CN107365973A - 一种真空镀膜生产线及镀膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜生产线及镀膜方法，所述生产线包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；入片室、镀膜室、出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；入片室的一端设置有第一真空锁，入片室和镀膜室之间设置有第二真空锁，镀膜室和出片室之间设置有第三真空锁，出片室的一端设置有第四真空锁；镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。本发明真空镀膜生产线减少了大量的真空室、抽气机组和真空锁，并设置可作往复运动的镀膜室工件输送组件，不仅提高了生产效率，而且大大节省了厂房、节约了投资，同时具有显著的节能效果。

Description

一种真空镀膜生产线及镀膜方法

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线及镀膜方法。

背景技术

真空镀膜技术发展很快，从蒸发镀膜到磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等；应用范围也越来越广泛如：建筑玻璃领域，太阳能领域，电了产品领域、刀具生产领域等都应用到真空镀膜技术；真空镀膜设备也从单室间歇式真空镀膜机发展到多室连续式真空镀膜生产线。

现有技术比较典型的卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线包括：依次连接的入片架、入片室、前过渡室、前精抽室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后精抽室、后过渡室、出片室、出片架，上述的各个室统称为“真空室”；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室共用一套镀膜室抽气机组外其它各真空室都相应的有一套抽气机组分别为：入片室抽气机组、前过渡室抽气机组、前精抽室抽气机组、后精抽室抽气机组、后过渡室抽气机组和出片室抽气机组；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室为依次连通无阻隔外其它真空室之间均设有真空锁(一种真空阀门，当其关闭时相邻两真空室隔断，当其开启时相邻两真空室连通)，入片室和出片室的最外侧也分别设有真空锁，从前向后有真空锁1至真空锁8共8套真空锁；每个真空室分别设有工件输送组件，其中镀膜室还设有靶组件(用于镀膜的组件：将镀层材料溅射出来使之沉积于工件上表面成为镀层)。

真空镀膜过程：工件经清洗等镀膜前处理后进入入片架(如同时镀多片的还要在入片架将其排列好)，当入片室真空锁(真空锁1)开启时工件进入入片室，当工件完全进入入片室后关闭入片室真空锁，入片室抽气机组对入片室抽气，当入片室气压达到一定数值时开启前过渡室真空锁(真空锁2)，工件进入前过渡室；就这样工件依次进入各个真空室，各个真空室对应的抽气机组按一定的程序抽气；当工件走过镀膜室后就镀上了一层或多层薄膜再经一定的程序走出其它真空室来到出片架，这时可将工件从出片架上取下或通过其它机构将工件移动到下一工序；卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线运行过程中当某一真空室的工件走到后一个真空室后，前一个真空室的工件又会自动走入该真空室从而达到连续生产的目的。

现有技术卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线真空室比较多，所用的抽气机组也比较多(一般有9个真空室和7套抽气机组)，所以有占地面积大、投资成本高、故障率高、能耗大、控制复杂、工件破损几率高等不足之处。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种真空镀膜生产线及镀膜方法，从而克服现有技术中的真空镀膜生产线占地面积大、投资成本高、能耗大等问题。

本发明的技术方案如下：

一方面，本发明提供了一种真空镀膜生产线，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述真空镀膜生产线还包括：与所述入片室连接的入片架，和/或与所述出片室连接的出片架。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；和/或，所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室抽气机组还包括入片室负压罐，所述入片室负压罐的一端连接所述入片室罗茨泵，另一端连接所述入片室；和/或，所述出片室抽气机组还包括出片室负压罐，所述出片室负压罐的一端连接所述出片室罗茨泵，另一端连接所述出片室。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室负压罐与所述入片室之间设置有入片室分流阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室负压罐之间设置有入片室负压罐抽气阀，所述入片室罗茨泵上设置有入片室旁通阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室之间设置有入片室粗抽阀；和/或，所述出片室负压罐与所述出片室之间设置有出片室分流阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室负压罐之间设置有出片室负压罐抽气阀，所述出片室罗茨泵上设置有出片室旁通阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室之间设置有出片室粗抽阀。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室罗茨泵和/或所述出片室罗茨泵具有调速装置。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀。

