WO2012093777A2 - 퀵-릴리즈 진공펌프 - Google Patents

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Definitions

  • the present invention mainly relates to a vacuum pump applied to a vacuum transfer system.
  • the present invention relates to a vacuum pump in which a vacuum is released easily and quickly, and the filtration and cleaning of the filter is naturally and repeatedly performed.
  • the vacuum pump refers to a device for exhausting the internal space of the suction pad by acting as compressed air supplied at a high speed.
  • a vacuum and a negative pressure are formed in the space inside the suction pad, and the vacuum transfer system uses the negative pressure thus obtained to hold an object and then transfer it to a predetermined place.
  • the vacuum pump includes a casing having one inlet port and the other outlet port, and a nozzle arranged in series in the casing, for example, an inner space of the suction pad communicates with the inside of the nozzle through the casing. Therefore, when compressed air is supplied to the inlet and discharged through the nozzle at high speed, the internal space is exhausted and vacuum and negative pressure for transport are formed.
  • the adsorption pad should be quickly separated from the object for repeated trailing operations.
  • simply stopping the supply of compressed air does not result in rapid separation, and thus requires a special design and method for forcing separation between the adsorption pad and the object.
  • the present invention is proposed to solve the problems of the conventional vacuum pump described above. It is an object of the present invention to provide a vacuum pump that operates uniformly and accurately without malfunctions without the complexity of its design and structure.
  • Another object of the present invention is to provide a vacuum pump in which the release of the vacuum can be performed more quickly. Still another object of the present invention is to provide a vacuum pump in which an air filter is disposed at an appropriate position so that filter cleaning can be performed naturally and repeatedly without any manipulation.
  • the vacuum pump of the present invention is an element configured inside the casing including the compressed air inlet and outlet formed on the side facing each other and the inlet formed on the bottom surface:
  • a cylindrical hole extending through the inlet and the outlet and communicating with the inlet at one side, and mounted at the inside of the hole with both ends communicating with the inlet and the outlet, respectively, and arranged in series with a slot communicating with the hole.
  • a vacuum pump unit including a nozzle;
  • a release tube including a support tube formed on an upper side of the inlet port, a skirt-type valve for opening and closing the upper side of the support tube by vertically flowing with air pressure, and a pressure chamber formed at an end of a passage passing through the valve skirt in communication with the inlet port;
  • the nozzle is mounted inside the cylindrical body having a hole formed in the wall to constitute one pump cartridge, and is mounted inside the hole via the cartridge. Also preferably, at the top of the suction port, ribs are formed for stable mounting of the filter material.
  • the vacuum pump of the present invention when a part of the compressed air starts to be supplied to the pump portion, a part thereof fills the pressure chamber, and when the supply of the compressed air is stopped, the vacuum in the pressure chamber is reversed and the vacuum is released. Therefore, the vacuum pump of the present invention can be designed and implemented simply compared to the conventional ones, there is an effect that can always operate uniformly and accurately without malfunction. In addition, since the prior operation such as supply of compressed air for opening and closing of the line and release of the line and electronic circuit operation therefor is unnecessary for the vacuum release, the release of the vacuum can be performed more quickly.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of a vacuum pump according to the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along the line “A-A” of FIG. 1.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view taken along line “B-B” of FIG. 1.
  • FIG. 4 is a view for explaining the vacuum operation of the vacuum pump according to the present invention.
  • FIG. 5 is a view for explaining the release operation of the vacuum pump according to the present invention.
  • the vacuum pump 10 is composed of a casing 20 of a certain form and elements that are configured and formed therein.
  • the casing 20 includes a compressed air inlet 21 and an outlet 22 formed on the side facing each other and an inlet 23 formed on the bottom.
  • the internal components of the casing 20 include a vacuum pump unit 30, a release unit 40, and a filter material 50.
  • the vacuum pump unit 30 is configured to exhaust the internal space of the suction pad and the like connected to the suction port 23 of the casing 20 to form a vacuum and a negative pressure.
  • the vacuum pump unit 30 extends through the inlet port 21 and the outlet port 22, and the hollow cylindrical hole 31 formed to communicate with the inlet port 23 on one side, and both ends of the inlet port ( 21 and nozzles 32a, 32b, and 32c mounted in the hole 31 in a state of communicating with the outlet 22 and arranged in series with the slot 33 therebetween.
