CN108677160A - 一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，包括公自转托盘、入料模块、真空隔离阀模块、进片真空工艺模块、镀膜真空工艺模块、出片真空工艺模块、出料模块，所述进片真空工艺模块的一端安装有真空隔离阀模块，所述进片真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与镀膜真空工艺模块的一端隔离，所述镀膜真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与出片真空工艺模块的一端隔离，所述出片真空工艺模块的另一端安装有真空隔离阀模块；采用独立的进出片腔体设计，由独立的真空隔离阀模块进行真空隔离，传送系统采用导轮导杆摩擦传送，平稳性好；实现了镀膜的全自动化生产，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

Description

一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线
技术领域
本发明涉及基于公自转装载托盘的新型连续镀膜技术领域，具体为一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线。
背景技术
装饰镀膜、工具镀膜和光学镀膜在日常消费领域，如家电、卫浴、五金、手表、餐具、手机、智能家居和车载显示的广泛应用，尤其是多弧离子镀膜和磁控溅射镀膜推动了装饰镀膜、工具镀膜和光学彩色膜已经广泛的在这些领域使用了。尤其是深圳维达力、伯恩光学、信利半导体、蓝思科技和欧菲光学等国内大厂在手机领域的推动更加带动了这些产业的快速发展。同时在传统的日常消费领域的家电、卫浴、五金、手表、餐具和智能家居领域，装饰镀膜、工具镀膜和光学色彩膜镀膜已经广泛应用。目前装饰镀膜、工具镀膜和光学镀膜镀膜行业普遍存在采用单体镀膜机镀膜的问题。对于这样一个广泛的应用领域，单体镀膜机有以下几个目前生产存在的问题：
1、首先单体镀膜机的产能有限，就以简单的装饰镀膜为例，单体镀膜机的上下片时间为30-60分钟，镀膜时间为90-180分钟，整个一炉货的时间再120-240分钟，每天的产能也就只能做到6-10炉，非常有限；
2、其次单体镀膜机的镀膜工艺的独立性很强，每台设备由于制作的工艺和调试人员的调试方法不一样，每台设备的镀膜工艺是不一样的；因此完成同样性能的产品，每台设备的操作方法和生产工艺由很大的差异，也造成镀膜的控制和生产成本上升；
3、再者，由于单体镀膜机每一炉的生产都需要进行独立的进出镀膜真空腔体，将镀膜真空腔体暴露在大气和粉尘环境之下，造成了镀膜车间对环境的要求很高；尤其是比较高端的装饰镀膜和光学镀膜，在进出装片位置需要在百级无尘环境环境中进行。
4、还有，在真空中对基片的前处理是非常重要的，但是在单体镀膜机上完成需要占用很宝贵的节拍时间，无法形成批量生产的优势。
另外，在全自动化生产方面，也是由于产品的精度和要求非常高，需要尽量提高自动化程度，尽量减少人员对基片的干涉和污染。单体镀膜机的手动上片模式，无法避免人操作对基片的重新污染，也无法避免人为出现操作差异造成的质量不可控。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，它能有效的解决背景技术中存在的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：包括公自转托盘(1)、入料模块(2)、真空隔离阀模块(3)、进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)、出料模块(7)，所述进片真空工艺模块(4)的一端安装有真空隔离阀模块(3)，所述进片真空工艺模块(4)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与镀膜真空工艺模块(5)的一端隔离，所述镀膜真空工艺模块(5)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与出片真空工艺模块(6)的一端隔离，所述出片真空工艺模块(6)的另一端安装有真空隔离阀模块(3)。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述公自转托盘(1)由安装托板(1-1)、绝缘座(1-2)、传送导杆(1-3)、承载轴承(1-4)、公转齿轮盘(1-5)、限位轴承(1-6)、自转齿轮(1-7)、自转转轴(1-8)、挂载杆(1-9)、支撑杆(1-10)和固定锁紧盘(1-11)组成，所述传送导杆(1-3)的一端穿过绝缘座(1-2)安装在安装托盘(1-1)上，所述公转齿轮盘(1-5)通过限位轴承(1-6)限定在安装托盘(1-1)上，所述自转转轴(1-8)安装在公转齿轮盘(1-5)上，所述承载轴承(1-4)安装在安装托板(1-1)上，所述承载轴承(1-4)支撑公转齿轮盘(1-5)，所述挂载杆(1-9)的下端与自转转轴(1-8)连接，所述自转转轴(1-8)安装在在工作齿轮盘(1-5)上，所述自转齿轮(1-7)与安装托盘(1-1)的内齿啮合，所述挂载杆(1-9)的上端通过轴承紧固在固定锁紧盘(1-11)上；所述固定锁紧盘(1-11)由支撑杆(1-10)支撑。