CN107841724B - 镀膜机及镀膜方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种镀膜机及镀膜方法，可以降低使用镀膜机生产TFT液晶显示屏时的破片率，提高了TFT液晶显示屏加工良率。

Description

镀膜机及镀膜方法
技术领域
本发明涉及液晶显示屏加工技术领域，尤其涉及一种镀膜机及镀膜方法。
背景技术
真空镀膜机用于给液晶显示屏镀膜，在镀膜机内设有多个依次相连的腔体及与腔体相连通的主真空管，腔体通过直管与主真空管相连，直管上设有阀门，第一个腔体与最后一个腔体分别与外界大气相连通，现有的镀膜机额第一个腔体从大气压抽气到真空时，抽气时间只有20s左右，抽气速度较快，最后一个腔体从真空放气到大气压时，放气时间只有10s左右，放气速度较快，而抽气速度、放气速度过快导致镀膜机在加工TFT液晶显示屏时显示屏受气流撞击力较大，使得TFT液晶显示屏的破片率较高、良率低，因此急需提高使用普通镀膜机加工TFT液晶显示屏的产品加工良率。
发明内容
本发明提供了一种镀膜机，该镀膜机的抽气速度、放气速度均较慢，可以减小气流的冲击率，降低TFT液晶显示屏的破片率，提高镀膜时的产品加工良率。
本发明采用的技术方案是，一种镀膜机，其特征在于，包括多个依次连通的腔体，所述的腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，所述的M1腔体设有出气管和第一真空管，所述的M15腔体设有进气管和第二真空管，所述的出气管、进气管的端部分别与大气连通，在出气管、进气管的管体上分别设有至少一个真空阀，在所述的第一真空管、第二真空管上分别设有机械泵、罗芡泵和蝶阀；在M1腔体设有与出气管相连接的出气孔，在所述的出气孔上设有第一过滤网，在所述的第一过滤网与所述的出气孔之间还设有挡板；在所述的M2、M3…M13、M14腔体的上方设有横向的主真空管，在所述的主真空管的两端分别设有机械泵和罗芡泵，所述的M2、M3…M13、M14腔体分别通过至少一个直管与所述的主真空管连通，在每个直管上均设有分子泵和真空阀；在所述的M1、M15腔体的两侧、M2与M3腔体之间及M13与M14腔体之间分别设有门阀。
采用以上技术方案后，本发明与现有技术相比具有以下优点：
通过在M1腔体的出气孔上设置挡板，使气流从挡板边缘流出，阻碍气流流出速度，降低由于抽气速度过快气流对TFT液晶显示屏的冲击力，避免破片，同时在第一真空管、第二真空管上分别设有机械泵、罗芡泵和蝶阀，通过使用蝶阀进一步控制抽气、放气速度，增加抽气、放气时间，降低破片率，提高产品加工良率。
作为改进，在所述的进气管上设有两个真空阀，真空阀设置较多在打开时则会导致放气速度较快，因此以两个为最佳。
作为改进，所述的进气管的端部设有第二过滤网，进一步降低放气速度。
作为改进，所述的M2、M3、M13及M14腔体分别通过一个直管与所述的主真空管连通，M4…M9分别通过两个直管与所述的主真空管连通，使得各腔体内的压强尽量趋于平衡。
本发明还提供了一种镀膜方法，该方法包括以下步骤：
S1、M1腔体进行抽真空，控制抽气时间大于3分钟；
S2、将M1与M2、M2与M3、M13与M14、M14与M15之间门阀的开门速度调整为最慢；
S3、打开M2、M3、M13、M14腔体对应连接的直管上的一个分子泵；打开M4、M6、M8、M9腔体对应连接的直管上的两个分子泵；
S4、给M2至M14腔体中充入Ar气；
S5、将M12腔体中的温度设置为0°，剩余腔体的温度设置为60°。
采用以上方法后，本发明与现有技术相比具有以下优点：
本发明通过控制抽气时间控制抽气速率，同时将门阀的开门速度调整为最慢、打开分子泵，充入Ar气等进一步保证相邻腔体之间的压差较小，避免由于压差较大造成TFT液晶显示屏破片，最后将M12腔体的温度设置的较低，避免由于温度过高导致TFT液晶显示屏破片，因此本发明的控制效果好，破片率低。
附图说明
图1为镀膜机结构示意图
图2为出气孔、挡板、第一过滤网装配示意图
图中所示，1、M1腔体，11、出气管，111、真空阀，112、出气孔，12、第一真空管，121、蝶阀，2、M15腔体，21、进气管，22、第二真空管，3、主真空管，31、机械泵，32、罗芡泵，4、直管，41、分子泵，5、门阀，6、挡板，7、第一过滤网。
具体实施方式
如图1、图2所示，一种镀膜机，包括多个依次连通的腔体，腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，M1、M15腔体为低真空腔体，M2、M14腔体为过渡腔体，真空度为10-4Pa，M3至M13为高真空腔体。在M1腔体1设有出气管11和第一真空管12，M15腔体2设有进气管21和第二真空管22，出气管11、进气管21的端部分别与大气连通，在出气管11、进气管21的管体上分别设有至少一个真空阀111，在第一真空管12、第二真空管22上分别设有机械泵31、罗芡泵32和蝶阀121；在M1腔体1设有与出气管11相连接的出气孔112，在出气孔112上设有第一过滤网7，在第一过滤网7与出气孔112之间还设有挡板6，挡板为不锈钢材质，通过调整挡板所覆盖的出气孔的面积，可以调整气流流出速度；在M2、M3…M13、M14腔体的上方设有横向的主真空管3，在主真空管3的两端分别设有机械泵31和罗芡泵32，M2、M3…M13、M14腔体分别通过至少一个直管4与主真空管3连通，在每个直管4上均设有分子泵41和真空阀111，在本发明中每个腔体均通过3根直管与主真空管连通；在M1、M15腔体的两侧、M2与M3腔体之间及M13与M14腔体之间分别设有门阀5。在进气管21上设有两个真空阀111，在进气管21的端部设有第二过滤网。作为优选，M2、M3、M13及M14腔体分别通过一个直管4与主真空管3连通，M4…M9分别通过两个直管4与主真空管3连通。第一过滤网用于过滤气体中的杂质，第二过滤网用于降低放气时气体的速度。
本发明中镀膜机的镀膜方法为，包括以下步骤：
S1、对M1腔体1进行抽真空，从大气压抽真空到10Pa，控制抽气时间大于3分钟；
S2、将M1与M2、M2与M3、M13与M14、M14与M15之间门阀5的开门速度调整为最慢；
S3、打开M2、M3、M13、M14腔体对应连接的直管4上的一个分子泵41；打开M4、M6、M8、M9腔体对应连接的直管4上的两个分子泵；
S4、给M2至M14腔体中充入Ar气；
S5、将M12腔体中的温度设置为0°，剩余腔体的温度设置为60°。
在本发明中由于在出气孔处增加了挡板，利用挡板阻碍气流流出，降低抽气速度，利用蝶阀控制抽气速度，使得M1腔体中的抽气时间保持在3分钟左右；将M1与M2、M2与M3、M13与M14、M14与M15之间门阀的开门速度调整至最慢及调整各腔体上的分子泵的打开数量，均衡相邻腔体之间的压强，避免压差过大；在多个腔体内充入Ar气来平衡相邻腔体之间的真空度；仅在进气管上设置2个真空阀，避免放气速度过大；由于M12腔体为ITO靶材腔体，当靶材溅射到待镀膜产品上时会产生温度，而TFT为低温镀膜，温度不宜过高，因此将M12腔体中的温度设置为0°，剩余腔体的温度为60°。通过本发明生产TFT液晶显示屏破片率低，产品良率高。

