WO2018043900A1 - 진공 펌프 및 그 어레이 - Google Patents

진공 펌프 및 그 어레이 Download PDF

Info

Publication number
WO2018043900A1
WO2018043900A1 PCT/KR2017/007005 KR2017007005W WO2018043900A1 WO 2018043900 A1 WO2018043900 A1 WO 2018043900A1 KR 2017007005 W KR2017007005 W KR 2017007005W WO 2018043900 A1 WO2018043900 A1 WO 2018043900A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
vacuum
pump
vacuum pump
air filter
ejector
Prior art date
Application number
PCT/KR2017/007005
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
조호영
Original Assignee
(주)브이텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)브이텍 filed Critical (주)브이텍
Priority to ES17846825T priority Critical patent/ES2836401T3/es
Priority to CN201780053213.2A priority patent/CN109642586B/zh
Priority to US16/324,293 priority patent/US11103824B2/en
Priority to JP2019511775A priority patent/JP6839756B2/ja
Priority to EP17846825.2A priority patent/EP3508734B1/en
Publication of WO2018043900A1 publication Critical patent/WO2018043900A1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/66—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter
    • B01D46/70—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by acting counter-currently on the filtering surface, e.g. by flushing on the non-cake side of the filter
    • B01D46/71—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by acting counter-currently on the filtering surface, e.g. by flushing on the non-cake side of the filter with pressurised gas, e.g. pulsed air
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F04F5/16—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
    • F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B01D46/0005—Mounting of filtering elements within casings, housings or frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/46—Arrangements of nozzles
    • F04F5/466—Arrangements of nozzles with a plurality of nozzles arranged in parallel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/48—Control
    • F04F5/52—Control of evacuating pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/54—Installations characterised by use of jet pumps, e.g. combinations of two or more jet pumps of different type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2260/00—Function
    • F05B2260/60—Fluid transfer
    • F05B2260/601—Fluid transfer using an ejector or a jet pump

