CN203834011U - 镀膜机用抽真空接口装置及镀膜系统 - Google Patents
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Abstract
一种镀膜机用抽真空接口装置,包括:本体,为具有开口端及封闭端的筒状结构,且本体的侧壁上设有接口,开口端用于与镀膜机连接,以使本体与镀膜机的腔体连通,接口用于与抽真空设备连接;过滤网,具有容纳腔及缺口,容置于本体内,过滤网具有缺口的部分沿本体的周向固定于本体的开口端的内壁上,用于使过滤网的容纳腔与镀膜机的腔体连通,过滤网远离缺口的部分位于接口与封闭端之间,用于沉积进入容纳腔内的碎片。本实施实用新型还提供一种镀膜系统,该镀膜系统具有较高的生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃镀膜技术领域,特别是涉及一种镀膜机用抽真空接口装置及镀膜系统。
背景技术
在多种因素的影响下,TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)玻璃在镀膜过程中容易产生破裂,进而掉落在真空腔体中。在连续生产的过程中,由于真空镀膜机的进片室与出片室的真空度较低,需要用抽真空装置在短时间内提高进片室与出片室的真空度。而传统的真空镀膜机的抽气口处设置的过滤网为平面状。在快速抽气的过程中,气流会把玻璃碎片抽到抽气口处,堆积在过滤网上。而堆积在过滤网上的玻璃碎片会阻塞过滤网,进而影响抽气速率。需要经常开箱清理玻璃碎片才能正常的抽真空,耽误正常生产时间且增加工作量,从而导致真空镀膜机的生产效率低下。
实用新型内容
基于此,有必要提供一种具有较高生产效率的镀膜机用抽真空接口装置及镀膜系统。
一种镀膜机用抽真空接口装置,包括:
本体,为具有开口端及封闭端的筒状结构,且所述本体的侧壁上设有接口,所述开口端用于与镀膜机连接,以使所述本体与镀膜机的腔体连通,所述接口用于与抽真空设备连接;
过滤网,具有容纳腔及缺口,容置于所述本体内,所述过滤网具有缺口的部分沿所述本体的周向固定于所述本体的开口端的内壁上,用于使所述过滤网的容纳腔与镀膜机的腔体连通,所述过滤网远离所述缺口的部分位于所述接口与所述封闭端之间,用于沉积进入所述容纳腔内的碎片。
在其中一个实施例中,所述过滤网远离所述缺口的部分与所述本体的封闭端接触。
在其中一个实施例中,所述接口距离所述封闭端的距离为所述本体长度的1/3~1/2。
在其中一个实施例中,所述过滤网与所述本体的形状相同,所述过滤网的外壁与所述本体的内壁匹配且接触。
在其中一个实施例中,所述本体与所述过滤网呈圆柱体形。
一种镀膜系统,包括:
镀膜机,具有腔体;
抽真空设备;及
上述镀膜机用抽真空接口装置,所述开口端连接于所述镀膜机上,且所述本体及所述过滤网的容纳腔与所述镀膜机的腔体连通;所述接口通过抽气管道与所述抽真空设备连接;
其中,所述本体在所述镀膜系统中位于竖直方向上。
在其中一个实施例中,所述过滤网远离所述缺口的部分与所述本体的封闭端接触。
在其中一个实施例中,所述接口距离所述封闭端的距离为所述本体长度的1/3~1/2。
在其中一个实施例中,所述过滤网与所述本体的形状相同,所述过滤网的外壁与所述本体的内壁匹配且接触。
在其中一个实施例中,所述本体与所述过滤网呈圆柱体形。
采用上述镀膜机用抽真空接口装置的镀膜系统工作时,例如,生产镀膜玻璃时。玻璃等物质的碎片随着气流进入至过滤网中,并沉积于过滤网远离缺口的部分内。从而在连续生产的过程中,不会出现玻璃等物质的碎片阻塞过滤网的情况。不需要在中途开箱清理玻璃等物质的碎片。只需要在一个生产周期结束后,设备停机保养时,开箱,用吸尘器将沉积于过滤网中的玻璃等物质的碎片吸出即可。因此,在连续生产的过程中,上述镀膜系统具有较高的生产效率。
附图说明
图1为一实施方式的镀膜系统的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型,下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是,本实用新型可以以多种不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图1所示,一实施方式的镀膜系统10,包括镀膜机100、抽真空设备200及镀膜机用抽真空接口装置300。
镀膜机100具有腔体110。在本实施方式中,镀膜机100包括进片室、镀膜室及出片室。镀膜机100具有多个腔体110,分别为进片室形成的腔体、镀膜室形成的腔体及出片室形成的腔体。
在本实施方式中,抽真空设备200为真空泵。可以理解,在其他实施方式中,抽真空设备200也可以为其他能抽真空的设备。
镀膜机用抽真空接口装置300,包括本体310及过滤网320。
本体310为具有开口端312及封闭端314的筒状结构。本体310的侧壁上设有接口316。开口端312用于与镀膜机100连接,以使本体310与镀膜机100的腔体110连通。接口316用于与抽真空设备300连接。
