JP6466589B2 - 微細パターンを有する樹脂フィルムの製造方法および有機el表示装置の製造方法ならびに微細パターン形成用基材フィルムとサポート部材付き樹脂フィルム - Google Patents
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Description
1a 基材フィルム
1b サポート部材付き樹脂フィルム
2 サポート部材
3 微細パターン
4 枠体
5 スロットダイ
10 蒸着マスク
11 樹脂塗布膜
11a 樹脂材料
12 樹脂焼成膜
13 短波長光吸収層
51 基板
52 第1電極
53 絶縁バンク
54 有機材料
55 有機層
56 第2電極
57 保護膜
61 回折格子
62 反射防止膜
Claims (12)
- サポート部材上に液状の樹脂材料を塗布することで樹脂塗布膜を形成し、
前記樹脂塗布膜の温度を400℃以上、500℃以下に上昇させることで、前記樹脂塗布膜を硬化させると共に前記サポート部材との界面に短波長光吸収層を形成した前記樹脂塗布膜の硬化膜である樹脂焼成膜を形成し、
前記サポート部材に100nm以上の幅または長さの気泡からなる隙間部が形成されないように密着している前記樹脂焼成膜にレーザ光を照射して加工することにより、前記樹脂焼成膜に所望のパターンを形成することによって樹脂フィルムを形成し、
前記短波長光吸収層に短波長光を照射した後に、前記樹脂フィルムを前記サポート部材から剥離する
ことを特徴とする微細パターンを有する樹脂フィルムの製造方法。 - 前記樹脂材料を塗布する前に、前記サポート部材の上に表面改質剤を塗布する、請求項1に記載の樹脂フィルムの製造方法。
- サポート部材上に液状の樹脂材料を塗布することで樹脂塗布膜を形成し、
前記樹脂塗布膜の温度を400℃以上、500℃以下に上昇させることで、前記樹脂塗布膜を硬化させると共に前記サポート部材との界面に短波長光吸収層を形成した前記樹脂塗布膜の硬化膜である樹脂焼成膜を形成し、
前記サポート部材に100nm以上の幅または長さの気泡からなる隙間部が形成されないように密着している前記樹脂焼成膜にレーザ光を照射して加工することにより、前記樹脂焼成膜に所望のパターンを形成することによって樹脂フィルムを形成し、
前記樹脂フィルムを前記サポート部材から剥離し、
前記サポート部材の線膨張率と微細加工の形成された前記樹脂フィルムが重ねられて使用される基板の線膨張率との差が6ppm/℃以下になるように前記サポート部材を選定する
ことを特徴とする樹脂フィルムの製造方法。 - サポート部材上に液状の樹脂材料を塗布することで樹脂塗布膜を形成し、
前記樹脂塗布膜の温度を400℃以上、500℃以下に上昇させることで、前記樹脂塗布膜を硬化させると共に前記サポート部材との界面に短波長光吸収層を形成した前記樹脂塗布膜の硬化膜である樹脂焼成膜を形成し、
前記サポート部材に100nm以上の幅または長さの気泡からなる隙間部が形成されないように密着している前記樹脂焼成膜にレーザ光を照射して加工することにより、前記樹脂焼成膜に所望のパターンを形成することによって樹脂フィルムを形成し、
前記樹脂フィルムを前記サポート部材から剥離し、
前記樹脂塗布膜の焼成を、5分以上であって120分以下ごとに10℃以上であって200℃以下の温度で段階的に上昇させながら、焼成温度まで上昇させることにより行う
ことを特徴とする樹脂フィルムの製造方法。 - 前記サポート部材の線膨張率と微細加工の形成された樹脂フィルムが重ねられて使用される基板の線膨張率との差が6ppm/℃以下になるように前記サポート部材を選定する請求項1、2または4記載の樹脂フィルムの製造方法。
- 前記レーザ光の照射による加工が、微細パターンを有する光学素子の該微細パターンの形成加工である請求項1、2または4に記載の樹脂フィルムの製造方法。
- 前記レーザ光の照射による加工が、基板上の画素ごとに有機材料を蒸着する蒸着マスクを形成するための加工である請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂フィルムの製造方法。
- 前記レーザ光が、周波数1Hz以上であって60Hz以下のパルスレーザであり、パルス幅が1ナノ秒以上であって15ナノ秒以下であり、1パルス当たりの照射面におけるレーザ光の強度が0.01J/cm2以上であって1J/cm2以下である請求項6または7記載の樹脂フィルムの製造方法。
- 前記樹脂フィルムを前記サポート部材から剥離する前に前記樹脂フィルムの周縁に枠体を形成する請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂フィルムの製造方法。
- 基板上に有機層を積層して有機EL表示装置を製造する方法であって、
請求項7に記載の方法で蒸着マスクを形成し、
第1電極が形成された基板上に前記蒸着マスクを位置合せして重ね合せ、有機材料を蒸着することにより前記基板上に有機層を積層し、
前記蒸着マスクを除去して第2電極を形成する
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - レーザ加工により微細パターンが形成される微細パターン形成用基材フィルムであって、
サポート部材と、
前記サポート部材の一面に短波長光吸収層を介して形成された樹脂硬化膜と、を有し、
前記短波長光吸収層と前記サポート部材との間、および前記短波長光吸収層と前記樹脂硬化膜との間が、それぞれ前記微細パターンの形成領域の全面に亘って、100nm以上の幅または長さの気泡からなる隙間部が形成されないように密着して形成されている微細パターン形成用基材フィルム。 - サポート部材と、
前記サポート部材の一面に形成された短波長光吸収層と、
前記短波長光吸収層の上に形成された、蒸着マスク用の開口パターンまたは光学素子用の凹凸パターンの微細パターンが形成された樹脂フィルムと、
を有し、
前記短波長光吸収層と前記サポート部材との間、および前記短波長光吸収層と前記樹脂フィルムとの間が、それぞれ前記微細パターンの形成領域の全面に亘って、100nm以上の幅または長さの気泡からなる隙間部が形成されないように密着している、サポート部材付き樹脂フィルム。
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