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pump operated by compressed air supplied at high speed and used to exhaust a specific space to generate vacuum and negative pressure.
  • a vacuum pump generally includes a housing having a vacuum chamber formed therein, a suction port formed at one side of the housing and connected to the vacuum chamber, and provided inside or outside the housing and communicating with the vacuum chamber. It consists of an ejector pump. And a separate suction pad is provided to communicate with the vacuum chamber through the suction port.
  • the pad With the pad in contact with the object, when the high speed compressed air is discharged through the ejector pump, the air in the pad is drawn into the ejector pump via the suction port and the vacuum chamber and the vacuum pump together with the compressed air It is discharged to the outside of the, and the pad is to generate a vacuum and a negative pressure.
  • the negative pressure thus generated causes the object to be adsorbed onto the pad, and the adsorbed object will be transported to a location defined, for example, by an automated system.
  • the ejector pump is provided inside the housing, which can provide a compact structure of the vacuum pump device and is advantageous in terms of wiring processing, as compared with the configuration provided outside.
  • An example of this type of vacuum pump is disclosed in Korean Patent No. 10-0645273, 'Filter and Silencer Assembly for Vacuum Pump and Vacuum Pump'.
  • the disclosed assembly 1 includes a housing 2 having a vacuum chamber 3 therein, an ejector pump 4 mounted in the longitudinal direction (axial direction) in the vacuum chamber 3, and It comprises a cylindrical porous air filter (5) disposed coaxially to the outside of the ejector pump (4).
  • reference numeral 6 denotes a silencer connected to the outlet side of the ejector pump 4.
  • the assembly 1 of this structure is characterized in that the air in the suction pad (not shown) passes through the inlet port 7 and the vacuum chamber 3 by the high-speed compressed air passing through the ejector pump 4. By attracting and discharging to the inside of the negative pressure is generated inside the suction pad.
  • the air filter 5 filters out foreign substances in the attracted air so that the inside of the ejector pump 4 does not enter, and the nozzle of the ejector pump 4 is blocked by the foreign matter on the surface of the adsorption target. Since there may be a functional problem, the filter 5 can be regarded as an important function in this sense.
  • the assembly 1 having the above-described structure has an advantage that the vacuum pump can be compactly designed in that the ejector pump 4 and the air filter 5 are coaxially disposed in the housing 2.
  • this assembly 1 only allows the generation of a vacuum and does not have a configuration capable of releasing or destroying the generated vacuum.
  • a separate vacuum breaking means will have to be provided and operated.
  • the above-mentioned foreign matter may adhere to the outer surface of the filter 5 according to the type or size thereof, and thus the voids may be clogged quickly, and the vacuum pump 1 may of course lose the function of the filter 5.
  • the desired level of vacuum and negative pressure cannot be obtained at. Therefore, the filter should be cleaned from time to time, in order to do this, there is an inconvenience to perform the disassembly / assembly of all parts.
  • Another object of the present invention is to provide a vacuum pump array in which two or more of the above vacuum pumps are connected in parallel, in which case the compressed air supply line is shared by each vacuum pump so as to efficiently use energy.
  • the vacuum pump of the present invention is:
  • a vacuum pump including a housing having an internal vacuum chamber and a sidewall suction port extending to the vacuum chamber, an ejector pump mounted axially inside the vacuum chamber, and an air filter coaxially disposed outside the ejector pump.
  • the ejector pump is a pipe-type pump, one end of which is an inlet and the other of which is an outlet, and includes an aperture formed in the side wall to communicate with the vacuum chamber;
  • the air filter is a porous tubular filter
  • the housing is a separate compressed air supply line, a vacuum line extending through the first supply passage to the inlet of the ejector pump, and a second supply passage extending into the gap between the ejector pump and the air filter. Including destruction lines;
  • the vacuum pump is:
  • a hollow closure member coupled to an opening of the housing while receiving an outlet side end of the ejector pump to pressurize and fix the ejector pump disposed in the vacuum chamber in an axial direction;
  • the closure member is composed of a silencer.
  • the air filter includes a tubular filter body and a rib-connected prosthesis for supporting the body externally;
  • the prosthetic sphere includes an annular inner jaw protruding from the inlet side outer surface of the ejector pump, and a hole formed through the inner jaw;
  • the discard line extends into the gap through the hole in a second supply path
  • the air filter preferably, the air filter,
  • the vacuum pump array of the present invention is:
  • An array having a plurality of vacuum pumps and arranged in parallel, the housing of each vacuum pump being integrally formed;
  • each vacuum pump is connected to communicate with the vacuum chamber of an adjacent vacuum pump
  • a first supply path and a second supply path of each vacuum pump are designed to be connected to the first supply path and the second supply path of the adjacent vacuum pump, respectively;
  • the vacuum pump of the present invention is based on a compact type vacuum pump including a coaxial arrangement of an ejector pump and an air filter, and has an effect that can be optimally applied to a vacuum conveying system by effectively designing a vacuum line and a digging line. have.
  • Foreign matter attached to the air filter is attached to the outer surface of the air filter, and the foreign matter attached to the air filter is blown out in the reverse direction through the discarding line, that is, compressed air supplied to the vacuum chamber-air filter-suction port-suction pad side.
  • the air filter is fixed on the ejector pump by itself.
  • the air filter can be mounted in the vacuum chamber together with the ejector pump or separated from the vacuum chamber.
  • the vacuum pump of the present invention two or more in parallel can be configured to configure a vacuum pump array, in which the first supply path and the second supply path of each vacuum pump is designed to be connected to each other, thereby saving energy There is an effect to expand the capacity of the vacuum pump while using efficiently.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a vacuum pump assembly according to the prior art.
  • FIG 2 is an external view of a vacuum pump according to the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of FIG.
  • FIG. 4 is a partially exploded view of FIG. 3;
  • FIG. 5 is a view for explaining the vacuum operation of the vacuum pump according to the present invention.
  • FIG. 6 is a view for explaining the discarding action of the vacuum pump according to the present invention.
  • the vacuum pumps 10a and 10b of the present invention include a housing 20 having an internal vacuum chamber 21 and sidewall suction ports 27 extending to the vacuum chamber 21. It includes a pipe-type ejector pump 30 mounted in the axial direction (XX) inside the vacuum chamber 21, and a tubular air filter 40 coaxially disposed outside the ejector pump (30).
  • 'B' is a bracket for connecting the vacuum pumps 10a, 10b of the present invention or the array 10 thereof, for example, to a vacuum conveying system.
  • the housing 20 includes two compressed air supply lines which are formed separately on the front side thereof. One of them is a 'vacuum line' which extends through the first supply passage 22 to the inlet 31 of the mounted ejector pump 30, and the other is an ejector pump (through the second supply passage 23). It is a 'drain line' that extends into a gap 24 formed between 30 and air filter 40.
  • the breaking line is extended to the gap 24 is considered to be the best method for simultaneously giving the vacuum breaking function and the filter cleaning function to the coaxial vacuum pumps 10a and 10b structure of the present invention.