所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室、所述出片室分别设置有入片室盖板、出片室盖板，所述入片室盖板和/或所述出片室盖板为下凹形。

另一方面，本发明还提供了一种镀膜方法，所述镀膜方法基于一真空镀膜生产线，其中，所述真空镀膜生产线包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件；

所述镀膜方法包括：

步骤A、准备阶段：关闭第一真空锁、第四真空锁，开启镀膜室抽气机组对自身进行预抽或预热，当完成预抽或预热后开启入片室抽气机组和出片室抽气机组，开启第二真空锁、第三真空锁对镀膜室抽气，待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启镀膜室抽气机组对镀膜室进行抽气；

步骤B、镀膜过程：入片室放气完毕后，开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室，然后关闭第一真空锁；通过入片室抽气机组抽气，待入片室气压小于第二预定气压时，开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，关闭第二真空锁；通过镀膜室抽气机组抽气，待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做往复运动完成镀膜；待出片室气压小于第二预定气压时，开启第三真空锁，将工件从镀膜室送入出片室，关闭第三真空锁；然后出片室放气完毕后，开启第四真空锁，将镀膜后的工件从出片室送出，关闭第四真空锁；其中，第三预定气压小于第二预定气压。

所述的镀膜方法，其中，所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵；所述入片室罗茨泵和所述出片室罗茨泵具有调速装置；

所述入片室抽气机组还包括入片室负压罐，所述入片室负压罐的一端连接所述入片室罗茨泵，另一端连接所述入片室；所述出片室抽气机组还包括出片室负压罐，所述出片室负压罐的一端连接所述出片室罗茨泵，另一端连接所述出片室；

所述入片室负压罐与所述入片室之间设置有入片室分流阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室负压罐之间设置有入片室负压罐抽气阀，所述入片室罗茨泵上设置有入片室旁通阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室之间设置有入片室粗抽阀；所述出片室负压罐与所述出片室之间设置有出片室分流阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室负压罐之间设置有出片室负压罐抽气阀，所述出片室罗茨泵上设置有出片室旁通阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室之间设置有出片室粗抽阀；

所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀；

所述步骤A具体包括：

依次开启镀膜室抽气机组的维持泵、前置阀和镀膜室罗茨泵，开启所有精抽泵进行预抽或预热；当精抽泵达到工作条件后开启入片室粗抽泵、入片室粗抽阀，入片室旁通阀自动开启；开启出片室粗抽泵、出片室粗抽阀，出片室旁通阀自动开启；开启第二真空锁、第三真空锁，待镀膜室气压小于第一预定气压时开启入片室罗茨泵和出片室罗茨泵，入片室旁通阀和出片室旁通阀自动关闭；待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启所有精抽阀；其中，第二预定气压小于第一预定气压；

所述步骤B具体包括：

关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀对入片室负压罐抽气；同时进行入片室放气，放气完毕后开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室；然后关闭第一真空锁，关闭入片室负压罐抽气阀，同时开启入片室粗抽阀和入片室分流阀，入片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待入片室气压小于第一预定气压时，控制入片室罗茨泵变快速，关闭入片室旁通阀；

待入片室气压小于第二预定气压时开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，然后关闭第二真空锁；关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀，同时进行入片室放气，然后开启第一真空锁，将下一待镀膜工件送入入片室进行下一个工作循环；待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做预定次数的往复运动完成镀膜，然后关闭靶，停止充入工作气体并关闭镀膜室工件输送组件；

待出片室气压小于第二预定气压时开启第三真空锁，将镀膜后的工件从镀膜室送入出片室，然后关闭第三真空锁，镀膜室进入一个工作循环，同时关闭出片室粗抽阀，控制出片室罗茨泵变慢速，开启出片室旁通阀，开启出片室负压罐抽气阀对出片室负压罐抽气；同时进行出片室放气，开启第四真空锁，将镀膜后的工件从出片室送出，然后关闭第四真空锁，关闭出片室负压罐抽气阀，同时开启出片室粗抽阀和出片室分流阀，出片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待出片室气压小于第一预定气压时，控制出片室罗茨泵变快速，关闭出片室旁通阀进入下一个工作循环。