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述入料模块(2)由入料支架(2-1)、传送同步轴(2-2)、导轮安装座(2-3)和传送导轮(2-4)组成，所述传送导杆(1-3)下方为入料模块的传送轮(2-4)，所述传送导轮(2-4)通过轴承紧固在导轮安装座(2-3)上，所述导轮安装座(2-3)安装在入料支架(2-1)上，所述传送同步轴(2-2)安装在入料支架(2-1)上，所述真空隔离阀模块(3)由阀体真空腔(3-1)、阀体安装门(3-2)、气缸安装门(3-3)、阀体导杆(3-4)、气缸轴密封(3-5)、冷却水进出分水器(3-6)、插板阀气缸(3-7)、冷却水进出轴密封(3-8)、冷却水进出管(3-9)、冷却水进出分水头(3-10)、伞形撑杆(3-11)、导向座(3-12)、限位块(3-13)、拉紧弹簧(3-14)、膨胀波纹管(3-15)、进气道(3-16)、支撑块(3-17)、支撑板(3-18)、密封板(3-19)、支撑板冷却水道(3-20)、密封板冷却水道(3-21)、导杆上安装座(3-22)组成，所述气缸轴密封(3-5)安装在气缸安装门(3-3)上，所述插板阀气缸(3-7)安装在气缸轴密封(3-5)上，所述伞形撑杆(3-11)将支撑板(3-18)和密封板(3-19)连接在一起，所述撑板(3-18)内侧面焊接有支撑板冷却水道(3-20)，所述密封板(3-19)的内侧面焊接有密封板冷却水道(3-21)，所述冷却水进出分水头(3-10)分别与支撑板冷却水道(3-20)、密封板冷却水道(3-21)法兰密封连接，所述冷却水进出管(3-9)与冷却水进出分水头(3-10)接通，所述冷却水进出管(3-9)通过冷却水进出分水器(3-6)与外部进出水法兰连接，所述冷却水进出轴密封(3-8)紧固在气缸安装门(3-3)上，所述冷却水进出管(3-9)和冷却水进出轴密封(3-8)连接，所述阀体真空腔(3-1)上装有阀体安装门(3-2)，所述阀体导向座(3-15)两侧设有阀体导杆(3-4)，所述阀体导杆(3-4)通过导杆上安装座(3-22)紧固在阀体真空腔(3-1)内壁。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述进片真空工艺模块(4)由进片真空腔体(4-1)、加热预处理装置(4-2)、传送磁流体(4-3)、传动同步轴(4-4)、公自转公里导入磁流体(4-5)、传送限位(4-6)、同步导轮(4-7)、工艺安装门(4-8)、偏压工艺航空接头(4-9)、精抽插板阀(4-10)、精抽分子泵(4-11)、精抽前级阀(4-12)、精抽前级管道(4-13)、粗抽挡板阀(4-14)、粗抽罗茨泵(4-15)、粗抽管道(4-16)、粗抽机械泵(4-17)和精抽前级泵(4-18)组成，所述进片真空腔体(4-1)顶部安装有加热预处理装置(4-2)，所述进片真空腔体(4-1)下部安装有传送磁流体(4-3)，所述传送磁流体(4-3)与同步导轮(4-7)连接，所述进片真空腔体(4-1)下端设有精抽分子泵(4-11)，所述精抽分子泵(4-11)的上端设有精抽插板阀(4-10)，所述精抽分子泵(4-11)的下端设有精抽前级阀(4-12)，所述精抽前级阀(4-12)通过精抽前级管道(4-13)与精抽前级泵(4-18)连通，所述精抽前级泵(4-18)的上端安装有粗抽机械泵(4-17)，所述粗抽机械泵(4-17)与粗抽罗茨泵(4-15)连接，所述粗抽罗茨泵(4-15)的顶部设有粗抽挡板阀(4-14)所述粗抽挡板阀(4-14)通过粗抽管道(4-16)与真空腔体(4-1)连接，所述公自转公里导入磁流体(4-5)包含公自转动力导入磁流体(4-5-1)、磁流体动力引入轴(4-5-2)、动力齿轮轴承座(4-5-3)、动力齿轮轴(4-5-4)、动力齿轮(4-5-5)，所述公自转动力导入磁流体(4-5-1)上装有磁流体动力引入轴(4-5-2)，所述动力齿轮轴(4-5-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(4-5-3)上，所述动力齿轮(4-5-5)为高温棘齿单向齿轮，且通过键槽紧固于动力齿轮轴(4-5-4)上。