  • At least one transparent window 29 is formed on the side wall of the housing 20 so that the contamination or cleaning state of the air filter 40 can be visually checked from the outside.
  • reference numerals 25 and 26 denote compressed air supply ports for vacuum lines and discard lines, respectively, and supply ports shared by the respective vacuum pumps 10a and 10b arranged in the structure of the vacuum pump array 10 described later.
  • each of the independent unit vacuum pumps 10a and 10b may have a supply port at an outer end of the first supply path 22 and the second supply path 23.
  • reference numeral 27 is a suction port formed on the side wall of the housing 20, through which a device such as a suction pad, for example, is communicatively connected to the vacuum chamber 21.
  • the ejector pump 30 has a compressed air inlet 31 at one end thereof and a compressed air outlet 32 at the other end thereof.
  • the ejector pump 30 includes a through hole 33 formed at a side wall to communicate with the vacuum chamber 21.
  • the ejector pump 30 may include a plurality of nozzles arranged in series therein, and may further include a check valve disposed corresponding to each of the through holes 33 and opened and closed by flow air pressure.
  • the ejector pump 30 is inserted into the inside of the vacuum chamber 21 through the rear opening 28 of the housing 20 with the inlet 31 side as the front end, and the inlet ( The side 31 is inserted into the inner end of the front first supply passage 22 to fix the position of the ejector pump 30.
  • the hollow closing member 50 is threadedly coupled to the opening 28 of the housing 20 while accommodating the outlet 32 side end portion to press the ejector pump 30 in the axial direction XX. ) Is provided. Accordingly, the ejector pump 30 may be tightly fixed in the axial direction (X-X) in the vacuum chamber 21.
  • the closing member 50 is a silencer including a cylindrical sound absorbing material 51 disposed therein.
  • the air filter 40 is a porous tubular filter.
  • the air filter 40 is composed of a filter body 41 of a mesh or nonwoven type of metal or resin, and a rib-connected prosthesis 42 supporting the body 41 from the outside.
  • the air filter 40 has an annular inner jaw 43 protruding from the prosthesis port 42 toward the outer surface of the inlet 31 of the ejector pump 30, and the inner jaw 43 in the axial direction ( It further comprises a hole 44 formed through the XX. And in this structure, the destruction line extends through the hole 44 in the second supply path 23 to the gap 24.
  • the structure of the inner jaw 43 and the hole 44 is considered to be optimal for the purpose of not disturbing the digging line while maintaining the gap 24 between the coaxial ejector pump 30 and the air filter 40.
  • the present invention is not limited thereto, and various designs may be possible for the same purpose, such as for example mounting the air filter 40 on the inner wall of the vacuum chamber 21.
  • the air filter 40 is a method in which both ends of the prosthetic port 42 are fitted to the inlet 31 side and the outlet 32 side outer surface of the ejector pump 30, respectively, and compressed. It is fixed on the ejector pump 30.
  • the ejector pump 30 may be designed to be fixed by the rear closing member 50 in the same manner as the ejector pump 30, but this structure of the present embodiment allows the air filter 40 to be fixed to the ejector pump 30 by itself. And ease of disassembly.
  • the air filter 40 corresponds to an annular stopper 34 having one inner jaw 43 of the prosthetic sphere 42 provided on the outer surface of the inlet 31 side of the ejector pump 30.
  • the other end inner surface of 42 may be pressed onto the outer surface of the inlet 31 side of the ejector pump 30, and may be fixed on the ejector pump 30.
  • the air filter 40 may be mounted in the vacuum chamber 21 in a pre-assembled state with the ejector pump 30, and may be separated from the housing 20 together with the ejector pump 30 when disassembled. have.
  • the correlation structure of the above-mentioned air filter 40 and the ejector pump 30 makes it possible to mount and separate the air filter 40 with respect to the narrow gap 24 between the ejector pump 30 and the wall of the vacuum chamber 21. Provide convenience. On the other hand, it is determined that the design of the destruction line using the air filter 40 is very effective in terms of keeping the destruction line stable.
  • the vacuum pump 10a, 10b comprised in this way is provided in multiple numbers, and comprises the vacuum pump array 10 of this invention.
  • the vacuum pumps 10a and 10b are provided in plural and arranged in parallel, and the housings 20 of the vacuum pumps 10a and 10b are integrally formed to constitute the vacuum pump array 10.
  • the suction port 27 of each vacuum pump 10b is connected to communicate with the vacuum chamber 21 of the adjacent vacuum pump 10a and the first supply path of each vacuum pump 10b.
  • the 22 and second supply passages 23 are designed to be connected to the first supply passage 22 and the second supply passage 23 of the adjacent vacuum pump 10a, respectively.
  • the compressed air supplied to the supply port 25 for the vacuum line is distributed and supplied to the ejector pump 30 of each of the vacuum pumps 10a and 10b through the first supply path 22 and the vacuum line, and supplies to the discarding line.
  • the compressed air supplied to the port 26 is distributed and supplied to the gap 24 of each of the vacuum pumps 10a and 10b through the second supply path 23 and the discarding line.
  • the vacuum pump array 10 of this structure is connected to the vacuum conveying system via the bracket B, wherein the compressed air will be selectively supplied among the supply ports 25 and 26 as needed for vacuum and discarding.
  • the compressed air (arrow 1) supplied to the supply port 25 extends through the first supply passage 22 to the inlet 31 of the ejector pump 30 on the vacuum pump 10a, 10b side. Flows along the vacuum line (arrow 2). The compressed air passes through the ejector pump 30 at high speed and is discharged to the outside through the discharge port 32 (arrow 3). At this time, the air in the internal space of the suction device (not shown) connected to the suction port 27 is While being filtered by the air filter 40, it is attracted (arrow 4) to the inside of the ejector pump 30 through the through hole 33 and is discharged together with the compressed air.
  • a vacuum and a negative pressure are generated in the vacuum chamber 21 and the internal space of the apparatus, and the generated negative pressure will be used, for example, for holding and conveying the article.
  • the foreign matter adhering to the surface of the article is adhered to the surface while being filtered by the air filter 40.
  • the compressed air (arrow 5) supplied to the supply port 26 passes through the second supply passage 23 and the inner jaw hole 44 of the air filter 40 on each vacuum pump 10a, 10b side. Through it, it flows along the digging line extending into the gap 24 between the ejector pump 30 and the air filter 40 (arrow 6). This compressed air is continuously supplied to the inner space of the adsorption device under negative pressure (arrow 7).
  • the vacuum and negative pressure formed in the vacuum chamber 21 and the internal space of the apparatus are discarded, and the articles held in the adsorption apparatus will be separated from the apparatus.
  • the vacuum pump array 10 will then be ready for the transfer of the next article.
  • the contamination or cleaning state of the air filter 40 can be visually confirmed from the outside through the transparent window 29 formed on the side wall of the housing 20. Therefore, even if the vacuum pumps 10a and 10b are not dismantled, it is possible to easily check the pollution degree and replacement time of the air filter 40 and the normal operation of the cleaning function.
  • the operation of generating and discarding the vacuum is performed in the vacuum pump array 10 with reference to FIGS. 5 and 6, but the description of the operation is performed by the unit vacuum pumps 10a and 10b independently configured and operated. The same applies to the case.
  • the vacuum efficiency of the pump device can be doubled by using substantially the same level of energy.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Compressor (AREA)

