JP2014194016A - タングステン含有基材のための化学機械平坦化 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】タングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、a)0.1wt%〜25wt%の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、b)0.1wt%〜0.5wt%の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、c)0.0001wt%〜0.5wt%の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、d)0.5wt%〜10wt%の酸化剤と、e)液体のキャリヤとを含み、該CMP組成物のpHが約2.0〜約8.0である、組成物。
【選択図】なし
Description
本出願は、2013年3月12日に出願された先の米国仮特許出願第61/777,165号の優先権の利益を主張するものである。この先の出願の開示内容全体がこの参照により、全て正当な目的のため本明細書に組み込まれる。
a)ナノサイズ研磨剤と、
b)鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
c)ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
d)酸化剤と、
e)実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該CMP組成物のpHが約2.0〜約8である、組成物を提供する。
a)研磨パッドを提供する工程と、
b)化学機械研磨組成物であって、
1)ナノサイズ研磨剤と、
2)鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
3)ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
4)酸化剤と、
5)実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該組成物のpHが約2.0〜約8である、組成物を提供する工程と、
c)該半導体基材の表面を該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物と接触させる工程と、
d)該半導体基材の表面を研磨する工程と
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触している、方法を提供する。
a)タングステン及び少なくとも1種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材を提供する工程と、
b)研磨パッドを提供する工程と、
c)化学機械研磨(CMP)組成物であって、
1)ナノサイズ研磨剤と、
2)鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
3)ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
4)酸化剤と、
5)実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該CMP組成物のpHが約2.0〜約8である、組成物を提供する工程と、
d)該半導体基材の表面を該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物と接触させる工程と、
e)該半導体基材の表面を研磨する工程と
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触しており、かつ、タングステン除去速度の、少なくとも1種の他の材料の除去速度に対する比が1以上である、方法を提供する。
a)タングステン及び少なくとも1種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材と、
b)研磨パッドと、
c)化学機械研磨(CMP)組成物であって、
1)ナノサイズ研磨剤と、
2)鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
3)ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
4)酸化剤と、
5)実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該CMP組成物のpHが約2.0〜約8である、組成物と、
を含み、タングステンを含む表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触している、システムを提供する。
腐食防止剤
pH緩衝剤
界面活性剤、及び
研磨組成物のpHが5.0〜8.0である場合はバイオサイド
のうちの1つ又は複数をさらに含む。
腐食防止剤
pH緩衝剤
界面活性剤、及び
研磨組成物のpHが5.0〜8.0である場合はバイオサイド
のうちの1つ又は複数をさらに含む。
−n4−ベンジル−2−(メチルチオエチル)ピペラジン、1−[(2,6−ジクロロフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(2−メチル−1,3−チアゾール−5−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4,5−ジメチル−1,3−オキサゾール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−シクロヘキシルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−イソブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−メチル−1,2,5−オキサジアゾール−3−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−sec−ブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−tert−ブチル−2,6−ジメチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−3−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(チオフェン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(1−プロピル)−オキシエチル]−ピペラジン、1−[2−(1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(2−メトキシ−フェノキシ)−エチル〕ピペラジン、1−[2−(ジアリルアミノ)−エチル]−ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)ピリジン−4−イル]ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)キノール−4−イル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−[3−(ジフルオロメトキシ)ベンゾイル]ピペラジン、1−[3−(トリフルオロメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン、1−[4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[4−(トリフルオロメチル)ピリミド−2−イル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ベンズヒドリルオキシ−エチル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチル−ピペラジン、1−(2−メチル−チアゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(2−N−Boc−アミノエチル)ピペラジン、1−(2−ピリジン−2−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−ピリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−チオフェン−2−イル−エチル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチル−イソオキサゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メトキシ−ベンジル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ベンゾイル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ピリジン−2−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−2−イル)ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(4,6−ジメチルピリミジン−2−イル)ピペラジン、1−(4−シアノ−ベンジル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ベンゼンスルホニル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(4−フルオロベンジル)−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−4−カルボン酸tert−ブチルエステル、N−Boc−ピペリジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、(R)−1−Boc−3−メチルピペラジン、1−Boc−3−オキソピペラジン、1,4−ビス−(2−メトキシ−5−メチル−ベンゼンスルホニル)−2−メチルピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−3−イル)カルボニル]ピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル]ピペラジン、1−(2−(N,N−ビス−(2−ヒドロキシプロピル)−アミノ)−エチル)−4−(2−ヒドロキシプロピル)−ピペラジン、1−(2−メトキシフェニル)−4−((4−(2−メトキシフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(3−(2,3−ジヒドロ−1,4−ベンゾジオキシン−6−イル)アクリロイル)−4−(4−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(4−クロロフェニル)−4−[(7−{[4−(4−クロロフェニル)−1−ピペラジニル]スルホニル}−9H−フルオレン−2−イル)スルホニル]ピペラジン、1−(4−フルオロフェニル)−4−((4−(4−フルオロフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(3−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(4−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−アセチル−4−(1−エチル−1H−イミダゾール−2−イル)ピペラジン、1−ベンズヒドリル−4−{2−[5−(ベンジルスルファニル)−4−(2−メチル−2−プロペニル)−4H−1,2,4−トリアゾール−3−イル]エチル}ピペラジン、1−ベンジル−4−[2−[(2',4'−ジフルオロ[1,1'−ビフェニル]−4−イル)オキシ]エチル]ピペラジン、1−ベンジル−4−(3−((2',4'−ジフルオロ(1,1'−ビフェニル)−4−イル)オキシ)プロピル)ピペラジン、1−イソプロピル−4−[(1−メチル−1H−ピロール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−({7−[(4−メチル−1−ピペラジニル)スルホニル]−9H−フルオレン−2−イル}スルホニル)ピペラジン、1−フェニル−4−[フェニル(4−フェニル−1−ピペラジニル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、4−(2−ヒドロキシ−エチル)−ピペラジン−1−カルボン酸(4−イソプロピル−フェニル)−アミド、6−ヒドロキシメチル−1,3−ジメチル−ピペラジン−2,5−ジオン、ビス(2−メトキシフェニル)2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジエタンスルホネート、1−(アダマンタン−1−スルフィニル)−4−メチル−ピペラジン、1−(フェニルスルホニル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−ベンジル−4−(2−メトキシプロパノイル)ピペラジン、1−シクロヘキシル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、1−エチル−4−(3−フリルメチル)ピペラジン、1−(3−フェノキシ−4−ピリジニル)ピペラジン、1−(2−ピリジニル)−4−(3−(2,3,4−トリメトキシフェニル)アクリロイル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1,4−ビス−(2−ピリジルメチレンアミノ)−ピペラジン、1,4−ビス−(3,4,5−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、1,4−ビス−(アセトアセチル)−ピペラジン、1,4−ジ(2−フロイル)ピペラジン、1,4−ビス[2−(4−ピリジニル)エチル]ピペラジン、1,4−ビス(2−(2−ピリジニル)エチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−カルボキシベンゾイル)ピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、4−ベンジル−ピペラジン−1−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−オキソアセテート)、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジアセテート、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、(2E、2'E)−3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(2−ヒドロキシフェニル)プロプ−2−エン−1−オン)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(N−