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述镀膜真空工艺模块(5)由镀膜工艺真空腔体(5-1)、外置线性源(5-2)、同步导轮(5-3)、传送磁流体(5-4)、传送同步轴(5-5)、公自转公里导入磁流体(5-6)、镀膜工艺安装门(5-7)、分子泵(5-8)、前级挡板阀(5-9)、前级抽气管道(5-10)、前级阀(5-11)和前级泵(5-12)组成，所述前级泵(5-12)上安装有前级阀(5-11)，所述前级阀(5-11)通过前级抽气管道(5-10)与分子分子泵(5-8)连接，所述分子泵(5-8)上安装有前级挡板阀(5-9)，所述连接分子泵(5-8)与镀膜工艺真空腔体(5-1)连接，所述镀膜工艺真空腔体(5-1)的底端设置有传送同步轴(5-5)，所述镀膜工艺真空腔体(5-1)内部设置有传送磁流体(5-4)，所述传送磁流体(5-4)与同步导轮(5-3)连接，所述公自转公里导入磁流体(5-6)安装在镀膜工艺真空腔体(5-1)内部，所述公自转公里导入磁流体(5-6)由公自转动力导入磁流体(5-6-1)、磁流体动力引入轴(5-6-2)、动力齿轮轴承座(5-6-3)、动力齿轮轴(5-6-4)、动力齿轮轴(5-6-4)上和动力齿轮(5-6-5)组成，所述公自转动力导入磁流体(5-6-1)上安装磁流体动力引入轴(5-6-2)，所述动力齿轮轴(5-6-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(5-6-3)上，所述动力齿轮(5-6-5)通过键槽紧固于动力齿轮轴(5-6-4)上，所述动力齿轮(5-6-5)的与公转齿轮盘(1-5)啮合。所述镀膜工艺真空腔体(5-1)上安装有外置线性源(5-2)和镀膜工艺安装门(5-7)。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述出片真空工艺模块(6)与进片真空工艺模块(4)结构相同。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述公自转托盘(1)做公自转运行或公转运行。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述真空隔离阀模块(3)的真空隔离阀采用平推高温真空插板隔离阀或者垂直升降高温真空插板隔离阀。
进一步，所述的一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)是连续镀膜线根据生产线工艺进行功能定义的工艺腔体模块，三个部分的工艺腔体模块都可以由至少一个真空工艺模块组成，进片真空工艺模块(4)和镀膜真空工艺模块(5)由两段或者多段真空工艺腔体组成时，其两个真空腔体之间需要通过真空隔离阀模块(3)真空隔离，镀膜真空工艺模块(5)由两段或者多段真空工艺腔体组成时，其两个真空腔体之间不需要通过真空隔离阀模块(3)真空隔离。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明的一种基于公自转托盘的新型连续镀膜生产线，尤其指的在将公自转托盘整体进行连续进出的连续镀膜生产线是为实现大批量、快速和稳定生产表面装饰镀膜、工具镀膜和光学色彩膜的连续生产；新型连续镀膜生产线采用独立的进出片腔体设计，由独立的真空隔离阀模块进行真空隔离，可以实现有效隔断，稳定工艺气体，传送系统自动连续进出托盘，由控制系统自动完成公自转并进行镀膜工艺，保证了工艺的稳定性和进出片的环境洁净度；真空隔离阀模块有效的解决了大跨度大高度(大于1米*1米)的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性；采用双导轨，导轮导杆传送系统便利的解决了大公自转转架的连续无停顿运行；传送系统采用导轮导杆摩擦传送，平稳性好；实现了镀膜的全自动化生产，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图；
图2为公自转托盘和入料模块主视图；
图3为本发明的公自转托盘局部放大图；
图4为本发明的进片真空工艺模块的整体结构示意图；
图5为本发明的进片真空工艺模块的局部放大图；
图6为本发明的真空隔离阀模块的整体结构的主视图；
图7为本发明的真空隔离阀模块的整体结构的左视图；
图8为本发明的镀膜真空工艺模块的整体结构的主视图；
图9为本发明的镀膜真空工艺模块的局部放大图；