Abstract

본 발명은 진공 펌프에 관한 것으로, 상기 진공펌프는 내부에 진공 챔버를 갖는 하우징과, 상기 진공 챔버의 내부에 축 방향으로 장착되는 이젝터 펌프와, 상기 이젝터 펌프의 외측에 동축 배치되는 에어 필터를 포함하는 콤팩트형 진공 펌프를 기반으로 한다. 본 발명에서, 상기 하우징은, 개별 압축공기 공급 라인으로서, 제1 공급로를 통하여 상기 이젝터 펌프의 유입구로 연장되는 진공 라인과, 제2 공급로를 통하여 상기 이젝터 펌프와 에어 필터 사이의 갭으로 연장되는 파기 라인을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 진공 펌프 구조는 동축형 진공 펌프 구조에 진공 파기기능과 필터 청소기능을 동시에 부여하는 특징이 있다.

Description

진공 펌프 및 그 어레이
본 발명은 고속으로 공급되는 압축공기에 의하여 작동하며, 특정 공간을 배기하여 진공 및 부압을 발생시키는데 사용되는 진공 펌프에 관한 것이다.
개략적으로 살펴보면, 일반적으로 진공 펌프는, 내부에 진공 챔버가 형성된 하우징과, 상기 하우징의 일측에 형성되어 상기 진공 챔버로 통하는 흡입 포트와, 상기 하우징의 내부 또는 외부에 구비되고 상기 진공 챔버와 소통하는 이젝터 펌프를 포함하여 이루어진다. 그리고 별도의 흡착 패드가 상기 흡입 포트를 통하여 진공 챔버와 연통하도록 제공된다.
상기 패드가 대상물에 접촉한 상태에서, 고속의 압축공기가 이젝터 펌프를 통과하여 배출될 때, 상기 패드 내의 공기가 흡입 포트 및 진공 챔버를 경유하여 이젝터 펌프의 내부로 유인되고 압축공기와 함께 진공 펌프의 외부로 배출되며, 이에 패드 내에는 진공 및 부압이 발생하게 되는 것이다. 이와 같이 발생한 부압에 의하여 대상물이 상기 패드에 흡착되며, 이 흡착된 대상물은 예컨대 자동화 시스템에 의하여 정해진 장소로 이송될 것이다.
그리고 정위치 이송이 완료되면, 상기 진공 챔버로 공급되는 파기용 압축공기에 의하여 상기 진공 및 부압이 파기되고, 이에 상기 진공 펌프는 다음 대상물의 이송을 위하여 준비될 것이다.
구조적으로 상기 이젝터 펌프가 하우징의 내부에 구비되는 것은, 외부에 구비되는 것에 비하여, 진공펌프 장치를 콤팩트하게 구성할 수 있으며 또한 배선 처리의 측면에서도 유리하다. 이러한 타입의 진공 펌프의 예가, 한국 등록특허 제10-0645273호 '진공 펌프 및 진공 펌프용 필터와 소음기 조립체'로 공개되어 있다.
도 1을 참조하면, 개시된 조립체(1)는 내부에 진공 챔버(3)를 갖는 하우징(2)과, 상기 진공 챔버(3) 내에 길이 방향(축 방향)으로 장착되는 이젝터 펌프(4)와, 상기 이젝터 펌프(4)의 외측에 동축적으로 배치되는 원통형의 다공성 에어 필터(5)를 포함하여 이루어진다. 도면에서, 부호 6은 상기 이젝터 펌프(4)의 배출구 측에 연결되는 소음기(silencer)이다.
이 구조의 조립체(1)는 이젝터 펌프(4)를 통과하는 고속의 압축공기에 의하여 흡착 패드(미도시) 내의 공기가 흡입 포트(7) 및 진공 챔버(3)를 경유하여 이젝터 펌프(4)의 내부로 유인 및 배출되도록 함으로써 흡착 패드 내부에 부압이 발생되도록 한다. 그리고 상기 에어 필터(5)는 이 유인되는 공기 중의 이물질이 이젝터 펌프(4)의 내부도 들어오지 못하도록 걸러내는 역할을 하는데, 실제로 흡착 대상물 표면에 있던 이물질에 의하여 이젝터 펌프(4)의 노즐이 막히는 등 기능상의 문제가 생기는 경우가 있으므로, 상기 필터(5)는 이러한 의미에서 중요한 기능을 한다고 볼 수 있다.
전술한 바와 같이, 상기한 구조의 조립체(1)는 이젝터 펌프(4)와 에어 필터(5)를 하우징(2) 내에 동축 배치하는 점에서, 진공펌프를 콤팩트하게 설계할 수 있는 장점이 있다. 그러나 이 조립체(1)는 진공의 발생을 가능하게 할 뿐, 그 발생한 진공을 해제 또는 파기할 수 있는 구성을 가지지 않는다. 따라서 진공 이송 시스템에서 이 조립체(1)를 이용하는 한, 별도의 진공 파기 수단이 구비되고 동작되어야 할 것이다.
한편으로는, 상기한 이물질이 그 종류나 크기에 따라 필터(5)의 외측 표면에 달라붙어 공극이 빠르게 막혀버릴 수 있으며, 그러면 필터(5)의 기능이 상실되는 것은 물론 상기 진공 펌프(1)에서 원하는 레벨의 진공 및 부압을 얻을 수가 없게 된다. 그래서 수시로 필터 청소를 해주어야 하는데, 이를 위하여는 전 부품의 분해/조립을 수행하여야 하는 불편함이 있다.
그럼에도, 종래의 기술들은 이러한 문제들에 대한 아무런 대책을 제시하지 못하고 있다. 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하고자 제안된 것이다.
본 발명의 목적은, 이젝터 펌프의 외측에 동축적으로 배치되는 원통형의 필터를 포함하는 진공 펌프 구조를 기반으로, 진공 발생 및 그 파기 동작이 수행될 수 있으며 동시에, 진공 발생 과정에서 필터에 부착된 이물질이 진공 파기의 과정에서 털려져 나가도록 설계되어 물품의 이송 과정에서 자연스럽게 필터의 청소가 이루어질 수 있도록 한 진공 펌프를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 2 이상의 상기 진공 펌프를 병렬로 연결하며, 이 경우 압축공기 공급 라인을 각 진공 펌프에서 공용되도록 함으로써 에너지를 효율적으로 사용할 수 있도록 한 진공 펌프 어레이를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 진공 펌프는:
내부 진공 챔버 및 상기 진공 챔버로 연장된 측벽 흡입 포트를 갖는 하우징과, 상기 진공 챔버의 내부에 축 방향으로 장착되는 이젝터 펌프와, 상기 이젝터 펌프의 외측에 동축 배치되는 에어 필터를 포함하는 진공 펌프에 있어서,
상기 이젝터 펌프는, 일단이 유입구이고 타단이 배출구인 파이프형 펌프로서, 측벽에 형성되어 상기 진공 챔버와 소통 가능하게 하는 통공을 포함하며;
상기 에어 필터는 다공성의 관형 필터이며;
상기 하우징은, 개별 압축공기 공급 라인으로, 제1 공급로를 통하여 상기 이젝터 펌프의 유입구로 연장되는 진공 라인과, 제2 공급로를 통하여 상기 이젝터 펌프와 에어 필터 사이의 갭(gap)으로 연장되는 파기 라인을 포함하는 것;
을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 진공 펌프는:
상기 이젝터 펌프의 배출구 측 단부를 수용하면서 상기 하우징의 개구에 결합되어, 상기 진공 챔버 내에 배치된 이젝터 펌프를 축 방향으로 가압 고정시키는 중공형 마감 부재;
를 더 포함한다.
더욱 바람직하게, 상기 마감 부재는 사일렌서(silencer)로 구성된다.
바람직하게,
상기 에어 필터는 관형 필터 본체와, 상기 본체를 외부에서 지지하는 리브-연결형 보형구를 포함하며;
상기 보형구는, 이젝터 펌프의 유입구 측 외면으로 돌출 형성된 환형 내턱과, 상기 내턱을 관통하여 형성된 홀을 포함하며;
