CN105316635A - 一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线及其镀膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其主要由上片架、前清洗机、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机和下片架构成，进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶；进片预抽室设有第一变换抽真空机组，出片预抽室设有第二变换抽真空机组；进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。本发明还公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法。本发明可将多种镀膜工艺集中于同一设备中，降低了生产投入，提高了经济效益。

Description

一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线及其镀膜方法

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术，具体涉及一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线及其镀膜方法。

背景技术

随着平板玻璃产业的兴起，平板铝镜、阳光控制膜和LOW-E膜平板玻璃的需求量越来越大，市场的竞争也越来越激烈，对磁控镀膜生产线各项指标性能的要求也越来越高。中国的玻璃产量位于全世界之首，因此企业能同时拥有多种高质量的平板玻璃产品就有更多的竞争力。

目前，平面铝镜磁控镀膜生产线的主要工艺流程一般为：上片架→前清洗机→进片过渡架→进片粗抽室→进片预抽室→进片过渡室→进片缓冲室→镀膜室→出片缓冲镀→出片过渡室→出片预抽室→出片粗抽室→出片过渡架→平移架→底漆淋漆段→底漆烘烤箱→面漆淋漆段→面漆烘烤箱→面漆风干段→后清洗机→纠偏架→下片架。阳光控制膜和LOW-E(低辐射膜)磁控镀膜生产线的主要工艺流程一般为：上片架→前清洗机→进片过渡架→进片粗抽室→进片预抽室→进片缓冲室→前镀膜室→镀膜室→后镀膜室→出片缓冲室→出片预抽室→出片粗抽室→出片过渡架→纠偏架→下片架。故当前对玻璃工件镀不同的膜时需要使用不同的生产线进行。若企业需要生镀有不同膜的玻璃时，需要配备多条镀膜生产线，故企业的投入资金就非常巨大，生产成本就非常高，在现在激烈的市场竞争环境下就会面临被动的局面。

发明内容

本发明的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种降低生成本且能镀多种膜的多功能磁控溅射自动镀膜生产线。同时，本发明的另一目的是提供一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线及其镀膜方法。

本发明的目的通过以下的技术方案实现：本多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、真空镀膜装置、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机、纠偏架和下片架，所述真空镀膜装置包括依次连接的进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室和出片粗抽室；所述进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶；所述进片预抽室设有第一变换抽真空机组，所述出片预抽室设有第二变换抽真空机组；所述进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，所述出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。

优选的，所述第一变换抽真空机组包括第一高真空气动阀、第一扩散泵、第一中真空气动阀、第一罗茨泵和第一滑阀泵，所述进片预抽室设有第一高真空抽气口和第一中真空抽气口，所述第一扩散泵通过第一高真空气动阀与第一高真空抽气口连接，所述第一罗茨泵通过第一中真空气动阀与第一中真空抽气口连接，所述第一滑阀泵、第一罗茨泵和第一扩散泵依次连接。

优选的，所述第二变换抽真空机组包括第二高真空气动阀、第二扩散泵、第二中真空气动阀、第二罗茨泵和第二滑阀泵，所述进片预抽室设有第二高真空抽气口和第二中真空抽气口，所述第二扩散泵通过第二高真空气动阀与第二高真空抽气口连接，所述第二罗茨泵通过第二中真空气动阀与第二中真空抽气口连接，所述第二滑阀泵、第二罗茨泵和第二扩散泵依次连接。

优选的，所述进片排气组件包括第一进片排气管、第二进片排气管和进片转换气动阀，所述第一进片排气管的一端伸入进片过渡室后通过进片转换气动阀与第二进片排气管的一端连接；所述第一进片排气管与进片过渡室的真空泵进气管连接，所述第二进片排气管的另一端伸入进片缓冲过渡室后与进片缓冲过渡室的真空泵进气管连接。

