ES2836401T3

ES2836401T3 - Bomba de vacío y disposiciones de estas

Info

Publication number: ES2836401T3
Application number: ES17846825T
Authority: ES
Inventors: Ho-Young Cho
Original assignee: VTec Corp
Current assignee: VTec Corp
Priority date: 2016-09-01
Filing date: 2017-07-03
Publication date: 2021-06-25
Anticipated expiration: 2037-07-03
Also published as: KR101699721B1; EP3508734B1; US20190168153A1; WO2018043900A1; US11103824B2; CN109642586B; EP3508734A1; JP2019526740A; EP3508734A4; JP6839756B2; CN109642586A

Abstract

Bomba de vacío que comprende: una carcasa (20) que tiene una cámara de vacío (21) interna y un puerto de succión (27) montado lateralmente que se extiende hasta la cámara de vacío (21); una bomba eyectora (30) montada para extenderse axialmente hacia la cámara de vacío (21); y un filtro de aire (40) dispuesto coaxialmente en una superficie externa de la bomba eyectora (30), donde la bomba eyectora (30) tiene un agujero de aire 33 formado en una pared lateral del mismo para comunicarse con la cámara de vacío (21), un primer extremo que sirve como un puerto de entrada (31), y un segundo extremo que sirve como un puerto de salida (32), el filtro de aire (40) es un filtro tubular poroso, y la carcasa (20) tiene, como dos líneas de suministro de aire comprimido separadas, una línea de creación de vacío que se extiende hasta el puerto de entrada (31) a través de una primera línea de suministro (22) y una línea de liberación de vacío que se extiende hasta un espacio entre la bomba eyectora (30) y el filtro de aire (40) a través de una segunda línea de suministro (23).

Description

DESCRIPCIÓN

Bomba de vacío y disposiciones de estas

Campo técnico

[0001] La presente invención se refiere a una bomba de vacío que funciona con aire comprimido de alta velocidad y se usa para generar un vacío o una presión negativa al agotar un espacio específico.

Estado de la técnica

[0002] Una bomba de vacío típica incluye una carcasa con una cámara de vacío formada en su interior, un puerto de succión formado en una región de un lado de la carcasa y configurado para comunicarse con la cámara de vacío, y una bomba eyectora proporcionada dentro o fuera de la carcasa y configurada para comunicarse con la cámara de vacío. Además, se proporciona una almohadilla de succión de adsorción para comunicarse con la cámara de vacío a través del puerto de succión.

[0003] Cuando se descarga aire comprimido de alta velocidad a través de una bomba eyectora con una almohadilla de adsorción que está en contacto con un objeto, el aire de la almohadilla de adsorción se extrae hacia la bomba eyectora a través del puerto de succión y la cámara de vacío y luego se descarga hacia el exterior de la bomba de vacío junto con el aire comprimido. Como resultado, se genera un vacío o una presión negativa en la almohadilla de adsorción. El objeto en contacto con la almohadilla de adsorción se adsorbe fuertemente sobre la superficie de la almohadilla de adsorción debido a la presión negativa generada, y el objeto adsorbido se transporta a un lugar objetivo predeterminado por, por ejemplo, un sistema de automatización.

[0004] Cuando se completa el transporte del objeto a la posición objetivo exacta, el vacío o la presión negativa se libera mediante el aire liberador de vacío que se suministra a la cámara de vacío, y luego la bomba de vacío se prepara para transferir el siguiente objeto.

[0005] En términos de cableado, una estructura en la que se proporciona una bomba eyectora dentro de una carcasa es ventajosa sobre una estructura en la que se proporciona una bomba eyectora fuera de una carcasa, porque la estructura anterior permite una estructura compacta de bomba de vacío. Un ejemplo de este tipo de una bomba de vacío se describe en la patente coreana n° 10-0645273, titulada "Vacuum Pump and Assembly of Vacuum Pump Filter and Silencer".