(1,5−ジメチル−3−オキソ−2−フェニル−2,3−ジヒドロ−1H−ピラゾール−4−イル)アセトアミド)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(9H−カルバゾール−9−イル)プロパン−2−オール)フマレート、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルプロパン−1−オン)、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)−ジプロパン−1−オール、4,4'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(3−エトキシシクロブタ−3−エン−1,2−ジオン、ピペラジン−1,4−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、1,4−ジ−tert−ブチルピペラジン−2,5−ジオン、1,4−ジドデシル−ピペラジン、1,4−ジヘキサデシル−ピペラジン、1−(1−ピペリジニルカルボニル)ピペラジン、1−(1−アダマンチルメチル)ピペラジン、1−(3,4−ジメトキシベンジル)ピペラジン、1−(3−ピリジニルカルボニル)ピペラジン、4−ピペラジノベンゾニトリル、(S)−3−メチル−2−ケトピペラジン、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、4−カルボニル(Boc−ピペラジン−1−イル)−3−ニトロ安息香酸、1,1'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパン−2−オール、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルエタノール)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N'−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、1−ピペラジンプロパノール、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−フェニルエチル)ピペラジンカルボキシレート、tert−ブチル4−[2−(アミノメチル)フェニル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−[5−(ヒドロキシメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(3−アミノベンジル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−[(メチルアミノ)メチル]フェニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−シアノピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(5−ホルミルピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(オキセタン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピペリジン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピロリジン−2−イルカルボニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(1H−ピロロ[2,3−b]ピリジン−4−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、1−[2−(2,5−ジメチル−1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−((1,5−ジメチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル)ピペラジン、1−(1−エチル−5−メチル−1H−ピラゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−[4−(トリフルオロメチル)フェニル]エチル)ピペラジンカルボキシレート、3−(4−フルオロ−フェニル)−ピペラジン
−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−フラン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−チオフェン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸ベンジルエステル、4−(2−アミノ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−(2−アミノエチル)−1−boc−ピペラジン、4−(5−カルボキシ−ピリジン−2−イル)−2−メチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−Boc−1−(6−メチル−2−ピリジル)ピペラジン、Fmoc−4−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル4−Boc−ピペラジン−2−カルボキシレート、N,N−ジメチル−1−ピペラジンスルホンアミド、N−1−Boc−N−4−Fmoc−2−ピペラジンカルボン酸、N−4−Boc−N−1−cbz−ピペラジン−2−カルボン酸、N−4−Boc−N−1−Fmoc−2−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−1−カルボキシイミドアミド(1:1)、1−エチル−4−ピペリジン−4−イル−ピペラジン、1−フラン−2−イルメチル−ピペラジン、1−メチル−4−(2−ピペリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−メチル−4−(6−アミノピリジン−3−イル)ピペラジン、1−メチル−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−N−Boc−4−(アゼチジン−3−イル)ピペラジン、1−ピリジン−2−イルメチル−ピペラジン、1−ピリジン−3−イルメチル−ピペラジン、1−チアゾール−2−イル−ピペラジン、2−(2,5−ジメトキシ−フェニル)−ピペラジン、2−カルボキシメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−エトキシカルボニルメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−(4−メチル−シクロヘキシル)−ピペラジン、1−(4−メチル−ピペリジン−1−スルホニル)−ピペラジン、1−(4−トリフルオロメチル−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(5−メチル−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(5−メチル−2−チアゾリル)−ピペラジン、1−(5−ニトロピリジン−2−イル)ピペラジン;1−(6−ブトキシ−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(6−メチルピリド−2−イル)ピペラジン、1−(N−メチルピペリジン−3−イル−メチル)ピペラジン、1−(チエン−2−イルアセチル)ピペラジン、1−Boc−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−Boc−4−シアノメチルピペラジン、並びに1−シクロヘキサ−3−エニルメチル−ピペラジンが挙げられる。ピペラジン誘導体は、好ましくは、(R)−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ピペラジン−2,6−ジオン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,4−ビス(アクリロイル)ピペラジン、ピペラジン−1−酢酸tert−ブチルエステル、1−(3−メチルベンジル)ピペラジン、4−(ピペラジン−1−カルボニル)−ピペリジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、ピペラジン−1−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−1−スルホンアミド、ピペラジン−2−カルボキサミド、1,2−ジメチルピペラジン、2−イソプロピル−ピペラジン、1−(2−ピリミジル)ピペラジン、1−(2−ピラジニル)−ピペラジン、1−(6−ピリダジニル)ピペラジン、1−(3−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(2−ピリジル)ピペラジン、1−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−ピリジル)ピペラジン、1−(4−アミノフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンジル)ピペラジン、1−(2−シアノフェニル)ピペラジン、1−(2−メトキシエチル)ピペラジン、1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−エトキシエチル)ピペラジン、(R)−1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(R)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(R)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(1−ピペリジニルスルホニル)ピペラジン、1−(2−ジイソプロピルアミノエチル)ピペラジン、1−(2−ジプロピルアミノエチル)−ピペラジン、1−(2−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルブタノイル)ピペラジン、1−(2−イソプロポキシエチル)ピペラジン、1−(2−メチルメルカプトフェニル)ピペラジン、1−(2−モルホリノエチル)ピペラジン、1−(2−ピペリジノエチル)ピペラジン、1−(2−ピロリジノエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−(3−シアノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジエチルアミノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジプロピルアミノプロピル)−ピペラジン、1−(3−メトキシプロピル)ピペラジン、1−(3−モルホリノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピペリジノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピロリジノプロピル)ピペラジン、1−(4−メトキシブチル)ピペラジン、1−(4−ピリジルメチル)ピペラジン、1−(エタンスルホニル)ピペラジン、3−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、4−メチルピペラジン−1−カルボキシレート、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、4−(5−アミノピリジン−2−イル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−[2−(ジメチルアミノ)エチル]ピペラジン、1−(1−メチル−4−ピペリジニル)ピペラジン、1−アミノ−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]ピペラジン、1−(4−アミノブチル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチルピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、並びにこれらの組み合わせから成る群から選択される。光学活性化合物の(R)又は(S)エナンチオマーが指定されている場合、反対のエナンチオマー、及びラセミ化合物又はエナンチオマーの他の混合物もまた想定される。
下に示す例において、CMP実験を、下に示す手順及び実験条件を使用して行った。
Å:オングストローム−長さの単位
W:タングステン
BP:psi単位の背圧
CMP:化学機械平坦化=化学機械研磨
CS:キャリアー速度
DF:下向きの力:CMPの間に適用されるpsi単位の圧力
min:分
ml:ミリリットル
mV:ミリボルト
psi:ポンド毎平方インチ
PS:rpm(回転毎分)単位の研磨工具のプラテン回転速度
SF:研磨組成物の流量、ml/min
wt%:(記載された成分の)質量百分率
TEOS:オルトケイ酸テトラエチル
NU%(又はWIWNU%):ウェハー内の不均一性%
NU%=(|研磨前のW膜の厚さ−研磨後のW膜の厚さ|/W膜の厚さ全厚の平均値)×100%
W RR 3.0psi:CMP工具の3.0psiにおいて測定したタングステン除去速度
TEOS RR 3.0psi:CMP工具の3.0psiにおいて測定したTEOS除去速度
W:TEOS選択性:同一の下向きの力(3.0psi)における(Wの除去速度)/(TEOSの除去速度)
静的エッチング速度は、CMPスラリーの化学的活性レベルに関する実験的データを提供する尺度である。通常は、より高い静的エッチング速度は、金属腐食欠陥をより一層引き起こす高い可能性を有する関連する金属膜表面の比較的速いエッチングをもたらすより活性な化学組成物を示す。
0.4wt%固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
0.5wt%コロイドシリカと、
3.0wt%過酸化水素とを含み、かつ、
残部はDI水であり、
使用場所におけるpHは約3.4である。
化学機械研磨は、腐食防止剤としての第1のタイプの化学研磨剤、及びタングステン金属膜表面に腐食防止を与え、タングステン膜除去速度を加速させる二機能添加剤としての第2のタイプの化学添加剤を使用して行った。
0.4wt%固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
0.5wt%コロイドシリカと、
3.0wt%過酸化水素とを含み、かつ、
残部はDI水であり、
使用場所におけるpHは約3.4である。
0.4wt%固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
0.5wt%コロイドシリカと、
3.0wt%過酸化水素と、
25ppmのカリウムシアネートとを含み、かつ、
残部はDI水であり、
使用場所におけるpHは約3.4である。
0.4wt%固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