本发明的有益效果是：本发明提供了一种真空镀膜生产线及镀膜方法，本发明真空镀膜生产线，减少了大量的真空室、抽气机组和真空锁，只剩下入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组以及4套真空锁，并在镀膜室内设置可作往复运动的镀膜室工件输送组件，不仅提高了生产效率，而且大大节省了厂房、节约了投资，同时具有显著的节能效果。

附图说明

图1是本发明真空镀膜生产线的结构示意图。

图2是本发明真空镀膜生产线另一角度的结构示意图。

图3是沿图2中A-A方向的剖视结构示意图。

图4是沿图2中B-B方向的剖视结构示意图。

图5是沿图2中D-D方向的剖视结构示意图。

图6是沿图2中E-E方向的剖视结构示意图。

图7是沿图2中C-C方向的剖视结构示意图。

图8是本发明镀膜室抽气机组的局部结构示意图。

图9是本发明入片室的局部结构示意图。

图10是本发明入片室盖板的一种结构示意图。

图11是本发明入片室盖板的另一种结构示意图。

具体实施方式

本发明提供一种真空镀膜生产线及镀膜方法，为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明真空镀膜生产线也即是一种节能的卧式连续磁控溅射真空镀膜设备。本发明较佳实施例的真空镀膜生产线，如图1、图2所示，包括依次连接的入片室1、镀膜室3、出片室5；所述入片室1、所述镀膜室3、所述出片室5分别连接有入片室抽气机组2、镀膜室抽气机组4、出片室抽气机组6；所述入片室1的一端设置有第一真空锁91，所述入片室1和所述镀膜室3之间设置有第二真空锁92，所述镀膜室3和所述出片室5之间设置有第三真空锁93，所述出片室5的一端设置有第四真空锁94；所述镀膜室3内设置有靶组件39和可作往复运动的镀膜室工件输送组件31，镀膜室工件输送组件31可以带动放置在其上的工件99在镀膜室3内做往复运动完成镀膜。

本实施例中，镀膜室工件输送组件31可作往复运动，因此镀膜时镀膜室工件输送组件可以做往复运动，使膜层均匀性更好。当然也可不开启镀膜室工件输送组件使工件停留在镀膜室内，这样工件膜层的均匀性就差些。

本发明真空镀膜生产线可以只有入片室、镀膜室、出片室，只有4套真空锁和入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组，大大节省厂房，节约了投资，能够显著节能。

进一步的，如图1、图2所示，本实施例中，所述入片室1、所述出片室5内分别设置有入片室工件输送组件11、出片室工件输送组件51。

进一步的，如图1、图2所示，本实施例中，所述真空镀膜生产线还包括：与所述入片室1连接的入片架7，与所述出片室5连接的出片架8。具体实施时，如果与其它设备连接成专用生产线时入片架和出片架可取消或适当更改结构。其中，入片架7设置有入片架工件输送组件71，出片架8上设置有出片架工件输送组件81。

进一步的，如图3至图6所示，本实施例中，所述入片室抽气机组2包括：与所述入片室1连接的入片室罗茨泵21，以及与所述入片室罗茨泵21连接的入片室粗抽泵22；所述出片室抽气机组6包括：与所述出片室5连接的出片室罗茨泵61，以及与所述出片室罗茨泵61连接的出片室粗抽泵62。

进一步的，如图3至图6所示，本实施例中，所述入片室抽气机组2还包括入片室负压罐23，所述入片室负压罐23的一端连接所述入片室罗茨泵21(具体可以连接入片室罗茨泵的出气口或者进气口)，另一端连接所述入片室1(真空室)；所述出片室抽气机组6还包括出片室负压罐63，所述出片室负压罐63的一端连接所述出片室罗茨泵61(具体可以连接出片室罗茨泵的出气口或者进气口)，另一端连接所述出片室5(真空室)。也即是，入片室抽气机组和出片室抽气机组都分别设有负压罐，负压罐的一头通过真空阀门与真空室连接，另一头通过真空阀门与罗茨泵进气口连接(抽气管道)。增设负压罐作用的是，可以起到分流入片室或出片室内的空气，多提供一路抽气通道，形成双通道抽气的效果，从而加快了抽气的速度，提高了抽气的效率，达到节能效果。