[0006] En referencia a la figura1, el ensamblaje 1 descrito incluye la carcasa 2 que tiene la cámara de vacío 3 formada en su interior, la bomba eyectora 4 montada para extenderse en una dirección (axial) longitudinal en la cámara de vacío 3, y el filtro de aire 5 poroso cilíndrico dispuesto coaxialmente fuera de la bomba eyectora 4. En la figura 1, la referencia numérica 6 denota un silenciador conectado a la salida de la bomba eyectora 4.

[0007] El ensamblaje 1 está configurado de tal manera que el aire en la almohadilla de adsorción (no mostrada) se introduzca en la bomba eyectora 4 y se purgue con aire comprimido de alta velocidad que pasa a través de la bomba eyectora 4 a través del puerto de succión 7 y la cámara de vacío 3, lo que da como resultado una presión negativa generada en la almohadilla de adsorción. El filtro de aire 5 filtra las materias extrañas contenidas en el aire que entra en la bomba eyectora 4, lo que evita que las materias extrañas entren en la bomba eyectora 4. Dado que existe una alta probabilidad de que las boquillas de la bomba eyectora 4 estén obstruidas debido a las materias extrañas desprendidas de la superficie de un objeto que se va a transportar por adsorción, el filtro de aire 5 se considera como uno de los componentes claves.

Divulgación

Problema técnico

[0008] Como se ha descrito anteriormente, el ensamblaje 1 tiene la ventaja de poder realizar una bomba de vacío compacta porque la bomba eyectora 4 y el filtro de aire 5 están dispuestos coaxialmente en la carcasa 2. Sin embargo, el ensamblaje 1 tiene el problema de que puede generar una presión de vacío pero no puede liberar la presión de vacío generada. Por lo tanto, en el caso de que este ensamblaje 1 se use junto con un sistema de transferencia de vacío, es necesario que funcione un medio de liberación de vacío adicional junto con el ensamblaje 1.

[0009] Por otro lado, las materias extrañas pueden adherirse a la superficie externa del filtro de aire 5 dependiendo del tipo y del tamaño de las materias extrañas, lo que da como resultado la obstrucción de los poros del filtro de aire 5. Cuando se produce la obstrucción, el filtro de aire 5 no puede funcionar de manera normal y no se puede obtener un vacío o una presión negativa deseados en la cámara de vacío 1. Por lo tanto, es necesario limpiar el filtro de aire periódicamente. Esto provoca el inconveniente de que todas las partes del ensamblaje 1 deben desmontarse para limpiar el filtro de aire y luego volver a montarse de nuevo después de la limpieza.

[0010] Sin embargo, las técnicas convencionales no logran proporcionar ninguna solución a estos problemas. La presente invención se ha realizado para resolver estos problemas que ocurren en la técnica relacionada.

[0011] Un objetivo de la presente invención es proporcionar una bomba de vacío que tenga una estructura en la que un filtro cilíndrico esté dispuesto coaxialmente fuera de una bomba eyectora, sea capaz de realizar una operación de creación de vacío y una operación de liberación de vacío, y esté diseñado de tal manera que las materias extrañas unidas a la superficie del filtro durante la operación de creación de vacío se desprendan del filtro durante la operación de liberación de vacío para que el filtro se pueda limpiar de forma natural en un proceso de transferencia de un objeto por medio de una transferencia de vacío.

[0012] Otro objetivo de la presente invención es proporcionar una disposición de bombas de vacío que incluya dos o más bombas de vacío conectadas en paralelo y configuradas para compartir una línea de suministro de aire comprimido de modo que la energía se pueda usar de forma eficaz.

Solución técnica

[0013] Según un aspecto de la presente invención, se proporciona una bomba de vacío que incluye:

una carcasa que tiene una cámara de vacío formada en su interior y un puerto de succión montado lateralmente que se extiende hacia la cámara de vacío; una bomba eyectora montada para extenderse en una dirección axial en la cámara de vacío; y un filtro de aire montado coaxialmente fuera de la bomba eyectora, donde la bomba eyectora es una bomba de tipo tubo que tiene una porción de extremo frontal como puerto de entrada y una porción de extremo posterior como puerto de salida, y tiene un agujero pasante formado en una pared lateral del mismo para comunicarse con la cámara de vacío,

el filtro de aire es un filtro tubular poroso, y

la carcasa tiene dos líneas de suministro de aire comprimido, una de las cuales es una línea de creación de vacío que se extiende hasta el puerto de entrada de la bomba eyectora a través de una primera línea de suministro y, la otra es una línea de liberación de vacío que se extiende hasta un espacio formado entre la bomba eyectora y el filtro de aire a través de una segunda línea de suministro.