상기 파기 라인은 제2 공급로에서 상기 홀을 통해 상기 갭으로 연장되는 것;
을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게, 상기 에어 필터는,
상기 보형구의 양쪽 끝단이 각각 상기 이젝터 펌프의 유입구 측 및 배출구 측 외면에 끼워져 압착되는 방법으로, 상기 이젝터 펌프 상에 고정되는 것;
을 특징으로 한다.
본 발명의 진공 펌프 어레이는:
상기 진공 펌프가 복수로 구비되고 병렬로 배열되며, 각 진공 펌프의 하우징이 일체로 형성된 형태의 어레이로서;
각 진공 펌프의 상기 흡입 포트가 인접한 진공 펌프의 상기 진공 챔버와 소통하도록 연결되며;
각 진공 펌프의 제1 공급로 및 제2 공급로가 인접한 진공 펌프의 제1 공급로 및 제2 공급로 각각 연결되도록 설계된 것;
을 특징으로 한다.
본 발명의 진공 펌프는, 이젝터 펌프와 에어 필터의 동축 배치를 포함하는 콤팩트 타입의 진공 펌프를 기반으로, '진공 라인'과 '파기 라인'이 효과적으로 설계됨으로써 진공 이송 시스템에 최적 적용될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 진공 펌프에 따르면, 상기 진공 라인을 통하여 공급 및 배출되는 압축공기에 의하여 예컨대 흡착 패드의 내부 공기가 흡입 포트 - 에어 필터 - 진공 챔버 - 이젝터 펌프를 경유하여 배출될 때 대상물의 표면에 부착된 이물질이 상기 에어 필터의 외측 표면에 부착되는데, 이 부착 이물질은 상기 파기 라인을 통하여 역방향 즉, 진공 챔버 - 에어 필터 - 흡입 포트 - 흡착 패드 측으로 공급되는 압축공기에 의하여 털려져 나가게 된다.
따라서 진공 이송 시스템에서 연속적으로 반복되는 '진공 - 파기'의 과정에서 상기 에어 필터가 자연스럽게 청소되는 효과가 있다.
또한, 바람직한 실시예에서, 상기 에어 필터는 스스로 이젝터 펌프 상에 고정된다. 따라서 상기 에어 필터가 이젝터 펌프와 함께 진공 챔버 내에 장착되거나 진공 챔버로부터 분리될 수 있는 간편한 효과가 있다.
한편, 본 발명의 상기 진공 펌프는, 2 이상 병렬 연결되어 진공 펌프 어레이를 구성할 수 있으며, 이 어레이에서 각 진공 펌프의 상기 제1 공급로 및 제2 공급로가 서로 연결되도록 설계함으로써, 에너지를 효율적으로 이용하면서 진공 펌프의 용량을 확장할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 진공 펌프 조립체의 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 진공 펌프의 외형도.
도 3은 도 2의 단면도.
도 4는 도 3의 부분 분해도.
도 5는 본 발명에 따른 진공 펌프의 진공 작용을 설명하기 위한 도면.
도 6은 본 발명에 따른 진공 펌프의 파기 작용을 설명하기 위한 도면.
[부호의 설명]
10. 진공 펌프 어레이
10a,10b. 진공 펌프
20. 하우징
21. 진공 챔버 22. 제1 공급로
23. 제2 공급로 24. 갭
25,26. 공급 포트 27. 흡입 포트
28. 개구 29. 투명창
30. 이젝터 펌프
31. 유입구 32. 배출구
33. 통공 34. 스토퍼
40. 에어 필터
41. 본체 42. 보형구
43. 내턱 44. 홀
50. 마감 부재
51. 흡음재
이상에 기재된 또는 기재되지 않은 본 발명 '진공 펌프 및 그 어레이'의 특징과 작용 효과들은, 이하에서 첨부도면을 참조하여 설명하는 실시예 기재를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 도 2 이하의 도면에서, 본 발명의 실시예에 따른 진공 펌프가 부호 "10a" 및 "10b"로 표시되어 있으며, 그 어레이가 부호 "10"으로 표시되어 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 진공 펌프(10a,10b)는 내부 진공 챔버(21) 및 상기 진공 챔버(21)로 연장된 측벽 흡입 포트(27)를 갖는 하우징(20)과, 상기 진공 챔버(21)의 내부에 축 방향(X-X)으로 장착되는 파이프형 이젝터 펌프(30)와, 상기 이젝터 펌프(30)의 외측에 동축 배치되는 관형 에어 필터(40)를 포함하여 이루어진다. 부호 'B'는 본 발명의 진공 펌프(10a,10b) 또는 그 어레이(10)를 예컨대 진공 이송 시스템에 연결하기 위한 브래킷이다.
여기에서, 상기 하우징(20)은 그 전방 측에 개별적으로 형성되는 두 개의 압축공기 공급 라인을 포함한다. 그 중 하나는 제1 공급로(22)를 통하여 상기 장착된 이젝터 펌프(30)의 유입구(31)로 연장되는 '진공 라인'이며, 다른 하나는 제2 공급로(23)를 통하여 이젝터 펌프(30)와 에어 필터(40) 사이에 형성된 갭(gap)(24)으로 연장되는 '파기 라인'이다.
이와 같이, 상기 파기 라인이 갭(24)으로 연장되도록 한 것은, 본 발명의 동축형 진공 펌프(10a,10b) 구조에 대하여, 진공 파기기능과 필터 청소기능을 동시에 부여하기 위한 최선의 방법으로 여겨진다. 상기 에어 필터(40)의 오염 또는 청소 상태 등을 외부에서 육안으로 확인할 수 있도록 하기 위하여, 바람직하게 상기 하우징(20)의 측벽에는 적어도 하나 이상의 투명 창(29)이 형성된다.
도면에서 부호 25 및 26은 각각 진공 라인용 및 파기 라인용 압축공기 공급 포트로서, 후술하는 진공 펌프 어레이(10) 구조에서 배열된 각 진공펌프(10a,10b)가 공용하는 공급 포트이다. 다만, 도시되지 않았으나, 독립된 각 단위 진공 펌프(10a,10b)의 경우 제1 공급로(22) 및 제2 공급로(23)는 그 외측 말단이 공급 포트일 수 있다. 한편, 부호 27은 상기 하우징(20)의 측벽에 형성되는 흡입 포트로서, 이를 통하여 예컨대 흡착 패드와 같은 장치가 상기 진공 챔버(21)와 소통 가능하게 연결된다.
상기 이젝터 펌프(30)는 일단이 압축공기 유입구(31)이고 반대쪽 타단이 압축공기 배출구(32)이며, 측벽에 형성되어 상기 진공 챔버(21)와 소통 가능하게 하는 통공(33)을 포함하는 통상의 파이프형 펌프이다. 상기 이젝터 펌프(30)는 내부에 직렬로 배열된 다단의 노즐을 포함할 수 있으며, 각 통공(33)에 대응하여 배치되고 유동 공기압에 의하여 개폐되는 체크 밸브를 더 포함할 수도 있다.
구체적으로, 상기 이젝터 펌프(30)는 유입구(31) 측을 전방 선단으로 하여, 상기 하우징(20)의 후방 개구(28)를 통해 진공 챔버(21)의 내부로 삽입 장착되며, 이때 상기 유입구(31) 측이 전방 제1 공급로(22)의 내측 단부에 삽입되어 이젝터 펌프(30)의 위치가 고정된다. 또한, 후방에는 배출구(32) 측 단부를 수용하면서 상기 하우징(20)의 개구(28)에 나사식으로 결합되어, 이젝터 펌프(30)를 축 방향(X-X)으로 가압하는 중공형 마감 부재(50)가 제공된다. 이에 따라, 상기 이젝터 펌프(30)가 진공 챔버(21) 내에서 축 방향(X-X)으로 밀착 고정될 수 있는 것이다.