进一步的，如图3至图6所示，本实施例中，所述入片室负压罐23与所述入片室1之间设置有入片室分流阀24，所述入片室罗茨泵21与所述入片室负压罐23之间设置有入片室负压罐抽气阀25，所述入片室罗茨泵21上设置有入片室旁通阀26，所述入片室罗茨泵21与所述入片室1之间设置有入片室粗抽阀27；所述出片室负压罐63与所述出片室5之间设置有出片室分流阀64，所述出片室罗茨泵61与所述出片室负压罐63之间设置有出片室负压罐抽气阀65，所述出片室罗茨泵61上设置有出片室旁通阀66，所述出片室罗茨泵61与所述出片室5之间设置有出片室粗抽阀67。

优选的，本实施例中，所述入片室罗茨泵和所述出片室罗茨泵均具有调速装置；即入片室抽气机组和出片室抽气机组的罗茨泵转速均可调节，具体实施时调速装置可以为变频器。

优选的，本实施例中，所述入片室粗抽泵和所述出片室粗抽泵为滑阀泵；所述镀膜室的维持泵为旋片泵。即入片室抽气机组和出片室抽气机组的粗抽泵均为滑阀泵，镀膜室抽气机组的维持泵为旋片泵。

进一步的，如图7至图8所示，本实施例中，所述镀膜室抽气机组4包括：与所述镀膜室3连接的精抽泵42，与所述精抽泵42连接的镀膜室罗茨泵41，以及与所述镀膜室罗茨泵41连接的维持泵43；所述镀膜室罗茨泵41与所述精抽泵42之间设置有前置阀44，所述精抽泵42与所述镀膜室3之间设置有精抽阀45。具体实施时，所述精抽泵可以为扩散泵或分子泵，当精抽泵是扩散泵时，要先升温约1小时，待所有精抽泵温度达到工作温度时才能进入下一步。

进一步的，如图9至图11所示，本实施例中，所述入片室、所述出片室分别设置有入片室盖板、出片室盖板，所述入片室盖板和所述出片室盖板为下凹形。入片室或出片室盖板为下凹形，相当于减少了入片室和出片室的容积，有效缩短了抽气时间、减少了能耗、提高了生产率。

基于以上所述的真空镀膜生产线，本发明实施例还提供了一种镀膜方法，所述镀膜方法包括：

步骤S100、准备阶段：关闭第一真空锁、第四真空锁，开启镀膜室抽气机组对自身进行预抽或预热，当完成预抽或预热后开启入片室抽气机组和出片室抽气机组，开启第二真空锁、第三真空锁对镀膜室抽气，待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启镀膜室抽气机组对镀膜室进行抽气。

步骤S200、镀膜过程(自动控制)：入片室放气完毕后，开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室，然后关闭第一真空锁；通过入片室抽气机组抽气，待入片室气压小于第二预定气压时，开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，关闭第二真空锁；通过镀膜室抽气机组抽气，待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做往复运动完成镀膜；待出片室气压小于第二预定气压时，开启第三真空锁，将工件从镀膜室送入出片室，关闭第三真空锁；然后出片室放气完毕后，开启第四真空锁，将镀膜后的工件从出片室送出，关闭第四真空锁；其中，第三预定气压小于第二预定气压。