[0014] Preferiblemente, la bomba de vacío puede incluir, además

un miembro de cierre hueco acoplado a una abertura de la carcasa para recibir la porción de extremo posterior que sirve como porción de salida de la bomba eyectora, que presiona axialmente la bomba eyectora dispuesta en la cámara de vacío de manera que la bomba eyectora esté fija para no moverse en la dirección axial.

[0015] Más preferiblemente, el miembro de cierre puede estar compuesto por un silenciador.

[0016] Preferiblemente,

el filtro de aire puede incluir un cuerpo de filtro tubular, y un miembro de refuerzo de conexión de nervaduras instalado sobre una superficie externa del cuerpo de filtro tubular para evitar la deformación del cuerpo de filtro tubular;

el miembro de refuerzo de conexión de nervadura incluye un saliente anular interno que sobresale hacia una superficie externa del puerto de entrada de la bomba eyectora, y un agujero formado para extenderse a través del saliente anular interno en la dirección axial; y

la línea de suministro de vacío se extiende hasta el espacio a través de la segunda línea de suministro y el agujero formado en el saliente anular interno.

[0017] Preferiblemente, el filtro de aire está

fijado en la superficie externa de la bomba eyectora de manera que los miembros de refuerzo se ajustan y presionan contra la superficie externa del puerto de entrada y la superficie externa del puerto de salida de la bomba eyectora.

[0018] Según otro aspecto de la presente invención, se proporciona una disposición de bombas de vacío que incluye:

dos o más bombas de vacío, cada una de las cuales es la bomba de vacío anteriormente descrita, donde las dos o más bombas de vacío están dispuestas en paralelo y las carcasas de las respectivas bombas de vacío están formadas integralmente,

el puerto de succión de cada una de las bombas de vacío está conectado para comunicarse con la cámara de vacío de una bomba de vacío adyacente de las bombas de vacío, y

la primera línea de suministro y la segunda línea de suministro de cada una de las bombas de vacío están conectadas a la primera línea de suministro y la segunda línea de suministro de la bomba de vacío adyacente, respectivamente.

Efectos ventajosos

[0019] La bomba de vacío de la presente invención se basa en una estructura de bomba de vacío compacta en la que están dispuestos coaxialmente una bomba eyectora y un filtro de aire. Además, la bomba de vacío está configurada para tener una línea de creación de vacío y una línea de liberación de vacío. Por lo tanto, la bomba de vacío según la presente invención se puede aplicar óptimamente en un sistema de transferencia de vacío.

[0020] Además, la bomba de vacío según la presente invención tiene una ventaja descrita a continuación. Cuando el aire contenido en la almohadilla de adsorción es purgado por el aire comprimido suministrado a través de la línea de creación de vacío, lo que significa una ruta de flujo de aire en el orden del filtro de aire, la cámara de vacío, y la bomba eyectora, las materias extrañas adheridas en la superficie de un objeto (aquí denominado objeto objetivo de transferencia) para transferirse por medio de transferencia de adsorción se separan del objeto objetivo de transferencia y se unen luego a la superficie externa del filtro de aire. A continuación, estas materias extrañas se separan y eliminan de la superficie del filtro de aire mediante el aire comprimido suministrado a la almohadilla de adsorción a través de la línea de liberación vacío que significa una ruta de flujo de aire en orden de la cámara de vacío, el filtro de aire, el puerto de succión y la almohadilla de adsorción.

[0021] Por lo tanto, el filtro de aire se limpia de forma natural mientras se repite continuamente un ciclo de la creación de vacío y la liberación de vacío en un sistema de transferencia de vacío.

[0022] Además, en la forma de realización preferida, el filtro de aire se autofija a la superficie externa de la bomba eyectora. Por lo tanto, es conveniente mantener o manipular la bomba de vacío porque el filtro de aire y la bomba eyectora se pueden montar o desmontar juntos en la cámara de vacío.