  • the nozzles 32a, 32b, and 32c include two or more nozzles, and are so-called "multi-stage nozzles" in which the inner diameter is gradually enlarged.
  • reference numeral 37 denotes a silencer mounted on the outlet 22 side of the casing 20.
  • the nozzles 32a, 32b, 32c are mounted directly inside the hole 31, but in the present embodiment the nozzles 32a, 32b, 32c are provided via the cylindrical body 34. It is mounted inside the hole 31. Specifically, the nozzles 32a, 32b, and 32c are arranged in series inside the body 34, and the body 34 comprises one pump cartridge 36 including a through hole 35 formed in the wall.
  • the nozzles 32a, 32b and 32c are also properly arranged and fixed inside the hole 31.
  • the hole 31 can communicate with the inside of the cartridge 36 and the nozzles 32a, 32b, and 32c by means of the through hole 35.
  • This structure can be said to be advantageous in terms of mountability, assemblability, and stability compared to the structure in which the nozzles 32a, 32b, and 32c are directly mounted in the holes 31.
  • the release part 40 is a component for quickly releasing or discarding the vacuum and the negative pressure formed by the operation of the vacuum pump part 30.
  • the release portion 40 is disposed on the support tube 41 protruding upward from the inlet 23 of the casing 20, and is disposed above the support tube 41 and vertically flows in the air pressure to the support tube 41.
  • a skirt-type check valve 42 for opening and closing the upper opening, and a pressure chamber 45 formed at the end of the passage 44 through the valve skirt 43 portion at the suction port 23 It is made to include.
  • the compressed air supplied to the inlet 21 and flowing through the passage 44 can enter the pressure chamber 45 through the valve 42 while pressing the skirt 43 portion.
  • the air filled in the pressure chamber 45 does not return in the reverse direction, and flows to the inlet port 23 through the support pipe 41 in which the upper opening is opened by the air-lift of the valve 42. .
  • the filter material 50 is a filter medium that enters the hole 31 after filtering the air introduced through the inlet port (23).
  • the filter material 50 applied here is irrelevant whether it is a pad form or a pleat form.
  • the filter material 50 is disposed on the suction port 23 to filter the air introduced through the suction port 23.
  • the filter material 50 is disposed between the suction port 23 and the support tube 41, the mounting rib 51 on the upper end of the suction port 23 for the stable mounting of the filter material 50. Is formed.
  • reference numeral 52 denotes a gasket.
  • a suction pad (not shown) is connected to the suction port 23 of the casing 20, and the suction pad may be in contact with the surface of the object to be transferred.
  • the vacuum pump unit 30 operates.
  • the compressed air passes through the nozzles 32a, 32b, and 32c mounted in the cartridge 36 at high speed, and then is discharged to the outside through the silencer 37 coupled to the outlet 22 side (arrow 1 in FIG. 2). Reference).
  • the skirt 43 and the valve 42 are floated due to the backflow of pressure air, and the upper opening of the support pipe 41 is opened, so that the pressure air is supported from the pressure chamber 45 by the support pipe 41-. It passes through the filter material 50 and the suction port 23 one by one, and is injected into the inner space of the suction pad (see arrow 4). As a result, the vacuum and the negative pressure generated by the device are released instantly.
  • the apparatus 10 of the present invention has a vacuum / release mechanism that stores a portion of the compressed air for vacuum separately so that it can be used for release at the time of vacuum stop. Therefore, it can be designed and implemented simply compared to the conventional design in which vacuum / release is all dependent on the electronic mechanism. It is also possible to operate uniformly and accurately at any time, in particular to release the vacuum quickly.
  • the shock valve 42, the support tube 41, the filter material 50, and the suction port 23 are formed in a straight line in a vertical relationship, which is advantageous over other forms. To judge.