优选的，所述出片排气组件包括第一出片排气管、第二出片排气管和出片转换气动阀，所述第一出片排气管的一端伸入出片过渡室后通过出片转换气动阀与第二出片排气管的一端连接；所述第一出片排气管与出片过渡室的真空泵出气管连接，所述第二出片排气管的另一端伸入出片缓冲过渡室后与出片缓冲过渡室的真空泵进气管连接。

优选的，所述进片过渡架和进片粗抽室之间、进片粗抽室和进片预抽室之间、进片预抽室和进片过渡室之间、进片过渡室和进片缓冲室之间、出片缓冲室和出片过渡室之间、出片过渡室和出片预抽室之间、出片预抽室和出片粗抽室之间及出片粗抽室和出片架之间均设有真空气锁，所述真空气锁包括气缸、齿条、齿轮、转轴、转臂和锁板，所述气缸的伸缩杆与齿条连接，所述齿轮与齿条啮合，且所述齿轮通过转轴与转臂连接，所述转臂与锁板连接。

优选的，所述锁板的密封端设有橡胶密封圈。

优选的，所述进片缓冲室包括进片室体和进片输送组件，所述进片输送组件安装进片室体内的下部，位于进片缓冲室内的镀膜靶安装于进片室体内的上部；

所述出片缓冲室包括出片室体和出片输送组件，所述出片输送组件安装出片室体内的下部，位于出片缓冲室内的镀膜靶安装于出片室体内的上部。

一种采用上述多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法，包括以下步骤：玻璃工件依次经过上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲镀膜镀、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片过渡架、平移架、底漆淋漆段、底漆烘烤箱、面漆淋漆段、面漆烘烤箱、面漆风干段、后清洗机、纠偏架和下片架进行相应的工序；

当进行对玻璃工件镀不同的膜时，第一变换抽真空机组启动相应的阀和泵，令进片预抽室达到相应的真空度；而第二变换抽真空机组启动相应的阀和泵，令出片预抽室达到相应的真空度；同时，进片缓冲室和出片缓冲室根据玻璃工件镀不同的膜而启动镀膜靶。

优选的，对于玻璃工件进行的各过工序时，第一变换抽真空机组、第二变换抽真空机组及各个真空气锁的开闭均通过PLC控制。

本发明相对于现有技术具有如下的优点：本发明的多功能磁控溅射自动镀膜生产线通过对进片缓冲室和出片的缓冲镀膜室进行改进，且在进片预抽室和出片预制室分别增加第一变换抽真空抽气机组和第二变换抽真空抽气机组，及增设了进片排气组件和出片排气组件，从而使本多功能磁控溅射自动镀膜生产线可镀制多种膜，从而企业不需要针对每种膜而购买不同的的生产线，故大大降低了企业的投入资本，使企业实现效益最大化。本发明的多功能磁控溅射自动镀膜生产线的结构简单，安装方便。本发明可将种镀膜工艺集中在一设备中进行，故提高了企业的生产效益。

附图说明

图1是本发明的多功能磁控溅射自动镀膜生产线的结构示意图。

图2是本发明的第一真空抽气机组的结构示意图。

图3是本发明的进片缓冲室的剖视图。

图4是本发明的进片排气组件的结构示意图。

图5是本发明的真空气锁的正视图。

图6是本发明的真空气锁的侧视图。

图7是本发明的真空气锁的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。

如图1至图4所示，多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架1、前清洗机2、进片过渡架3、真空镀膜装置、出片架13、平移架14、底漆淋漆室15、底漆洪烤箱16、面漆淋漆室17、面漆烘烤箱18、面漆风干室19、后清洗机20、纠偏架21和下片架22，所述真空镀膜装置包括依次连接的进片粗抽室4、进片预抽室5、进片过渡室6、进片缓冲室7、镀膜室8、出片缓冲室9、出片过渡室10、出片预抽室11和出片粗抽室12；所述进片缓冲室7和出片缓冲室9均设有镀膜靶43；所述进片预抽室5设有第一变换抽真空机组23，所述出片预抽室11设有第二变换抽真空机组；所述进片过渡室6和进片缓冲室7之间设有进片排气组件24，所述出片缓冲室9和出片过渡室10之间设有出片排气组件。

