JP2019526740A - 真空ポンプおよびそのアレイ - Google Patents
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- 230000003584 silencer Effects 0.000 claims description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
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- B01D46/70—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by acting counter-currently on the filtering surface, e.g. by flushing on the non-cake side of the filter
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- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
- F04F5/16—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
- F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
- B01D46/0005—Mounting of filtering elements within casings, housings or frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
- F04F5/46—Arrangements of nozzles
- F04F5/466—Arrangements of nozzles with a plurality of nozzles arranged in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
- F04F5/48—Control
- F04F5/52—Control of evacuating pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/54—Installations characterised by use of jet pumps, e.g. combinations of two or more jet pumps of different type
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2260/00—Function
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- F05B2260/601—Fluid transfer using an ejector or a jet pump
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Abstract
Description
本発明の目的は、エジェクタポンプの外側に同軸的に配置される円筒状のフィルタを含む真空ポンプ構造をベースにして、真空発生およびその破棄動作が行われるようにするとともに、真空発生過程でフィルタに付着した異物が真空破棄の過程で払われるように設計され、物品の移送過程で自然にフィルタの掃除が行われるようにした真空ポンプを提供することにある。
内部の真空チャンバ、および該真空チャンバから延びた側壁吸入ポートを有するハウジングと、前記真空チャンバの内部に軸方向に装着されるエジェクタポンプと、該エジェクタポンプの外側に同軸配置されるエアフィルタとを含む真空ポンプにおいて、
前記エジェクタポンプは、一端が流入口、他端が排出口であるパイプ型ポンプであって、側壁に設けられて前記真空チャンバとの疎通を可能にする通孔を含み、
前記エアフィルタは、多孔性の管状フィルタであり、
前記ハウジングは、個別圧縮空気供給ラインとして、第1供給路を介して前記エジェクタポンプの流入口に延びる真空ラインと、第2供給路を介して前記エジェクタポンプと前記エアフィルタとの間のギャップ(gap)に延びる破棄ラインとを含むことを特徴とする。
好ましくは、前記エアフィルタは、管状フィルタ本体と、前記本体を外部から支持するリブ連結型保形具を含み、
前記保形具は、エジェクタポンプの流入口側の外面に突設された環状内顎部と、該内顎部を貫通して設けられたホールとを含み、
前記破棄ラインは、第2供給路から前記ホールを介して前記ギャップへ延びることを特徴とする。
前記保形具の両端がそれぞれ前記エジェクタポンプの流入口側および排出口側の外面に嵌められて圧着される方法で、前記エジェクタポンプ上に固定されることを特徴とする
前記真空ポンプが複数備えられて並列に配列され、各真空ポンプのハウジングが一体に設けられた形態のアレイであって、
各真空ポンプの前記吸入ポートが隣接の真空ポンプの前記真空チャンバと疎通するように連結され、
各真空ポンプの第1供給路および第2供給路が隣接の真空ポンプの第1供給路および第2供給路にそれぞれ連結するように設計されたことを特徴とする。
また、本発明の真空ポンプによれば、前記真空ラインを介して供給および排出される圧縮空気によって、例えば吸着パッドの内部の空気が吸入ポート−エアフィルタ−真空チャンバ−エジェクタポンプを経由して排出されるとき、対象物の表面に付着している異物が前記エアフィルタの外側表面に付着するが、この付着異物は、前記破棄ラインを介して、逆方向、すなわち、真空チャンバ−エアフィルタ−吸入ポート−吸着パッド側へ供給される圧縮空気によって払われる。
また、好適な実施形態において、前記エアフィルタは、自らエジェクタポンプ上に固定される。よって、前記エアフィルタがエジェクタポンプとともに真空チャンバ内に装着されるか或いは真空チャンバから分離され得るという簡便な効果がある。
10a、10b 真空ポンプ
20 ハウジング
21 真空チャンバ
22 第1供給路
23 第2供給路
24 ギャップ
25、26 供給ポート
27 吸入ポート
28 開口
29 透明窓
30 エジェクタポンプ
31 流入口
32 排出口
33 通孔
34 ストッパ
40 エアフィルタ
41 本体
42 保形具
43 内顎部
44 ホール
50 閉止部材
51 吸音材
Claims (8)