进一步的，本实施例中，所述步骤S100具体包括：切换到手动控制方式，依次开启镀膜室抽气机组的维持泵、前置阀和镀膜室罗茨泵，开启所有精抽泵进行预抽或预热；当精抽泵达到工作条件后(如果精抽泵为扩散泵时待所有扩散泵温度达到工作温度时，约1小时后)开启入片室抽气机组的入片室粗抽泵、入片室粗抽阀，此时入片室旁通阀自动开启；开启出片室抽气机组的出片室粗抽泵、出片室粗抽阀，此时出片室旁通阀自动开启；开启第二真空锁、第三真空锁，待镀膜室气压小于第一预定气压时，开启入片室罗茨泵和出片室罗茨泵，此时入片室旁通阀和出片室旁通阀自动关闭；待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启所有精抽阀；其中，第二预定气压小于第一预定气压；具体实施时，所述第一预定气压优选为1000pa(帕)，第二预定气压优选为3pa。

进一步的，本实施例中，所述步骤S200具体包括：

步骤S210、关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀对入片室负压罐抽气；同时进行入片室放气，放气完毕后开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室；然后关闭第一真空锁，关闭入片室负压罐抽气阀，同时开启入片室粗抽阀和入片室分流阀，入片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待入片室气压小于第一预定气压时，控制入片室罗茨泵变快速，关闭入片室旁通阀。

具体实施时，可以预先将待镀膜的工件在入片架上排布好；切换到自动控制方式，自动的关闭入片室粗抽阀、控制入片室罗茨泵变慢速、开启入片室旁通阀、开启入片室负压罐抽气阀对入片室负压罐抽气；然后进行入片室放气，放气完毕后开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室；然后关闭第一真空锁、关闭入片室负压罐抽气阀、同时开启入片室粗抽阀和入片室分流阀，入片室分流阀开启预定时间(一般为几秒钟)后自动关闭，待入片室气压小于1000pa时，控制入片室罗茨泵变快速、关闭入片室旁通阀。

步骤S220、待入片室气压小于第二预定气压时开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，然后关闭第二真空锁；关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀，同时进行入片室放气，然后开启第一真空锁，将下一待镀膜工件送入入片室进行下一个工作循环；待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做预定次数的往复运动完成镀膜，然后关闭靶，停止充入工作气体，并关闭镀膜室工件输送组件；其中，所述第三预定气压优选为0.05pa。

具体实施时，待入片室气压小于3pa时开启第二真空锁，通过入片室工件输送组件将工件从入片室送入镀膜室，然后关闭第二真空锁，同时关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀，同时进行入片室放气，然后开启第一真空锁，将下一待镀膜工件送入入片室进行下一个工作循环；待镀膜室气压小于0.05pa时充入一定流量的工作气体(可以为氩气)，开启靶，开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做往复运动，当工件往复达到预定次数(设定次数)时，关闭靶，停止充入工作气体、关闭镀膜室工件输送组件。

步骤S230、待出片室气压小于第二预定气压时开启第三真空锁，将镀膜后的工件从镀膜室送入出片室，然后关闭第三真空锁，镀膜室进入一个工作循环，同时关闭出片室粗抽阀，控制出片室罗茨泵变慢速，开启出片室旁通阀，开启出片室负压罐抽气阀对出片室负压罐抽气；同时进行出片室放气，开启第四真空锁，将镀膜后工件从出片室送出，然后关闭第四真空锁，关闭出片室负压罐抽气阀，同时开启出片室粗抽阀和出片室分流阀，出片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待出片室气压小于第一预定气压时，控制出片室罗茨泵变快速，关闭出片室旁通阀进入下一个工作循环。

具体实施时，待出片室气压小于3pa时开启第三真空锁，通过镀膜室工件输送组件将镀膜后的工件从镀膜室送入出片室，然后关闭第三真空锁，镀膜室进入一个工作循环，同时关闭出片室粗抽阀，控制出片室罗茨泵变慢速，开启出片室旁通阀、开启出片室负压罐抽气阀，同时进行出片室放气，开启第四真空锁，通过出片室工件输送组件将镀膜后的工件从出片室送出到出片架，然后关闭第四真空锁、关闭出片室负压罐抽气阀，同时开启出片室粗抽阀和出片室分流阀，出片室分流阀开启预定时间(一般为几秒钟)后自动关闭，待出片室气压小于1000pa时，控制出片室罗茨泵变快速、关闭出片室旁通阀进入下一个工作循环；当镀膜后的工件进入出片架后，可将镀膜后的工件从出片架取出或通过其它机构移动到下一工序。

