CN205907355U - 真空镀膜系统用的快速抽真空机组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种真空镀膜系统用的快速抽真空机组，包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路设于真空镀膜系统的预抽室中，第二抽气管路设于真空镀膜系统的粗抽室中，第一抽气管路与第二抽气管路之间通过旁通管连通，旁通管上设有旁通阀。本快速抽真空机组是在传统真空镀膜系统的抽真空机组结构上进行改进的，其结构简单，改造成本低，但对于粗抽室的抽真空需求来说，具有较好的抽真空效果，同时可实现快速抽真空，缩短抽真空的循环周期，进一步缩短工件镀膜周期，本真空镀膜系统用的快速抽真空机组在试验中，相比传统抽真空机组，其抽真空的循环周期缩短了5～10秒，有效提高了镀膜系统的生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空镀膜系统用的快速抽真空机组。
背景技术
在真空镀膜系统中，对各真空室的抽真空处理，影响着各个工艺工序的效率和镀膜质量。工件进入镀膜室进行镀膜的前后，均需要先送入预抽室、粗抽室、精抽室等进行预处理或缓冲处理。在传统的真空镀膜系统中，每个真空室分别设有独立的抽真空机组，各自独立使用。但在实际生产中，该结构的真空镀膜系统的抽真空效果并不理想，尤其是针对粗抽室的抽真空，由于罗茨泵的前级抽气能力往往较差，粗抽室内难以达到低压强状态，使得工件在粗抽室内难以得到较好的缓冲处理，往往容易影响后续加工工序的加工效果；同时，对粗抽室进行抽真空时，其用时也长，因此也延长了整个真空镀膜系统的镀膜周期，镀膜效率难以得到提高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构简单、抽真空效果较好且可有效缩短镀膜周期的真空镀膜系统用的快速抽真空机组。
本实用新型的技术方案为：一种真空镀膜系统用的快速抽真空机组，包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路设于真空镀膜系统的预抽室中，第二抽气管路设于真空镀膜系统的粗抽室中，第一抽气管路与第二抽气管路之间通过旁通管连通，旁通管上设有旁通阀。
所述第一抽气管路包括并列设置的第一抽气管和第二抽气管，第一抽气管上设有第一粗抽阀，第一抽气管末端设有第一机械泵，第二抽气管上设有第二粗抽阀，第二抽气管末端设有第二机械泵。其中，第一抽气泵和第二抽气泵相互独立工作，对预抽室进行抽真空时，根据实际的工艺需求，可只采用第一抽气泵或第二抽气泵进行抽真空工作，也可同时开启，实现快速抽气。
所述第二抽气管路包括第三抽气管，第三抽气管上设有第三阀门，沿气体输送方向，第三抽气管的末端依次设有罗茨泵和第三机械泵，旁通管连通于第二机械泵的进口端和第三机械泵的进口端之间。在第二机械泵和第三机械泵之间设置旁通管及旁通阀的主要目的是：由于罗茨泵对粗抽室抽气时，打开第二真空锁的瞬间，粗抽室内的真空压强上升较大，而罗茨泵的前级抽气能力较差，仅使用第三机械泵进行抽气时，其抽气能力较小，抽气效率也低，因此，开启旁通阀，通过旁通管将第二机械泵和第三机械泵连通，通过两台机械泵串联对罗茨泵进行抽气，可以使罗茨泵出口的压强大大降低，从而满足罗茨泵在入口压强较高的情况下也能正常运行工作。
所述旁通阀打开前，第二粗抽阀处于关闭状态，第三阀门、罗茨泵和第三机械泵均处于开启状态。
所述预抽室和粗抽室为真空镀膜系统中相邻的两个真空室。
所述预抽室为真空镀膜系统中进片端或出片端的预抽室，粗抽室相应为真空镀膜系统中进片端或出片端的粗抽室。即预抽室和粗抽室相邻设于真空镀膜系统的进片端或出片端，而在实际生产中，通常在进片端和出片端同时设置。
所述预抽室的外端设有第一真空锁，预抽室与粗抽室的连接处设有第二真空锁。第一真空锁和第二真空锁的设置是为了保证预抽室和粗抽室之间的相互独立性。
上述真空镀膜系统用的快速抽真空机组使用时，以预抽室和粗抽室设于真空镀膜系统的进片端为例，其原理是：先在预抽室中放入大气，然后关闭第一真空锁，打开第一粗抽阀和第二粗抽阀，第一机械泵和第二机械泵分别对预抽室进行抽气；当预抽室内的真空压强达到设定值后，打开第二真空锁，同时关闭第二粗抽阀，并打开旁通阀(打开旁通阀之前，第三机械泵和罗茨泵处于开启状态，第三阀门处于打开状态，即粗抽室也处于抽气状态)；打开第二真空锁后，预抽室内的工件送入粗抽室中，然后关闭第二真空锁，再关闭第一粗抽阀，延时一段时间(该时间段可根据实际工艺需求进行设定，一般为几秒)后关闭旁通阀；最后重新对预抽室进行放气，至此为一个抽真空的循环周期。上述过程中，由于罗茨泵对粗抽室进行抽气时，打开第二真空锁的瞬间，粗抽室内的真空压强上升较大，而罗茨泵的前级抽气能力较差，仅使用第三机械泵进行抽气时，其抽气能力较小，抽气效率也低，因此，开启旁通阀，通过旁通管将第二机械泵和第三机械泵连通，通过两台机械泵串联对罗茨泵进行抽气，可以使罗茨泵出口的压强大大降低，从而满足罗茨泵在入口压强较高的情况下也能正常运行工作。