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Abstract

본 발명은 장치에 의하여 형성된 진공 및 부압이 신속하게 해제될 수 있도록 설계된 퀵 릴리즈 진공펌프에 관한 것이다. 본 발명의 진공펌프는 펌프부 이외에 릴리즈부와 필터재료를 포함하여 구성된다. 상기 릴리즈부는 케이싱 흡입구의 상측에 형성된 지지관, 공기압으로 상하 유동하여 상기 지지관의 상측을 개폐하는 스커트형 첵 밸브, 상기 유입구에 연통하여 밸브 스커트를 지나는 통로 말단에 형성되는 압력챔버를 포함한다. 그리고, 상기 필터재료는 상기 흡입구와 지지관의 사이에 배치된다. 상기 필터재료는 펌프동작시 흡입되는 배기공기를 상측으로 통과시켜 여과하고, 펌프정지시 지지관을 경유하여 하측으로 통과하는 압력공기에 의해 청소된다. 본 발명에 따르면, 진공펌프가 전자적 메카니즘에 의존하는 종래의 설계에 비하여 단순하게 설계 및 구현될 수 있으며, 특히 진공의 해제가 신속하게 이루어지는 효과가 있다. 또한 따라서 별도로 청소하지 않아도 필터재료의 청소가 적적하게 이루어지는 효과가 있다.

Description

퀵-릴리즈 진공펌프
본 발명은 주로 진공이송 시스템에 적용되는 진공펌프에 관한 것으로 특히, 진공의 해제(release)가 간편하고 신속하게 이루어지며 또한 필터의 여과 및 청소가 자연·반복적으로 이루어지는 진공펌프에 관한 것이다.
본 발명에서 진공펌프란 고속으로 공급되는 압축공기로 작용하여 흡착패드의 내부공간을 배기하는 장치를 말한다. 상기 진공펌프가 동작하면 흡착패드 내부공간에 진공 및 부압이 형성되며, 진공이송 시스템은 이와 같이 얻어진 부압을 이용하여 대상물을 파지한 후 정해진 장소로 이송하게 되는 것이다.
일반적으로 진공펌프는 일측 유입구와 타측 배출구를 갖는 케이싱과, 상기 케이싱 내부에 직렬로 배열되는 노즐을 포함하며, 예컨대 흡착패드의 내부공간은 케이싱을 통과하여 노즐 내부와 연통한다. 따라서 압축공기가 상기 유입구로 공급되고 노즐을 고속으로 통과하여 배출될 때, 상기 내부공간 배기가 이루어지는 동시에 이송을 위한 진공 및 부압이 형성되는 것이다.
한편 대상물의 이송이 완료되면, 흡착패드는 반복되는 후행 작업을 위하여 대상물로부터 신속하게 분리되어야 한다. 그러나 단지 압축공기의 공급을 중단하는 것으로는 신속한 분리가 이루어지지 않으므로, 상기 흡착패드와 대상물 간 분리를 강제할 수 있는 특별한 설계 및 방법이 필요하게 된다.
이와 관련하여 알려진 방법들에 따르면, 상기 노즐로 연결되는 진공라인 외에 흡착패드로 연결되는 해제라인을 별도로 설계하고 각 라인에 압축공기를 공급할 수 있도록 하며, 각 라인의 개폐를 전자적으로 제어하고 있다. 여기에서 상기 진공라인으로의 압축공기 공급이 중단되면 해제라인이 개방되면서 흡착패드에 압축공기가 공급되고 이에 내부공간의 진공이 해제(release) 또는 파기(breaking)되면서 흡착패드와 대상물 간 분리가 이루어지는 것이다.
이러한 방법들이, 압축공기를 흡착패드에 공급함으로써 흡착패드와 대상물 간 신속분리를 수행할 수 있다는 점에서, 유용하게 사용되고 있는 것은 사실이다. 그러나 그 방법을 실제로 구현함에 있어서는 그 전자적·기계적 설계 및 구조가 복잡한 문제, 오작동이 빈번하게 발생하는 문제, 하자보수가 어려운 문제 등으로 인하여 경제성, 생산성, 작업성 등 여러 면에서 상당히 불리하다.