[0023] Las bombas de vacío según la presente invención se puede ensamblar juntas para formar una disposición de bombas de vacío en la que dos o más bombas de vacío anteriormente descritas están conectadas en paralelo y la primera línea de suministro y la segunda línea de suministro de cada una de las bombas de vacío están conectadas a la primera línea de suministro y la segunda línea de suministro de la siguiente bomba de vacío, respectivamente. La disposición de bombas de vacío tiene la ventaja de mejorar la eficiencia de utilización de energía y aumentar el rendimiento de creación de vacío.

Descripción de los dibujos

[0024]

La figura 1 es una vista en sección transversal de un ensamblaje de bomba de vacío según una técnica relacionada;

La figura 2 es una vista en perspectiva externa de una bomba de vacío según una forma de realización de la presente invención;

La figura 3 es una vista en sección transversal de la estructura de la figura 2;

La figura 4 es una vista despiezada parcial de la estructura de la figura 3;

La figura 5 es una vista que ilustra una operación de creación de vacío de la bomba de vacío según una forma de realización de la presente invención; y

La figura 6 es una vista que ilustra una operación de liberación de vacío de la bomba de vacío según una forma de realización de la presente invención.

[Explicación de números de referencia en los dibujos]

10. Disposición de bombas de vacío

10a.,10b. Bomba de vacío

20. Carcasa

21. Cámara de vacío 22. Primera línea de suministro

23. Segunda línea de suministro 24. Espacio

25.,26. Puerto de suministro 27. Puerto de succión 28. Abertura 29. Ventana transparente 30. Bomba eyectora

31. Puerto de salida 32. Puerto de entrada 33. Agujero de aire 34. Tapón

40. Filtro de aire

41. Cuerpo de filtro 42. Miembro de refuerzo 43. Saliente interno 44. Agujero

50. Miembro de cierre

51. Miembro de aislamiento acústico

Mejor modo

[0025] Las características y los efectos operativos de una bomba de vacío y una disposición de bombas de vacío que no se describen anteriormente serán evidentes a partir de las siguientes formas de realización descritas en detalle a continuación con referencia a los dibujos adjuntos. En la figura 2, las bombas de vacío según una forma de realización de la presente invención se indican con los números de referencia "10a" y "10b", y una disposición de bombas de vacío con las bombas de vacío 10a y 10b se indica con el número de referencia "10".

[0026] En referencia a las figuras 2 a 4, cada una de las bombas de vacío 10a y 10b según una forma de realización de la presente invención incluye una carcasa 20 con una cámara de vacío 21 formada en su interior y un puerto de succión 27 montado lateralmente que se extiende hasta la cámara de vacío 21. Cada una de las bombas de vacío 10a y 10b incluye además una bomba eyectora 30 de tipo tubo montada para extenderse en una dirección axial X-X en la cámara de vacío 21 y un filtro de aire tubular 40 dispuesto coaxialmente fuera de la bomba eyectora 30. El carácter de referencia "B" denota un soporte para acoplar las bombas de vacío 10a y 10b o la disposición de bombas de vacío 10 a un sistema de transferencia de vacío.

[0027] Aquí, la carcasa 20 tiene dos líneas de suministro de aire comprimido provistas en el lado frontal de la misma y separadas entre sí. Una de ellas es una línea de creación de vacío que se extiende hasta un puerto de entrada 31 de la bomba eyectora 30 a través de una primera línea de suministro 22 y la otra es una línea de liberación de vacío que se extiende hasta un espacio 24 provisto entre la bomba eyectora 30 y el filtro de aire 40 a través de una segunda línea de suministro 23.

[0028] La razón por la que la línea de liberación de vacío se extiende hacia y a través del espacio 24 provisto entre la bomba eyectora 30 y el filtro de aire 40 es que se considera la mejor forma de impartir una función de liberación de vacío y una función de limpieza de filtro a la estructura de cada una de las bombas de vacío 10a y 10b coaxiales según la presente invención. Al menos una ventana transparente 29 está formada preferiblemente en una región de la pared lateral de la carcasa 20 de modo que el filtro de aire 40 pueda comprobarse visualmente en busca de un estado contaminado o limpio.

[0029] En los dibujos, los números de referencia 25 y 26 indican puertos de suministro de aire comprimido para la creación de vacío y la liberación de vacío, respectivamente. Los puertos de suministro de aire comprimido 25 y 26 son compartidos por cada una de las bombas de vacío 10a y 10b provistas en la disposición de bombas de vacío 10. Aunque no se ilustra, cuando las bombas de vacío 10a y 10b se proporcionan como bombas de vacío discretas, los extremos externos de la primera línea de suministro 22 y la segunda línea de suministro 23 sirven como puertos de suministro de aire comprimido para la creación de vacío y la liberación de vacío. Por otro lado, el número de referencia 27 denota un puerto de succión provisto en una región de la pared lateral de la carcasa 20. Un elemento, tal y como una almohadilla de adsorción, está conectado al puerto de succión para comunicarse con la cámara de vacío 21 a través del puerto de succión.

[0030] La bomba eyectora 30 es una bomba de tipo tubo general que tiene un primer extremo abierto (es decir, extremo frontal) que sirve como un puerto de entrada de aire comprimido 31, un segundo extremo abierto (es decir, extremo posterior) que sirve como un puerto de salida de aire comprimido 32, y una pluralidad de agujeros de aire 33 formados en la pared lateral del mismo y dispuestos a lo largo de una dirección axial de modo que la bomba eyectora 30 pueda comunicarse con la cámara de vacío 21 a través de los agujeros de aire 33. La bomba eyectora 30 incluye una pluralidad de boquillas dispuestas en serie dentro de la misma y además incluye válvulas de retención dispuestas para corresponder a los respectivos agujeros pasantes 33. Las válvulas de retención se abren y cierran por la presión de un flujo de aire.

[0031] Específicamente, la bomba eyectora 30 se inserta en el espacio interno de la cámara de vacío 21 a través de una abertura trasera 28 de la carcasa 20 de su puerto de entrada (es decir, extremo frontal) de la misma. Después de insertarse, la bomba eyectora 30 se fija de manera que el puerto de entrada 31 de la bomba eyectora 30 se inserte en una porción final de la primera línea de suministro 22. Un miembro de cierre 50 hueco recibe el puerto de salida 32 de la bomba eyectora 30 y se acopla a la abertura trasera 28 de la carcasa 20 de manera atornillada mientras presiona la bomba eyectora 30 en una dirección axial X-X. Por consiguiente, la bomba eyectora 30 se fija en la cámara de vacío 21 para no moverse en la dirección axial X-X.

[0032] En la presente forma de realización, el miembro de cierre 50 es un silenciador con un miembro de absorción de sonido 51 cilíndrico dispuesto en su interior.

[0033] El filtro de aire 40 es un filtro tubular poroso. Específicamente, el filtro de aire 40 incluye un cuerpo de filtro 41 de malla o no tejido hecho de un metal o una resina, y miembros de refuerzo 42 de conexión de nervadura provistos en la superficie circunferencial externa del cuerpo de filtro 41 y dispuestos en la dirección axial. El miembro de refuerzo 42 de conexión de nervadura evita la deformación del filtro de aire 40 al soportar la carga aplicada externamente al filtro de aire 40. Además, el filtro de aire 40 incluye un saliente interno 43 anular provisto en un extremo del mismo. El saliente interno anular 43 sobresale hacia adentro, es decir, hacia la superficie externa del puerto de entrada de la bomba eyectora 32 dispuesta dentro del filtro de aire 40. El saliente interno anular (es decir, un borde interno) está provisto de una pluralidad de agujeros 44, donde cada uno se extiende a través del saliente interno en la dirección axial del filtro de aire 40. En esta estructura, la línea de liberación de vacío se extiende a través de la segunda línea de suministro 23, el agujero 44, y el espacio 24 dispuestos en este orden.

