CN217077778U - 卷对卷镀膜系统用的抽真空机组 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜领域，公开了一种卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，包括两个初级抽真空机构和一个深度抽真空机构，两个初级抽真空机构分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，初级抽真空机构包括第一粗抽真空组、第二粗抽真空组、第三粗抽真空组，第一粗抽真空组对第一腔室和第二腔室进行粗抽真空，第二粗抽真空组对第三腔室进行粗抽真空，第三粗抽真空组对第四腔室进行粗抽真空。本实用新型不仅能够缩短卷对卷镀膜系统抽真空的时间，也能够降低对真空泵以及两侧密封结构的要求和压力，并且还能够使镀膜腔室内维持一个较高较稳的真空度，提高镀膜质量和效率。

Description

卷对卷镀膜系统用的抽真空机组

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及卷对卷镀膜系统用的抽真空机组。

背景技术

真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支，在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。真空镀膜应用，简单地理解就是在真空环境下，利用蒸镀、溅射以及凝结的办法，在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上镀上金属薄膜或者是覆盖层。

卷对卷镀膜系统是真空镀膜设备的其中一种，卷对卷镀膜系统的首端安装有收卷机构、尾端安装有放卷机构，卷对卷镀膜系统的内部设置有多个串联的腔室，其中包括设置在最中间的镀膜腔室，以及设置在镀膜腔室两侧的多个过渡腔室，这些过渡腔室沿末端至镀膜腔室方向依次包括第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室、第六腔室和第七腔室，相邻腔室之间以及两端腔室与放卷机构、收卷机构的连接处均设有供基材穿过的矩形通孔，并且在矩形通孔处会设置密封结构，将相邻的腔室独立分隔开，在收卷机构和放卷机构的作用下，基材可以通过所有的密封结构连续不断地穿过这些串联的腔室，以此实现连续镀膜。在镀膜的过程中，镀膜腔室内需要保持较高的真空度，镀膜腔室内的真空度以及真空度的稳定性会直接影响到镀膜的效率和质量，目前市场上的镀膜机通常是给每个腔室均配置一台真空泵，镀膜机工作前，同时开启所有的真空泵，对所有腔室同时抽真空，待最中间的镀膜腔室内的真空度达到要求后，便开始镀膜。

但是采用上述抽真空的方式不仅需要较长的时间，并且要使所有的腔室内均保持较高的真空度，这不仅对真空泵的要求和压力较大，对维持真空度所消耗的能源也较大，并且对所有密封结构的要求和压力同样很高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，解决现有的卷对卷镀膜系统抽真空方式对真空泵的要求和压力较大的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，所述抽真空控制系统包括两个初级抽真空机构和一个深度抽真空机构，两个所述初级抽真空机构分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，所述初级抽真空机构包括第一粗抽真空组、第二粗抽真空组、第三粗抽真空组，所述第一粗抽真空组对第一腔室和第二腔室进行粗抽真空，所述第二粗抽真空组对第三腔室进行粗抽真空，所述第三粗抽真空组对第四腔室进行粗抽真空；所述深度抽真空机构作用于镀膜腔室两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室，所述深度抽真空机构包括一个第四粗抽机组、两个第一精抽机组和两个第二精抽机组，所述第四粗抽机组对两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室进行粗抽真空，两个所述第一精抽机组分别对其中一侧的第五腔室和第六腔室进行精抽真空，两个所述第二精抽机组分别对两侧的第七腔室进行精抽真空。

进一步，所述第一粗抽真空组包括第一粗抽泵、第一粗抽阀和第二粗抽阀，所述第一粗抽泵的抽气端与第一腔室、第二腔室均连通，所述第一粗抽阀安装在第一腔室与第一粗抽泵之间，所述第二粗抽阀安装在第二腔室与第一粗抽泵之间。

进一步，所述第二粗抽真空组包括第二粗抽泵和第三粗抽阀；所述第二粗抽泵的抽气端与第三腔室连通，所述第三粗抽阀安装在第二腔室与第一粗抽泵之间。

进一步，所述第三粗抽真空组包括第三粗抽泵、第一罗茨泵和第四粗抽阀，所述第三粗抽泵的抽气端与第一罗茨泵的出气端连通，所述第一罗茨泵的抽气端与第四腔室连通，所述第四粗抽阀安装在第四腔室和第一罗茨泵之间。

进一步，所述第四粗抽机组包括第四粗抽泵、第二罗茨泵、两个第五粗抽阀和两个第六粗抽阀，所述第四粗抽泵的抽气端与第一罗茨泵的出气端连通，所述第一罗茨泵的抽气端与两侧的第五腔室、第六腔室、第七腔室均连通，每个所述第五粗抽阀均安装在第二罗茨泵和位于同一侧的第五腔室、第六腔室之间，每个所述第六粗抽阀均安装在第二罗茨泵和其中一个第七腔室之间。