본 발명은 상기한 종래의 진공펌프의 문제점을 해결하고자 제안된 것이다. 본 발명의 목적은 그 설계 및 구조가 복잡하지 않으면서도, 오작동 없이 일률적이고 정확하게 동작하는 진공펌프를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 진공의 해제가 더욱 신속하게 수행될 수 있는 진공펌프를 제공하고자 하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 적정 위치에 에어 필터를 배치하여 별다른 조작 없이도 필터청소가 자연·반복적으로 이루어질 수 있도록 한 진공펌프를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 진공펌프는, 서로 대향하는 측면에 형성된 압축공기 유입구와 배출구 및 저면에 형성된 흡입구를 포함하는 케이싱의 내부에 구성되는 요소로서:
상기 유입구와 배출구 사이를 관통하여 연장되며 일측에서 상기 흡입구와 소통하는 실린더형 홀, 양측 단부가 각각 유입구와 배출구에 연통하는 상태로 상기 홀의 내부에 장착되며 상기 홀과 소통하는 슬롯을 가지고 직렬로 배열되는 노즐을 포함하는 진공 펌프부와;
상기 흡입구의 상측에 형성된 지지관, 공기압으로 상하 유동하여 상기 지지관의 상측을 개폐하는 스커트형 첵 밸브, 상기 유입구에 연통하여 밸브 스커트를 지나는 통로 말단에 형성되는 압력챔버를 포함하는 릴리즈부와;
상기 흡입구와 지지관의 사이에 배치되어, 상기 펌프부 동작시 흡입되는 배기공기를 상측으로 통과시켜 여과하고, 상기 펌프부 정지시 압력챔버로부터 지지관을 경유하여 하측 흡입구로 공급되는 공기에 의해 청소되는 필터재료;
를 포함한다.
바람직하게, 상기 노즐은 벽에 통공이 형성된 실린더형 바디의 내부에 장착되어 하나의 펌프 카트리지를 구성하며, 상기 카트리지를 매개로 하여 상기 홀 내부에 장착된다. 또한 바람직하게, 상기 흡입구의 상단에는 상기 필터재료의 안정적인 거치를 위한 리브가 형성된다.
본 발명에 따르면, 압축공기가 펌프부로 공급되기 시작할 때 그 일부가 압력챔버를 채우게 되며, 압축공기의 공급이 중단되면 즉시 압력챔버 내의 공기가 역류하면서 진공이 해제된다. 따라서 본 발명의 진공펌프는 종래의 것들에 비하여 단순하게 설계 및 구현될 수 있으며, 오작동 없이 언제나 일률적이고 정확하게 동작할 수 있는 효과가 있다. 또한 진공 해제를 위하여 선로의 개폐와 해제용 압축공기의 공급 및 이들을 위한 전자적 회로동작 등의 선행동작이 불필요하므로, 진공의 해제가 더욱 신속하게 수행될 수 있는 효과가 있다.
한편 진공 해제시에는 압력챔버 내의 공기가 필터재료를 통하여 배출되는데, 이때의 공기압에 의하여 진공시 필터재료의 저면에 붙어있던 이물질이 털어져 제거되므로, 별도로 청소하지 않아도 필터재료의 여과 및 청소가 연속·반복적으로 이루어지는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공펌프의 외형을 보인 사시도.
도 2는 도 1의 "A-A" 선 확대 단면도.
도 3은 도 1의 "B-B" 선 확대 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 진공펌프의 진공동작을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 진공펌프의 해제동작을 설명하기 위한 도면.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
10. 진공펌프 20. 케이싱
21. 유입구 22. 배출구
23. 흡입구 30. 진공 펌프부
31. 홀 32a,32b,32c. 노즐
33. 슬롯 34. 바디
35. 통공 36. 카트리지
40. 릴리즈부 41. 지지관
42. 첵 밸브 43. 스커트
44. 통로 45. 압력챔버
51. 리브
이상 기재된 또는 기재되지 않은 본 발명의 특징과 효과들은, 이하에서 첨부도면을 참조하여 설명하는 실시예 기재를 통하여 더울 명백해질 것이다. 도면에서 본 발명에 따른 진공펌프는 부호 10으로 표시된다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 진공펌프(10)는 일정한 형태의 케이싱(20)과 그 내부에 구성 및 형성되는 요소들로 이루어진다. 상기 케이싱(20)은 서로 대향하는 측면에 형성된 압축공기 유입구(21)와 배출구(22) 및 저면에 형성된 흡입구(23)를 포함한다. 그리고 상기 케이싱(20)의 내부 구성요소로서 진공 펌프부(30), 릴리즈부(40), 필터재료(50)가 포함된다.
상기 진공 펌프부(30)는 상기 케이싱(20)의 흡입구(23)에 연결된 흡착패드 기타의 내부공간을 배기(排氣)하여 진공 및 부압을 형성하기 위한 구성이다.
