CN207685340U - 一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，在利用本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统为镀膜作业建立真空环境时，抽真空装置对真空罐进行抽真空而使得真空罐储备真空，在需要对进料腔室抽真空时，抽真空装置对进料腔室进行抽真空的同时，真空罐与进料腔室连通而吸入进料腔室中的气体，从而加快进料腔室的气压降低的速度；在进料腔室与真空罐之间的气压较为接近时，真空罐与进料腔室之间的第二截止阀关闭，抽真空装置仅对进料腔室进行抽真空，从而使得进料腔室的真空度迅速达到要求。

Description

一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统

技术领域

本实用新型涉及一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统。

背景技术

太阳能作为取之不尽用之不竭的新能源，最近几年得到了长足的进步与发展。CIGS薄膜太阳能电池是全球光伏领域的开创性成果，是新一代最具竞争力的商业化薄膜太阳能电池，具有稳定性好、抗辐照性能好、成本低、效率高等优点。CIGS产线需要经过很多工艺过程，其核心设备是镀膜设备，包括磁控溅射镀膜和蒸发镀膜等方法，这都需要在真空环境下进行。其中铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线是整个工艺实现的基础。

对于铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线，规定两片玻璃原片进入进口腔室的时间间隔为机械节拍。铜铟镓生产线的产能和机械节拍息息相关。一般一个机械节拍包括很多动作，比如进口腔室破空、门阀打开、玻璃传输、门阀关闭、进口室抽真空等等。为了提高经济效益，加快机械节拍就成了关键手段。经过分析可以得出，机械动作时间很短，进一步压缩的可能性比较小。抽真空的时间占到整个节拍的50％左右，所以怎么提高抽真空的时间就成了关键手段。

一般为了达到快速抽空的目的，进口腔室的真空泵一般都是常开的。所以在进口腔室处于大气状态的时候，真空泵一直在做无用功，浪费了大量能源。

以往加快抽空时间主要从两个方面着手，一个是减少腔体容积，经过技术的提高，这一块基本已经做到极限，提高的空间不大。另一个方法是配置更多的真空泵或者配置抽速更快的真空泵。这不但会大大提高固定资产的投入，同时受到真空泵的限制，没有更快的泵可选。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法，能够提高生产节奏，提高生产效率。

为实现上述目的，本实用新型提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，采用如下技术方案：一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，包括进料腔室和缓冲腔室，进料腔室具有进料门阀，进料腔室与缓冲腔室之间设有隔离门阀；进料腔室上连接有第一连接管和第二连接管，第一连接管上连接有抽真空装置和第一截止阀，第一截止阀位于抽真空装置与进料腔室之间，第二连接管上连接有真空罐和第二截止阀，第二截止阀位于进料腔室与真空罐之间，抽真空装置与真空罐连接有第三连接管，第三连接管上设有第三截止阀；所述第一连接管上连接有第一真空计，第一真空计位于第一截止阀和抽真空装置之间，所述进料腔室上连接有第二真空计，所述真空罐上连接有第三真空计。

优选地，所述抽真空装置包括罗茨泵与旋片泵，罗茨泵连接于旋片泵与第一截止阀之间。

优选地，所述第一连接管上连接有第一破真空阀，第一破真空阀上连接有第一消音器；第一破真空阀位于抽真空装置与第一截止阀之间。

优选地，所述第一真空计位于第一破真空阀和抽真空装置之间。

优选地，所述进料腔室上连接有第二破真空阀，第二破真空阀上连接有第二消音器。

优选地，所述真空罐上连接有第三破真空阀，第三破真空阀上连接有第三消音器。

优选地，所述第一截止阀位于抽真空装置和真空罐之间的管道上，第二截止阀位于真空罐和进料腔室之间的管道上。

与本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统相应地，本实用新型还提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法，采用如下技术方案：一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法，利用上述技术方案或其任一优选的技术方案所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统进行作业，包括如下作业步骤：1)初始状态下，第一截止阀和第二截止阀关闭，第三截止阀打开，抽真空装置对真空罐进行抽真空；隔离门阀处于关闭状态；2)将进料门阀打开，将待镀膜玻璃送入进料腔室，然后再将进料门阀关闭；3)关闭第三截止阀，并打开第一截止阀和第二截止阀，抽真空装置通过第一连接管对进料腔室抽真空，并且进料腔室中的气体通过第二连接管被吸入真空罐；4)第一真空计测得压力值为P1，第二真空计测得压力值为P2，第三真空计测得压力值为P3，定义P2和P3的差值为P23，当P23达到设定值△P时，关闭第二截止阀；5)抽真空装置继续对进料腔室抽真空；当第二真空计测得进料腔室内压力达到设定值P2’时，关闭第一截止阀以停止对进料腔室抽真空；并打开第三截止阀以使抽真空装置对真空罐进行抽真空；6)打开隔离门阀，将待镀膜玻璃送入缓冲腔室，然后再将隔离门阀关闭。