[0034] Por un lado, el saliente interno 43 y el agujero 44 se consideran los elementos óptimos que no interfieren con la línea de liberación de vacío mientras mantienen el espacio entre la bomba eyectora 30 y el filtro de aire 40 que están dispuestos coaxialmente. Sin embargo, la presente invención no está limitada a ello. Serán posibles otros varios diseños que pueden mantener el filtro de aire 40 de forma estable en la cámara de vacío 21.

[0035] En la presente forma de realización, los miembros de refuerzo 42 se colocan sobre la superficie externa del filtro de aire 40 en posiciones cercanas a los respectivos extremos del filtro de aire 40, por lo que presionan las porciones finales del filtro de aire 40 hacia la superficie externa de la bomba eyectora 30 en posiciones cercanas al puerto de entrada 31 y el puerto de salida 32, respectivamente. De esta manera, el filtro de aire 40 se puede fijar a la bomba eyectora 30 para no que sea fácilmente separable. Alternativamente, el filtro de aire 40 se puede diseñar de manera que se fije a la bomba eyectora 30 mediante el miembro de cierre 50 provisto en el extremo posterior de la bomba eyectora 30. Sin embargo, la estructura de acoplamiento que usa los miembros de refuerzo es ventajosa en términos de que el filtro de aire 40 se puede ensamblar fácil y convenientemente con la bomba eyectora 30 solo colocando los miembros de refuerzo en la superficie externa del filtro de aire 40.

[0036] Específicamente, el filtro de aire 40 está configurado de tal que el saliente interno 43 de un extremo del miembro de refuerzo 42 esté situado para corresponder a un tapón 34 anular provisto en la superficie externa del puerto de entrada 31 de la bomba eyectora 30, y la superficie interna del otro extremo del miembro de refuerzo 42 se prense contra la superficie externa del puerto de entrada 31 de la bomba eyectora 30. De esta manera, el filtro de aire 40 se fija a la superficie externa de la bomba eyectora 30. El filtro de aire 40 y la bomba eyectora 30 se pueden ensamblar de forma preliminar y luego montarse juntos en la cámara de vacío 21 en el momento de ensamblar la bomba de vacío y se pueden extraer juntos de la carcasa 20 en el momento de desmontar la bomba de vacío.

[0037] Esta estructura de acoplamiento del filtro de aire 40 y la bomba eyectora 30, que se describe anteriormente, permite que el filtro de aire 40 se monte y se extraiga fácilmente de la carcasa debido al espacio 24 provisto entre la bomba eyectora 30 y la cámara de vacío 21. Por otro lado, diseñar la línea de liberación de vacío que usa el filtro de aire 140 se considera una forma eficaz en términos de que es posible mantener estable la línea de liberación de vacío.

[0038] En una forma de realización de la presente invención, se construye una disposición de bombas de vacío 10 usando dos o más bombas de vacío 10a y 10b configuradas, como se ha descrito anteriormente. Específicamente, las dos o más bombas de vacío 10a y 10b están dispuestas en paralelo. En este caso, las carcasas 20 de las bombas de vacío 10a y 10b están formadas integralmente. Es decir, se proporcionan dos ensamblajes, donde cada uno incluye el filtro de aire y la bomba eyectora, en una carcasa. Particularmente, en la disposición de bombas de vacío 10, el puerto de succión 27 de una bomba de vacío 10b está conectado para comunicarse con la cámara de vacío 21 de la bomba de vacío 10a adyacente, y la primera línea de suministro 22 y la segunda línea de suministro 23 de la bomba de vacío 10b están conectadas a la primera línea de suministro 22 y la segunda línea de suministro 23 de la bomba de vacío 10a adyacente, respectivamente.

[0039] Es decir, el aire comprimido suministrado al puerto de suministro 25 de la línea de creación de vacío se divide para fluir hacia las bombas eyectoras 30 de las bombas de vacío 10a y 10b a través de la primera línea de suministro 22 y la línea de creación de vacío, y el aire comprimido suministrado al puerto de suministro 26 de la línea de liberación de vacío se divide para fluir hacia los espacios 24 de las bombas de vacío 10a y 10b a través de la segunda línea de suministro 23 y la línea de liberación de vacío. Esta disposición de bombas de vacío 10 está acoplada a un sistema de transferencia de vacío mediante un soporte B. En este caso, el aire comprimido se suministra selectivamente a una de las aberturas de suministro 25 y 26 según sea necesario, por ejemplo, dependiendo de si se necesita la creación de vacío o la liberación de vacío.