进一步，所述第一精抽机组包括第一扩散泵、第一精抽阀和第二精抽阀，所述第一扩散泵的抽气端与同一侧的第五腔室、第六腔室均连通，所述第一精抽阀安装在第一扩散泵和第五腔室之间，所述第二精抽阀安装在第一扩散泵和第六腔室之间。

进一步，所述第一精抽机组还包括维持泵和维持阀，所述维持泵的抽气端与第一扩散泵的出气端相连，所述维持阀安装在维持泵和第一扩散泵之间。

进一步，所述第二精抽机组包括第二扩散泵和第三精抽阀，所述第二扩散泵的抽气端与其中一个第七腔室连通，所述第三精抽阀安装在第二扩散泵与第七腔室之间。

进一步，两个所述第二扩散泵的出气端均与第二罗茨泵的抽气端连通，且所述第二罗茨泵与两个第二扩散泵之间安装有总前置阀。

本实用新型通过初级抽真空机构和深度抽真空机构的相互配合，不仅能够实现对真空镀膜机的快速抽真空，使镀膜腔室内的真空度达到工作要求；并且也能够使多个过渡腔室内的真空度从两边往中间逐渐升高，降低对真空泵要求和压力，降低对两侧的密封结构的要求和压力，减少能源消耗；同时利用两侧腔室的高真空度来维持镀膜腔室的高真空度，使镀膜腔室内的高真空更加稳定，提高镀膜质量和效率。

附图说明

图1是本实用新型卷对卷镀膜系统用的抽真空机组的结构示意图；

图2是本实用新型卷对卷镀膜系统用的抽真空机组的结构示意图；

其中，1、镀膜腔室；101、第一腔室；102、第二腔室；103、第三腔室；104、第四腔室；105、第五腔室；106、第六腔室；107、第七腔室；2、初级抽真空机构；21、第一粗抽真空组；211、第一粗抽泵；212、第一粗抽阀；213、第二粗抽阀；22、第二粗抽真空组；221、第二粗抽泵；222、第三粗抽阀；23、第三粗抽真空组；231、第三粗抽泵；232、第一罗茨泵；233、第四粗抽阀；3、深度抽真空机构；31、第四粗抽机组；311、第四粗抽泵；312、第二罗茨泵；313、第五粗抽阀；314、第六粗抽阀；32、第一精抽机组；321、维持泵；322、维持阀；323、第一扩散泵；324、第一精抽阀；325、第二精抽阀；33、第二精抽机组；331、第二扩散泵；332、第三精抽阀；34、总前置阀。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本实用新型的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本实用新型的限制，为了更好地说明本实用新型的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用于的具体含义。

如图1和图2所示，本实用新型的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组：

该抽真空控制系统包括两个初级抽真空机构2和一个深度抽真空机构3，两个初级抽真空机构2分别作用于镀膜腔室1其中一侧的第一腔室101、第二腔室102、第三腔室103和第四腔室104，初级抽真空机构2包括第一粗抽真空组21、第二粗抽真空组22、第三粗抽真空组23，第一粗抽真空组21对第一腔室101和第二腔室102进行粗抽真空，第二粗抽真空组22对第三腔室103进行粗抽真空，第三粗抽真空组23对第四腔室104进行粗抽真空，初级抽真空机构2能够对这几个过渡腔室进行初步的抽取真空，使这几个腔室内的真空度相对较低，对两个端部的密封结构以及所有真空泵的要求和压力也相对较小。

深度抽真空机构3作用于镀膜腔室1两侧的第五腔室105、第六腔室106和第七腔室107，深度抽真空机构3包括一个第四粗抽机组31、两个第一精抽机组32和两个第二精抽机组33，第四粗抽机组31对两侧的第五腔室105、第六腔室106和第七腔室107进行粗抽真空，两个第一精抽机组32分别对其中一侧的第五腔室105和第六腔室106进行精抽真空，两个第二精抽机组33分别对两侧的第七腔室107进行精抽真空，深度抽真空机构3能够对这几个过渡腔室进行深度的抽取真空，使这几个腔室内的真空度相对较高，并且通过这样设置，中间的镀膜腔室1中不用设置抽取真空的机构，也能够在两侧高真空腔室的作用下，维持较高较稳的真空度。