优选地，所述第一连接管上连接有第一破真空阀，所述进料腔室上连接有第二破真空阀，所述真空罐上连接有第三破真空阀；在上述步骤2)中，先将第二破真空阀打开以破除进料腔室的真空度，当第二真空计测得进料腔室内压力达到设定值P2”时，再将进料腔室的进料门阀打开。

如上所述，本实用新型涉及的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，具有以下有益效果：在利用本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统为镀膜作业建立真空环境时，可以先将第一截止阀和第二截止阀关闭，第三截止阀打开，抽真空装置对真空罐进行抽真空而使真空罐储备真空度；在将待镀膜玻璃送入进料腔室之后，将进料门阀和隔离门阀关闭，将第三截止阀关闭，并打开第一截止阀和第二截止阀，抽真空装置对进料腔室进行抽真空，由于真空罐会将进料腔室中的气体吸入真空罐而使得进料腔室的气压快速地降低，当第二真空计测得值P2和第三真空计测得值P3的平均值P23与第一真空计测得值P1之间的差值达到设定值△P时，真空罐中的压力与进料腔室中的压力已经较为接近，此时，将第二截止阀关闭，抽真空装置就单独对进料腔室抽真空，能够使得进料腔室中的真空度快速地达到要求。由此可见，在未对进料腔室抽真空时，抽真空装置对真空罐进行抽真空而使得真空罐储备真空，在需要对进料腔室抽真空时，抽真空装置对进料腔室进行抽真空的同时，真空罐与进料腔室连通而吸入进料腔室中的气体，从而加快进料腔室的气压降低的速度；在进料腔室与真空罐之间的气压较为接近时，真空罐与进料腔室之间的第二截止阀关闭，抽真空装置仅对进料腔室进行抽真空，从而使得进料腔室的真空度迅速达到要求。这样，本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统能够提高生产节奏，提高生产效率。

本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法也当然具有上述有益效果，此处不再赘述。

附图说明

图1显示为本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的示意图。

元件标号说明

1 进料腔室 13 第三真空计

2 进料门阀 14 第一截止阀

3 隔离门阀 15 第二截止阀

4 缓冲腔室 16 第三截止阀

5 真空罐 17 第一破真空阀

6 旋片泵 18 第一消音器

7 罗茨泵 19 第二破真空阀

8 第一连接管 20 第二消音器

9 第二连接管 21 第三破真空阀

10 第三连接管 22 第三消音器

11 第一真空计 23 传送辊

12 第二真空计 24 待镀膜玻璃

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示，本实用新型提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，包括进料腔室1和缓冲腔室4，进料腔室1具有进料门阀2，进料腔室1与缓冲腔室4之间设有隔离门阀3；进料腔室1上连接有第一连接管8和第二连接管9，第一连接管8上连接有抽真空装置和第一截止阀14，第一截止阀14位于抽真空装置与进料腔室1之间，第二连接管9上连接有真空罐5和第二截止阀15，第二截止阀15位于进料腔室1与真空罐5之间，抽真空装置与真空罐5连接有第三连接管10，第三连接管10上设有第三截止阀16；所述第一连接管8上连接有第一真空计11，第一真空计11位于第一截止阀14和抽真空装置之间，所述进料腔室1上连接有第二真空计12，所述真空罐5上连接有第三真空计13。在利用本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统为镀膜作业建立真空环境时，可以先将第一截止阀14和第二截止阀15关闭，第三截止阀16打开，抽真空装置对真空罐5进行抽真空而使真空罐5储备真空度；在进料腔室1的进料门阀2处设有传送辊23，传送辊23将待镀膜玻璃24送入进料腔室1之后，将进料门阀2和隔离门阀3关闭，将第三截止阀16关闭，并打开第一截止阀14和第二截止阀15，抽真空装置对进料腔室1进行抽真空，由于真空罐5会将进料腔室1中的气体吸入真空罐5而使得进料腔室1的气压快速地降低，当第二真空计12测得值P2和第三真空计13测得值P3的平均值P23与第一真空计11测得值P1之间的差值达到设定值△P时，真空罐5中的压力与进料腔室1中的压力已经较为接近，此时，将第二截止阀15关闭，抽真空装置就单独对进料腔室1抽真空，能够使得进料腔室1中的真空度快速地达到要求。由此可见，在未对进料腔室1抽真空时，抽真空装置对真空罐5进行抽真空而使得真空罐5储备真空，在需要对进料腔室1抽真空时，抽真空装置对进料腔室1进行抽真空的同时，真空罐5与进料腔室1连通而吸入进料腔室1中的气体，从而加快进料腔室1的气压降低的速度；在进料腔室1与真空罐5之间的气压较为接近时，真空罐5与进料腔室1之间的第二截止阀15关闭，抽真空装置仅对进料腔室1进行抽真空，从而使得进料腔室1的真空度迅速达到要求。这样，本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统能够提高生产节奏，提高生产效率。