附图标记中：公自转托盘-1、安装托板-(1-1)、绝缘座-(1-2)、传送导杆-(1-3)、承载轴承-(1-4)、公转齿轮盘-(1-5)、限位轴承-(1-6)、自转齿轮-(1-7)、自转转轴-(1-8)、挂载杆-(1-9)、支撑杆-(1-10)和固定锁紧盘-(1-11)、入料模块-2、入料支架-(2-1)、传送同步轴-(2-2)、导轮安装座-(2-3)和传送导轮-(2-4)、真空隔离阀模块-3、由阀体真空腔-(3-1)、阀体安装门-(3-2)、气缸安装门-(3-3)、阀体导杆-(3-4)、气缸轴密封-(3-5)、冷却水进出分水器-(3-6)、插板阀气缸-(3-7)、冷却水进出轴密封-(3-8)、冷却水进出管-(3-9)、冷却水进出分水头-(3-10)、伞形撑杆-(3-11)、导向座-(3-12)、限位块-(3-13)、拉紧弹簧-(3-14)、膨胀波纹管-(3-15)、进气道-(3-16)、支撑块-(3-17)、支撑板-(3-18)、密封板-(3-19)、支撑板冷却水道-(3-20)、密封板冷却水道-(3-21)、导杆上安装座-(3-22)、进片真空工艺模块-4、由进片真空腔体-(4-1)、加热预处理装置-(4-2)、传送磁流体-(4-3)、传动同步轴-(4-4)、公自转公里导入磁流体-(4-5)、公自转动力导入磁流体-(4-5-1)、磁流体动力引入轴-(4-5-2)、动力齿轮轴承座-(4-5-3)、动力齿轮轴-(4-5-4)、动力齿轮-(4-5-5)、传送限位-(4-6)、同步导轮-(4-7)、工艺安装门-(4-8)、偏压工艺航空接头-(4-9)、精抽插板阀-(4-10)、精抽分子泵-(4-11)、精抽前级阀-(4-12)、精抽前级管道-(4-13)、粗抽挡板阀-(4-14)、粗抽罗茨泵-(4-15)、粗抽管道-(4-16)、粗抽机械泵-(4-17)和精抽前级泵-(4-18)、镀膜真空工艺模块-5、镀膜工艺真空腔体-(5-1)、外置线性源-(5-2)、同步导轮-(5-3)、传送磁流体-(5-4)、传送同步轴-(5-5)、公自转公里导入磁流体-(5-6)、镀膜工艺安装门-(5-7)、分子泵-(5-8)、前级挡板阀-(5-9)、前级抽气管道-(5-10)、前级阀-(5-11)和前级泵-(5-12)、公自转动力导入磁流体-(5-6-1)、磁流体动力引入轴-(5-6-2)、动力齿轮轴承座-(5-6-3)、动力齿轮轴-(5-6-4)、动力齿轮轴-(5-6-4)上和、动力齿轮-(5-6-5)、出片真空工艺模块-6、出料模块-7。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图9，本发明提供如下技术方案：
一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，包括公自转托盘(1)、入料模块(2)、真空隔离阀模块(3)、进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)、出料模块(7)；公自转托盘(1)由安装托板(1-1)、绝缘座(1-2)、传送导杆(1-3)、承载轴承(1-4)、公转齿轮盘(1-5)、限位轴承(1-6)、自转齿轮(1-7)、自转转轴(1-8)、挂载杆(1-9)、支撑杆(1-10)和固定锁紧盘(1-11)组成，传送导杆(1-3)通过绝缘座(1-2)紧固于安装托盘(1-1)上，通过传送导杆(1-3)与入料模块的传送轮(2-4)、真空工艺腔体模块的传送轮(4-7)和出料模块的传送轮(10-4)配合，通过摩擦传送，公转齿轮盘(1-5)通过承载轴承(1-4)支撑于安装托板(1-1)上，实现公转齿轮盘(1-5)与安装托板(1-1)的滚动运行，挂载杆(1-9)的下端与自转转轴(1-8)连接，自转转轴(1-8)安装在在工作齿轮盘(1-5)上，通过自转齿轮(1-7)与安装托盘(1-1)的内齿啮合，实现挂载杆(1-9)的自转，挂载杆(1-9)的上端通过轴承紧固在由支撑杆(1-10)支撑的固定锁紧盘(1-11)上；公转齿轮盘(1-5)由限位轴承(1-6)限定其与安装托盘(1-1)的位置，公自转托盘(1)做公自转运行也可只做公转运行，入料模块(2)由入料支架(2-1)、传送同步轴(2-2)、导轮安装座(2-3)和传送导轮(2-4)组成，由入料支架(2-1)上的电机带动传送同步轴(2-2)传送，传送同步轴(2-2)带动导轮安装座(2-3)上的传送导轮(2-4)运动，传送导轮(2-4)通过摩擦带动公自转托盘(1)上的传送导杆(1-3)实现无差速运行，真空隔离阀模块(3)由阀体真空腔(3-1)、阀体安装门(3-2)、气缸安装门(3-3)、阀体导杆(3-4)、气缸轴密封(3-5)、冷却水进出分水器(3-6)、插板阀气缸(3-7)、冷却水进出轴密封(3-8)、冷却水进出管(3-9)、冷却水进出分水头(3-10)、伞形撑杆(3-11)、导向座(3-12)、限位块(3-13)、拉紧弹簧(3-14)、膨胀波纹管(3-15)、进气道(3-16)、支撑块(3-17)、支撑板(3-18)、密封板(3-19)、支撑板冷却水道(3-20)、密封板冷却水道(3-21)、导杆上安装座(3-22)组成，气缸轴密封(3-5)安装在气缸安装门(3-3)上，插板阀气缸(3-7)安装在气缸轴密封(3-5)上，伞形撑杆(3-11)将支撑板(3-18)和密封板(3-19)连接在一起，撑板(3-18)内侧面焊接有支撑板冷却水道(3-20)，密封板(3-19)的内侧面焊接有密封板冷却水道(3-21)，冷却水进出分水头(3-10)分别与支撑板冷却水道(3-20)、密封