상기 진공 펌프부(30)는 상기 유입구(21)와 배출구(22) 사이를 관통하여 연장되며 일측에서 상기 흡입구(23)와 소통하도록 형성된 중공 실린더형 홀(31)과, 양측 단부가 각각 유입구(21)와 배출구(22)에 연통하는 상태로 상기 홀(31) 내부에 장착되며 사이에 슬롯(33)을 가지고 직렬 배열되는 노즐(32a,32b,32c)을 포함한다. 상기 노즐(32a,32b,32c)은 2 이상의 노즐을 포함하되, 내구경이 점차로 확대되는 형태의 소위 "다단노즐"(multi-stage nozzles)이다. 도면에서, 부호 37은 케이싱(20)의 배출구(22) 측에 장착되는 소음기(silencer)이다.
상기 노즐(32a,32b,32c)이 홀(31) 내부에 직접 장착되도록 설계하는 것도 가능하지만, 본 실시예에서 상기 노즐(32a,32b,32c)은 실린더형 바디(34)를 매개로 하여 상기 홀(31)의 내부에 장착된다. 구체적으로, 노즐(32a,32b,32c)은 바디(34) 내부에 직렬로 배열되며, 상기 바디(34)는 벽에 형성된 통공(35)을 포함하여 하나의 펌프 카트리지(36)를 구성한다.
이 펌프 카트리지(36)가 상기 홀(31)에 장착됨으로써 노즐(32a,32b,32c) 또한 홀(31) 내부에서 적정하게 배열 및 고정되는 것이다. 그리고 상기 홀(31)은 통공(35)을 수단으로 하여 카트리지(36) 내부 및 노즐(32a,32b,32c)과 소통 가능하게 된다. 이 구조는 노즐(32a,32b,32c)을 직접 홀(31)에 장착하는 구조에 비하여 장착성, 조립성, 안정성의 측면에서 유리하다고 할 수 있다.
상기 릴리즈부(40)는 상기 진공 펌프부(30)의 작동으로 형성된 진공 및 부압을 신속하게 해제 또는 파기하기 위한 구성이다.
상기 릴리즈부(40)는 케이싱(20) 흡입구(23)의 상측으로 돌출된 지지관(41)과, 상기 지지관(41)의 상측에 배치되고 공기압으로 상하 유동하여 상기 지지관(41)의 상측 개구를 개폐하는 스커트(skirt)형 첵(check) 밸브(42)와, 상기 흡입구(23)에서 밸브 스커트(43) 부분을 경유하는 통로(44)의 말단에 형성되는 압력챔버(45)를 포함하여 이루어진다.
이 구조에서, 유입구(21)로 공급되어 상기 통로(44)를 흐르는 압축공기는 스커트(43) 부분을 누르면서 밸브(42)를 지나 압력챔버(45)로 들어갈 수가 있다. 그러나 압력챔버(45) 내 충진된 공기는 역방향으로 되돌아가지 못하고, 밸브(42)의 에어 리프트(air-lift)에 의하여 상측 개구가 개방되는 지지관(41)을 통하여 흡입구(23) 측으로 흐르게 된다.
한편, 상기 필터재료(50)는 흡입구(23)를 통하여 들어온 공기를 여과한 후 상기 홀(31)로 들어가게 하는 여과재이다.
여기에 적용되는 필터재료(50)는 형태면에서 패드형이든 주름형이든 관계가 없다. 상기 필터재료(50)는 상기 흡입구(23) 상에 배치되어, 흡입구(23)를 통하여 들어온 공기를 여과한다. 구체적으로는, 상기 필터재료(50)는 흡입구(23)와 지지관(41) 사이에 배치되며, 필터재료(50)의 안정적인 거치를 위하여 상기 흡입구(23)의 상단에는 거치용 리브(51)가 형성된다. 설계상으로, 상기 리브(51)가 공기의 흐름을 방해하지 않도록 해야 할 것이다. 도면에서, 부호 52는 개스킷이다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 케이싱(20)의 흡입구(23)에는 흡착패드(미도시)가 연결되며, 당연하게 상기 흡착패드는 이송 대상물의 표면에 접촉하고 있을 것이다. 이 상태에서, 케이싱(20)의 유입구(21)를 통하여 압축공기를 공급하면 진공 펌프부(30)가 동작한다. 압축공기는 카트리지(36) 내부에 장착된 노즐(32a,32b,32c)을 차례로 고속 통과한 후, 배출구(22) 측에 결합된 소음기(37)를 통하여 외부로 배출된다(도 2의 화살표 ① 참조).