[0040] En referencia a la figura 5, el aire comprimido (flecha (1)) suministrado al puerto de suministro 25 fluye a lo largo de la línea de creación de vacío (flecha (2)). La línea de creación de vacío es una ruta de flujo de aire que pasa consecutivamente a través de la primera línea de suministro 22 y las aberturas de entrada 31 de las bombas eyectoras 30 de las bombas de vacío 10a y 10b. Este aire comprimido pasa a través de las bombas eyectoras 30 a alta velocidad y se descarga al exterior a través del puerto de descarga 32 (flecha (3)). En este caso, el aire en el espacio interno de la almohadilla de adsorción (no mostrada) conectada al puerto de succión 27 es filtrado por el filtro de aire 40, luego se introduce en las bombas eyectoras 30 a través de los agujeros de aire 33 en un estado purificado, y finalmente se descarga al exterior junto con el aire comprimido (flecha (4)).

[0041] En este proceso, se genera un vacío o una presión negativa en la cámara de vacío 21 y el espacio interno de la almohadilla de adsorción, y se usa el vacío o la presión negativa generados, por ejemplo, para la transferencia-adsorción de un objeto objetivo de transferencia adsorbido hacia la almohadilla de adsorción. Por otro lado, en el proceso indicado por la flecha (4), las materias extrañas que se adhieren a la superficie del objeto objetivo de transferencia se separan de la superficie del objeto objetivo de transferencia y se filtran luego mediante el filtro de aire 40. Durante este proceso, las materias extrañas se unen a la superficie del filtro de aire 40.

[0042] En referencia a la figura 6, el aire comprimido (flecha (5)) suministrado al puerto de suministro 26 fluye a lo largo de la línea de liberación de vacío (flecha (6)). Esto significa que el aire comprimido pasa a través de la segunda línea de suministro 23, luego a través de los agujeros 44 del borde interno del filtro de aire 40 de cada una de las bombas de vacío 10a y 10b, y fluye axialmente a lo largo del espacio 24 provisto entre la bomba eyectora 30 y el filtro de aire 40. El aire comprimido se suministra continuamente (flecha 7) al espacio interno de la almohadilla de adsorción en el que se encuentra el vacío o la presión negativa.

[0043] En este proceso, se libera el vacío o la presión negativa formados en la cámara de vacío 21 y el espacio interno de la almohadilla de adsorción, y el objeto objetivo de transferencia adsorbido sobre la almohadilla de adsorción se separa de la almohadilla de adsorción. A continuación, la disposición de bombas de vacío 10 se prepara para la transferencia del siguiente objeto que se va a transferir.

[0044] Por otro lado, en el proceso indicado por la flecha (7), el aire comprimido se suministra en la dirección inversa a la dirección (flecha (4)) en la que se unen las materias extrañas a la superficie del filtro de aire 40. Por lo tanto, las materias extrañas D unidas a la superficie del filtro de aire 40 se separan y eliminan mediante el flujo de aire. A través de esta operación, es decir, mientras la creación de vacío y la liberación de vacío se realizan de forma alternativa y reiterada, el filtro de aire 40 se limpia de forma natural sin trabajo de mantenimiento adicional de desmontar la bomba de vacío, limpiar el filtro de aire y volver a montar la bomba de vacío.

[0045] En este caso, el estado contaminado o el estado limpiado del filtro de aire 40 se puede controlar visualmente desde el exterior a través de la ventana transparente 29 formada en una región de la pared lateral de la carcasa 20. Por lo tanto, incluso sin desmontar las bombas de vacío 10a y 10b, es posible controlar fácilmente cómo está contaminando gravemente el filtro de aire 40, si es el momento de reemplazar el filtro de aire 40, y si la operación de limpieza se realiza de forma normal.

