本实用新型的有益效果：本实用新型提出一种溅射镀膜抽真空系统，当开机时，在抽低真空阶段，启动扩散泵5，关闭罗茨泵4和旋片泵3，在抽高真空阶段，旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5可以同时运行，这样就大大减少了抽低真空的时间，提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的溅射镀膜抽真空系统的系统结构示意图。
图2为本实用新型的溅射镀膜抽真空系统的结构示意图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
如图1所示，为本实用新型的溅射镀膜抽真空系统的系统结构示意图；如图2所示，为本实用新型的溅射镀膜抽真空系统的结构示意图。
一种溅射镀膜抽真空系统，包括真空室2、通过管道与真空室2连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统1；其特征在于：所述抽真空机构包括旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，所述扩散泵5、罗茨泵4和旋片泵3通过管道顺序连接与真空室2之间形成一条由泵体通向真空室2的抽真空气路，所述真空检测机构包括第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8，所述第一真空规6设置在真空室2与扩散泵5连接的管道上，第二真空规7设置在罗茨泵4和扩散泵5之间的管道上，第三真空规8设置在旋片泵3和罗茨泵4连接的管道上，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5分别与PLC控制系统1电性连接受PLC控制系统1控制，所述第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8分别与PLC控制系统1的信号输入端连接。
所述旋片泵3电性连接马达9，通过马达9产生驱动力抽真空。
所述罗茨泵4的上端与扩散泵5的中部通过管道连接，罗茨泵4与扩散泵5的管道上设有电机10，通过电机10产生驱动力抽真空。
所述罗茨泵4和旋片泵3之间的管道上设置有第一阀门11。
所述旋片泵3上端设置有放气管14，放气管14上安装有放气阀15。
所述罗茨泵4与扩散泵5的管道上设定第二阀门12。
所述真空室2与扩散泵5的管道上设定第三阀门13。
所述第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均为电动阀，第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均与PLC控制系统1电性连接受PLC控制系统1控制。
本实用新型的工作原理：当开机时，在抽低真空阶段，启动扩散泵5，关闭罗茨泵4和旋片泵3，在抽高真空阶段，旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5可以同时运行，这样就大大减少了抽低真空的时间，提高了生产效率。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (8)
1.一种溅射镀膜抽真空系统，包括真空室(2)、通过管道与真空室(2)连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统(1)；其特征在于：所述抽真空机构包括旋片泵(3)、罗茨泵(4)和扩散泵(5)，所述旋片泵(3)、罗茨泵(4)和扩散泵(5)，所述扩散泵(5)、罗茨泵(4)和旋片泵(3)通过管道顺序连接与真空室(2)之间形成一条由泵体通向真空室(2)的抽真空气路，所述真空检测机构包括第一真空规(6)、第二真空规(7)和第三真空规(8)，所述第一真空规(6)设置在真空室(2)与扩散泵(5)连接的管道上，第二真空规(7)设置在罗茨泵(4)和扩散泵(5)之间的管道上，第三真空规(8)设置在旋片泵(3)和罗茨泵(4)连接的管道上，所述旋片泵(3)、罗茨泵(4)和扩散泵(5)分别与PLC控制系统(1)电性连接受PLC控制系统(1)控制，所述第一真空规(6)、第二真空规(7)和第三真空规(8)分别与PLC控制系统(1)的信号输入端连接。
2.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空系统，其特征在于：旋片泵(3)电性连接马达(9)。
3.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空系统，其特征在于：罗茨泵(4)的上端与扩散泵(5)的中部通过管道连接，罗茨泵(4)与扩散泵(5)的管道上设有电机(10)。
4.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空系统，其特征在于：罗茨泵(4)和旋片泵(3)之间的管道上设置有第一阀门(11)。
5.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空系统，其特征在于：旋片泵(3)上端设置有放气管(14)，放气管(14)上安装有放气阀(15)。
6.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空系统，其特征在于：罗茨泵(4)与扩散泵(5)的管道上设定第二阀门(12)。
7.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空系统，其特征在于：真空室(2)与扩散泵(5)的管道上设定第三阀门(13)。
8.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空系统，其特征在于：第一阀门(11)、第二阀门(12)和第三阀门(13)均为电动阀，第一阀门(11)、第二阀门(12)和第三阀门(13)均与PLC控制系统(1)电性连接受PLC控制系统(1)控制。
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