板冷却水道(3-21)法兰密封连接，冷却水进出管(3-9)与冷却水进出分水头(3-10)接通，冷却水进出管(3-9)通过冷却水进出分水器(3-6)与外部进出水法兰连接，冷却水进出轴密封(3-8)紧固在气缸安装门(3-3)上，冷却水进出管(3-9)和冷却水进出轴密封(3-8)连接，阀体真空腔(3-1)上装有阀体安装门(3-2)，阀体导向座(3-15)两侧设有阀体导杆(3-4)，阀体导杆(3-4)通过导杆上安装座(3-22)紧固在阀体真空腔(3-1)内壁，进片真空工艺模块(4)的一端安装有真空隔离阀模块(3)，进片真空工艺模块(4)由进片真空腔体(4-1)、加热预处理装置(4-2)、传送磁流体(4-3)、传动同步轴(4-4)、公自转公里导入磁流体(4-5)、传送限位(4-6)、同步导轮(4-7)、工艺安装门(4-8)、偏压工艺航空接头(4-9)、精抽插板阀(4-10)、精抽分子泵(4-11)、精抽前级阀(4-12)、精抽前级管道(4-13)、粗抽挡板阀(4-14)、粗抽罗茨泵(4-15)、粗抽管道(4-16)、粗抽机械泵(4-17)和精抽前级泵(4-18)组成，进片真空腔体(4-1)顶部安装有加热预处理装置(4-2)，进片真空腔体(4-1)下部安装有传送磁流体(4-3)，传送磁流体(4-3)与同步导轮(4-7)连接，进片真空腔体(4-1)下端设有精抽分子泵(4-11)，精抽分子泵(4-11)的上端设有精抽插板阀(4-10)，精抽分子泵(4-11)的下端设有精抽前级阀(4-12)，精抽前级阀(4-12)通过精抽前级管道(4-13)与精抽前级泵(4-18)连通，精抽前级泵(4-18)的上端安装有粗抽机械泵(4-17)，粗抽机械泵(4-17)与粗抽罗茨泵(4-15)连接，粗抽罗茨泵(4-15)的顶部设有粗抽挡板阀(4-14)粗抽挡板阀(4-14)通过粗抽管道(4-16)与真空腔体(4-1)连接，公自转公里导入磁流体(4-5)包含公自转动力导入磁流体(4-5-1)、磁流体动力引入轴(4-5-2)、动力齿轮轴承座(4-5-3)、动力齿轮轴(4-5-4)、动力齿轮(4-5-5)，公自转动力导入磁流体(4-5-1)上装有磁流体动力引入轴(4-5-2)，动力齿轮轴(4-5-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(4-5-3)上，所述动力齿轮(4-5-5)为高温棘齿单向齿轮，且通过键槽紧固于动力齿轮轴(4-5-4)上，进片真空工艺模块(4)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与镀膜真空工艺模块(5)的一端隔离，镀膜真空工艺模块(5)由镀膜工艺真空腔体(5-1)、外置线性源(5-2)、同步导轮(5-3)、传送磁流体(5-4)、传送同步轴(5-5)、公自转公里导入磁流体(5-6)、镀膜工艺安装门(5-7)、分子泵(5-8)、前级挡板阀(5-9)、前级抽气管道(5-10)、前级阀(5-11)和前级泵(5-12)组成，前级泵(5-12)上安装有前级阀(5-11)，前级阀(5-11)通过前级抽气管道(5-10)与分子分子泵(5-8)连接，分子泵(5-8)上安装有前级挡板阀(5-9)，连接分子泵(5-8)与镀膜工艺真空腔体(5-1)连接，镀膜工艺真空腔体(5-1)的底端设置有传送同步轴(5-5)，镀膜工艺真空腔体(5-1)内部设置有传送磁流体(5-4)，传送磁流体(5-4)与同步导轮(5-3)连接，公自转公里导入磁流体(5-6)安装在镀膜工艺真空腔体(5-1)内部，公自转公里导入磁流体(5-6)由公自转动力导入磁流体(5-6-1)、磁流体动力引入轴(5-6-2)、动力齿轮轴承座(5-6-3)、动力齿轮轴(5-6-4)、动力齿轮轴(5-6-4)上和动力齿轮(5-6-5)组成，公自转动力导入磁流体(5-6-1)上安装磁流体动力引入轴(5-6-2)，动力齿轮轴(5-6-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(5-6-3)上，动力齿轮(5-6-5)通过键槽紧固于动力齿轮轴(5-6-4)上，动力齿轮(5-6-5)的与公转齿轮盘(1-5)啮合，镀膜工艺真空腔体(5-1)上安装有外置线性源(5-2)和镀膜工艺安装门(5-7)，镀膜真空工艺模块(5)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与出片真空工艺模块(6)的一端隔离，出片真空工艺模块(6)的另一端安装有真空隔离阀模块(3)，整个生产线是由人工周转或流水线周转实现装载托盘的依次连续镀膜生产，出片真空工艺模块(6)与进片真空工艺模块(4)结构相同，动力齿轮(4-5-5)为高温棘齿单向齿轮，外置线性源(5-2)为外置柱状磁控溅射阴极、外置平面磁控溅射阴极、外置孪生磁控溅射阴极和外置孪生平面磁控溅射阴极，进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)是连续镀膜线根据生产线工艺进行功能定义的工艺腔体模块，三个部分的工艺腔体模块都可以由至少一个真空工艺模块组成，进片真空工艺模块(4)和镀膜真空工艺模块(5)由两段或者多段真空工艺腔体组成时，其两个真空腔体之间需要通过真空隔离阀模块(3)真空隔离，镀膜真空工艺模块(5)由两段或者多段真空工艺腔体组成时，其两个真空腔体之间不需要通过真空隔离阀模块(3)真空隔离。