- 内部の真空チャンバ(21)、および該真空チャンバから延びた側壁吸入ポート(27)を有するハウジング(20)と、前記真空チャンバの内部に軸方向に装着されるエジェクタポンプ(30)と、前記エジェクタポンプの外側に同軸配置されるエアフィルタ(40)とを含む真空ポンプにおいて、
前記エジェクタポンプ(30)は、一端が流入口(31)、他端が排出口(32)であるパイプ型ポンプであって、側壁に設けられて前記真空チャンバ(21)との疎通を可能にする通孔(33)を含み、
前記エアフィルタ(40)は、多孔性の管状フィルタであり、
前記ハウジング(20)は、個別圧縮空気供給ラインとして、第1供給路(22)を介して前記エジェクタポンプの前記流入口(31)に延びる真空ラインと、第2供給路(23)を介して前記エジェクタポンプ(30)と前記エアフィルタ(40)との間のギャップ(24)に延びる破棄ラインとを含むことを特徴とする、真空ポンプ。 - 前記真空ポンプは、
前記エジェクタポンプの前記排出口側の端部を収容しながら前記ハウジングの開口に結合され、前記真空チャンバ内に配置されたエジェクタポンプを軸方向に加圧固定する中空型閉止部材をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記閉止部材がサイレンサー(silencer)であることを特徴とする、請求項2に記載の真空ポンプ。
- 前記エアフィルタ(40)は、管状フィルタ本体(41)と、前記本体を外部から支持するリブ連結型保形具(42)とを含み、
前記保形具(42)は、前記エジェクタポンプ(30)の前記流入口(31)側の外面に突設された環状内顎部(43)と、該内顎部を貫通して設けられたホール(44)とを含み、
前記破棄ラインは、前記第2供給路(23)から前記ホール(44)を介して前記ギャップ(24)に延びることを特徴とする、 請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記エジェクタポンプ(30)は、前記流入口(31)側の外面に前記エアフィルタ(40)の内顎部(43)に対応する環状ストッパ(34)を備えることを特徴とする、請求項4に記載の真空ポンプ。
- 前記ハウジング(20)は、前記エアフィルタ(40)の状態を外部から肉眼で確認することができるように、側壁に設けられた少なくとも一つの透明窓(29)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記エアフィルタ(40)は、
前記保形具(42)の両端がそれぞれ前記エジェクタポンプ(30)の前記流入口(31)側および前記排出口(32)側の外面に嵌められて圧着される方法で、前記エジェクタポンプ(30)上に固定されることを特徴とする、請求項4に記載の真空ポンプ。 - 請求項1乃至7のいずれか一項の前記真空ポンプが複数備えられて並列に配列され、各真空ポンプの前記ハウジング(20)が一体に設けられた形態のアレイ(10)であって、
各真空ポンプの前記吸入ポート(27)が隣接の真空ポンプの前記真空チャンバ(21)と疎通するように連結され、
各真空ポンプの前記第1供給路(22)および前記第2供給路(23)が隣接の真空ポンプの前記第1供給路(22)および前記第2供給路(23)にそれぞれ連結されるように設計されたことを特徴とする、真空ポンプアレイ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160112330A KR101699721B1 (ko) | 2016-09-01 | 2016-09-01 | 진공 펌프 및 그 어레이 |
KR10-2016-0112330 | 2016-09-01 | ||
PCT/KR2017/007005 WO2018043900A1 (ko) | 2016-09-01 | 2017-07-03 | 진공 펌프 및 그 어레이 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019526740A true JP2019526740A (ja) | 2019-09-19 |
JP6839756B2 JP6839756B2 (ja) | 2021-03-10 |
Family
ID=58156006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019511775A Active JP6839756B2 (ja) | 2016-09-01 | 2017-07-03 | 真空ポンプおよびそのアレイ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11103824B2 (ja) |
EP (1) | EP3508734B1 (ja) |
JP (1) | JP6839756B2 (ja) |
KR (1) | KR101699721B1 (ja) |
CN (1) | CN109642586B (ja) |
ES (1) | ES2836401T3 (ja) |
WO (1) | WO2018043900A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101685998B1 (ko) * | 2016-09-21 | 2016-12-13 | (주)브이텍 | 프로파일을 이용한 진공 펌프 |
FR3100290B1 (fr) * | 2019-08-27 | 2023-02-10 | Coval | Dispositif fluidique pour prehension par le vide |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE427955B (sv) | 1980-05-21 | 1983-05-24 | Piab Ab | Multiejektor |
DE3025525A1 (de) | 1980-07-05 | 1982-01-28 | Jürgen 4477 Welver Volkmann | Ejektorvorrichtung |
US4790054A (en) | 1985-07-12 | 1988-12-13 | Nichols William O | Multi-stage venturi ejector and method of manufacture thereof |
US4759691A (en) | 1987-03-19 | 1988-07-26 | Kroupa Larry G | Compressed air driven vacuum pump assembly |
