CN213392595U - 一种抽真空系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种抽真空系统，包括：多台低真空泵(P1)，为机械真空泵，具有三台，其中一台机械真空泵用于抽低真空，另外两台机械真空泵与超高压真空扩散泵(P2)直连，用于作为超高压真空扩散泵的前级使用；多台超高真空扩散泵(P2)，与低真空泵(P1)部分通过洁净管路连通；以及阀门系统，分别与低真空泵(P1)以及超高真空扩散泵(P2)通过真空密封焊进行焊接连接；阀门系统包括：多个电磁阀，设置在低真空泵的连接主管路上，并设置连接有小通径旁路；多个电磁高真空挡板阀(V1,V2,V4,V6,V10)；多个电磁高真空自动充放气阀(V8,V10)，设置在系统的洁净管道中，工艺结束对加热炉腔体放气；以及电动插板阀门(V3)，安装在每个超高真空扩散泵的进气口。
Description
技术领域
本实用新型涉及抽真空系统技术领域，特别是一种对真空玻璃的抽真空系统。
背景技术
随着技术不断革新，生产真空玻璃企业也不断创新，目前市场应用中，采用仅有主路抽真空，没有辅助管道，而玻璃所需真空环境日益加大，这样导致，设备在抽真空时，需要时间变长，真空度技术指标达不到玻璃生产要求，玻璃满足不了现代工艺要求和客户需求，同时，若满足要求情况下，生产厂家的投入成本加大，导致生产厂商成本递增。总之目前用于抽真空系统设备已不能满足市场行情，就需要可实现对玻璃真空环境的有效抽气，功能、性能和安全方面实现兼顾的新的抽真空系统。
实用新型内容
为了克服现有技术存在的上述问题，本实用新型提供一种抽真空系统，抽真空时能够更好解决生产实际问题，产品满足客户需求，技术创新更进一步的同时响应国家2025计划。当主管路关闭低真空阀时，开启高真空阀，此时辅助真空管路仍继续抽低真空，解决了系统真空度不足问题，使厂家生产玻璃时，能够达到更高的标准，满足客户使用需求。
为了实现上述目的，本实用新型通过如下的技术方案来实现：一种抽真空系统，包括：
多台低真空泵(P1)，所述低真空泵(P1)为机械真空泵，具有三台，其中一台所述机械真空泵用于抽低真空，另外两台所述机械真空泵与所述超高真空扩散泵(P2)直连，用于作为所述超高真空扩散泵的前级使用；
多台超高真空扩散泵(P2)，与所述低真空泵(P1)部分通过洁净管路连通；以及
阀门系统，分别与所述低真空泵(P1)以及所述超高真空扩散泵(P2)通过真空密封焊进行焊接连接。
优选的，所述阀门系统包括：
多个电磁阀，设置在所述低真空泵(P1)的连接主管路上，并设置连接有小通径旁路；
多个电磁高真空挡板阀(V1,V2,V4,V6,V10)，其中部分电磁高真空挡板阀(V6)为多个并联的电磁高真空挡板阀。
多个电磁高真空自动充放气阀(V8)，设置在所述系统的洁净管道中，用于工艺结束对加热炉腔体的放气；以及
电动插板阀门(V3)，安装在每个所述超高真空扩散泵的进气口。
优选的，所述洁净管路为不锈钢真空管路，所述不锈钢真空管路的内壁抛光。
优选的，所述超高真空扩散泵(P2)与所述低真空泵(P1)的连接管路部分采用刀口密封形式的金属密封。
优选的，所述小通径旁路上安装手动球阀(V7)。
优选的，所述系统还具有两组高低真空测量计，所述高低真空测量计前端接有隔离装置，包括多个真空计，高低真空测量计通过所述真空计与PLC进行通讯传送设定点和真空曲线以供显示和控制。
优选的，所述高低真空测量计包括电阻规(G1)和电离规(G2)，与并联的电磁高真空挡板阀连接，分别测量低真空和高真空。
优选的，所述高低真空测量计包括热偶真空计和电离规(G2)，与并联的电磁高真空挡板阀连接，分别测量低真空和高真空。
优选的，所述系统还包括保护阀，所述保护阀为每路洁净管路形成的抽真空管路上设置的多个电磁保护阀。
优选的，所述阀门系统的控制和信号引线集中接入一接线端子箱内，接线端子箱置于加热炉的腔体两侧。
本实用新型的有益效果是：
抽真空10分钟，低真空度可达到5Pa；抽真空1小时，排气封口装置与炉内工件连接处，真空度可达到5*10-3Pa，可达到真空玻璃加工条件。
根据下文结合附图对本发明具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本发明的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本发明的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。本发明的目标及特征考虑到如下结合附图的描述将更加明显，附图中：
附图1为根据本实用新型实施例的抽真空系统结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明，但并不用来限制本发明的保护范围。
参见图1，一种抽真空系统，包括：多台低真空泵P1；多台超高真空扩散泵P2，与低真空泵P1部分通过洁净管路连通；以及阀门系统，分别与低真空泵P1以及超高真空扩散泵P2 焊接连接。
阀门系统包括：
多个电磁阀，设置在低真空泵P1的连接主管路上，并设置连接有小通径旁路；
多个电磁高真空挡板阀V1,V2,V4,V6,V10，其中电磁高真空挡板阀V6为多个并联的电磁高真空挡板阀；
多个电磁高真空自动充放气阀V8，设置在系统的洁净管道中，用于工艺结束对加热炉腔体的放气；以及
电动插板阀门V3，安装在每个超高真空扩散泵P2的进气口。
低真空泵P1为机械真空泵，具有三台，其中一台机械真空泵用于抽低真空，另外两台机械真空泵与所述超高真空扩散泵P2直连，用于作为超高真空扩散泵的前级使用。
洁净管路为不锈钢真空管路，不锈钢真空管路的内壁抛光。焊接为真空密封焊，焊接后需要进行泄漏检测。超高真空扩散泵P2与低真空泵P1的连接管路部分采用刀口密封形式的金属密封，连接管路按超高真空要求进行烘烤。小通径旁路上安装手动球阀V7，用于在抽低真空开始阶段对抽速调节。
系统还具有两组高低真空测量计，高低真空测量计前端接有隔离装置，高低真空测量计通过真空计与PLC进行通讯传送设定点和真空曲线以供显示和控制。
本实施例中高低真空测量计包括电阻规G1和电离规G2，与并联的电磁高真空挡板阀连接。电阻规G1以及电离规G2是两种不同原理的规管，由于原理的限制，电阻规测量低真空比较好(大气压到5*10-4bar)，而电离规测量高真空比较好(0.01mbar-10-9mbar)。当然由于本应用需要全量程的真空规，因此可以将两者制作形成复合规管，然后根据真空度自由转换。
当然，高低真空测量计还可以选择包括热偶真空计和电离规(G2)，与并联的电磁高真空挡板阀连接。
系统还包括保护阀，保护阀为每路洁净管路形成的抽真空管路上设置的多个电磁保护阀，在抽低真空工艺开始和后续的低真空、高真空抽真空整个工艺过程中自动逐个对每个抽真空管路进行真空检漏，发现泄漏，关闭相应的管路进行保护。
阀门系统的控制和信号引线集中接入一接线端子箱内，接线端子箱置于加热炉的腔体两侧，由控制系统统一接入并实现集中控制。
本实施例系统实施后，当主管路关闭低真空阀时，开启高真空阀，此时辅助真空管路仍继续抽低真空，解决了系统真空度不足问题，使厂家生产玻璃时，能够达到更高的标准，满足客户使用需求；抽真空10分钟，低真空度可达到5Pa；抽真空1小时，排气封口装置与炉内工件连接处，真空度可达到5*10-3Pa，可达到真空玻璃加工条件。
以上对本实用新型实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本发明实施例的原理；同时本领域的一般技术人员，根据本实用新型的实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (10)
1.一种抽真空系统，其特征在于包括：
多台低真空泵(P1)，所述低真空泵(P1)为机械真空泵，具有三台，其中一台所述机械真空泵用于抽低真空，另外两台所述机械真空泵与超高真空扩散泵(P2)直连，用于作为所述超高真空扩散泵的前级使用；
多台超高真空扩散泵(P2)，通过洁净管路与低真空泵(P1)连通；以及
阀门系统，分别与所述低真空泵(P1)以及所述超高真空扩散泵(P2)通过真空密封焊进行焊接连接。
2.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述阀门系统包括：
多个电磁阀，设置在所述低真空泵(P1)的连接主管路上，并设置连接有小通径旁路；
多个电磁高真空挡板阀(V1,V2,V4,V6,V10)，其中部分电磁高真空挡板阀(V6)为多个并联的电磁高真空挡板阀；
多个电磁高真空自动充放气阀(V8)，设置在所述系统的洁净管道中，用于工艺结束对加热炉腔体的放气；以及
电动插板阀门(V3)，安装在每个所述超高真空扩散泵的进气口。
3.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述洁净管路为不锈钢真空管路，所述不锈钢真空管路的内壁抛光。
4.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述超高真空扩散泵(P2)与所述低真空泵(P1)的连接管路部分采用刀口密封形式的金属密封。
5.根据权利要求2所述的一种抽真空系统，其特征在于所述小通径旁路上安装手动球阀(V7)。
6.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述系统还具有两组高低真空测量计，所述高低真空测量计前端接有隔离装置，包括多个真空计，高低真空测量计通过所述真空计与PLC进行通讯传送设定点和真空曲线以供显示和控制。
7.根据权利要求6所述的一种抽真空系统，其特征在于所述高低真空测量计包括电阻规(G1)和电离规(G2)，与并联的电磁高真空挡板阀连接，分别测量低真空和高真空。
8.根据权利要求6所述的一种抽真空系统，其特征在于所述高低真空测量计包括热偶真空计和电离规(G2)，与并联的电磁高真空挡板阀连接，分别测量低真空和高真空。
9.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述系统还包括保护阀，所述保护阀为每路洁净管路形成的抽真空管路上设置的多个电磁保护阀。
10.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述阀门系统的控制和信号引线集中接入一接线端子箱内，接线端子箱置于加热炉的腔体两侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202020106544.7U CN213392595U (zh) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | 一种抽真空系统 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202020106544.7U CN213392595U (zh) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | 一种抽真空系统 |
Publications (1)
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| CN213392595U true CN213392595U (zh) | 2021-06-08 |
Family
ID=76176897
Family Applications (1)
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| CN202020106544.7U Active CN213392595U (zh) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | 一种抽真空系统 |
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| CN (1) | CN213392595U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113944610A (zh) * | 2021-08-26 | 2022-01-18 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种高温高真空除气设备及方法 |
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2020
- 2020-01-17 CN CN202020106544.7U patent/CN213392595U/zh active Active
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