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
本真空镀膜系统用的快速抽真空机组是在传统真空镀膜系统的抽真空机组结构上进行改进的，针对粗抽室抽真空时存在的缺陷，通过在相邻两组抽真空机组中增设旁通管及旁通阀，从而实现多个机械泵串联对粗抽室的罗茨泵出口进行抽气，可以使罗茨泵出口的压强大大降低，从而满足罗茨泵在入口压强较高的情况下也能正常运行工作。
本真空镀膜系统用的快速抽真空机组的结构简单，改造成本低，但对于粗抽室的抽真空需求来说，具有较好的抽真空效果，同时可实现快速抽真空，缩短抽真空的循环周期，进一步缩短工件镀膜周期，本真空镀膜系统用的快速抽真空机组在试验中，相比传统抽真空机组，其抽真空的循环周期缩短了5～10秒，有效提高了镀膜系统的生产效率。
附图说明
图1为真空镀膜系统的进片端和出片端同时设置本快速抽真空机组的原理示意图。
图中，1为第一粗抽阀，2为第一机械泵，3为第二机械泵，4为第二粗抽阀，5为旁通阀，6为第三机械泵，7为罗茨泵，8为进片平台，9为第一真空锁，10为预抽室，11为第二真空锁，12为粗抽室，13为精抽室，14为第三阀门，15为第一抽气管，16为第二抽气管，17为第三抽气管，18为旁通管。
具体实施方式
下面结合实施例，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种真空镀膜系统用的快速抽真空机组，如图1所示，真空镀膜系统的进片端和出片端分别设置本快速抽真空机组。
快速抽真空机组包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路设于真空镀膜系统的预抽室中，第二抽气管路设于真空镀膜系统的粗抽室中，第一抽气管路与第二抽气管路之间通过旁通管连通，旁通管上设有旁通阀。
其中，第一抽气管路包括并列设置的第一抽气管和第二抽气管，第一抽气管上设有第一粗抽阀，第一抽气管末端设有第一机械泵，第二抽气管上设有第二粗抽阀，第二抽气管末端设有第二机械泵。其中，第一抽气泵和第二抽气泵相互独立工作，对预抽室进行抽真空时，根据实际的工艺需求，可只采用第一抽气泵或第二抽气泵进行抽真空工作，也可同时开启，实现快速抽气。
第二抽气管路包括第三抽气管，第三抽气管上设有第三阀门，沿气体输送方向，第三抽气管的末端依次设有罗茨泵和第三机械泵，旁通管连通于第二机械泵的进口端和第三机械泵的进口端之间。在第二机械泵和第三机械泵之间设置旁通管及旁通阀的主要目的是：由于罗茨泵对粗抽室抽气时，打开第二真空锁的瞬间，粗抽室内的真空压强上升较大，而罗茨泵的前级抽气能力较差，仅使用第三机械泵进行抽气时，其抽气能力较小，抽气效率也低，因此，开启旁通阀，通过旁通管将第二机械泵和第三机械泵连通，通过两台机械泵串联对罗茨泵进行抽气，可以使罗茨泵出口的压强大大降低，从而满足罗茨泵在入口压强较高的情况下也能正常运行工作。
旁通阀打开前，第二粗抽阀处于关闭状态，第三阀门、罗茨泵和第三机械泵均处于开启状态。
预抽室和粗抽室为真空镀膜系统中相邻的两个真空室。
预抽室的外端设有第一真空锁，预抽室与粗抽室的连接处设有第二真空锁。第一真空锁和第二真空锁的设置是为了保证预抽室和粗抽室之间的相互独立性。
上述真空镀膜系统用的快速抽真空机组使用时，以预抽室和粗抽室设于真空镀膜系统的进片端为例，其原理是：先在预抽室中放入大气，然后关闭第一真空锁，打开第一粗抽阀和第二粗抽阀，第一机械泵和第二机械泵分别对预抽室进行抽气；当预抽室内的真空压强达到设定值后，打开第二真空锁，同时关闭第二粗抽阀，并打开旁通阀(打开旁通阀之前，第三机械泵和罗茨泵处于开启状态，第三阀门处于打开状态，即粗抽室也处于抽气状态)；打开第二真空锁后，预抽室内的工件送入粗抽室中，然后关闭第二真空锁，再关闭第一粗抽阀，延时一段时间(该时间段可根据实际工艺需求进行设定，一般为几秒)后关闭旁通阀；最后重新对预抽室进行放气，至此为一个抽真空的循环周期。上述过程中，由于罗茨泵对粗抽室进行抽气时，打开第二真空锁的瞬间，粗抽室内的真空压强上升较大，而罗茨泵的前级抽气能力较差，仅使用第三机械泵进行抽气时，其抽气能力较小，抽气效率也低，因此，开启旁通阀，通过旁通管将第二机械泵和第三机械泵连通，通过两台机械泵串联对罗茨泵进行抽气，可以使罗茨泵出口的压强大大降低，从而满足罗茨泵在入口压强较高的情况下也能正常运行工作。
如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
Claims (7)
1.真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路设于真空镀膜系统的预抽室中，第二抽气管路设于真空镀膜系统的粗抽室中，第一抽气管路与第二抽气管路之间通过旁通管连通，旁通管上设有旁通阀。