0.5wt%コロイドシリカと、
3.0wt%過酸化水素と、
0.00037wt%のポリエチレンイミンとを含み、かつ、
残部はDI水であり、
使用場所におけるpHは約3.4である。
Claims (24)
- タングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、
a)0.1wt%〜25wt%の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、
b)0.1wt%〜0.5wt%の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
c)0.0001wt%〜0.5wt%の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
d)0.5wt%〜10wt%の酸化剤と、
e)液体のキャリヤと
を含み、該CMP組成物のpHが約2.0〜約8.0である、組成物。 - 請求項1に記載のタングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、前記ピペラジン誘導体が下式の分子構造、すなわち、
式中、nは独立して1〜6から選択され、かつ、R、R’、R”及びR”’は独立して水素、アルキル、アルコキシ、アリール、アラルキル、1つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、置換ケトン、有機カルボン酸エステル、有機アミン、置換有機カルボン酸アミド及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。 - 請求項1に記載のタングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、前記ピペラジン誘導体が、(R)−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ピペラジン−2,6−ジオン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,4−ビス(アクリロイル)ピペラジン、ピペラジン−1−酢酸tert−ブチルエステル、1−(3−メチルベンジル)ピペラジン、4−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(ジフェニルメチル)ピペラジン、1,4−ジ−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、2−(ピペラジン−1−カルボニル)−安息香酸、4−(ピペラジン−1−カルボニル)−ピペリジン−1−カルボン酸tert−ブチルブチルエステル、ピペラジン−1−カルボン酸(2−クロロ−フェニル)−アミドピペラジン−1−カルボン酸ジメチルアミド、ピペラジン−1−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−1−カルボン酸ジフェニルアミド、ピペラジン−1−スルホンアミド、ピペラジン−2−カルボキサミド、1,2−ジメチルピペラジン、1−(2−ブチル)−ピペラジン、2−イソブチル−ピペラジン、2−tert−ブチルピペラジン、R−2−イソブチル−ピペラジン、S−2−イソブチル−ピペラジン、2−イソプロピル−ピペラジン、1−(2−ピリミジル)ピペラジン、1−(4−トリフルオロメチルフェニル)ピペラジン、1−(シクロプロピルメチル)ピペラジン、1−(2−ピラジニル)−ピペラジン、1−(2−トリフルオロメチルフェニル)−ピペラジン、1−(6−ピリダジニル)ピペラジン、2−(4−トリフルオロメチルフェニル)ピペラジン、2−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸ベンジルエステル、1−(1−ナフチルメチル)ピペラジン、1−(1−ペンチル)ピペラジン、1−(2−ペンチル)−ピペラジン、1−(3−ペンチル)−ピペラジン、1−(プロパノイル)−ピペラジン、2−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−Boc−ピペラジン、1−(4−クロロフェニル)ピペラジン、1−(2−フロイル)ピペラジン、1−(2−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(2−フェニルエチル)ピペラジン、1−(4−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(2−メチルベンジル)ピペラジン、1−(4−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メチルベンジル)ピペラジン、1−(3−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(1−フェニルエチル)ピペラジン、1−(2,4−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,6−キシリル)ピペラジン、1−(2−エチルフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルフェニル)ピペラジン、1−(3,4−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(3−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(3−フロイル)ピペラジン、1−(N−ヘプチル)ピペラジン、1−ピバロイル−ピペラジン、2,3−ジメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−(2−クロロフェニル)ピペラジン、2−(4−クロロフェニル)ピペラジン、N−4−Cbz−ピペラジン−2−カルボン酸メチルエステル、1−(2−ピリジル)ピペラジン、1−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−クロロベンズヒドリル)ピペラジン、1−(4−ピリジル)ピペラジン、1−(4−アミノフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンジル)ピペラジン、1−(2−シアノフェニル)ピペラジン、1−(1−アダマンチル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)ピペラジン、1−(2−メトキシエチル)ピペラジン、2−(トリフルオロメチル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロフェニル)ピペラジン;1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2,5−ジフルオロベンジル)ピペラジン、1−(2−エトキシエチル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(3−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(シクロヘキシルメチル)ピペラジン、1−(3−メチルフェニル)ピペラジン、1−(4−メチルフェニル)ピペラジン、1−(3−フルオロベンジル)ピペラジン、1−(4−フルオロベンジル)ピペラジン、2−(3−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(3−クロロベンジル)ピペラジン、1−(シクロプロピルカルボニル)ピペラジン、(R)−1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(R)−2−ベンジルピペラジン、(R)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(R)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−2−ベンジルピペラジン、(S)−2−ベンジルピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(1−ピペリジニルスルホニル)ピペラジン、1−(2,2,2−トリフルオロエチル)ピペラジン、1−(2,3−ジフルオロフェニル)ピペラジン、1−(2,4,6−トリメチルベンジル)ピペラジン、1−(2,4−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(2,4−ジフルオロフェニル)ピペラジン、1−(2,6−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(2−クロロベンジル)ピペラジン、1−(2−シクロヘキシルエチル)ピペラジン、1−(2−ジイソプロピルアミノエチル)ピペラジン、1−(2−ジプロピルアミノエチル)−ピペラジン、1−(2−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルブタノイル)ピペラジン、1−(2−フルオロベンジル)ピペラジン、1−(2−イソプロポキシエチル)ピペラジン、1−(2−メチルメルカプトフェニル)ピペラジン、1−(2−メチルプロパノイル)−ピペラジン、1−(2−モルホリノエチル)ピペラジン、1−(2−フェノキシエチル)ピペラジン、1−(2−ピペリジノエチル)ピペラジン、1−(2−ピロリジノエチル)ピペラジン、1−(3,3−ジメチルブタノイル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロベンゾイル)ピペラジン、1−(3−(3,5−ジクロロフェニル)ピペラジン、4−ジフルオロベンゾイルピペラジン、1−(3,4−ジメチルベンジル)ピペラジン、1−(3,5−ジメトキシベンゾイル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチルベンゾイル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−(3−シアノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジエチルアミノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジプロピルアミノプロピル)−ピペラジン、1−(3−メトキシプロピル)−ピペラジン、1−(3−モルホリノプロピル)ピペラジン、1−(3−フェニルプロピル)ピペラジン、1−(3−ピペリジノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピロリジノプロピル)ピペラジン、1−(4−クロロベンゾイル)ピペラジン、1−(4−クロロベンジル)ピペラジン、1−(4−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンゾイル)−ピペラジン、1−(4−メトキシブチル)ピペラジン、1−(4−フェニルブチル)−ピペラジン、1−(4−ピリジルメチル)ピペラジン、1−(4−tert−ブチルベンジル)ピペラジン、1−(シクロヘキシルカルボニル)ピペラジン、1−(エタンスルホニル)ピペラジン、1−(フェニルアセチル)ピペラジン、1−Cbz−ピペラジン−2−カルボン酸、1−ヘキサノイル−ピペラジン、1−メチルスルホニル−ピペラジン、2,3−ジフェニルピペラジン、2−(2−フリル)ピペラジン、2−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、2−(2−チエニル)ピペラジン、2−(3−オキソ−ピペラジン−1−カルボニル)−安息香酸、2−(4−クロロフェニル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、2−(4−メチルフェニル)ピペラジン、2−ベンジル−ピペラジン、3−(4−クロロフェニル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、3−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸エチルエステル、4−(4−Boc−ピペラジン−1−カルボニル)フェニルボロン酸ピナコールエステル、[5−(4−メチル−ピペラジン−1−スルホニル)−ピリジン−2−イル]−ヒドラジン、メチルピペラジン−1−カルボキシレート、1−エチル−2−メチル−ピペラジン、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、1−(2−メチル−アリル)−ピペラジン、2−(3−トリフルオロメチル−フェニル)−ピペラジン、4−N−Boc−2−メチル−ピペラジン、1−(テトラヒドロ−2−フロイル)−ピペラジン、1−(テトラヒドロ−2−フリルメチル)ピペラジン、(R)−1−Boc−2−エチル−ピペラジン、(R)−1−Boc−3−エチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−2−エチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−3−エチル−ピペラジン、1−[1−(2−メトキシフェニル)エチル]ピペラジン、1−[1−(3−メトキシフェニル)エチル]ピペラジン、1−[1−(4−メトキシフェニル)−エチル]−ピペラジン、1−[2−(2−メチルフェノキシ)エチル]ピペラジン、1−(4−エトキシ−ベンジル)−ピペラジン、1−Boc−2,6−ジメチル−ピペラジン、1−Boc−3,3−ジメチルピペラジン、1−Boc−3,5−ジメチル−ピペラジン、1−Boc−5−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、1−N−(tert−ブトキシカルボニル)−2−エチルピペラジン、2−(2−フルオロ−フェニル)−ピペラジン、2−(3−フルオロ−フェニル)−ピペラジン、2−メチル−1−(3−メチルフェニル)ピペラジン、4−(5−アミノピリジン−2−イル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−[2−(ジメチルアミノ)エチル]ピペラジン、1−(1−メチル−4−ピペリジニル)ピペラジン、1−アセチル−4−(4−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−[4−(トリフルオロメチル)ベンジル]ピペラジン、1−Boc−4−(2−ホルミルフェニル)ピペラジン、1−アミノ−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−Boc−(4−ベンジル)ピペラジン、1−Boc−4−[3−(エトキシカルボニル)フェニル]ピペラジン、1−ビス(4−フルオロフェニル)メチルピペラジン、1−Boc−4−(3−ヒドロキシプロピル)ピペラジン、1−Boc−4−(4−ホルミルフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(4−メトキシカルボニルフェニル)ピペラジン、1−(1,3−ジオキソラン−2−イルメチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]ピペラジン、1−(1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−2−イル)ピペラジン、1−(4−アミノブチル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(2−メトキシカルボニルフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(5−ニトロ−2−ピリジル)ピペラジン、(R)−1−Boc−2−ベンジルピペラジン、(R)−1−N−Boc−2−イソプロピルピペラジン、(R)−1−N−Boc−4−N−Fmoc−2−ピペラジンカルボン酸、(R)−1−N−Cbz−2−メチル−ピペラジン、(R)−4−N−トリチル−2−メチルピペラジン、(R)−N4−ベンジル−2−(ベンジルオキシメチル)ピペラジン、(S)−1−Boc−2−ヒドロキシメチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−2−イソブチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−3−ベンジルピペラジン、(S)−1−Boc−3−イソプロピル−ピペラジン、(S)−1−N−Boc−4−N−Fmoc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−4−N−トリチル−2−メチル−ピペラジン、(S)−n4−ベンジル−2−