본 실시예에서 상기 마감 부재(50)는 내부에 배치된 원통형 흡음재(51)를 포함하는 사일렌서이다.
상기 에어 필터(40)는 다공성의 관형 필터이다. 구체적으로, 상기 에어 필터(40)는 금속이나 수지로 된 망 또는 부직포 타입의 필터 본체(41)와, 상기 본체(41)를 외부에서 지지하는 리브-연결형 보형구(42)로 이루어진다. 더욱 구체적으로, 상기 에어 필터(40)는 상기 보형구(42)에서 이젝터 펌프(30)의 유입구(31) 측 외면을 향하여 돌출 형성된 환형 내턱(43)과, 상기 내턱(43)을 축 방향(X-X)으로 관통하여 형성된 홀(44)을 더 포함한다. 그리고 이 구조에서, 상기 파기 라인은 제2 공급로(23)에서 상기 홀(44)을 통하여 갭(24)으로 연장된다.
한편, 상기 내턱(43)과 홀(44)의 구조는 동축의 이젝터 펌프(30)와 에어 필터(40) 사이의 갭(24)을 유지하면서 파기 라인을 방해하지 않는 목적에서는 최적인 것으로 여겨지지만 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며, 예컨대 상기 에어 필터(40)를 진공 챔버(21)의 내벽에 거치시키는 것처럼, 같은 목적으로 다양한 설계들이 가능할 것이다.
본 실시예에서, 상기 에어 필터(40)는 상기 보형구(42)의 양쪽 끝단이 각각 상기 이젝터 펌프(30)의 유입구(31) 측 및 배출구(32) 측 외면에 끼워져 압착되는 방법으로, 상기 이젝터 펌프(30) 상에 고정된다. 상기 이젝터 펌프(30)와 마찬가지 방법으로 후방의 마감 부재(50)에 의해 고정되도록 설계할 수도 있으나, 본 실시예의 이 구조는 에어 필터(40)가 스스로 이젝터 펌프(30)에 고정되도록 하여 그 조립 및 분해를 간편하게 하는 장점을 제공한다.
구체적으로 상기 에어 필터(40)는, 보형구(42)의 일단 내턱(43)이 상기 이젝터 펌프(30)의 유입구(31) 측 외면에 구비되는 환형 스토퍼(34)에 대응되며, 보형구(42)의 타단 내면이 상기 이젝터 펌프(30)의 유입구(31) 측 외면에 압착되어, 상기 이젝터 펌프(30) 상에 고정될 수 있다. 이에 따라, 상기 에어 필터(40)는 이젝터 펌프(30)와 미리 조립된 상태로 진공 챔버(21) 내에 장착될 수 있으며, 분해시에는 이젝터 펌프(30)와 함께 하우징(20)으로부터 분리될 수 있다.
이상의 에어 필터(40)와 이젝터 펌프(30)의 상관 구조는, 이젝터 펌프(30)와 진공 챔버(21)의 벽 사이의 좁은 갭(24)에 대하여 에어 필터(40)를 장착 및 분리함에 있어서 편리함을 제공한다. 한편, 상기 에어 필터(40)를 이용하여 파기 라인을 설계하는 것은, 상기 파기 라인이 안정적으로 유지될 수 있도록 한다는 측면에서 매우 효과적인 것으로 판단된다.
이와 같이 구성되는 진공 펌프(10a,10b)가 복수로 구비되어 본 발명의 진공 펌프 어레이(10)를 구성한다. 구체적으로는, 상기 진공 펌프(10a,10b)가 복수로 구비되고 병렬로 배열되며, 각 진공 펌프(10a,10b)의 하우징(20)이 일체로 형성되어 진공펌프 어레이(10)를 구성한다. 특히 상기 어레이(10)에서, 각 진공 펌프(10b)의 흡입 포트(27)는 인접한 진공 펌프(10a)의 진공 챔버(21)와 소통하도록 연결되며, 각 진공 펌프(10b)의 제1 공급로(22) 및 제2 공급로(23)는 인접한 진공 펌프(10a)의 제1 공급로(22) 및 제2 공급로(23)와 각각 연결되도록 설계된다.
즉, 진공 라인용 공급 포트(25)로 공급된 압축공기는 제1 공급로(22) 및 진공 라인를 통하여 각 진공 펌프(10a,10b)의 이젝터 펌프(30)로 분배 공급되며, 파기 라인용 공급 포트(26)로 공급된 압축공기는 제2 공급로(23) 및 파기 라인를 통하여 각 진공 펌프(10a,10b)의 갭(24)으로 분배 공급되는 것이다. 이 구조의 진공 펌프 어레이(10)가 브래킷(B)를 매개로 진공 이송 시스템에 연결되고, 이때 압축 공기는 진공 및 파기의 필요에 따라 공급 포트 25 및 26 중 선택적으로 공급될 것이다.
도 5를 참조하면, 상기 공급 포트 25로 공급된 압축공기(화살표 ①)는 제1 공급로(22)를 통하여 각 진공 펌프(10a,10b) 측 이젝터 펌프(30)의 유입구(31)로 연장되는 진공 라인을 따라 흐른다(화살표 ②). 이 압축공기는 고속으로 상기 이젝터 펌프(30)를 통과하여 배출구(32)를 통해 외부로 배출되는데(화살표 ③), 이때 흡입 포트(27)에 연결된 흡착 장치(미도시)의 내부 공간의 공기가 에어 필터(40)에 의하여 여과되면서 통공(33)을 통하여 이젝터 펌프(30)의 내부로 유인(화살표 ④)되고 압축공기와 함께 배출된다.
이 과정에서 상기 진공 챔버(21) 및 장치의 내부 공간에 진공 및 부압이 발생하며, 이 발생된 부압은 예컨대 물품의 파지 및 이송에 이용될 것이다. 한편, 상기한 화살표 ④의 과정에서는 물품의 표면에 붙어 있던 이물질이 상기 에어 필터(40)에 의해 여과되면서 그 표면에 들러붙게 된다.
도 6을 참조하면, 상기 공급 포트 26으로 공급된 압축공기(화살표 ⑤)는 제2 공급로(23)를 통과하고 각 진공 펌프(10a,10b) 측 에어 필터(40)의 내턱 홀(44)을 통하여, 이젝터 펌프(30)와 에어 필터(40) 사이 갭(24)으로 연장되는 파기 라인을 따라 흐른다(화살표 ⑥). 그리고 이 압축공기는 계속하여 부압이 걸려져 있는 상기 흡착 장치의 내부 공간으로 공급된다(화살표 ⑦).
이 과정에서 상기 진공 챔버(21) 및 장치의 내부 공간에 형성된 진공 및 부압이 파기되고, 상기 흡착 장치에 파지된 물품이 장치로부터 분리될 것이다. 그리고 상기 진공 펌프 어레이(10)는 다음 물품의 이송을 위하여 준비될 것이다.
한편, 화살표 ⑦의 과정에서는, 상기 에어 필터(40) 표면에 이물질이 들러붙은 방향(도 5의 화살표 ④)의 정반대 방향으로 압축공기가 공급되며, 이 공기압에 의하여 그 표면으로부터 이물질(D)이 털려나가는 동작이 이루어진다. 이와 같은 동작에 의하여, 진공의 발생 및 파기가 반복되는 동안 상기 에어 필터(40)는 별도로 분리하여 청소를 하지 않아도 자연스럽게 청소가 되는 것이다.
이때 상기 에어 필터(40)의 오염 또는 청소 상태는, 상기 하우징(20)의 측벽에 형성된 투명 창(29)을 통하여 외부에서 육안으로 확인할 수 있다. 따라서 굳이 진공 펌프(10a,10b)를 분해를 하지 않아도, 상기 에어 필터(40)의 오염도 및 교환 시기, 청소 기능의 정상 동작 등을 쉽게 체크할 수가 있다.
위에서는 도면 5 및 도 6을 참조하여 진공 펌프 어레이(10)에서 진공 발생 및 파기 작용이 수행되는 것을 설명하였으나, 이러한 작용의 설명은 각 단위 진공 펌프(10a,10b)가 독립적으로 구성되고 작동하는 경우에도 동일하게 적용될 것이다. 다만, 상기 어레이(10)를 이용하는 경우 대체로 동일한 수준의 에너지를 이용하여 펌프 장치의 진공 효율을 배가시킬 수 있는 장점이 있다.