在本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统中，为了提高生产效率，需要使进料腔室1迅速地达到真空度要求，为此，可以采用串联连接的旋片泵6和罗茨泵7串联作为抽真空装置，如图1所示，所述抽真空装置包括罗茨泵7与旋片泵6，罗茨泵7连接于旋片泵6与第一截止阀14之间。所述罗茨泵7是抽真空的主泵，所述旋片泵6作为罗茨泵7的前级泵，这样可以满足快速抽空的要求，罗茨泵7需配备旁通阀，以便于在大气下直接启动，罗茨泵7和旋片泵6常开，在进料腔室1不需要抽真空时，将第一截止阀14和第二截止阀15关闭且将第三截止阀16打开以对真空罐5进行抽真空，在需要对进料腔室1抽真空时，将第三截止阀16关闭，将第一截止阀14和第二截止阀15打开以对进料腔室1进行抽真空。这样，罗茨泵7和旋片泵6保持持续工作，可以提高抽真空的效率，提高生产节奏。当然，抽真空装置并不限于上述罗茨泵7与旋片泵6的组合方式，只要抽真空装置能够对真空管及其他管路抽真空即可。

在本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统不工作时，可以将进料腔室1和真空罐5以及管路中的真空破除，如图1所示，可以在所述第一连接管8上连接有第一破真空阀17，需要破除第一连接管8中的真空时就将第一破真空阀17打开，为了减小破除真空时的气流噪音，第一破真空阀17上连接有第一消音器18；第一破真空阀17位于抽真空装置与第一截止阀14之间；作为一种优选的方式，所述第一真空计11位于第一破真空阀17和抽真空装置之间。为了方便地破除进料腔室1中的真空，所述进料腔室1上连接有第二破真空阀19，优选地，第二破真空阀19上连接有第二消音器20。为了破除真空罐5中的真空，所述真空罐5上连接有第三破真空阀21，可以在第三破真空阀21上连接第三消音器22。在抽真空装置对进料腔室1单独抽真空时，抽真空装置需要抽吸的空间越小，进料腔室1就能越快地达到真空度要求，为此，可以使所述第一截止阀14和第二截止阀15靠近进料腔室1，所述第一截止阀(14)位于抽真空装置和真空罐之间的管道上，第二截止阀(15)位于真空罐和进料腔室之间的管道上。这样，抽真空装置所需要抽吸的空间就较小，为了使得抽真空装置所需要抽吸的空间进一步地减小，所述第三截止阀16靠近第一连接管8。

作为一种优选的实施方式，所述真空罐5为圆柱形的压力容器，将真空罐5固定在地面上，以防止受到气体冲击时发生晃动甚至倾倒。

与本实用新型的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统相应地，本实用新型还提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法，采用如下技术方案：一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法，利用上述技术方案或其任一优选的技术方案所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统进行作业，包括如下作业步骤：

1)初始状态下，第一截止阀14和第二截止阀15关闭，第三截止阀16打开，抽真空装置对真空罐5进行抽真空；隔离门阀3处于关闭状态；

2)将进料门阀2打开，将待镀膜玻璃24送入进料腔室1，然后再将进料门阀2关闭；

3)关闭第三截止阀16，并打开第一截止阀14和第二截止阀15，抽真空装置通过第一连接管8对进料腔室1抽真空，并且进料腔室1中的气体通过第二连接管9被吸入真空罐5；