Claims (4)

1.一种镀膜机的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、对镀膜机的腔体进行抽真空；
所述的镀膜机包括多个依次连通的腔体，所述的腔体包括M1、M2、M3…M13、M14、M15腔体，所述的M1腔体(1)设有出气管(11)和第一真空管(12)，所述的M15腔体(2)设有进气管(21)和第二真空管(22)，所述的出气管(11)、进气管(21)的端部分别与大气连通，在出气管、进气管的管体上分别设有至少一个真空阀(111)，在所述的第一真空管(12)、第二真空管(22)上分别设有机械泵(31)、罗芡泵(32)和蝶阀(121)；在M1腔体(1)设有与出气管(11)相连接的出气孔(112)，在所述的出气孔(112)上设有第一过滤网(7)，在所述的第一过滤网(7)与所述的出气孔(112)之间还设有挡板(6)；在所述的M2、M3…M13、M14腔体的上方设有横向的主真空管(3)，在所述的主真空管(3)的两端分别设有机械泵(31)和罗芡泵(32)，所述的M2、M3…M13、M14腔体分别通过至少一个直管(4)与所述的主真空管(3)连通，在每个直管(4)上均设有分子泵(41)和真空阀(111)；在所述的M1、M15腔体的两侧、M2与M3腔体之间及M13与M14腔体之间分别设有门阀(5)；
对所述的M1腔体进行抽真空，控制抽气时间大于3分钟；
S2、将M1与M2、M2与M3、M13与M14、M14与M15之间门阀的开门速度调整为最慢；
S3、打开M2、M3、M13、M14腔体对应连接的直管上的一个分子泵；打开M4、M6、M8、M9腔体对应连接的直管上的两个分子泵；
S4、给M2至M14腔体中充入Ar气；
S5、将M12腔体中的温度设置为0°，剩余腔体的温度设置为60°。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机的镀膜方法，其特征在于，在所述的进气管(21)上设有两个真空阀(111)。
3.根据权利要求2所述的镀膜机的镀膜方法，其特征在于，所述的进气管(21)的端部设有第二过滤网。
4.根据权利要求1所述的镀膜机的镀膜方法，其特征在于，所述的M2、M3、M13及M14腔体分别通过一个直管(4)与所述的主真空管(3)连通，M4…M9分别通过两个直管(4)与所述的主真空管(3)连通。
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