JP2014208899A - 蒸着マスク、蒸着マスク準備体、蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スリット15が設けられた金属マスク10と、スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25が設けられた樹脂マスク20とが積層され、金属マスク10は、スリット15が設けられている一般領域10aと、当該一般領域よりも厚肉な厚肉領域10bとを有している。
【選択図】図1
Description
樹脂マスク20は、樹脂から構成され、図1(b)に示すように、スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25が設けられている。なお、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、当該蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機EL素子の有機層の形成に用いる場合には、当該有機層の形状である。また、図示する形態では、開口部が縦横に複数列配置された例を挙げて説明をしているが、開口部25は、スリット15と重なる位置に設けられていればよく、スリット15が、縦方向、或いは横方向に1列のみ配置されている場合には、当該1列のスリット15と重なる位置に開口部25が設けられていればよい。
金属マスク10は、金属から構成され、該金属マスク10の正面からみたときに、開口部25と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク20に配置された全ての開口部25がみえる位置に、縦方向或いは横方向に延びるスリット15が複数列配置されている。なお、このことは、本発明における金属マスク10のスリット15が、全ての開口部25がみえる位置に配置されていることを限定するものではなく、開口部25の一部がみえないようにスリット15が配置されていてもよい。なお、図1(b)、図2〜図4では、金属マスク10の縦方向に延びるスリット15が横方向に連続して配置されている。また、本発明では、スリット15が縦方向、或いは横方向に延びるスリット15が複数列配置された例を挙げて説明をしているが、スリット15は、縦方向、或いは横方向に1列のみ配置されていてもよい。また、スリット15が横方向に複数列配置される場合において、当該複数列配置されたスリット15の一部は、図15に示すように、開口部25と重ならない位置に配置されていてもよい。なお、図15では、開口部25と重ならないスリットの横方向の幅が、開口部25と重なるスリットの横方向の幅よりも狭くなっているが、開口部25と重ならないスリット15の横方向の幅は、開口部25と重なるスリットの横方向の幅と同じ幅であってもよく、幅広であってもよい。また、開口部と重ならないスリット15は、図15に示すように複数列配置されていてもよく、横方向に一列のみ配置されていてもよい。また、図示しないが、開口部15と重ならないスリット15は、一般領域10aと、厚肉領域10bの境界をまたぐように設けられていてもよい。或いは、厚肉領域10b内に設けられていてもよい。
次に、本発明の一実施形態の蒸着マスクの製造方法について説明する。本発明の一実施形態の蒸着マスク100の製造方法は、図16に示すように、スリット15が設けられた金属マスク10と、樹脂板30とを貼り合わせる工程(図16(a)参照)と、金属マスク側からレーザーを照射し(図16(b)参照)、前記樹脂板30に蒸着作製するパターンに対応した開口部を形成する工程(図16(c)参照)とを有し、金属マスク10として、スリット15が設けられている一般領域10aと、当該一般領域10aよりも厚肉な厚肉領域10bとを有している金属マスクが用いられることを特徴とする。以下、本発明の一実施形態の蒸着マスクの製造方法について具体的に説明する。
図16(a)に示す、スリットが設けられた金属マスク10と樹脂板30とを貼り合わせた積層体を準備するにあたり、まず、スリットが設けられた金属マスクを準備する。本発明では、ここで準備される金属マスク10が、上記本発明の一実施形態の蒸着マスク100で説明した、一般領域10aと、厚肉領域10bとを有する金属マスク10が用いられる。以下、スリット15が設けられ、一般領域10aと、厚肉領域10bとを有する金属マスク10の好ましい形成方法の一例について説明する。
当該工程は、本発明の一実施形態の製造方法における任意の工程であるが、完成した蒸着マスクをフレームに固定するのではなく、フレームに固定された状態の樹脂板に対し、後から開口部を設けているので、位置精度を格段に向上せしめることができる。なお、完成した蒸着マスク100をフレームに固定する場合には、開口が決定された金属マスクをフレームに対して引っ張りながら固定するために、本工程を有する場合と比較して、開口位置座標精度は低下することとなる。
次に、図16(b)に示すように、金属マスク10側からスリット15を通してレーザーを照射し、前記樹脂板30に蒸着作製するパターンに対応した開口部25を形成し、樹脂マスク20とする。ここで用いるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。これにより、図16(c)に示すような、本発明の一実施形態の蒸着マスク100を得る。
次に、本発明の一実施形態の蒸着マスク準備体について説明する。本発明の一実施形態の蒸着マスク準備体は、スリットが設けられた金属マスクと、スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体であって、樹脂板の一方の面上にスリットが設けられた金属マスクが積層されてなり、金属マスクは、スリットが設けられている一般領域と、当該一般領域よりも厚肉な厚肉領域とを有していることを特徴としている。
本発明の一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程を有し、当該有機半導体素子を製造する工程において、以下で説明するフレーム付き蒸着マスクが用いられる点に特徴を有する。
10a…一般領域
10b…厚肉領域
15…スリット
18…ブリッジ
20…樹脂マスク
25…開口部
60…金属フレーム
100…蒸着マスク
200…フレーム付き蒸着マスク
Claims (7)
- スリットが設けられた金属マスクと、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクとが積層され、
前記金属マスクは、前記スリットが設けられている一般領域と、当該一般領域よりも厚肉な厚肉領域とを有していることを特徴とする蒸着マスク。 - 前記一般領域の厚みが、5μm以上25μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスク。
- スリットが設けられた金属マスクと、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体であって、
樹脂板の一方の面上にスリットが設けられた金属マスクが積層されてなり、
前記金属マスクは、前記スリットが設けられている一般領域と、当該一般領域よりも厚肉な厚肉領域とを有していることを特徴とする蒸着マスク準備体。 - 蒸着マスクの製造方法であって、
スリットが設けられた金属マスクと、樹脂板とを貼り合わせる工程と、
前記金属マスク側からレーザーを照射し、前記樹脂板に蒸着作製するパターンに対応した開口部を形成する工程と、
を備え、
前記金属マスクとして、前記スリットが設けられている一般領域と、当該一般領域よりも厚肉な厚肉領域とを有している金属マスクが用いられることを特徴とする蒸着マスクの製造方法。 - 前記金属マスクが、
金属板の前記厚肉領域となる部分をマスキングし、当該金属板のマスキングがされていない領域をスリミング加工することで、前記一般領域を形成する工程と、
前記一般領域内に、前記スリットを形成する工程と、
によって得られる金属マスクであることを特徴とする請求項4に記載の蒸着マスクの製造方法。 - フレーム上に、前記樹脂板が貼り合わされた金属マスクを固定した後に、前記金属マスク側からレーザーを照射し、前記樹脂板に蒸着作製するパターンに対応した開口部を形成する工程が行われることを特徴とする請求項4又は5に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 有機半導体素子の製造方法であって、
フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
前記蒸着パターンを形成する工程において、前記フレームに固定される前記蒸着マスクが、
スリットが設けられた金属マスクと、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクとが積層され、前記金属マスクは、前記スリットが設けられている一般領域と、当該一般領域よりも厚肉な厚肉領域とを有していることを特徴とする有機半導体素子の製造方法。
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