이 과정에서 노즐(32a,32b,32c) 사이 부분에 압력강하가 발생하며 이로 인하여 흡착패드의 내부공기는 흡입구(23)-필터재료(50)-홀(31)-통공(35)-슬롯(33)을 차례로 경유한 후 노즐(32a,32b,32c) 내부로 유인된다. 그리고 압축공기와 함께 외부로 배출된다(도 4의 화살표 ② 참조). 이러한 배기(排氣)로 인하여 흡착패드의 내부공간에 진공 및 부압이 발생하며, 이와 같이 발생된 부압으로 대상물을 파지하고 이송할 수가 있게 되는 것이다.
한편, 유입구(21)로 공급된 초기 압축공기의 일부는 유입구(21) 측에서 시작하는 통로(44)를 흐르고, 상기 밸브(42)의 헤드 부분을 가압하여 지지관(41)을 폐쇄하는 동시에 외측 스커트(43) 부분을 가압하면서 계속하여 압력챔버(45) 내로 흐른다. 결국 압력챔버(45)가 압력공기로 충진되며(도 4의 화살표 ③ 참조), 이 공기는 릴리즈용으로 이용된다.
도 5를 참조하면, 대상물의 이송이 완료되면 압축공기의 공급이 중단되고 따라서 진공 펌프부(30)의 동작도 정지된다. 그러면 밸브(42)의 헤드 부분을 가압하던 큰 힘이 없어짐에 따라 압력챔버(45)내의 공기가 역류하게 된다.
이때 스커트(43) 및 밸브(42)가 역류하는 압력공기로 인하여 부상(浮上)하고, 이에 지지관(41)의 상측 개구가 개방되면서 압력공기가 압력챔버(45)로부터 지지관(41)-필터재료(50)-흡입구(23)를 차례로 통과하여 흡착패드의 내부공간에 투입된다(화살표 ④ 참조). 이에 본 장치에 의하여 발생된 진공 및 부압이 순식간에 해제되는 것이다.
본 발명의 장치(10)는, 진공용 압축공기의 일부를 따로 저장하여 진공 정지시에 당연히 해제용으로 이용되도록 하는 진공/해제 메카니즘을 갖는다. 따라서 진공/해제를 모두 전자적 메카니즘에 의존하는 종래의 설계에 비하여 단순하게 설계 및 구현될 수 있다. 또한 언제나 일률적이고 정확하게 동작할 수 있으며, 특히 진공의 해제가 신속하게 이루어지게 되는 것이다.
한편 진공 펌프부(30) 동작시 흡착패드의 배기공기는 상측으로 필터재료(50)를 통과하면서 여과된다. 그러므로 상기 필터재료(50)의 저면에는 이물질이 들러붙게 마련이다(도 4 참조). 그런데, 상기 진공 펌프부(30)의 동작이 정지되면 지지관(41)을 통과한 압력공기가 상기 필터재료(50)를 상측에서 하측으로 통과하여 흡입구(23)로 흐르게 된다.
이 과정에서, 진공시 필터재료(50)의 저면에 붙어있던 이물질이 털어져 제거된다. 따라서 별도로 청소하지 않아도 필터재료(50)의 청소가 자연·반복적으로 이루어지게 되는 것이다. 신속한 릴리즈 및 효과적인 필터청소를 위한 구조로서 상기 첵 밸브(42)와 지지관(41), 필터재료(50), 흡입구(23)는 상하 관계로 일직선 상에 형성되며, 이는 다른 어떤 형태보다 유리한 것으로 판단한다.