进一步的，本实施例中，所述步骤S200之后还包括：

步骤S300、关机：切换到手动控制方式(这时进片室粗抽阀、出片室粗抽阀和所有精抽阀自动关闭)，关闭入片室罗茨泵和出片室罗茨泵，过一分钟关闭入片室粗抽泵和出片室粗抽泵；关闭所有精抽阀，关闭所有精抽泵，如果精抽泵为扩散泵时待扩散泵完全冷却后(约1小时后)关闭前置阀和镀膜室罗茨泵过一分钟关闭维持泵。就这样工件按一定的程序从入片架经入片室、镀膜室、出片室走到出片架就完成了镀膜过程；节拍时间约30秒(这个时间根据设备的大小和工件情况不同而不同)即每隔30秒镀完一炉工件。

由上述镀膜过程可知：节拍时间约30秒即每个工位的工作时间小于或等于30秒，对于入片室抽气机组、入片室每个工作循环(时间约30秒)其中入片室抽气机组对入片室抽气仅约10秒，其余时间入片室粗抽泵、入片室罗茨泵是空转的(如果频繁开关入片室粗抽泵、入片室罗茨泵不但不能省电而且容易造成它们损坏，所以连续生产时它们是长开的)，所以入片室抽气机组设置了入片室负压罐，当入片室粗抽阀关闭(不对入片室抽气)时开启入片室负压罐抽气阀对入片室负压罐抽气，使入片室负压罐达到真空状态，要对入片室抽气前先关闭入片室负压罐抽气阀；要对入片室抽气时，同时开启入片室粗抽阀和入片室分流阀这时入片室内的空气分两路排走：第一路是从入片室粗抽阀经入片室罗茨泵、入片室粗抽泵排到大气中，第二路是从入片室分流阀进入入片室负压罐内，当入片室负压罐气压与入片室气压相近时关闭入片室分流阀，第一路继续抽气。这样就合理地利用了入片室粗抽泵、入片室罗茨泵的空转时间达到节能的目的。另外，入片室罗茨泵转速可调节的好处是：(1)空转时间速度降低可节省电能；(2)由于罗茨泵的结构原因进气口气压要小于第一预定气压(例如1000pa)才能启动，但加设了调速装置后可以在气压较大时慢速转动使罗茨泵不会损环，而且可在进气口气压大于第一预定气压时慢慢加速，减少了抽气时间。出片室抽气机组与入片室抽气机组的工作原理相同。

综上，本发明提供了一种真空镀膜生产线及镀膜方法，本发明真空镀膜生产线，减少了大量的真空室、抽气机组和真空锁，只剩下入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组以及4套真空锁，并在镀膜室内设置可作往复运动的镀膜室工件输送组件，不仅提高了生产效率，而且大大节省了厂房、节约了投资，同时具有显著的节能效果。

应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；

所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；

所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；

所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜生产线还包括：与所述入片室连接的入片架，和/或与所述出片室连接的出片架。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；

和/或，所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室抽气机组还包括入片室负压罐，所述入片室负压罐的一端连接所述入片室罗茨泵，另一端连接所述入片室；

和/或，所述出片室抽气机组还包括出片室负压罐，所述出片室负压罐的一端连接所述出片室罗茨泵，另一端连接所述出片室。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室负压罐与所述入片室之间设置有入片室分流阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室负压罐之间设置有入片室负压罐抽气阀，所述入片室罗茨泵上设置有入片室旁通阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室之间设置有入片室粗抽阀；

和/或，所述出片室负压罐与所述出片室之间设置有出片室分流阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室负压罐之间设置有出片室负压罐抽气阀，所述出片室罗茨泵上设置有出片室旁通阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室之间设置有出片室粗抽阀。

6.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室罗茨泵和/或所述出片室罗茨泵具有调速装置。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室、所述出片室分别设置有入片室盖板、出片室盖板，所述入片室盖板和/或所述出片室盖板为下凹形。