如图2所示，所述第一变换抽真空机组23包括第一高真空气动阀38、第一扩散泵39、第一中真空气动阀40、第一罗茨泵41和第一滑阀泵42，所述进片预抽室5设有第一高真空抽气口和第一中真空抽气口，所述第一扩散泵39通过第一高真空气动阀38与第一高真空抽气口连接，所述第一罗茨泵41通过第一中真空气动阀40与第一中真空抽气口连接，所述第一滑阀泵42、第一罗茨泵41和第一扩散泵39依次连接。

当磁控镀膜生产线要实现镀单质膜的快节拍功能时，即镀单质膜时，开启第一中真空气动阀40，令空气通过第一中真空抽气口后进入第一罗茨泵41，并由第一滑阀泵42排到大气中；当磁控镀膜生产线要实现镀复合膜的慢节拍时，即镀阳光控制膜或LOW-E磁控镀膜时，开启第一高真空抽气口，令空气通过第一高真空抽气口后进入第一扩散泵39，依次通过第一罗茨泵41及第一滑阀泵42后排到大气中。第二变换抽真空机组的工作方式与第一变换抽真空机组23的工作方式相同。

所述第二变换抽真空机组包括第二高真空气动阀、第二扩散泵、第二中真空气动阀、第二罗茨泵和第二滑阀泵，所述进片预抽室设有第二高真空抽气口和第二中真空抽气口，所述第二扩散泵通过第二高真空气动阀与第二高真空抽气口连接，所述第二罗茨泵通过第二中真空气动阀与第二中真空抽气口连接，所述第二滑阀泵、第二罗茨泵和第二扩散泵依连接。第二变换抽真空机组的结构与第一变换抽真空机组的结构相同，只是两者安装于的位置不同，即第一变换抽真空机组安装于进片预抽室，而第二变换抽真空机组安装于出片预抽室。

所述进片排气组件24包括第一进片排气管25、第二进片排气管26和进片转换气动阀27，所述第一进片排气管25的一端伸入进片过渡室6后通过进片转换气动阀27与第二进片排气管26的一端连接；所述第一进片排气管25与进片过渡室6的真空泵进气管连接，所述第二进片排气管26的另一端伸入进片缓冲过渡室7后与进片缓冲过渡室7的真空泵进气管连接。

第一进片排气管25和第二进片排气管26用进片转换气动阀27隔开，当磁控镀膜生产线要实现镀单质膜的快节拍功能时，即镀单质膜时，采用第一进片排气管25排气，当磁控镀膜生产线要实现镀复合膜的慢节拍时，即镀阳光控制膜或LOW-E磁控镀膜时，采用第二进片排气管26排气。出片排气组件的工作方式与进片排气组件的工作方式相同。

所述出片排气组件包括第一出片排气管、第二出片排气管和出片转换气动阀，所述第一出片排气管的一端伸入出片过渡室后通过出片转换气动阀与第二出片排气管的一端连接；所述第一出片排气管与出片过渡室的真空泵出气管连接，所述第二出片排气管的另一端伸入出片缓冲过渡室后与出片缓冲过渡室的真空泵进气管连接。出片排气组件的结构与进片排气组件的结构相同，只是两者的安装位置不同。即进片排气组件安装于进片过渡室和进片缓冲室之间，而出片排气组件安装于出片缓冲室和出片过渡室之间。