2.根据权利要求1所述真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，所述第一抽气管路包括并列设置的第一抽气管和第二抽气管，第一抽气管上设有第一粗抽阀，第一抽气管末端设有第一机械泵，第二抽气管上设有第二粗抽阀，第二抽气管末端设有第二机械泵。
3.根据权利要求2所述真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，所述第二抽气管路包括第三抽气管，第三抽气管上设有第三阀门，沿气体输送方向，第三抽气管的末端依次设有罗茨泵和第三机械泵，旁通管连通于第二机械泵的进口端和第三机械泵的进口端之间。
4.根据权利要求3所述真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，所述旁通阀打开前，第二粗抽阀处于关闭状态，第三阀门、罗茨泵和第三机械泵均处于开启状态。
5.根据权利要求1所述真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，所述预抽室和粗抽室为真空镀膜系统中相邻的两个真空室。
6.根据权利要求5所述真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，预抽室为真空镀膜系统中进片端或出片端的预抽室，粗抽室相应为真空镀膜系统中进片端或出片端的粗抽室。
7.根据权利要求5所述真空镀膜系统用的快速抽真空机组，其特征在于，所述预抽室的外端设有第一真空锁，预抽室与粗抽室的连接处设有第二真空锁。
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN107858648A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-03-30 | 昆山浦元真空技术工程有限公司 | 一种新型不锈钢真空保温杯内胆热反射膜的沉膜工艺 |
| CN108149214A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-06-12 | 苏州新材料研究所有限公司 | 高产能薄膜沉积装置及薄膜批量化生产方法 |
| CN108312700A (zh) * | 2017-04-13 | 2018-07-24 | 山东戴科优装备制造有限公司 | 转印设备及物料转印生产线 |
| CN108312699A (zh) * | 2017-04-13 | 2018-07-24 | 山东戴科优装备制造有限公司 | 转印设备的输送装置及转印设备 |
| CN114525490A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-24 | 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 | 卷对卷镀膜机的抽真空控制系统及控制方法 |
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108312700A (zh) * | 2017-04-13 | 2018-07-24 | 山东戴科优装备制造有限公司 | 转印设备及物料转印生产线 |
| CN108312699A (zh) * | 2017-04-13 | 2018-07-24 | 山东戴科优装备制造有限公司 | 转印设备的输送装置及转印设备 |
| CN107365973A (zh) * | 2017-08-29 | 2017-11-21 | 肇庆市前沿真空设备有限公司 | 一种真空镀膜生产线及镀膜方法 |
| CN107365973B (zh) * | 2017-08-29 | 2024-02-02 | 肇庆市德信真空设备有限公司 | 一种真空镀膜生产线及镀膜方法 |
| CN107858648A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-03-30 | 昆山浦元真空技术工程有限公司 | 一种新型不锈钢真空保温杯内胆热反射膜的沉膜工艺 |
| CN108149214A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-06-12 | 苏州新材料研究所有限公司 | 高产能薄膜沉积装置及薄膜批量化生产方法 |
| CN114525490A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-24 | 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 | 卷对卷镀膜机的抽真空控制系统及控制方法 |
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