9.一种镀膜方法，所述镀膜方法基于一真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜生产线包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件；

所述镀膜方法包括：

步骤A、准备阶段：关闭第一真空锁、第四真空锁，开启镀膜室抽气机组对自身进行预抽或预热，当完成预抽或预热后开启入片室抽气机组和出片室抽气机组，开启第二真空锁、第三真空锁对镀膜室抽气，待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启镀膜室抽气机组对镀膜室进行抽气；

步骤B、镀膜过程：入片室放气完毕后，开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室，然后关闭第一真空锁；通过入片室抽气机组抽气，待入片室气压小于第二预定气压时，开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，关闭第二真空锁；通过镀膜室抽气机组抽气，待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做往复运动完成镀膜；待出片室气压小于第二预定气压时，开启第三真空锁，将工件从镀膜室送入出片室，关闭第三真空锁；然后出片室放气完毕后，开启第四真空锁，将镀膜后的工件从出片室送出，关闭第四真空锁；其中，第三预定气压小于第二预定气压。

10.根据权利要求9所述的镀膜方法，其特征在于，所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵；所述入片室罗茨泵和所述出片室罗茨泵具有调速装置；

所述入片室抽气机组还包括入片室负压罐，所述入片室负压罐的一端连接所述入片室罗茨泵，另一端连接所述入片室；所述出片室抽气机组还包括出片室负压罐，所述出片室负压罐的一端连接所述出片室罗茨泵，另一端连接所述出片室；

所述入片室负压罐与所述入片室之间设置有入片室分流阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室负压罐之间设置有入片室负压罐抽气阀，所述入片室罗茨泵上设置有入片室旁通阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室之间设置有入片室粗抽阀；所述出片室负压罐与所述出片室之间设置有出片室分流阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室负压罐之间设置有出片室负压罐抽气阀，所述出片室罗茨泵上设置有出片室旁通阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室之间设置有出片室粗抽阀；

所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀；

所述步骤A具体包括：

依次开启镀膜室抽气机组的维持泵、前置阀和镀膜室罗茨泵，开启所有精抽泵进行预抽或预热；当精抽泵达到工作条件后开启入片室粗抽泵、入片室粗抽阀，入片室旁通阀自动开启；开启出片室粗抽泵、出片室粗抽阀，出片室旁通阀自动开启；开启第二真空锁、第三真空锁，待镀膜室气压小于第一预定气压时开启入片室罗茨泵和出片室罗茨泵，入片室旁通阀和出片室旁通阀自动关闭；待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启所有精抽阀；其中，第二预定气压小于第一预定气压；

所述步骤B具体包括：

关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀对入片室负压罐抽气；同时进行入片室放气，放气完毕后开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室；然后关闭第一真空锁，关闭入片室负压罐抽气阀，同时开启入片室粗抽阀和入片室分流阀，入片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待入片室气压小于第一预定气压时，控制入片室罗茨泵变快速，关闭入片室旁通阀；

待入片室气压小于第二预定气压时开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，然后关闭第二真空锁；关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀，同时进行入片室放气，然后开启第一真空锁，将下一待镀膜工件送入入片室进行下一个工作循环；待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做预定次数的往复运动完成镀膜，然后关闭靶，停止充入工作气体并关闭镀膜室工件输送组件；

待出片室气压小于第二预定气压时开启第三真空锁，将镀膜后的工件从镀膜室送入出片室，然后关闭第三真空锁，镀膜室进入一个工作循环，同时关闭出片室粗抽阀，控制出片室罗茨泵变慢速，开启出片室旁通阀，开启出片室负压罐抽气阀对出片室负压罐抽气；同时进行出片室放气，开启第四真空锁，将镀膜后的工件从出片室送出，然后关闭第四真空锁，关闭出片室负压罐抽气阀，同时开启出片室粗抽阀和出片室分流阀，出片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待出片室气压小于第一预定气压时，控制出片室罗茨泵变快速，关闭出片室旁通阀进入下一个工作循环。