本发明的中的所述真空隔离阀模块(3)的真空隔离阀采用平推高温真空插板隔离阀或者垂直升降高温真空插板隔离阀，下面具体阐述两种真空隔离阀的应用：
采用平推高温真空插板隔离阀时：当真空隔离阀模块(3)关闭，两个插板阀气缸(3-7)由上往下充气，通过气缸安装门(3-3)上的气缸轴密封(3-5)装置，将支撑板(3-17)沿着阀体导杆(3-4)推向阀体真空腔(3-1)底部，直到拉紧弹簧(3-14)与膨胀波纹管(3-15)接触，并继续加压推动，通过伞形撑杆(3-11)将支撑板(3-18)和密封板(3-19)撑开，将支撑板(3-18)推到与限位块(3-13)接触并顶住，将密封板(3-19)的密封圈推向与阀体真空腔(3-1)的内密封面紧密接触达到真空密封，当高温真空插板隔离阀开启时，两个插板阀气缸(3-7)由下往上充气，气缸轴通过紧固与气缸安装门(3-3)上的气缸轴密封(3-5)，将与气缸轴通过联轴器连接的支撑板(3-17)沿着阀体导杆(3-4)推向阀体真空腔(3-1)顶部，由于重力作用伞形撑杆(3-11)将支撑板(3-18)和密封板(3-19)自动收缩，并由支撑块(3-17)将支撑板(3-18)和密封板(319)限位保持最小间距。
采用垂直升降高温真空插板隔离阀时：当真空隔离阀模块(3)关闭，两个插板阀气缸(3-7)由上往下充气，通过气缸安装门(3-3)上的气缸轴密封(3-5)装置，将支撑板(3-17)沿着阀体导杆(3-4)推向阀体真空腔(3-1)底部，直到阀板导向轮(3-14)与阀板导向座(3-15)接触，并继续加压推动，通过伞形撑杆(3-11)将支撑板(3-18)和密封板(3-19)撑开，将支撑板(3-18)推到与限位块(3-13)接触并顶住，将密封板(3-19)的密封圈推向与阀体真空腔(3-1)的内密封面紧密接触达到真空密封，由阀体安装门(3-2)推入阀体真空腔(3-1)，并由阀体导向座(3-15)沿两侧的阀体导杆(3-4)摩擦导向，阀体导杆(3-4)通过导杆下安装座(3-16)和导杆上安装座(3-20)紧固与阀体真空腔(3-1)内壁，当高温真空插板隔离阀开启时，两个插板阀气缸(3-7)由下往上充气，气缸轴通过紧固与气缸安装门(3-3)上的气缸轴密封(3-5)，将与气缸轴通过联轴器连接的支撑板(3-17)沿着阀体导杆(3-4)推向阀体真空腔(3-1)顶部，由于重力作用伞形撑杆(3-11)将支撑板(3-18)和密封板(3-19)自动收缩，并由支撑块(3-17)将支撑板(3-18)和密封板(319)限位保持最小间距。
进出片真空工艺模块(4)的工作过程是：由进片真空腔体(4-1)内部的传送电机将动力通过传送同步轴(4-4)分成两侧，将动力通过传送磁流体(4-3)导入到同步导轮(4-7)上，用摩擦导向的方式将入料模块(2)上的公自转托盘(1)送入进片真空腔体(4-1)中，由光电检测，并由传送限位(4-6)精准定位，以保证公转齿轮盘(1-5)和动力齿轮(4-5-5)良好啮合，启动粗抽机械泵(4-17)，延时启动粗抽罗茨泵(4-15)，再启动粗抽挡板阀(4-14)，经过粗抽管道(4-16)，将进片真空腔体(4-1)抽气到8Pa以下，再将粗抽挡板阀(4-14)关闭，再开启精抽插板阀(4-10)由已经开启的精抽分子泵(4-11)和精抽前级泵(4-18)通过精抽前级管道(4-13)将进片真空腔体(4-1)抽气到8*10-3Pa以下，公自转动力是通过公自转动力导入磁流体(4-5-1)经过磁流体动力引入轴(4-5-2)通过绝缘联轴器带动通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(4-5-3)上的动力齿轮轴(4-5-4)，并由键槽紧固于动力齿轮轴(4-5-4)上的动力齿轮(4-5-5)与公转齿轮盘(1-5)啮合，带动公转齿轮盘(1-5)做公转运行，挂载杆(1-9)进行自转运行，在真空腔体(4-1)顶部安装有加热预处理(4-2)装置，并与公自转托盘(1)良好接触，公自转托盘(1)启动公自转后，根据工艺进行加热预处理、偏压清洁和多弧清洁工艺。
镀膜工艺真空模块(5)的工作过程是：由镀膜工艺真空腔体(5-1)内部的传送电机将动力通过传送同步轴(5-5)分成两侧，将动力通过磁流体(6-4)导入到同步导轮(5-3)上，用摩擦导向的方式将入料模块(2)上的公自转托盘(1)送入镀膜真空腔体(5-1)中，公自转动力,通过公自转动力导入磁流体(5-6-1)经过磁流体动力引入轴(5-6-2)带动动力齿轮轴(5-6-4)运行，并由动力齿轮(5-6-5)与公转齿轮盘(1-5)啮合，带动公转齿轮盘(1-5)做公转运行，挂载杆(1-9)进行自转运行。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (9)