所述进片过渡架3和进片粗抽室4之间、进片粗抽室4和进片预抽室5之间、进片预抽室5和进片过渡室6之间、进片过渡室6和进片缓冲室7之间、出片缓冲室9和出片过渡室10之间、出片过渡室10和出片预抽室11之间、出片预抽室11和出片粗抽室12之间及出片粗抽室12和出片架13之间均设有真空气锁28，所述真空气锁包括气缸29、齿条30、齿轮31、转轴32、转臂33和锁板34，所述气缸29的伸缩杆与齿条30连接，所述齿轮31与齿条30啮合，且所述齿轮31通过转轴32与转臂33连接，所述转臂33与锁板34连接。本发明的真空气锁的结构简单，且密封性好，可靠性高。

为进一步提高锁板的密封效果，所述锁板34的密封端设有橡胶密封圈35。

所述进片缓冲室7包括进片室体36和进片输送组件37，所述进片输送组件安装进片室体内的下部，位于进片缓冲室内的镀膜靶43安装于进片室体内的上部；所述出片缓冲室9包括出片室体和出片输送组件，所述出片输送组件安装出片室体内的下部，位于出片缓冲室内的镀膜靶安装于出片室体内的上部。具体的，进片输送组件和出片输送组件均采有现有技术，主要由滚筒构成。

一种采用上述多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法，包括以下步骤：玻璃工件依次经过上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲镀膜镀、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片过渡架、平移架、底漆淋漆段、底漆烘烤箱、面漆淋漆段、面漆烘烤箱、面漆风干段、后清洗机、纠偏架和下片架进行相应的工序；

当进行对玻璃工件镀不同的膜时，第一变换抽真空机组启动相应的阀和泵，令进片预抽室达到相应的真空度；而第二变换抽真空机组启动相应的阀和泵，令出片预抽室达到相应的真空度；同时，进片缓冲室和出片缓冲室根据玻璃工件镀不同的膜而启动镀膜靶。

具体的，当玻璃工件镀单质膜时，其步骤如下所述：

1)玻璃工件通过上片架进入前清洗机，然后玻璃工件通过前清洗机清洗后进入进片过渡架；

2)进片过渡架和进片粗抽室之间的真空气锁开启，则玻璃工件自进片过渡架进入进片粗抽室；当进片粗抽室的真空机组启动，令进片粗抽室内的真空度达到800帕，进片粗抽室和进片预抽室之间的真空气锁开启，玻璃工件进片粗抽室进入进片预抽室；

4)玻璃工件进入进片预抽室后，进片粗抽室和进片预抽室之间的真空气锁关闭后，第一变换抽真空机组中的中真空抽气阀打开，罗茨泵对进片预抽室继续抽真空，令进片预抽室内的真空度到达3帕，进片预抽室和进片过渡室之间的道真空气锁开启，玻璃工件就进入进片过渡室；

5)玻璃工件进入进片过渡室后，进片预抽室和进片过渡室之间的真空气锁关闭，进片过渡室中真空机组启动，令进片过渡室内的真空度到达2X10^-1帕，进片过渡室和进片缓冲室之间的真空气锁开启，玻璃工件进入进片缓冲室；

6)玻璃工件进入进片缓冲室后，进片过渡室和进片缓冲室之间的真空气锁关闭，进片缓冲室的真空机组启动，玻璃工件以设定的镀膜行走速度移动进入镀膜室进行镀膜；

7)玻璃工件于镀膜室完成镀膜后再进入出片缓冲室，此时，出片过渡室内的真空机组启动，令出片过渡室内的真空度达到2X10^-1帕，则出片缓冲室和出片过渡室之间的真空锁启动，而玻璃工件进入出片过渡室；

8)玻璃工件进入出片过渡室后，出片预抽室的真空机组启动，令出片预抽室内的真空度到达3帕，出片过渡室和出片预抽室之间的道真空气锁开启，玻璃工件就按设定行走速度进入到出片预抽室内；

9)玻璃工件进入出片预抽室后，出片粗抽室的真空机组启动，令出片粗抽室内的真空度到达800帕，出片预抽室和出片粗抽室之间的真空气锁开启后，玻璃工件就按设定行走速度进入到出片粗抽室内；

