JP6543000B1 - 蒸着マスク、その製造方法及び有機el表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の態様1に係る蒸着マスクは、表示パネルの1画素を構成する第1サブ画素を形成するための第1開口が一定周期で配列された第1開口パターン、前記1画素を構成する第2サブ画素を形成するための第2開口が前記一定周期で配列された第2開口パターン、及び前記1画素を構成する第3サブ画素を形成するための第3開口が前記一定周期で配列された第3開口パターンの少なくとも1つの開口パターンを有する樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムと接合され、前記樹脂フィルムの前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口のいずれも包含し得るように形成された第4開口の開口パターンを有する金属支持層と、を備え、前記樹脂フィルムの前記金属支持層の前記第4開口によって露出した領域に、前記樹脂フィルムの前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口のいずれか1又は2の開口が形成されている、ことを特徴としている。
10G 蒸着マスク(G画素用)
10B 蒸着マスク(B画素用)
11 樹脂フィルム
11a1 樹脂フィルムの開口
11a2 樹脂フィルムの開口
11a3 樹脂フィルムの開口
12 金属支持層
12a 金属支持層の開口
15 支持基板
20R 蒸着マスク(R画素用)
20G 蒸着マスク(G画素用)
20B 蒸着マスク(B画素用)
21 樹脂フィルム
21a1 樹脂フィルムの開口
21a2 樹脂フィルムの開口
21a3 樹脂フィルムの開口
22 金属支持層
22a 金属支持層の開口
31R 有機材料
41 レーザ用マスク
41a レーザ用マスクの開口
51 装置基板
52 第1電極
54R 有機層の積層膜(R画素)
54G 有機層の積層膜(G画素)
54B 有機層の積層膜(B画素)
55 第2電極
61 装置基板
64R 有機層の積層膜(R画素)
64G 有機層の積層膜(G画素)
64B 有機層の積層膜(B画素)
P 1画素
L1 レーザ光
L2 レーザ光
Claims (13)
- 表示パネルの1画素を構成する第1サブ画素を形成するための第1開口が一定周期で配列された第1開口パターン、前記1画素を構成する第2サブ画素を形成するための第2開口が前記一定周期で配列された第2開口パターン、及び前記1画素を構成する第3サブ画素を形成するための第3開口が前記一定周期で配列された第3開口パターンの少なくとも1つの開口パターンを有する樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムと接合され、前記樹脂フィルムの前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口のいずれも包含し得るように形成された第4開口の開口パターンを有する金属支持層と、を備え、
前記樹脂フィルムの前記金属支持層の前記第4開口によって露出した領域に、前記樹脂フィルムの前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口のいずれか1又は2の開口が形成されており、
前記第4開口の平面形状が、四角形状又は菱形形状であり、
前記第4開口の角部が、曲率半径1μm以上、5μm以下の弧形に形成されている、蒸着マスク。 - 前記1画素を構成する前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口の配置を1単位として、前記第4開口が1単位以上で10単位以下を包含するように形成されている、請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記表示パネルの前記1画素の前記第1サブ画素、前記第2サブ画素、及び前記第3サブ画素の少なくとも1つが、前記第4開口によって露出した前記樹脂フィルムに2個以上形成されている、請求項1又は2に記載の蒸着マスク。
- 複数の支持基板のそれぞれの上に樹脂フィルムを形成する工程と、
複数の前記樹脂フィルムのそれぞれの上に第4開口の開口パターンを有する金属支持層を形成する工程と、
前記第4開口によって露出した複数の前記樹脂フィルムのそれぞれにレーザ光を照射することによって、表示パネルの1画素を構成する第1サブ画素、第2サブ画素、及び第3サブ画素をそれぞれ形成するための第1開口、第2開口、及び第3開口の1又は2の開口パターンのいずれかを形成する工程と、
前記複数の支持基板のそれぞれと前記樹脂フィルムとの接合部に紫外光の照射後、前記樹脂フィルムと前記金属支持層とを前記複数の支持基板のそれぞれから剥離する工程と、を備え、
前記金属支持層の前記第4開口を、前記樹脂フィルムの前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口のいずれも包含し得るように形成し、
前記紫外光の照射を、線状光源を用いて、前記複数の支持基板のそれぞれの一端から他端に向かって走査すると共に、前記線状光源の走査に伴って前記線状光源によって照射される領域の前記金属支持層の金属の量に応じて前記線状光源の強度を調整しながら前記線状光源の走査を行い、かつ、前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口の1又は2のいずれの開口パターンを有する樹脂フィルムの場合でも、前記線状光源の照射条件を同じにして行う、
蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂フィルムの形成を、前記複数の支持基板のそれぞれの上に液状樹脂を滴下した後、滴下した液状樹脂を硬化させることによって、前記支持基板との間に気泡を巻き込まない前記樹脂フィルムを形成すると共に、前記樹脂フィルムと前記支持基板との間に短波長光吸収層を形成することで行う、請求項4に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記金属支持層の形成を、前記樹脂フィルムの上に金属層を形成した後、前記金属層をパターニングして前記第4開口の開口パターンを形成することで行う、請求項4又は5に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記金属支持層の形成を、前記第4開口の開口パターンを形成した金属箔を前記樹脂フィルムに貼付することで行う、請求項4又は5に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口の形成を、レーザ用マスクの開口を介してレーザ光を照射することで行う、請求項4〜7のいずれか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記1画素を構成する前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口の配置を1単位として、前記第4開口を1単位以上で10単位以下を包含するように形成する、請求項4〜8のいずれか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記第4開口の平面形状を、四角形状又は菱形形状にする、請求項4〜9のいずれか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記第4開口の角部を、曲率半径1μm以上、5μm以下の弧形に形成する、請求項10に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記表示パネルの前記1画素の前記第1サブ画素、前記第2サブ画素、及び前記第3サブ画素の少なくとも1つを、前記第4開口によって露出した前記樹脂フィルムに2個以上で形成する、請求項4〜11のいずれか1項に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 装置基板上にTFT及び第1電極を少なくとも形成する工程と、
前記装置基板の表面に蒸着マスクを用いて有機材料を蒸着することによって有機層の積層膜を形成する工程と、
前記積層膜の上に第2電極を形成する工程と
を含み、
前記蒸着マスクを請求項4〜12のいずれか1項に記載の方法によって形成する、
有機EL表示装置の製造方法。
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