(メチルチオエチル)ピペラジン、1−[(2,6−ジクロロフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(2−メチル−1,3−チアゾール−5−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4,5−ジメチル−1,3−オキサゾール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−シクロヘキシルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−イソブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−メチル−1,2,5−オキサジアゾール−3−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−sec−ブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−tert−ブチル−2,6−ジメチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−3−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(チオフェン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(1−プロピル)−オキシエチル]−ピペラジン、1−[2−(1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(2−メトキシ−フェノキシ)−エチル〕ピペラジン、1−[2−(ジアリルアミノ)−エチル]−ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)ピリジン−4−イル]ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)キノール−4−イル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−[3−(ジフルオロメトキシ)ベンゾイル]ピペラジン、1−[3−(トリフルオロメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン、1−[4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[4−(トリフルオロメチル)ピリミド−2−イル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ベンズヒドリルオキシ−エチル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチル−ピペラジン、1−(2−メチル−チアゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(2−N−Boc−アミノエチル)ピペラジン、1−(2−ピリジン−2−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−ピリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−チオフェン−2−イル−エチル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチル−イソオキサゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メトキシ−ベンジル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ベンゾイル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ピリジン−2−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−2−イル)ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(4,6−ジメチルピリミジン−2−イル)ピペラジン、1−(4−シアノ−ベンジル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ベンゼンスルホニル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(4−フルオロベンジル)−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−4−カルボン酸tert−ブチルエステル、N−Boc−ピペリジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、(R)−1−Boc−3−メチルピペラジン、1−Boc−3−オキソピペラジン、1,4−ビス−(2−メトキシ−5−メチル−ベンゼンスルホニル)−2−メチルピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−3−イル)カルボニル]ピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル]ピペラジン、1−(2−(N,N−ビス−(2−ヒドロキシプロピル)−アミノ)−エチル)−4−(2−ヒドロキシプロピル)−ピペラジン、1−(2−メトキシフェニル)−4−((4−(2−メトキシフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(3−(2,3−ジヒドロ−1,4−ベンゾジオキシン−6−イル)アクリロイル)−4−(4−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(4−クロロフェニル)−4−[(7−{[4−(4−クロロフェニル)−1−ピペラジニル]スルホニル}−9H−フルオレン−2−イル)スルホニル]ピペラジン、1−(4−フルオロフェニル)−4−((4−(4−フルオロフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(3−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(4−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−アセチル−4−(1−エチル−1H−イミダゾール−2−イル)ピペラジン、1−ベンズヒドリル−4−{2−[5−(ベンジルスルファニル)−4−(2−メチル−2−プロペニル)−4H−1,2,4−トリアゾール−3−イル]エチル}ピペラジン、1−ベンジル−4−[2−[(2',4'−ジフルオロ[1,1'−ビフェニル]−4−イル)オキシ]エチル]ピペラジン、1−ベンジル−4−(3−((2',4'−ジフルオロ(1,1'−ビフェニル)−4−イル)オキシ)プロピル)ピペラジン、1−イソプロピル−4−[(1−メチル−1H−ピロール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−({7−[(4−メチル−1−ピペラジニル)スルホニル]−9H−フルオレン−2−イル}スルホニル)ピペラジン、1−フェニル−4−[フェニル(4−フェニル−1−ピペラジニル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、4−(2−ヒドロキシ−エチル)−ピペラジン−1−カルボン酸(4−イソプロピル−フェニル)−アミド、6−ヒドロキシメチル−1,3−ジメチル−ピペラジン−2,5−ジオン、ビス(2−メトキシフェニル)2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジエタンスルホネート、1−(アダマンタン−1−スルフィニル)−4−メチル−ピペラジン、1−(フェニルスルホニル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−ベンジル−4−(2−メトキシプロパノイル)ピペラジン、1−シクロヘキシル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、1−エチル−4−(3−フリルメチル)ピペラジン、1−(3−フェノキシ−4−ピリジニル)ピペラジン、1−(2−ピリジニル)−4−(3−(2,3,4−トリメトキシフェニル)アクリロイル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1,4−ビス−(2−ピリジルメチレンアミノ)−ピペラジン、1,4−ビス−(3,4,5−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、1,4−ビス−(アセトアセチル)−ピペラジン、1,4−ジ(2−フロイル)ピペラジン、1,4−ビス[2−(4−ピリジニル)エチル]ピペラジン、1,4−ビス(2−(2−ピリジニル)エチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−カルボキシベンゾイル)ピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、4−ベンジル−ピペラジン−1−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−オキソアセテート)、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジアセテート、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、(2E、2'E)−3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(2−ヒドロキシフェニル)プロプ−2−エン−1−オン)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(N−(1,5−ジメチル−3−オキソ−2−フェニル−2,3−ジヒドロ−1H−ピラゾール−4−イル)アセトアミド)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(9H−カルバゾール−9−イル)プロパン−2−オール)フマレート、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルプロパン−1−オン)、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)−ジプロパン−1−オール、4,4'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(3−エトキシシクロブタ−3−エン−1,2−ジオン、ピペラジン−1,4−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、1,4−ジ−tert−ブチルピペラジン−2,5−ジオン、1,4−ジドデシル−ピペラジン、1,4−ジヘキサデシル−ピペラジン、1−(1−ピペリジニルカルボニル)ピペラジン、1−(1−アダマンチルメチル)ピペラジン、1−(3,4−ジメトキシベンジル)ピペラジン、1−(3−ピリジニルカルボニル)ピペラジン、4−ピペラジノベンゾニトリル、(S)−3−メチル−2−ケトピペラジン、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、4−カルボニル(Boc−ピペラジン−1−イル)−3−ニトロ安息香酸、1,1'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパン−2−オール、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルエタノール)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N'−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、1−ピペラジンプロパノール、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−フェニルエチル)ピペラジンカルボキシレート、tert−ブチル4−[2−(アミノメチル)フェニル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−[5−(ヒドロキシメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(3−アミノベンジル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−[(メチルアミノ)メチル]フェニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−シアノピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(5−ホルミルピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(オキセタン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピペリジン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピロリジン−2−イルカルボニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(1H−ピロロ[2,3−b]ピリジン−4−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、1−[2−(2,5−ジメチル−1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−((1,5−ジメチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル)ピペラジン、1−(1−エチル−5−メチル−1H−ピラゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−[4−(トリフルオロメチル)フェニル]エチル)ピペラジンカルボキシレート、3−(4−フルオロ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸ter
t−ブチルエステル、3−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−フラン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−チオフェン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸ベンジルエステル、4−(2−アミノ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−(2−アミノエチル)−1−boc−ピペラジン、4−(5−カルボキシ−ピリジン−2−イル)−2−メチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−Boc−1−(6−メチル−2−ピリジル)ピペラジン、Fmoc−4−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル4−Boc−ピペラジン−2−カルボキシレート、N,N−ジメチル−1−ピペラジンスルホンアミド、N−1−Boc−N−4−Fmoc−2−ピペラジンカルボン酸、N−4−Boc−N−1−cbz−ピペラジン−2−カルボン酸、N−4−Boc−N−1−Fmoc−2−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−1−カルボキシイミドアミド(1:1)、1−エチル−4−ピペリジン−4−イル−ピペラジン、1−フラン−2−イルメチル−ピペラジン、1−メチル−4−(2−ピペリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−メチル−4−(6−アミノピリジン−3−イル)ピペラジン、1−メチル−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−N−Boc−4−(アゼチジン−3−イル)ピペラジン、1−ピリジン−2−イルメチル−ピペラジン、1−ピリジン−3−イルメチル−ピペラジン、1−チアゾール−2−イル−ピペラジン、2−(2,5−ジメトキシ−フェニル)−ピペラジン、2−カルボキシメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−エトキシカルボニルメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−(4−メチル−シクロヘキシル)−ピペラジン、1−(4−メチル−ピペリジン−1−スルホニル)−ピペラジン、1−(4−トリフルオロメチル−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(5−メチル−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(5−メチル−2−チアゾリル)−ピペラジン、1−(5−ニトロピリジン−2−イル)ピペラジン;1−(6−ブトキシ−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(6−メチルピリド−2−イル)ピペラジン、1−(N−メチルピペリジン−3−イル−メチル)ピペラジン、1−(チエン−2−イルアセチル)ピペラジン、1−Boc−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−Boc−4−シアノメチルピペラジン、1−シクロヘキサ−3−エニルメチル−ピペラジン、並びにこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。 - 請求項1に記載のタングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、前記ピペラジン誘導体が、(R)−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ピペラジン−2,6−ジオン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,4−ビス(アクリロイル)ピペラジン、ピペラジン−1−酢酸tert−ブチルエステル、1−(3−メチルベンジル)ピペラジン、4−(ピペラジン−1−カルボニル)−ピペリジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、ピペラジン−1−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−1−スルホンアミド、ピペラジン−2−カルボキサミド、1,2−ジメチルピペラジン、2−イソプロピル−ピペラジン、1−(2−ピリミジル)ピペラジン、1−(2−ピラジニル)−ピペラジン、1−(6−ピリダジニル)ピペラジン、1−(3−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(2−ピリジル)ピペラジン、1−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−ピリジル)ピペラジン、1−(4−アミノフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンジル)ピペラジン、1−(2−シアノフェニル)ピペラジン、1−(2−メトキシエチル)ピペラジン、1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−エトキシエチル)ピペラジン、(R)−1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(R)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(R)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(1−ピペリジニルスルホニル)ピペラジン、1−(2−ジイソプロピルアミノエチル)ピペラジン、1−(2−ジプロピルアミノエチル)−ピペラジン、1−(2−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルブタノイル)ピペラジン、1−(2−イソプロポキシエチル)ピペラジン、1−(2−メチルメルカプトフェニル)ピペラジン、1−(2−モルホリノエチル)ピペラジン、1−(2−ピペリジノエチル)ピペラジン、1−(2−ピロリジノエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−(3−シアノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジエチルアミノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジプロピルアミノプロピル)−ピペラジン、1−(3−メトキシプロピル)ピペラジン、1−(3−モルホリノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピペリジノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピロリジノプロピル)ピペラジン、1−(4−メトキシブチル)ピペラジン、1−(4−ピリジルメチル)ピペラジン、1−(エタンスルホニル)ピペラジン、3−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、4−メチルピペラジン−1−カルボキシレート、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、4−(5−アミノピリジン−2−イル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−[2−(ジメチルアミノ)エチル]ピペラジン、1−(1−メチル−4−ピペリジニル)ピペラジン、1−アミノ−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]ピペラジン、1−(4−アミノブチル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチルピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。
- 請求項1に記載のタングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、前記ピペラジン誘導体が、モノ置換1−(2−アミノエチル)ピペラジン、ビス置換1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。
- 請求項1に記載のタングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、前記化学添加剤が、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、アルキルアンモニウムシアネート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるシアネート塩である、組成物。
- 請求項1に記載のタングステン化学機械研磨(CMP)組成物であって、
腐食防止剤、
pH緩衝剤、
界面活性剤、及び
研磨組成物のpHが5.0〜8.0である場合はバイオサイド
のうちの1つ又は複数をさらに含む、組成物。 - 選択的な化学機械研磨方法であって、
a)タングステン及び少なくとも1種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材を提供する工程と、
b)研磨パッドを提供する工程と、
c)化学機械研磨(CMP)組成物であって、
1)0.1wt%〜25wt%の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、
2)0.1wt%〜0.5wt%の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
3)0.0001wt%〜0.5wt%の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
4)0.5wt%〜10wt%の酸化剤と、
5)液体のキャリヤと
を含み、該CMP組成物のpHが約2.0〜約8.0である、組成物を提供する工程と、
d)該半導体基材の表面を該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物と接触させる工程と、
e)該半導体基材の表面を研磨する工程と
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触しており、かつ、タングステン除去速度の、少なくとも1種の他の材料の除去速度に対する比が1以上である、方法。 - 請求項9に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記ピペラジン誘導体が下式の分子構造、すなわち、
式中、nは独立して1〜6から選択され、かつ、R、R’、R”及びR”’は独立して水素、アルキル、アルコキシ、アリール、アラルキル、1つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、置換ケトン、有機カルボン酸エステル、有機アミン、置換有機カルボン酸アミド及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、方法。 - 請求項9に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学添加剤が、(R)−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ピペラジン−2,6−ジオン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,4−ビス(アクリロイル)ピペラジン、ピペラジン−1−酢酸tert−ブチルエステル、1−(3−メチルベンジル)ピペラジン、4−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(ジフェニルメチル)ピペラジン、1,4−ジ−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、2−(ピペラジン−1−カルボニル)−安息香酸、4−(ピペラジン−1−カルボニル)−ピペリジン−1−カルボン酸tert−ブチルブチルエステル、ピペラジン−1−カルボン酸(2−クロロ−フェニル)−アミドピペラジン−1−カルボン酸ジメチルアミド、ピペラジン−1−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−1−カルボン酸ジフェニルアミド、ピペラジン−1−スルホンアミド、ピペラジン−2−カルボキサミド、1,2−ジメチルピペラジン、1−(2−ブチル)−ピペラジン、2−イソブチル−ピペラジン、2−tert−ブチルピペラジン、R−2−イソブチル−ピペラジン、S−2−イソブチル−ピペラジン、2−イソプロピル−ピペラジン、1−(2−ピリミジル)ピペラジン、1−(4−トリフルオロメチルフェニル)ピペラジン、1−(シクロプロピルメチル)ピペラジン、1−(2−ピラジニル)−ピペラジン、1−(2−トリフルオロメチルフェニル)−ピペラジン、1−(6−ピリダジニル)ピペラジン、2−(4−トリフルオロメチルフェニル)ピペラジン、2−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸ベンジルエステル、1−(1−ナフチルメチル)ピペラジン、1−(1−ペンチル)ピペラジン、1−(2−ペンチル)−ピペラジン、1−(3−ペンチル)−ピペラジン、1−(プロパノイル)−ピペラジン、2−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−Boc−ピペラジン、1−(4−クロロフェニル)ピペラジン、1−(2−フロイル)ピペラジン、1−(2−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(2−フェニルエチル)ピペラジン、1−(4−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(2−メチルベンジル)ピペラジン、1−(4−