10)玻璃工件进入出片粗抽室后，出片预抽室和出片粗抽室之间的真空气锁关闭后，向出片粗抽室充入大气，达到设定的充气时间后，出片粗抽室和出片架之间的真空气锁开启，玻璃工件就按设定行走速度进入到出片架；

11)最后，下班工件自出片架出来后依次通过平移架，淋底漆段，底漆烘干段，漆面淋漆段，面漆烘干段，风干段，纠偏段和上片架以完成单质膜的镀膜。

而当镀阳光控制膜或LOW-E磁控镀膜时，其步骤如下所述：

1)玻璃工件通过上片架进入前清洗机，然后玻璃工件通过前清洗机清洗后进入进片过渡架；

2)进片过渡架和进片粗抽室之间的真空气锁开启，则玻璃工件自进片过渡架进入进片粗抽室；当进片粗抽室的真空机组启动，令进片粗抽室内的真空度达到800帕，进片粗抽室和进片预抽室之间的真空气锁开启，玻璃工件进片粗抽室进入进片预抽室；

4)玻璃工件进入进片预抽室后，进片粗抽室和进片预抽室之间的真空气锁关闭后，第一变换抽真空机组中的中真空抽气阀打开，罗茨泵对进片预抽室继续抽真空，令进片预抽室内的真空度到达3帕，接着第一变换抽真空机组中的第一高真空抽气阀打开，扩散对进片预抽室继续抽真空，令进片预抽室内的真空度2X10^-1帕，真空气锁开启，玻璃工件就进入进片过渡室；。

5)玻璃工件进入进片过渡室后，进片预抽室和进片过渡室之间的真空气锁关闭，进片过渡室中真空机组启动，进片过渡室和进片缓冲室之间的真空气锁保持打开状态，令进片过渡室与进片缓冲镀膜相连通，则玻璃工件以设定行走速度进入进片缓冲室，此时，进片缓冲室中的镀膜靶对工件进行镀膜；

6)玻璃工件以设定行走速度依次通过进片缓冲室、镀膜室和出片缓冲室，从而进行连续镀膜；

7)玻璃工件自出片缓冲室出来后进入出片过渡室，出片预抽室的真空机组启动，令出片预抽室内的真空度到达2X10^-1帕，出片过渡室和出片预抽室之间的道真空气锁开启，玻璃工件就按设定行走速度进入到出片预抽室内；

8)玻璃工件进入出片预抽室后，出片粗抽室的真空机组启动，令出片粗抽室内的真空度到达800帕，出片预抽室和出片粗抽室之间的真空气锁开启后，玻璃工件就按设定行走速度进入到出片粗抽室内；

9)玻璃工件进入出片粗抽室后，出片预抽室和出片粗抽室之间的真空气锁关闭后，向出片粗抽室充入大气，达到设定的充气时间后，出片粗抽室和出片架之间的真空气锁开启，玻璃工件就按设定行走速度进入到出片架；

10)最后，下班工件自出片架出来后依次通过平移架，淋底漆段，底漆烘干段，漆面淋漆段，面漆烘干段，风干段，纠偏段和上片架以完成玻璃工件镀阳光控制膜的镀膜。

对于玻璃工件进行的上述各过工序时，第一变换抽真空机组、第二变换抽真空机组及各个真空气锁的开闭均通过PLC控制。

上述具体实施方式为本发明的优选实施例，并不能对本发明进行限定，其他的任何未背离本发明的技术方案而所做的改变或其它等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、真空镀膜装置、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机、纠偏架和下片架，其特征在于：所述真空镀膜装置包括依次连接的进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室和出片粗抽室；所述进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶；所述进片预抽室设有第一变换抽真空机组，所述出片预抽室设有第二变换抽真空机组；所述进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，所述出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。