第一粗抽真空组21包括第一粗抽泵211、第一粗抽阀212和第二粗抽阀213，第一粗抽泵211的抽气端通过管道与第一腔室101、第二腔室102均连通，第一粗抽阀212安装在第一腔室101与第一粗抽泵211之间的管道上，第二粗抽阀213安装在第二腔室102与第一粗抽泵211之间的管道上，第一粗抽泵211能够对第一腔室101、第二腔室102抽取相对较低的真空度。

第二粗抽真空组22包括第二粗抽泵221和第三粗抽阀222，第二粗抽泵221的抽气端通过管道与第三腔室103连通，第三粗抽阀222安装在第二腔室102与第一粗抽泵211之间的管道上，第三腔室103独立安装一台粗抽泵，第二粗抽泵221能够对第三腔室103抽取相对较低的真空度，但是由于第一腔室101和第二腔室102共用一台粗抽泵，所以，第三腔室103的真空度会高于第一腔室101和第二腔室102的真空度。

第三粗抽真空组23包括第三粗抽泵231、第一罗茨泵232和第四粗抽阀233，第三粗抽泵231的抽气端通过管道与第一罗茨泵232的出气端连通，第一罗茨泵232的抽气端通过管道与第四腔室104连通，第四粗抽阀233安装在第四腔室104和第一罗茨泵232之间管道上，第三粗抽泵231和第一罗茨泵232串联作用，对第四腔室104进行抽取真空工作，第四腔室104内的真空度又大于第三腔室103内的真空度。

初级抽真空机构2使得第一腔室101、第二腔室102、第三腔室103和第四腔室104内的真空度逐渐增高，并且也不需要很高的真空度，对真空泵的需求和压力都相对降低，对密封结构的需求和压力也相对降低。

第四粗抽机组31包括第四粗抽泵311、第二罗茨泵312、两个第五粗抽阀313和两个第六粗抽阀314，第四粗抽泵311的抽气端通过管道与第一罗茨泵232的出气端连通，第一罗茨泵232的抽气端通过管道与两侧的第五腔室105、第六腔室106、第七腔室107均连通，每个第五粗抽阀313均安装在第二罗茨泵312和位于同一侧的第五腔室105、第六腔室106之间，每个第六粗抽阀314均安装在第二罗茨泵312和其中一个第七腔室107之间，通过第四粗抽泵311和第二罗茨泵312的串联作用，能够对这六个过渡腔室进行初步地抽取真空，这一步骤能够对这六个过渡腔室抽取相对较低的真空度，为下一步骤抽取更高的真空度做准备工作，从而使第五腔室105、第六腔室106和第七腔室107的内部能够快速地实现高真空度，进而使镀膜腔室1内的真空度更快地达到要求，缩短镀膜工作的准备时间。

第一精抽机组32包括维持泵321、维持阀322、第一扩散泵323、第一精抽阀324和第二精抽阀325，维持泵321的抽气端通过管道与第一扩散泵323的出气端相连，维持阀322安装在维持泵321和第一扩散泵323之间的管道上，通过维持泵321作为第一扩散泵323的前级泵，能够对第一扩散泵323预热，使第一扩散泵323快速达到运行的要求，从而缩短镀膜工作的准备时间，第一扩散泵323的抽气端通过管道与同一侧的第五腔室105、第六腔室106均连通，第一精抽阀324安装在第一扩散泵323和第五腔室105之间的管道上，第二精抽阀325安装在第一扩散泵323和第六腔室106之间的管道上，第一扩散泵323能够对第五腔室105和第六腔室106抽取相对较高的真空度，所以第五腔室105和第六腔室106的真空度大于第四腔室104内的真空度。

第二精抽机组33第二扩散泵和第三精抽阀，第二扩散泵的抽气端通过管道与其中一个第七腔室107连通，第三精抽阀分别安装在第二扩散泵与第七腔室107之间的管道上，第七腔室107的真空度又大于第六腔室106的真空度。

两个第二精抽机组33的第二扩散泵331的出气端均与第二罗茨泵312的抽气端连通，并且第二罗茨泵312与两个第二扩散泵331之间的管道上安装有总前置阀34，总前置阀34能够同时控制第二罗茨泵312与两个第二扩散泵331之间的连通关系，当打开总前置阀34时，第二罗茨泵312能够作为两个第二扩散泵331的前级泵，对两个第二扩散泵331预热，使这两个第二扩散泵331快速达到运行的要求，从而缩短镀膜工作的准备时间。