Claims (4)

  1. 서로 대향하는 측면에 형성된 압축공기 유입구와 배출구 및 저면에 형성된 흡입구를 포함하는 케이싱의 내부에 구성되는 요소로서:
    상기 유입구와 배출구 사이를 관통하여 연장되며 일측에서 상기 흡입구와 소통하는 실린더형 홀, 양측 단부가 각각 유입구와 배출구에 연통하는 상태로 상기 홀의 내부에 장착되며 상기 홀과 소통하는 슬롯을 가지고 직렬로 배열되는 노즐을 포함하는 진공 펌프부와;
    상기 흡입구의 상측에 형성된 지지관, 공기압으로 상하 유동하여 상기 지지관의 상측을 개폐하는 스커트형 첵 밸브, 상기 유입구에 연통하여 밸브 스커트를 지나는 통로 말단에 형성되는 압력챔버를 포함하는 릴리즈부와;
    상기 흡입구와 지지관의 사이에 배치되어, 상기 펌프부 동작시 흡입되는 배기공기를 상측으로 통과시켜 여과하고, 상기 펌프부 정지시 압력챔버로부터 지지관을 경유하여 하측 흡입구로 공급되는 공기에 의해 청소되는 필터재료;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 퀵-릴리즈 진공펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 노즐은 벽에 통공이 형성된 실린더형 바디의 내부에 장착되어 하나의 펌프 카트리지를 구성하며, 상기 카트리지를 매개로 하여 상기 홀 내부에 장착되는 것을 특징으로 하는 퀵-릴리즈 진공펌프.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 필터재료의 안정적인 거치를 위하여, 상기 흡입구의 상단에는 거치용 리브가 형성된 것을 특징으로 하는 퀵-릴리즈 진공펌프.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 첵 밸브와 지지관, 필터재료, 흡입구는 상하 관계로 일직선 상에 형성된 것을 특징으로 하는 퀵-릴리즈 진공펌프.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101424959B1 (ko) 2014-04-08 2014-08-01 한국뉴매틱(주) 진공펌프
CN108273805B (zh) * 2018-04-09 2023-05-26 上汽大众汽车有限公司 涵道式真空发生器及其真空管体
CN113217346B (zh) * 2021-05-08 2023-04-25 武安市永盛机械泵业有限公司 一种用于化工生产的真空泵
CN114623378A (zh) * 2022-01-21 2022-06-14 北京国科环宇科技股份有限公司 真空容器抽真空的方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1606803A (en) * 1925-02-18 1926-11-16 Lalor Fuel Oil System Company Pressure-regulating device
US4073602A (en) * 1976-04-12 1978-02-14 Sahlin International Inc. Vacuum producing device
JPH0353039Y2 (ko) * 1987-05-30 1991-11-19
JP2559238Y2 (ja) * 1989-02-18 1998-01-14 アネスト岩田株式会社 エジェクタポンプの真空破壊装置
CN2059945U (zh) * 1989-11-14 1990-08-01 天津市同达机电技术开发公司 多功能真空发生器
DE4023845C1 (en) * 1990-07-27 1992-04-02 Vat Holding Ag, Haag, Ch Shut-off valve for semiconductor producinvacuum equipment - has valve disc pressed against valve seal by actuator and seal between disc and seat
DE19817249C1 (de) * 1998-04-18 1999-08-26 Schmalz J Gmbh Ejektor
KR100433284B1 (ko) * 2001-11-01 2004-05-28 한국뉴매틱(주) 진공이송 시스템용 부압 발생/해제 장치
JP2005163619A (ja) * 2003-12-02 2005-06-23 Smc Corp 真空発生用ユニット
KR100578540B1 (ko) * 2004-07-28 2006-05-15 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 펌프
KR200371804Y1 (ko) * 2004-10-11 2005-01-06 한국뉴매틱(주) 에어 필터 장치
JP2006342765A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Smc Corp 真空ユニット及び真空ユニットに用いられるフィルタの製造方法
CN2830738Y (zh) * 2005-07-11 2006-10-25 张育瑞 改进的真空产生装置
US7540309B2 (en) * 2005-07-11 2009-06-02 Delaware Capital Formation, Inc. Auto-release vacuum device
US8079578B2 (en) * 2007-09-05 2011-12-20 Hgs Aerospace, Inc. Universal holding fixture
JP5174418B2 (ja) * 2007-10-16 2013-04-03 Juki株式会社 真空発生装置
WO2009081467A1 (ja) * 2007-12-21 2009-07-02 Koganei Corporation 真空発生装置
KR100889638B1 (ko) * 2008-03-17 2009-03-20 한국뉴매틱(주) 진공 패드장치
KR101066212B1 (ko) * 2011-03-10 2011-09-20 한국뉴매틱(주) 퀵-릴리즈 진공펌프

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
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US20130291966A1 (en) 2013-11-07
BR112013017075A2 (pt) 2020-11-03
EP2662574A4 (en) 2016-12-28
WO2012093777A3 (ko) 2012-09-07
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KR101029967B1 (ko) 2011-04-19
EP2662574B1 (en) 2017-11-22
CN103270314A (zh) 2013-08-28

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