2.根据权利要求1所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其特征在于：所述第一变换抽真空机组包括第一高真空气动阀、第一扩散泵、第一中真空气动阀、第一罗茨泵和第一滑阀泵，所述进片预抽室设有第一高真空抽气口和第一中真空抽气口，所述第一扩散泵通过第一高真空气动阀与第一高真空抽气口连接，所述第一罗茨泵通过第一中真空气动阀与第一中真空抽气口连接，所述第一滑阀泵、第一罗茨泵和第一扩散泵依次连接。

3.根据权利要求1所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其特征在于：所述第二变换抽真空机组包括第二高真空气动阀、第二扩散泵、第二中真空气动阀、第二罗茨泵和第二滑阀泵，所述进片预抽室设有第二高真空抽气口和第二中真空抽气口，所述第二扩散泵通过第二高真空气动阀与第二高真空抽气口连接，所述第二罗茨泵通过第二中真空气动阀与第二中真空抽气口连接，所述第二滑阀泵、第二罗茨泵和第二扩散泵依次连接。

4.根据权利要求1所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其特征在于：所述进片排气组件包括第一进片排气管、第二进片排气管和进片转换气动阀，所述第一进片排气管的一端伸入进片过渡室后通过进片转换气动阀与第二进片排气管的一端连接；所述第一进片排气管与进片过渡室的真空泵进气管连接，所述第二进片排气管的另一端伸入进片缓冲过渡室后与进片缓冲过渡室的真空泵进气管连接。

5.根据权利要求1所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其特征在于：所述出片排气组件包括第一出片排气管、第二出片排气管和出片转换气动阀，所述第一出片排气管的一端伸入出片过渡室后通过出片转换气动阀与第二出片排气管的一端连接；所述第一出片排气管与出片过渡室的真空泵出气管连接，所述第二出片排气管的另一端伸入出片缓冲过渡室后与出片缓冲过渡室的真空泵进气管连接。

6.根据权利要求1所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其特征在于：所述进片过渡架和进片粗抽室之间、进片粗抽室和进片预抽室之间、进片预抽室和进片过渡室之间、进片过渡室和进片缓冲室之间、出片缓冲室和出片过渡室之间、出片过渡室和出片预抽室之间、出片预抽室和出片粗抽室之间及出片粗抽室和出片架之间均设有真空气锁，所述真空气锁包括气缸、齿条、齿轮、转轴、转臂和锁板，所述气缸的伸缩杆与齿条连接，所述齿轮与齿条啮合，且所述齿轮通过转轴与转臂连接，所述转臂与锁板连接。

7.根据权利要求6所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其特征在于：所述锁板的密封端设有橡胶密封圈。

8.根据权利要求1所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其特征在于：所述进片缓冲室包括进片室体和进片输送组件，所述进片输送组件安装进片室体内的下部，位于进片缓冲室内的镀膜靶安装于进片室体内的上部；

所述出片缓冲室包括出片室体和出片输送组件，所述出片输送组件安装出片室体内的下部，位于出片缓冲室内的镀膜靶安装于出片室体内的上部。

9.一种基于权利要求1所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：玻璃工件依次经过上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲镀膜镀、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片过渡架、平移架、底漆淋漆段、底漆烘烤箱、面漆淋漆段、面漆烘烤箱、面漆风干段、后清洗机、纠偏架和下片架进行相应的工序；

当进行对玻璃工件镀不同的膜时，第一变换抽真空机组启动相应的阀和泵，令进片预抽室达到相应的真空度；而第二变换抽真空机组启动相应的阀和泵，令出片预抽室达到相应的真空度；同时，进片缓冲室和出片缓冲室根据玻璃工件镀不同的膜而启动镀膜靶。

10.根据权利要求9所述的多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法，其特征在于：对于玻璃工件进行的各过工序时，第一变换抽真空机组、第二变换抽真空机组及各个真空气锁的开闭均通过PLC控制。