本实用新型的使用方法如下：

当工作人员使用该抽真空机组对卷对卷镀膜系统进行抽真空时，首先打开第四粗抽泵311、总前置阀34、两个维持泵321和两个维持阀322，对两个第一扩散泵323和两个第二扩散泵331进行预热，使者四个扩散泵达到运行要求；然后开启两个第一扩散泵323和两个第二扩散泵331，并对两个第一扩散泵323和两个第二扩散泵331加热；然后开启两侧的第一粗抽泵211、第二粗抽泵221和第三粗抽泵231，再打开两侧的第一粗抽阀212，再按顺序依次打开两侧的第二粗抽阀213、第三粗抽阀222和第四粗抽阀233，从而对第一腔室101、第二腔室102、第三腔室103和第四腔室104进行初步地抽真空；然后关闭总前置阀34，并分别打开两侧的第五粗抽阀313和第六粗抽阀314，对第五腔室105、第六腔室106和第七腔室107进行初步地抽真空，这一步骤能够对这六个过渡腔室抽取相对较低的真空度，为下一步骤抽取更高的真空度做准备工作，从而使第五腔室105、第六腔室106和第七腔室107的内部能够快速地实现高真空度；然后再打开两侧的第一精抽阀324，使第一扩散泵323能够作用于第五腔室105，对两个第五腔室105进行深度抽真空真空度；然后关闭两侧的第五粗抽阀313和第六粗抽阀314，并打开总前置阀34、两侧的第二精抽阀325和两侧的第三精抽阀332，对两个的第六腔室106和两个第七腔室107进行深度抽真空，使镀膜腔室1内的真空度逐渐增大；当镀膜腔室1内的真空度达到工作要求时，便可以开始镀膜工作了。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (9)

1.卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述抽真空控制系统包括两个初级抽真空机构和一个深度抽真空机构，两个所述初级抽真空机构分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，所述初级抽真空机构包括第一粗抽真空组、第二粗抽真空组、第三粗抽真空组，所述第一粗抽真空组对第一腔室和第二腔室进行粗抽真空，所述第二粗抽真空组对第三腔室进行粗抽真空，所述第三粗抽真空组对第四腔室进行粗抽真空；所述深度抽真空机构作用于镀膜腔室两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室，所述深度抽真空机构包括一个第四粗抽机组、两个第一精抽机组和两个第二精抽机组，所述第四粗抽机组对两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室进行粗抽真空，两个所述第一精抽机组分别对其中一侧的第五腔室和第六腔室进行精抽真空，两个所述第二精抽机组分别对两侧的第七腔室进行精抽真空。

2.根据权利要求1所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第一粗抽真空组包括第一粗抽泵、第一粗抽阀和第二粗抽阀，所述第一粗抽泵的抽气端与第一腔室、第二腔室均连通，所述第一粗抽阀安装在第一腔室与第一粗抽泵之间，所述第二粗抽阀安装在第二腔室与第一粗抽泵之间。

3.根据权利要求2所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第二粗抽真空组包括第二粗抽泵和第三粗抽阀；所述第二粗抽泵的抽气端与第三腔室连通，所述第三粗抽阀安装在第二腔室与第一粗抽泵之间。

4.根据权利要求3所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第三粗抽真空组包括第三粗抽泵、第一罗茨泵和第四粗抽阀，所述第三粗抽泵的抽气端与第一罗茨泵的出气端连通，所述第一罗茨泵的抽气端与第四腔室连通，所述第四粗抽阀安装在第四腔室和第一罗茨泵之间。

5.根据权利要求1-4任一权利要求所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第四粗抽机组包括第四粗抽泵、第二罗茨泵、两个第五粗抽阀和两个第六粗抽阀，所述第四粗抽泵的抽气端与第一罗茨泵的出气端连通，所述第一罗茨泵的抽气端与两侧的第五腔室、第六腔室、第七腔室均连通，每个所述第五粗抽阀均安装在第二罗茨泵和位于同一侧的第五腔室、第六腔室之间，每个所述第六粗抽阀均安装在第二罗茨泵和其中一个第七腔室之间。

6.根据权利要求5所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第一精抽机组包括第一扩散泵、第一精抽阀和第二精抽阀，所述第一扩散泵的抽气端与同一侧的第五腔室、第六腔室均连通，所述第一精抽阀安装在第一扩散泵和第五腔室之间，所述第二精抽阀安装在第一扩散泵和第六腔室之间。

7.根据权利要求6所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第一精抽机组还包括维持泵和维持阀，所述维持泵的抽气端与第一扩散泵的出气端相连，所述维持阀安装在维持泵和第一扩散泵之间。

8.根据权利要求6或7所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第二精抽机组包括第二扩散泵和第三精抽阀，所述第二扩散泵的抽气端与其中一个第七腔室连通，所述第三精抽阀安装在第二扩散泵与第七腔室之间。

9.根据权利要求8所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：两个所述第二扩散泵的出气端均与第二罗茨泵的抽气端连通，且所述第二罗茨泵与两个第二扩散泵之间安装有总前置阀。

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