过滤网320具有容纳腔(图未标)及缺口(图未标)。过滤网320容置于本体310内。过滤网320具有缺口的部分沿本体310的周向固定于本体310的开口端312的内壁上,用于使过滤网320的容纳腔与镀膜机100的腔体110连通。过滤网320远离缺口的部分322位于接口316与封闭端314之间,用于沉积进入容纳腔内的碎片。在本实施方式中,进入容纳腔内的碎片为玻璃碎片。可以理解,在其他实施方式中,进入容纳腔内的碎片也可以为陶瓷碎片等。
上述镀膜机用抽真空接口装置300中的开口端312连接于镀膜机100上,且本体310及过滤网320的容纳腔均与镀膜机100的腔体110连通。接口316通过抽气管道210与抽真空设备200连接。在本实施方式中,本体310在镀膜系统10中位于竖直方向上,以便进入过滤网320的容纳腔内的碎片在自身重量的作用下,沉积于过滤网320的容纳腔内。
进一步,在本实施方式中,过滤网320远离缺口的部分与本体310的封闭端314接触。当玻璃等碎片物质沉积于过滤网320中时,本体310的封闭端314对过滤网320能起到一定的支撑作用。进而能有效保护过滤网320,增加过滤网320的使用寿命。
进一步,在本实施方式中,接口316距离封闭端314的距离为本体310长度的1/3~1/2。从而使得过滤网320具有足够的空间来沉积玻璃等碎片物质。
进一步,在本实施方式中,过滤网320与本体310的形状相同,且过滤网320的外壁与本体310的内壁匹配且接触。过滤网320具有确定的结构,从而使得在过滤网320即使在较大气流的作用下,也不会出现过滤网320位于接口315处的内壁接触的问题。也即玻璃等碎片物质在进入过滤网320的容纳腔中的过程中不会受到阻力。
进一步,在本实施方式中,本体310与过滤网320均呈圆柱体形。可以理解,在他实施方式中,本体310与过滤网320可以均成长方体形。
采用上述镀膜机用抽真空接口装置300的镀膜系统10工作时,例如,生产镀膜玻璃时。玻璃等物质的碎片随着气流进入至过滤网320中,并沉积于过滤网320远离缺口的部分内。从而在连续生产的过程中,不会出现玻璃等物质的碎片阻塞过滤网320的情况。不需要在中途开箱清理玻璃等物质的碎片。只需要在一个生产周期结束后,设备停机保养时,开箱,用吸尘器将沉积于过滤网中的玻璃等物质的碎片吸出即可。因此,在连续生产的过程中,上述镀膜系统10具有较高的生产效率。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种镀膜机用抽真空接口装置,其特征在于,包括:
本体,为具有开口端及封闭端的筒状结构,且所述本体的侧壁上设有接口,所述开口端用于与镀膜机连接,以使所述本体与镀膜机的腔体连通,所述接口用于与抽真空设备连接;
过滤网,具有容纳腔及缺口,容置于所述本体内,所述过滤网具有缺口的部分沿所述本体的周向固定于所述本体的开口端的内壁上,用于使所述过滤网的容纳腔与镀膜机的腔体连通,所述过滤网远离所述缺口的部分位于所述接口与所述封闭端之间,用于沉积进入所述容纳腔内的碎片。
2.根据权利要求1所述的镀膜机用抽真空接口装置,其特征在于,所述过滤网远离所述缺口的部分与所述本体的封闭端接触。
3.根据权利要求2所述的镀膜机用抽真空接口装置,其特征在于,所述接口距离所述封闭端的距离为所述本体长度的1/3~1/2。
4.根据权利要求2所述的镀膜机用抽真空接口装置,其特征在于,所述过滤网与所述本体的形状相同,所述过滤网的外壁与所述本体的内壁匹配且接触。
5.根据权利要求4所述的镀膜机用抽真空接口装置,其特征在于,所述本体与所述过滤网呈圆柱体形。
6.一种镀膜系统,其特征在于,包括:
镀膜机,具有腔体;
抽真空设备;及
如权利要求1所述的镀膜机用抽真空接口装置,所述开口端连接于所述镀膜机上,且所述本体及所述过滤网的容纳腔与所述镀膜机的腔体连通;所述接口通过抽气管道与所述抽真空设备连接;
其中,所述本体在所述镀膜系统中位于竖直方向上。
7.根据权利要求6所述的镀膜系统,其特征在于,所述过滤网远离所述缺口的部分与所述本体的封闭端接触。
8.根据权利要求7所述的镀膜系统,其特征在于,所述接口距离所述封闭端的距离为所述本体长度的1/3~1/2。
9.根据权利要求7所述的镀膜系统,其特征在于,所述过滤网与所述本体的形状相同,所述过滤网的外壁与所述本体的内壁匹配且接触。
10.根据权利要求9所述的镀膜系统,其特征在于,所述本体与所述过滤网呈圆柱体形。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107841724A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-03-27 | 江西合力泰科技有限公司 | 镀膜机及镀膜方法 |
CN115478251A (zh) * | 2021-05-26 | 2022-12-16 | 苏州中磐激光科技有限公司 | 一种光学真空镀膜机 |
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2014
- 2014-02-20 CN CN201420073797.3U patent/CN203834011U/zh not_active Expired - Lifetime
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