[0046] Aunque las operaciones de creación y liberación de vacío realizadas en la disposición de bombas de vacío 10 se han descrito con referencia a las figuras 5 y 6, esta operación también se puede realizar incluso en un caso en el que las bombas de vacío 10a y 10b se implementen como bombas de vacío discretas. Sin embargo, la disposición de bombas de vacío 10 en la que se ensamblan dos bombas de vacío es ventajosa sobre dos bombas de vacío 10a y 10b discretas en términos de duplicar la eficiencia de creación de vacío mientras se consume sustancialmente la misma cantidad de energía.

Claims

REIVINDICACIONES

1. Bomba de vacío que comprende:

una carcasa (20) que tiene una cámara de vacío (21) interna y un puerto de succión (27) montado lateralmente que se extiende hasta la cámara de vacío (21);

una bomba eyectora (30) montada para extenderse axialmente hacia la cámara de vacío (21); y

un filtro de aire (40) dispuesto coaxialmente en una superficie externa de la bomba eyectora (30), donde la bomba eyectora (30) tiene un agujero de aire 33 formado en una pared lateral del mismo para comunicarse con la cámara de vacío (21), un primer extremo que sirve como un puerto de entrada (31), y un segundo extremo que sirve como un puerto de salida (32),

el filtro de aire (40) es un filtro tubular poroso, y

la carcasa (20) tiene, como dos líneas de suministro de aire comprimido separadas, una línea de creación de vacío que se extiende hasta el puerto de entrada (31) a través de una primera línea de suministro (22) y una línea de liberación de vacío que se extiende hasta un espacio entre la bomba eyectora (30) y el filtro de aire (40) a través de una segunda línea de suministro (23).

2. Bomba de vacío según la reivindicación 1, que comprende, además: un miembro de cierre hueco acoplado a una abertura de la carcasa para recibir un extremo del lado del puerto de salida de la bomba eyectora, por lo que presiona y fija axialmente la bomba eyectora dispuesta en la cámara de vacío.

3. Bomba de vacío según la reivindicación 2, donde el miembro de cierre (50) es un silenciador.

4. Bomba de vacío según la reivindicación 1,

donde el filtro de aire (40) incluye un cuerpo de filtro (41) tubular y un miembro de refuerzo (42) de conexión de nervadura provisto en una superficie externa del cuerpo de filtro (41) tubular para sostener una carga externamente aplicada al filtro de aire (40),

el miembro de refuerzo (42) incluye un saliente interno anular (43) que sobresale hacia la superficie externa del puerto de entrada (31) de la bomba eyectora (30) y un agujero (44) que se extiende a través del saliente interno (43), y

la línea de liberación de vacío se extiende hasta el espacio (24) a través de la segunda línea de suministro (23) y el agujero (44).

5. Bomba de vacío según la reivindicación 4, donde la bomba eyectora (30) incluye un tapón (34) anular dispuesto en la superficie externa del puerto de entrada (31) y que corresponde con el saliente interno (43) del filtro de aire (40).

6. Bomba de vacío según la reivindicación 1, donde la carcasa (20) está provista de una o más ventanas transparentes (29) formadas a través de la pared lateral de la misma para permitir que un estado del filtro de aire (40) sea controlado visualmente desde el exterior.

7. Bomba de vacío según la reivindicación 4, donde el filtro de aire está montado de manera fija sobre la superficie externa de la bomba eyectora (30) de manera que ambos extremos del miembro de refuerzo (42) se presionan contra el puerto de entrada (31) y el puerto de salida (32) de la bomba eyectora (30), respectivamente.

8. Una disposición de bombas de vacío (10) que comprende:

dos o más bombas de vacío según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, donde las bombas de vacío están dispuestas en paralelo y colocadas en una carcasa (20) integrada,

donde el puerto de succión (27) de cada una de las bombas de vacío está conectado para comunicarse con la cámara de vacío (21) de una bomba de vacío adyacente de las bombas de vacío,

la primera línea de suministro (22) y la segunda línea de suministro (23) de cada una de las bombas de vacío están conectadas a la primera línea de suministro (22) y la segunda línea de suministro (23) de la bomba de vacío (30) adyacente, respectivamente.