Claims (8)

  1. 내부 진공 챔버(21) 및 상기 진공 챔버로 연장된 측벽 흡입 포트(27)를 갖는 하우징(20)과, 상기 진공 챔버의 내부에 축 방향으로 장착되는 이젝터 펌프(30)와, 상기 이젝터 펌프의 외측에 동축 배치되는 에어 필터(40)를 포함하는 진공 펌프에 있어서,
    상기 이젝터 펌프(30)는, 일단이 유입구(31)이고 타단이 배출구(32)인 파이프형 펌프로서, 측벽에 형성되어 상기 진공 챔버(21)와 소통 가능하게 하는 통공(33)을 포함하며;
    상기 에어 필터(40)는 다공성의 관형 필터이며;
    상기 하우징(20)은, 개별 압축공기 공급 라인으로, 제1 공급로(22)를 통하여 상기 이젝터 펌프의 유입구(31)로 연장되는 진공 라인과, 제2 공급로(23)를 통하여 상기 이젝터 펌프(30)와 에어 필터(40) 사이의 갭(24)으로 연장되는 파기 라인을 포함하는 것;
    을 특징으로 하는 진공 펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진공 펌프는:
    상기 이젝터 펌프의 배출구 측 단부를 수용하면서 상기 하우징의 개구에 결합되어, 상기 진공 챔버 내에 배치된 이젝터 펌프를 축 방향으로 가압 고정시키는 중공형 마감 부재;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 마감 부재(50)는, 사일렌서인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에어 필터(40)는 관형 필터 본체(41)와, 상기 본체를 외부에서 지지하는 리브-연결형 보형구(42)를 포함하며;
    상기 보형구(42)는, 이젝터 펌프(30)의 유입구(31) 측 외면으로 돌출 형성된 환형 내턱(43)과, 상기 내턱을 관통하여 형성된 홀(44)을 포함하며;
    상기 파기 라인은 제2 공급로(22)에서 상기 홀(44)을 통해 상기 갭(24)으로 연장되는 것;
    을 특징으로 하는 진공 펌프.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이젝터 펌프(30)는, 유입구(31) 측 외면에 에어 필터(40)의 내턱(43)에 대응하는 환형 스토퍼(34)를 구비한 것;
    을 특징으로 하는 진공 펌프.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하우징(20)은, 상기 에어 필터(40)의 상태를 외부에서 육안으로 확인할 수 있도록, 측벽에 형성된 적어도 하나 이상의 투명 창(29)을 포함하는 것,
    을 특징으로 하는 진공 펌프.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 에어 필터는,
    상기 보형구(42)의 양쪽 끝단이 각각 상기 이젝터 펌프(30)의 유입구(31) 측 및 배출구(32) 측 외면에 끼워져 압착되는 방법으로, 상기 이젝터 펌프(30) 상에 고정되는 것;
    을 특징으로 하는 진공 펌프.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 상기 진공 펌프가 복수로 구비되고 병렬로 배열되며, 각 진공 펌프의 하우징(20)이 일체로 형성된 형태의 어레이(10)로서;
    각 진공 펌프의 상기 흡입 포트(27)가 인접한 진공 펌프의 상기 진공 챔버(21)와 소통하도록 연결되며;
    각 진공 펌프의 제1 공급로(22) 및 제2 공급로(23)가 인접한 진공 펌프의 제1 공급로(22) 및 제2 공급(23)로 각각 연결되도록 설계된 것;
    을 특징으로 하는 진공 펌프 어레이.
PCT/KR2017/007005 2016-09-01 2017-07-03 진공 펌프 및 그 어레이 WO2018043900A1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ES17846825T ES2836401T3 (es) 2016-09-01 2017-07-03 Bomba de vacío y disposiciones de estas
CN201780053213.2A CN109642586B (zh) 2016-09-01 2017-07-03 真空泵及其阵列
US16/324,293 US11103824B2 (en) 2016-09-01 2017-07-03 Vacuum pump and array thereof
JP2019511775A JP6839756B2 (ja) 2016-09-01 2017-07-03 真空ポンプおよびそのアレイ
EP17846825.2A EP3508734B1 (en) 2016-09-01 2017-07-03 Vacuum pump and arrays thereof

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160112330A KR101699721B1 (ko) 2016-09-01 2016-09-01 진공 펌프 및 그 어레이
KR10-2016-0112330 2016-09-01

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018043900A1 true WO2018043900A1 (ko) 2018-03-08

Family

ID=58156006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2017/007005 WO2018043900A1 (ko) 2016-09-01 2017-07-03 진공 펌프 및 그 어레이