1.一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：包括公自转托盘(1)、入料模块(2)、真空隔离阀模块(3)、进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)、出料模块(7)，所述进片真空工艺模块(4)的一端安装有真空隔离阀模块(3)，所述进片真空工艺模块(4)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与镀膜真空工艺模块(5)的一端隔离，所述镀膜真空工艺模块(5)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与出片真空工艺模块(6)的一端隔离，所述出片真空工艺模块(6)的另一端安装有真空隔离阀模块(3)。
2.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述公自转托盘(1)由安装托板(1-1)、绝缘座(1-2)、传送导杆(1-3)、承载轴承(1-4)、公转齿轮盘(1-5)、限位轴承(1-6)、自转齿轮(1-7)、自转转轴(1-8)、挂载杆(1-9)、支撑杆(1-10)和固定锁紧盘(1-11)组成，所述传送导杆(1-3)的一端穿过绝缘座(1-2)安装在安装托盘(1-1)上，所述公转齿轮盘(1-5)通过限位轴承(1-6)限定在安装托盘(1-1)上，所述自转转轴(1-8)安装在公转齿轮盘(1-5)上，所述承载轴承(1-4)安装在安装托板(1-1)上，所述承载轴承(1-4)支撑公转齿轮盘(1-5)，所述挂载杆(1-9)的下端与自转转轴(1-8)连接，所述自转转轴(1-8)安装在在工作齿轮盘(1-5)上，所述自转齿轮(1-7)与安装托盘(1-1)的内齿啮合，所述挂载杆(1-9)的上端通过轴承紧固在固定锁紧盘(1-11)上；所述固定锁紧盘(1-11)由支撑杆(1-10)支撑。
3.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述入料模块(2)由入料支架(2-1)、传送同步轴(2-2)、导轮安装座(2-3)和传送导轮(2-4)组成，所述传送导杆(1-3)下方为入料模块的传送轮(2-4)，所述传送导轮(2-4)通过轴承紧固在导轮安装座(2-3)上，所述导轮安装座(2-3)安装在入料支架(2-1)上，所述传送同步轴(2-2)安装在入料支架(2-1)上，所述真空隔离阀模块(3)由阀体真空腔(3-1)、阀体安装门(3-2)、气缸安装门(3-3)、阀体导杆(3-4)、气缸轴密封(3-5)、冷却水进出分水器(3-6)、插板阀气缸(3-7)、冷却水进出轴密封(3-8)、冷却水进出管(3-9)、冷却水进出分水头(3-10)、伞形撑杆(3-11)、导向座(3-12)、限位块(3-13)、拉紧弹簧(3-14)、膨胀波纹管(3-15)、进气道(3-16)、支撑块(3-17)、支撑板(3-18)、密封板(3-19)、支撑板冷却水道(3-20)、密封板冷却水道(3-21)、导杆上安装座(3-22)组成，所述气缸轴密封(3-5)安装在气缸安装门(3-3)上，所述插板阀气缸(3-7)安装在气缸轴密封(3-5)上，所述伞形撑杆(3-11)将支撑板(3-18)和密封板(3-19)连接在一起，所述撑板(3-18)内侧面焊接有支撑板冷却水道(3-20)，所述密封板(3-19)的内侧面焊接有密封板冷却水道(3-21)，所述冷却水进出分水头(3-10)分别与支撑板冷却水道(3-20)、密封板冷却水道(3-21)法兰密封连接，所述冷却水进出管(3-9)与冷却水进出分水头(3-10)接通，所述冷却水进出管(3-9)通过冷却水进出分水器(3-6)与外部进出水法兰连接，所述冷却水进出轴密封(3-8)紧固在气缸安装门(3-3)上，所述冷却水进出管(3-9)和冷却水进出轴密封(3-8)连接，所述阀体真空腔(3-1)上装有阀体安装门(3-2)，所述阀体导向座(3-15)两侧设有阀体导杆(3-4)，所述阀体导杆(3-4)通过导杆上安装座(3-22)紧固在阀体真空腔(3-1)内壁。