US4880358A (en) | 1988-06-20 | 1989-11-14 | Air-Vac Engineering Company, Inc. | Ultra-high vacuum force, low air consumption pumps |
JPH0448920A (ja) | 1990-06-18 | 1992-02-18 | Inax Corp | エゼクタ及び浄化装置 |
US5228839A (en) | 1991-05-24 | 1993-07-20 | Gast Manufacturing Corporation | Multistage ejector pump |
US5683227A (en) | 1993-03-31 | 1997-11-04 | Smc Corporation | Multistage ejector assembly |
RU2123616C1 (ru) * | 1997-10-29 | 1998-12-20 | Попов Сергей Анатольевич | Многосопловой жидкостно-газовый струйный аппарат (варианты) |
DE19812275B4 (de) | 1998-03-20 | 2004-03-11 | J. Schmalz Gmbh | Transportvorrichtung |
SE513991C2 (sv) * | 1999-02-26 | 2000-12-11 | Piab Ab | Filter för en vakuumpump av ejektortyp med ljuddämpare |
DE20011839U1 (de) | 2000-07-07 | 2000-12-14 | Festo Ag & Co | Vakuumerzeugervorrichtung |
KR20040011571A (ko) * | 2004-01-09 | 2004-02-05 | 한국뉴매틱(주) | 진공 이젝터 장치 |
KR100578540B1 (ko) * | 2004-07-28 | 2006-05-15 | 한국뉴매틱(주) | 진공 이젝터 펌프 |
KR100629994B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2006-10-02 | 한국뉴매틱(주) | 진공 이젝터 펌프 |
KR100730323B1 (ko) | 2007-03-15 | 2007-06-19 | 한국뉴매틱(주) | 필터 카트리지를 이용한 진공 시스템 |
CN103459855B (zh) * | 2011-03-28 | 2016-03-16 | 株式会社小金井 | 排出器 |
KR101251825B1 (ko) | 2011-09-06 | 2013-04-09 | 이우승 | 진공펌프 |
KR101424959B1 (ko) * | 2014-04-08 | 2014-08-01 | 한국뉴매틱(주) | 진공펌프 |
KR101472503B1 (ko) * | 2014-04-24 | 2014-12-12 | 한국뉴매틱(주) | 이젝터 어셈블리 및 진공펌프 |
KR101610491B1 (ko) * | 2014-08-19 | 2016-04-08 | 이우승 | 다단 연결형 진공 이젝터 펌프 |
KR20160027515A (ko) * | 2014-09-01 | 2016-03-10 | 이우승 | 진공 이젝터 펌프 |
EP3236083B1 (en) * | 2016-04-21 | 2018-12-12 | Piab Ab | Vacuum ejector device |
-
2016
- 2016-09-01 KR KR1020160112330A patent/KR101699721B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-07-03 EP EP17846825.2A patent/EP3508734B1/en active Active
- 2017-07-03 US US16/324,293 patent/US11103824B2/en active Active
- 2017-07-03 CN CN201780053213.2A patent/CN109642586B/zh active Active
- 2017-07-03 WO PCT/KR2017/007005 patent/WO2018043900A1/ko unknown
- 2017-07-03 JP JP2019511775A patent/JP6839756B2/ja active Active
- 2017-07-03 ES ES17846825T patent/ES2836401T3/es active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11103824B2 (en) | 2021-08-31 |
WO2018043900A1 (ko) | 2018-03-08 |
US20190168153A1 (en) | 2019-06-06 |
EP3508734B1 (en) | 2020-10-28 |
KR101699721B1 (ko) | 2017-02-13 |
EP3508734A1 (en) | 2019-07-10 |
EP3508734A4 (en) | 2020-02-12 |
CN109642586B (zh) | 2020-05-12 |
ES2836401T3 (es) | 2021-06-25 |
JP6839756B2 (ja) | 2021-03-10 |
CN109642586A (zh) | 2019-04-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A529 Effective date: 20190228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200407 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200617 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200903 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210119 |
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