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11103824B2 (ko)
EP (1) EP3508734B1 (ko)
JP (1) JP6839756B2 (ko)
KR (1) KR101699721B1 (ko)
CN (1) CN109642586B (ko)
ES (1) ES2836401T3 (ko)
WO (1) WO2018043900A1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101685998B1 (ko) * 2016-09-21 2016-12-13 (주)브이텍 프로파일을 이용한 진공 펌프
FR3100290B1 (fr) * 2019-08-27 2023-02-10 Coval Dispositif fluidique pour prehension par le vide

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100629994B1 (ko) * 2005-12-30 2006-10-02 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 펌프
KR100645273B1 (ko) 1999-02-26 2006-11-13 제렉스 에이비 진공 펌프 및 진공 펌프용 필터와 소음기 조립체
KR101251825B1 (ko) * 2011-09-06 2013-04-09 이우승 진공펌프
KR101610491B1 (ko) * 2014-08-19 2016-04-08 이우승 다단 연결형 진공 이젝터 펌프
KR20160092041A (ko) * 2011-03-28 2016-08-03 가부시키가이샤 고가네이 이젝터

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE427955B (sv) 1980-05-21 1983-05-24 Piab Ab Multiejektor
DE3025525A1 (de) 1980-07-05 1982-01-28 Jürgen 4477 Welver Volkmann Ejektorvorrichtung
US4790054A (en) 1985-07-12 1988-12-13 Nichols William O Multi-stage venturi ejector and method of manufacture thereof
US4759691A (en) 1987-03-19 1988-07-26 Kroupa Larry G Compressed air driven vacuum pump assembly
US4880358A (en) 1988-06-20 1989-11-14 Air-Vac Engineering Company, Inc. Ultra-high vacuum force, low air consumption pumps
JPH0448920A (ja) 1990-06-18 1992-02-18 Inax Corp エゼクタ及び浄化装置
US5228839A (en) 1991-05-24 1993-07-20 Gast Manufacturing Corporation Multistage ejector pump
US5683227A (en) 1993-03-31 1997-11-04 Smc Corporation Multistage ejector assembly
RU2123616C1 (ru) * 1997-10-29 1998-12-20 Попов Сергей Анатольевич Многосопловой жидкостно-газовый струйный аппарат (варианты)
DE19812275B4 (de) 1998-03-20 2004-03-11 J. Schmalz Gmbh Transportvorrichtung
DE20011839U1 (de) 2000-07-07 2000-12-14 Festo Ag & Co Vakuumerzeugervorrichtung
KR20040011571A (ko) * 2004-01-09 2004-02-05 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 장치
KR100578540B1 (ko) * 2004-07-28 2006-05-15 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 펌프
KR100730323B1 (ko) 2007-03-15 2007-06-19 한국뉴매틱(주) 필터 카트리지를 이용한 진공 시스템
KR101424959B1 (ko) * 2014-04-08 2014-08-01 한국뉴매틱(주) 진공펌프
KR101472503B1 (ko) * 2014-04-24 2014-12-12 한국뉴매틱(주) 이젝터 어셈블리 및 진공펌프
KR20160027515A (ko) * 2014-09-01 2016-03-10 이우승 진공 이젝터 펌프
EP3236083B1 (en) * 2016-04-21 2018-12-12 Piab Ab Vacuum ejector device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100645273B1 (ko) 1999-02-26 2006-11-13 제렉스 에이비 진공 펌프 및 진공 펌프용 필터와 소음기 조립체
KR100629994B1 (ko) * 2005-12-30 2006-10-02 한국뉴매틱(주) 진공 이젝터 펌프
KR20160092041A (ko) * 2011-03-28 2016-08-03 가부시키가이샤 고가네이 이젝터
KR101251825B1 (ko) * 2011-09-06 2013-04-09 이우승 진공펌프
KR101610491B1 (ko) * 2014-08-19 2016-04-08 이우승 다단 연결형 진공 이젝터 펌프

Also Published As

Publication number Publication date
JP6839756B2 (ja) 2021-03-10
ES2836401T3 (es) 2021-06-25
CN109642586A (zh) 2019-04-16
US20190168153A1 (en) 2019-06-06
KR101699721B1 (ko) 2017-02-13
EP3508734A1 (en) 2019-07-10
US11103824B2 (en) 2021-08-31
EP3508734B1 (en) 2020-10-28
JP2019526740A (ja) 2019-09-19
CN109642586B (zh) 2020-05-12
EP3508734A4 (en) 2020-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017159986A1 (ko) 진공 펌프를 포함하는 진공 그리퍼 유닛
WO2018043900A1 (ko) 진공 펌프 및 그 어레이
WO2020013575A1 (ko) 집진설비 분진 배출 저감 시스템
WO2012134055A2 (ko) 진공 그리퍼 장치
WO2020149556A1 (ko) 기판 건조 챔버
WO2013162182A1 (ko) 인-라인 진공펌프
WO2021015519A1 (ko) 중공 흡입식 관형 필터를 이용한 환기 겸용 공기청정기
WO2011118862A1 (ko) 이중 원주형 슬릿 탈진공기 분사노즐 및 이를 이용한 여과집진장치 탈진시스템
WO2016163673A1 (ko) 공기청정기
WO2015199475A1 (ko) 차량용 에어클리너
WO2016208889A2 (en) Air purifier
WO2022030817A1 (ko) 진공 청소기와 도킹 스테이을 포함하는 청소 장치
WO2018117768A1 (ko) 청소기의 노즐
WO2015163630A1 (ko) 이젝터 어셈블리 및 진공펌프
WO2022092806A1 (ko) 선박 청소 장치의 필터링 시스템 및 방법
WO2018110911A1 (en) Cyclone dust collector and vacuum cleaner having the same
WO2017030263A1 (ko) 블로우 파이프의 구조를 개선한 집진기
WO2016208888A1 (en) Air purifier
WO2012093777A2 (ko) 퀵-릴리즈 진공펌프
WO2019103225A1 (ko) 흄후드
WO2018092995A1 (ko) 건설차량 청소용 공기 분사장치
WO2021256683A1 (ko) 진공 시스템용 에어-밸브 유닛
WO2013022163A1 (ko) 벤츄리 노즐과 이를 탑재한 집진장치용 필터 구조체
WO2020189892A1 (ko) 기판 건조 챔버
WO2022173108A1 (ko) 진공 청소기와 도킹 스테이션을 포함하는 청소 장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17846825

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2019511775

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017846825

Country of ref document: EP

Effective date: 20190401