4.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述进片真空工艺模块(4)由进片真空腔体(4-1)、加热预处理装置(4-2)、传送磁流体(4-3)、传动同步轴(4-4)、公自转公里导入磁流体(4-5)、传送限位(4-6)、同步导轮(4-7)、工艺安装门(4-8)、偏压工艺航空接头(4-9)、精抽插板阀(4-10)、精抽分子泵(4-11)、精抽前级阀(4-12)、精抽前级管道(4-13)、粗抽挡板阀(4-14)、粗抽罗茨泵(4-15)、粗抽管道(4-16)、粗抽机械泵(4-17)和精抽前级泵(4-18)组成，所述进片真空腔体(4-1)顶部安装有加热预处理装置(4-2)，所述进片真空腔体(4-1)下部安装有传送磁流体(4-3)，所述传送磁流体(4-3)与同步导轮(4-7)连接，所述进片真空腔体(4-1)下端设有精抽分子泵(4-11)，所述精抽分子泵(4-11)的上端设有精抽插板阀(4-10)，所述精抽分子泵(4-11)的下端设有精抽前级阀(4-12)，所述精抽前级阀(4-12)通过精抽前级管道(4-13)与精抽前级泵(4-18)连通，所述精抽前级泵(4-18)的上端安装有粗抽机械泵(4-17)，所述粗抽机械泵(4-17)与粗抽罗茨泵(4-15)连接，所述粗抽罗茨泵(4-15)的顶部设有粗抽挡板阀(4-14)所述粗抽挡板阀(4-14)通过粗抽管道(4-16)与真空腔体(4-1)连接，所述公自转公里导入磁流体(4-5)包含公自转动力导入磁流体(4-5-1)、磁流体动力引入轴(4-5-2)、动力齿轮轴承座(4-5-3)、动力齿轮轴(4-5-4)、动力齿轮(4-5-5)，所述公自转动力导入磁流体(4-5-1)上装有磁流体动力引入轴(4-5-2)，所述动力齿轮轴(4-5-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(4-5-3)上，所述动力齿轮(4-5-5)为高温棘齿单向齿轮，且通过键槽紧固于动力齿轮轴(4-5-4)上。
5.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述镀膜真空工艺模块(5)由镀膜工艺真空腔体(5-1)、外置线性源(5-2)、同步导轮(5-3)、传送磁流体(5-4)、传送同步轴(5-5)、公自转公里导入磁流体(5-6)、镀膜工艺安装门(5-7)、分子泵(5-8)、前级挡板阀(5-9)、前级抽气管道(5-10)、前级阀(5-11)和前级泵(5-12)组成，所述前级泵(5-12)上安装有前级阀(5-11)，所述前级阀(5-11)通过前级抽气管道(5-10)与分子分子泵(5-8)连接，所述分子泵(5-8)上安装有前级挡板阀(5-9)，所述连接分子泵(5-8)与镀膜工艺真空腔体(5-1)连接，所述镀膜工艺真空腔体(5-1)的底端设置有传送同步轴(5-5)，所述镀膜工艺真空腔体(5-1)内部设置有传送磁流体(5-4)，所述传送磁流体(5-4)与同步导轮(5-3)连接，所述公自转公里导入磁流体(5-6)安装在镀膜工艺真空腔体(5-1)内部，所述公自转公里导入磁流体(5-6)由公自转动力导入磁流体(5-6-1)、磁流体动力引入轴(5-6-2)、动力齿轮轴承座(5-6-3)、动力齿轮轴(5-6-4)、动力齿轮轴(5-6-4)上和动力齿轮(5-6-5)组成，所述公自转动力导入磁流体(5-6-1)上安装磁流体动力引入轴(5-6-2)，所述动力齿轮轴(5-6-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(5-6-3)上，所述动力齿轮(5-6-5)通过键槽紧固于动力齿轮轴(5-6-4)上，所述动力齿轮(5-6-5)的与公转齿轮盘(1-5)啮合。所述镀膜工艺真空腔体(5-1)上安装有外置线性源(5-2)和镀膜工艺安装门(5-7)。
6.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述出片真空工艺模块(6)与进片真空工艺模块(4)结构相同。
7.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述公自转托盘(1)做公自转运行或公转运行。
8.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述真空隔离阀模块(3)的真空隔离阀采用平推高温真空插板隔离阀或者垂直升降高温真空插板隔离阀。
9.根据权利要求1所述一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线，其特征在于：所述进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)是连续镀膜线根据生产线工艺进行功能定义的工艺腔体模块，三个部分的工艺腔体模块都可以由至少一个真空工艺模块组成，进片真空工艺模块(4)和镀膜真空工艺模块(5)由两段或者多段真空工艺腔体组成时，其两个真空腔体之间需要通过真空隔离阀模块(3)真空隔离，镀膜真空工艺模块(5)由两段或者多段真空工艺腔体组成时，其两个真空腔体之间不需要通过真空隔离阀模块(3)真空隔离。
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