4)第一真空计11测得压力值为P1，第二真空计12测得压力值为P2，第三真空计13测得压力值为P3，定义P2和P3的差值为P23，当P23达到设定值△P时，关闭第二截止阀15；△P的大小根据实际需要而设定；

5)抽真空装置继续对进料腔室1抽真空；当第二真空计12测得进料腔室1内压力达到设定值P2’时，关闭第一截止阀14以停止对进料腔室1抽真空；并打开第三截止阀16以使抽真空装置对真空罐5进行抽真空；P2’的大小根据实际需要而设定；

6)打开隔离门阀3，将待镀膜玻璃24送入缓冲腔室4，然后再将隔离门阀3关闭。

以上为一个作业循环。

由此可见，利用本实用新型的一种生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统的作业方法进行作业，在未对进料腔室1抽真空时，抽真空装置对真空罐5进行抽真空而使得真空罐5储备真空，在需要对进料腔室1抽真空时，抽真空装置对进料腔室1进行抽真空的同时，真空罐5与进料腔室1连通而吸入进料腔室1中的气体，从而加快进料腔室1的气压降低的速度；在进料腔室1与真空罐5之间的气压较为接近时，真空罐5与进料腔室1之间的第二截止阀15关闭，抽真空装置仅对进料腔室1进行抽真空，从而使得进料腔室1的真空度迅速达到要求，这样能够提高生产节奏，提高生产效率。

在向进料腔室1中送入带镀膜玻璃时，由于进料腔室1之前被抽真空，所以在打开进料腔室1的进料门阀2之前需要先破除进料腔室1的真空，作为一种优选的实施方式，所述第一连接管8上连接有第一破真空阀17，所述进料腔室1上连接有第二破真空阀19，所述真空罐5上连接有第三破真空阀21；在上述步骤2)中，先将第二破真空阀19打开以破除进料腔室1的真空度，当第二真空计12测得进料腔室1内压力达到设定值P2”时，再将进料腔室1的进料门阀2打开。P2”应该接近于进料腔室1外面的气压值，具体的大小范围需要根据实际情况而设定。

在上述步骤4)中，第一真空计11测得压力P1为抽真空装置吸气口处的气体压力，第二真空计12测得压力值为P2为进料腔室1内的气体压力，第三真空计13测得压力值为P3为真空罐5中的气体压力，由于真空罐5与进料腔室1处于连通状态，进料腔室1与真空罐5中的气体压力较为接近时，真空罐5对降低进料腔室1中气压的作用就不大了，此时可以将第二截止阀15关闭而将真空罐5与进料腔室1隔绝，抽真空装置单独对真空罐5进行抽真空。

综上所述，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征是，包括进料腔室(1)和缓冲腔室(4)，进料腔室(1)具有进料门阀(2)，进料腔室(1)与缓冲腔室(4)之间设有隔离门阀(3)；进料腔室(1)上连接有第一连接管(8)和第二连接管(9)，第一连接管(8)上连接有抽真空装置和第一截止阀(14)，第一截止阀(14)位于抽真空装置与进料腔室(1)之间，第二连接管(9)上连接有真空罐(5)和第二截止阀(15)，第二截止阀(15)位于进料腔室(1)与真空罐(5)之间，抽真空装置与真空罐(5)连接有第三连接管(10)，第三连接管(10)上设有第三截止阀(16)；

所述第一连接管(8)上连接有第一真空计(11)，第一真空计(11)位于第一截止阀(14)和抽真空装置之间，所述进料腔室(1)上连接有第二真空计(12)，所述真空罐(5)上连接有第三真空计(13)。

2.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述抽真空装置包括罗茨泵(7)与旋片泵(6)，罗茨泵(7)连接于旋片泵(6)与第一截止阀(14)之间。

3.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述第一连接管(8)上连接有第一破真空阀(17)；第一破真空阀(17)位于抽真空装置与第一截止阀(14)之间。

4.根据权利要求3所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述第一真空计(11)位于第一破真空阀(17)和抽真空装置之间。

5.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述进料腔室(1)上连接有第二破真空阀(19)。

6.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述真空罐(5)上连接有第三破真空阀(21)。

7.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述第一截止阀(14)位于抽真空装置和真空罐之间的管道上，第二截止阀(15)位于真空罐和进料腔室之间的管道上。