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メチルベンジル)ピペラジン、1−(3−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(1−フェニルエチル)ピペラジン、1−(2,4−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,6−キシリル)ピペラジン、1−(2−エチルフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルフェニル)ピペラジン、1−(3,4−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(3−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(3−フロイル)ピペラジン、1−(N−ヘプチル)ピペラジン、1−ピバロイル−ピペラジン、2,3−ジメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−(2−クロロフェニル)ピペラジン、2−(4−クロロフェニル)ピペラジン、N−4−Cbz−ピペラジン−2−カルボン酸メチルエステル、1−(2−ピリジル)ピペラジン、1−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−クロロベンズヒドリル)ピペラジン、1−(4−ピリジル)ピペラジン、1−(4−アミノフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンジル)ピペラジン、1−(2−シアノフェニル)ピペラジン、1−(1−アダマンチル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)ピペラジン、1−(2−メトキシエチル)ピペラジン、2−(トリフルオロメチル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロフェニル)ピペラジン;1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2,5−ジフルオロベンジル)ピペラジン、1−(2−エトキシエチル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(3−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(シクロヘキシルメチル)ピペラジン、1−(3−メチルフェニル)ピペラジン、1−(4−メチルフェニル)ピペラジン、1−(3−フルオロベンジル)ピペラジン、1−(4−フルオロベンジル)ピペラジン、2−(3−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(3−クロロベンジル)ピペラジン、1−(シクロプロピルカルボニル)ピペラジン、(R)−1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(R)−2−ベンジルピペラジン、(R)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(R)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−2−ベンジルピペラジン、(S)−2−ベンジルピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(1−ピペリジニルスルホニル)ピペラジン、1−(2,2,2−トリフルオロエチル)ピペラジン、1−(2,3−ジフルオロフェニル)ピペラジン、1−(2,4,6−トリメチルベンジル)ピペラジン、1−(2,4−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(2,4−ジフルオロフェニル)ピペラジン、1−(2,6−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(2−クロロベンジル)ピペラジン、1−(2−シクロヘキシルエチル)ピペラジン、1−(2−ジイソプロピルアミノエチル)ピペラジン、1−(2−ジプロピルアミノエチル)−ピペラジン、1−(2−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルブタノイル)ピペラジン、1−(2−フルオロベンジル)ピペラジン、1−(2−イソプロポキシエチル)ピペラジン、1−(2−メチルメルカプトフェニル)ピペラジン、1−(2−メチルプロパノイル)−ピペラジン、1−(2−モルホリノエチル)ピペラジン、1−(2−フェノキシエチル)ピペラジン、1−(2−ピペリジノエチル)ピペラジン、1−(2−ピロリジノエチル)ピペラジン、1−(3,3−ジメチルブタノイル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロベンゾイル)ピペラジン、1−(3−(3,5−ジクロロフェニル)ピペラジン、4−ジフルオロベンゾイルピペラジン、1−(3,4−ジメチルベンジル)ピペラジン、1−(3,5−ジメトキシベンゾイル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチルベンゾイル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−(3−シアノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジエチルアミノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジプロピルアミノプロピル)−ピペラジン、1−(3−メトキシプロピル)−ピペラジン、1−(3−モルホリノプロピル)ピペラジン、1−(3−フェニルプロピル)ピペラジン、1−(3−ピペリジノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピロリジノプロピル)ピペラジン、1−(4−クロロベンゾイル)ピペラジン、1−(4−クロロベンジル)ピペラジン、1−(4−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンゾイル)−ピペラジン、1−(4−メトキシブチル)ピペラジン、1−(4−フェニルブチル)−ピペラジン、1−(4−ピリジルメチル)ピペラジン、1−(4−tert−ブチルベンジル)ピペラジン、1−(シクロヘキシルカルボニル)ピペラジン、1−(エタンスルホニル)ピペラジン、1−(フェニルアセチル)ピペラジン、1−Cbz−ピペラジン−2−カルボン酸、1−ヘキサノイル−ピペラジン、1−メチルスルホニル−ピペラジン、2,3−ジフェニルピペラジン、2−(2−フリル)ピペラジン、2−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、2−(2−チエニル)ピペラジン、2−(3−オキソ−ピペラジン−1−カルボニル)−安息香酸、2−(4−クロロフェニル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、2−(4−メチルフェニル)ピペラジン、2−ベンジル−ピペラジン、3−(4−クロロフェニル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、3−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸エチルエステル、4−(4−Boc−ピペラジン−1−カルボニル)フェニルボロン酸ピナコールエステル、[5−(4−メチル−ピペラジン−1−スルホニル)−ピリジン−2−イル]−ヒドラジン、メチルピペラジン−1−カルボキシレート、1−エチル−2−メチル−ピペラジン、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、1−(2−メチル−アリル)−ピペラジン、2−(3−トリフルオロメチル−フェニル)−ピペラジン、4−N−Boc−2−メチル−ピペラジン、1−(テトラヒドロ−2−フロイル)−ピペラジン、1−(テトラヒドロ−2−フリルメチル)ピペラジン、(R)−1−Boc−2−エチル−ピペラジン、(R)−1−Boc−3−エチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−2−エチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−3−エチル−ピペラジン、1−[1−(2−メトキシフェニル)エチル]ピペラジン、1−[1−(3−メトキシフェニル)エチル]ピペラジン、1−[1−(4−メトキシフェニル)−エチル]−ピペラジン、1−[2−(2−メチルフェノキシ)エチル]ピペラジン、1−(4−エトキシ−ベンジル)−ピペラジン、1−Boc−2,6−ジメチル−ピペラジン、1−Boc−3,3−ジメチルピペラジン、1−Boc−3,5−ジメチル−ピペラジン、1−Boc−5−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、1−N−(tert−ブトキシカルボニル)−2−エチルピペラジン、2−(2−フルオロ−フェニル)−ピペラジン、2−(3−フルオロ−フェニル)−ピペラジン、2−メチル−1−(3−メチルフェニル)ピペラジン、4−(5−アミノピリジン−2−イル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−[2−(ジメチルアミノ)エチル]ピペラジン、1−(1−メチル−4−ピペリジニル)ピペラジン、1−アセチル−4−(4−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−[4−(トリフルオロメチル)ベンジル]ピペラジン、1−Boc−4−(2−ホルミルフェニル)ピペラジン、1−アミノ−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−Boc−(4−ベンジル)ピペラジン、1−Boc−4−[3−(エトキシカルボニル)フェニル]ピペラジン、1−ビス(4−フルオロフェニル)メチルピペラジン、1−Boc−4−(3−ヒドロキシプロピル)ピペラジン、1−Boc−4−(4−ホルミルフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(4−メトキシカルボニルフェニル)ピペラジン、1−(1,3−ジオキソラン−2−イルメチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]ピペラジン、1−(1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−2−イル)ピペラジン、1−(4−アミノブチル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(2−メトキシカルボニルフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(5−ニトロ−2−ピリジル)ピペラジン、(R)−1−Boc−2−ベンジルピペラジン、(R)−1−N−Boc−2−イソプロピルピペラジン、(R)−1−N−Boc−4−N−Fmoc−2−ピペラジンカルボン酸、(R)−1−N−Cbz−2−メチル−ピペラジン、(R)−4−N−トリチル−2−メチルピペラジン、(R)−N4−ベンジル−2−(ベンジルオキシメチル)ピペラジン、(S)−1−Boc−2−ヒドロキシメチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−2−イソブチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−3−ベンジルピペラジン、(S)−1−Boc−3−イソプロピル−ピペラジン、(S)−1−N−Boc−4−N−Fmoc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−4−N−トリチル−2−メチル−ピペラジン、(S)−n4−ベンジル−2−(メ
チルチオエチル)ピペラジン、1−[(2,6−ジクロロフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(2−メチル−1,3−チアゾール−5−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4,5−ジメチル−1,3−オキサゾール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−シクロヘキシルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−イソブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−メチル−1,2,5−オキサジアゾール−3−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−sec−ブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−tert−ブチル−2,6−ジメチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−3−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(チオフェン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(1−プロピル)−オキシエチル]−ピペラジン、1−[2−(1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(2−メトキシ−フェノキシ)−エチル〕ピペラジン、1−[2−(ジアリルアミノ)−エチル]−ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)ピリジン−4−イル]ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)キノール−4−イル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−[3−(ジフルオロメトキシ)ベンゾイル]ピペラジン、1−[3−(トリフルオロメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン、1−[4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[4−(トリフルオロメチル)ピリミド−2−イル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ベンズヒドリルオキシ−エチル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチル−ピペラジン、1−(2−メチル−チアゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(2−N−Boc−アミノエチル)ピペラジン、1−(2−ピリジン−2−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−ピリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−チオフェン−2−イル−エチル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチル−イソオキサゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メトキシ−ベンジル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ベンゾイル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ピリジン−2−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−2−イル)ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(4,6−ジメチルピリミジン−2−イル)ピペラジン、1−(4−シアノ−ベンジル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ベンゼンスルホニル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(4−フルオロベンジル)−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−4−カルボン酸tert−ブチルエステル、N−Boc−ピペリジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、(R)−1−Boc−3−メチルピペラジン、1−Boc−3−オキソピペラジン、1,4−ビス−(2−メトキシ−5−メチル−ベンゼンスルホニル)−2−メチルピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−3−イル)カルボニル]ピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル]ピペラジン、1−(2−(N,N−ビス−(2−ヒドロキシプロピル)−アミノ)−エチル)−4−(2−ヒドロキシプロピル)−ピペラジン、1−(2−メトキシフェニル)−4−((4−(2−メトキシフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(3−(2,3−ジヒドロ−1,4−ベンゾジオキシン−6−イル)アクリロイル)−4−(4−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(4−クロロフェニル)−4−[(7−{[4−(4−クロロフェニル)−1−ピペラジニル]スルホニル}−9H−フルオレン−2−イル)スルホニル]ピペラジン、1−(4−フルオロフェニル)−4−((4−(4−フルオロフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(3−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(4−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−アセチル−4−(1−エチル−1H−イミダゾール−2−イル)ピペラジン、1−ベンズヒドリル−4−{2−[5−(ベンジルスルファニル)−4−(2−メチル−2−プロペニル)−4H−1,2,4−トリアゾール−3−イル]エチル}ピペラジン、1−ベンジル−4−[2−[(2',4'−ジフルオロ[1,1'−ビフェニル]−4−イル)オキシ]エチル]ピペラジン、1−ベンジル−4−(3−((2',4'−ジフルオロ(1,1'−ビフェニル)−4−イル)オキシ)プロピル)ピペラジン、1−イソプロピル−4−[(1−メチル−1H−ピロール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−({7−[(4−メチル−1−ピペラジニル)スルホニル]−9H−フルオレン−2−イル}スルホニル)ピペラジン、1−フェニル−4−[フェニル(4−フェニル−1−ピペラジニル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、4−(2−ヒドロキシ−エチル)−ピペラジン−1−カルボン酸(4−イソプロピル−フェニル)−アミド、6−ヒドロキシメチル−1,3−ジメチル−ピペラジン−2,5−ジオン、ビス(2−メトキシフェニル)2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジエタンスルホネート、1−(アダマンタン−1−スルフィニル)−4−メチル−ピペラジン、1−(フェニルスルホニル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−ベンジル−4−(2−メトキシプロパノイル)ピペラジン、1−シクロヘキシル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、1−エチル−4−(3−フリルメチル)ピペラジン、1−(3−フェノキシ−4−ピリジニル)ピペラジン、1−(2−ピリジニル)−4−(3−(2,3,4−トリメトキシフェニル)アクリロイル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1,4−ビス−(2−ピリジルメチレンアミノ)−ピペラジン、1,4−ビス−(3,4,5−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、1,4−ビス−(アセトアセチル)−ピペラジン、1,4−ジ(2−フロイル)ピペラジン、1,4−ビス[2−(4−ピリジニル)エチル]ピペラジン、1,4−ビス(2−(2−ピリジニル)エチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−カルボキシベンゾイル)ピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、4−ベンジル−ピペラジン−1−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−オキソアセテート)、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジアセテート、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、(2E、2'E)−3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(2−ヒドロキシフェニル)プロプ−2−エン−1−オン)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(N−(1,5−ジメチル−3−オキソ−2−フェニル−2,3−ジヒドロ−1H−ピラゾール−4−イル)アセトアミド)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(9H−カルバゾール−9−イル)プロパン−2−オール)フマレート、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルプロパン−1−オン)、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)−ジプロパン−1−オール、4,4'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(3−エトキシシクロブタ−3−エン−1,2−ジオン、ピペラジン−1,4−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、1,4−ジ−tert−ブチルピペラジン−2,5−ジオン、1,4−ジドデシル−ピペラジン、1,4−ジヘキサデシル−ピペラジン、1−(1−ピペリジニルカルボニル)ピペラジン、1−(1−アダマンチルメチル)ピペラジン、1−(3,4−ジメトキシベンジル)ピペラジン、1−(3−ピリジニルカルボニル)ピペラジン、4−ピペラジノベンゾニトリル、(S)−3−メチル−2−ケトピペラジン、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、4−カルボニル(Boc−ピペラジン−1−イル)−3−ニトロ安息香酸、1,1'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパン−2−オール、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルエタノール)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N'−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、1−ピペラジンプロパノール、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−フェニルエチル)ピペラジンカルボキシレート、tert−ブチル4−[2−(アミノメチル)フェニル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−[5−(ヒドロキシメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(3−アミノベンジル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−[(メチルアミノ)メチル]フェニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−シアノピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(5−ホルミルピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(オキセタン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピペリジン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピロリジン−2−イルカルボニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(1H−ピロロ[2,3−b]ピリジン−4−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、1−[2−(2,5−ジメチル−1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−((1,5−ジメチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル)ピペラジン、1−(1−エチル−5−メチル−1H−ピラゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−[4−(トリフルオロメチル)フェニル]エチル)ピペラジンカルボキシレート、3−(4−フルオロ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−
ブチルエステル、3−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−フラン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−チオフェン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸ベンジルエステル、4−(2−アミノ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−(2−アミノエチル)−1−boc−ピペラジン、4−(5−カルボキシ−ピリジン−2−イル)−2−メチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−Boc−1−(6−メチル−2−ピリジル)ピペラジン、Fmoc−4−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル4−Boc−ピペラジン−2−カルボキシレート、N,N−ジメチル−1−ピペラジンスルホンアミド、N−1−Boc−N−4−Fmoc−2−ピペラジンカルボン酸、N−4−Boc−N−1−cbz−ピペラジン−2−カルボン酸、N−4−Boc−N−1−Fmoc−2−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−1−カルボキシイミドアミド(1:1)、1−エチル−4−ピペリジン−4−イル−ピペラジン、1−フラン−2−イルメチル−ピペラジン、1−メチル−4−(2−ピペリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−メチル−4−(6−アミノピリジン−3−イル)ピペラジン、1−メチル−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−N−Boc−4−(アゼチジン−3−イル)ピペラジン、1−ピリジン−2−イルメチル−ピペラジン、1−ピリジン−3−イルメチル−ピペラジン、1−チアゾール−2−イル−ピペラジン、2−(2,5−ジメトキシ−フェニル)−ピペラジン、2−カルボキシメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−エトキシカルボニルメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−(4−メチル−シクロヘキシル)−ピペラジン、1−(4−メチル−ピペリジン−1−スルホニル)−ピペラジン、1−(4−トリフルオロメチル−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(5−メチル−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(5−メチル−2−チアゾリル)−ピペラジン、1−(5−ニトロピリジン−2−イル)ピペラジン;1−(6−ブトキシ−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(6−メチルピリド−2−イル)ピペラジン、1−(N−メチルピペリジン−3−イル−メチル)ピペラジン、1−(チエン−2−イルアセチル)ピペラジン、1−Boc−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−Boc−4−シアノメチルピペラジン、1−シクロヘキサ−3−エニルメチル−ピペラジン、並びにこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、方法。 - 請求項9に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記ピペラジン誘導体が、(R)−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ピペラジン−2,6−ジオン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,4−ビス(アクリロイル)ピペラジン、ピペラジン−1−酢酸tert−ブチルエステル、1−(3−メチルベンジル)ピペラジン、4−(ピペラジン−1−カルボニル)−ピペリジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、ピペラジン−1−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−1−スルホンアミド、ピペラジン−2−カルボキサミド、1,2−ジメチルピペラジン、2−イソプロピル−ピペラジン、1−(2−ピリミジル)ピペラジン、1−(2−ピラジニル)−ピペラジン、1−(6−ピリダジニル)ピペラジン、1−(3−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(2−ピリジル)ピペラジン、1−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−ピリジル)ピペラジン、1−(4−アミノフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンジル)ピペラジン、1−(2−シアノフェニル)ピペラジン、1−(2−メトキシエチル)ピペラジン、1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−エトキシエチル)ピペラジン、(R)−1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(R)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(R)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(1−ピペリジニルスルホニル)ピペラジン、1−(2−ジイソプロピルアミノエチル)ピペラジン、1−(2−ジプロピルアミノエチル)−ピペラジン、1−(2−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルブタノイル)ピペラジン、1−(2−イソプロポキシエチル)ピペラジン、1−(2−メチルメルカプトフェニル)ピペラジン、1−(2−モルホリノエチル)ピペラジン、1−(2−ピペリジノエチル)ピペラジン、1−(2−ピロリジノエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−(3−シアノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジエチルアミノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジプロピルアミノプロピル)−ピペラジン、1−(3−メトキシプロピル)ピペラジン、1−(3−モルホリノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピペリジノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピロリジノプロピル)ピペラジン、1−(4−メトキシブチル)ピペラジン、1−(4−ピリジルメチル)ピペラジン、1−(エタンスルホニル)ピペラジン、3−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、4−メチルピペラジン−1−カルボキシレート、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、4−(5−アミノピリジン−2−イル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−[2−(ジメチルアミノ)エチル]ピペラジン、1−(1−メチル−4−ピペリジニル)ピペラジン、1−アミノ−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]ピペラジン、1−(4−アミノブチル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチルピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、方法。
- 請求項9に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学添加剤が、モノ置換1−(2−アミノエチル)ピペラジン、ビス置換1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、方法。
- 請求項9に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学添加剤が、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、アルキルアンモニウムシアネート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるシアネート塩である、方法。
- 請求項9に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学機械研磨(CMP)組成物が、
腐食防止剤、
pH緩衝剤、
界面活性剤、及び
研磨組成物のpHが5.0〜8.0である場合はバイオサイド
のうちの1つ又は複数をさらに含む、方法。 - 選択的な化学機械研磨システムであって、
a)タングステン及び少なくとも1種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材と、
b)研磨パッドと、
c)化学機械研磨(CMP)組成物であって、
1)0.1wt%〜25wt%の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、
2)0.1wt%〜0.5wt%の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
3)0.0001wt%〜0.5wt%の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
4)0.5wt%〜10wt%の酸化剤と、
5)液体のキャリヤと
を含み、該CMP組成物のpHが約2.0〜約8.0である、組成物と、
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触している、システム。 - 請求項17に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学添加剤が、(R)−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ピペラジン−2,6−ジオン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,4−ビス(アクリロイル)ピペラジン、ピペラジン−1−酢酸tert−ブチルエステル、1−(3−メチルベンジル)ピペラジン、4−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(ジフェニルメチル)ピペラジン、1,4−ジ−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、2−(ピペラジン−1−カルボニル)−安息香酸、4−(ピペラジン−1−カルボニル)−ピペリジン−1−カルボン酸tert−ブチルブチルエステル、ピペラジン−1−カルボン酸(2−クロロ−フェニル)−アミドピペラジン−1−カルボン酸ジメチルアミド、ピペラジン−1−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−1−カルボン酸ジフェニルアミド、ピペラジン−1−スルホンアミド、ピペラジン−2−カルボキサミド、1,2−ジメチルピペラジン、1−(2−ブチル)−ピペラジン、2−イソブチル−ピペラジン、2−tert−ブチルピペラジン、R−2−イソブチル−ピペラジン、S−2−イソブチル−ピペラジン、2−イソプロピル−ピペラジン、1−(2−ピリミジル)ピペラジン、1−(4−トリフルオロメチルフェニル)ピペラジン、1−(シクロプロピルメチル)ピペラジン、1−(2−ピラジニル)−ピペラジン、1−(2−トリフルオロメチルフェニル)−ピペラジン、1−(6−ピリダジニル)ピペラジン、2−(4−トリフルオロメチルフェニル)ピペラジン、2−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸ベンジルエステル、1−(1−ナフチルメチル)ピペラジン、1−(1−ペンチル)ピペラジン、1−(2−ペンチル)−ピペラジン、1−(3−ペンチル)−ピペラジン、1−(プロパノイル)−ピペラジン、2−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−Boc−ピペラジン、1−(4−クロロフェニル)ピペラジン、1−(2−フロイル)ピペラジン、1−(2−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(2−フェニルエチル)ピペラジン、1−(4−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(2−メチルベンジル)ピペラジン、1−(4−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メチルベンジル)ピペラジン、1−(3−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(1−フェニルエチル)ピペラジン、1−(2,4−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(2,6−キシリル)ピペラジン、1−(2−エチルフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルフェニル)ピペラジン、1−(3,4−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチルフェニル)ピペラジン、1−(3−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(3−フロイル)ピペラジン、1−(N−ヘプチル)ピペラジン、1−ピバロイル−ピペラジン、2,3−ジメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−(2−クロロフェニル)ピペラジン、2−(4−クロロフェニル)ピペラジン、N−4−Cbz−ピペラジン−2−カルボン酸メチルエステル、1−(2−ピリジル)ピペラジン、1−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−クロロベンズヒドリル)ピペラジン、1−(4−ピリジル)ピペラジン、1−(4−アミノフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンジル)ピペラジン、1−(2−シアノフェニル)ピペラジン、1−(1−アダマンチル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)ピペラジン、1−(2−メトキシエチル)ピペラジン、2−(トリフルオロメチル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロフェニル)ピペラジン;1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2,5−ジフルオロベンジル)ピペラジン、1−(2−エトキシエチル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(3−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(シクロヘキシルメチル)ピペラジン、1−(3−メチルフェニル)ピペラジン、1−(4−メチルフェニル)ピペラジン、1−(3−フルオロベンジル)ピペラジン、1−(4−フルオロベンジル)ピペラジン、2−(3−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(3−クロロベンジル)ピペラジン、1−(シクロプロピルカルボニル)ピペラジン、(R)−1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(R)−2−ベンジルピペラジン、(R)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(R)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−2−ベンジルピペラジン、(S)−2−ベンジルピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(1−ピペリジニルスルホニル)ピペラジン、1−(2,2,2−トリフルオロエチル)ピペラジン、1−(2,3−ジフルオロフェニル)ピペラジン、1−(2,4,6−トリメチルベンジル)ピペラジン、1−(2,4−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(2,4−ジフルオロフェニル)ピペラジン、1−(2,6−ジクロロベンジル)ピペラジン、1−(2−クロロベンジル)ピペラジン、1−(2−シクロヘキシルエチル)ピペラジン、1−(2−ジイソプロピルアミノエチル)ピペラジン、1−(2−ジプロピルアミノエチル)−ピペラジン、1−(2−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルブタノイル)ピペラジン、1−(2−フルオロベンジル)ピペラジン、1−(2−イソプロポキシエチル)ピペラジン、1−(2−メチルメルカプトフェニル)ピペラジン、1−(2−メチルプロパノイル)−ピペラジン、1−(2−モルホリノエチル)ピペラジン、1−(2−フェノキシエチル)ピペラジン、1−(2−ピペリジノエチル)ピペラジン、1−(2−ピロリジノエチル)ピペラジン、1−(3,3−ジメチルブタノイル)ピペラジン、1−(3,4−ジクロロベンゾイル)ピペラジン、1−(3−(3,5−ジクロロフェニル)ピペラジン、4−ジフルオロベンゾイルピペラジン、1−(3,4−ジメチルベンジル)ピペラジン、1−(3,5−ジメトキシベンゾイル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチルベンゾイル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−(3−シアノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジエチルアミノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジプロピルアミノプロピル)−ピペラジン、1−(3−メトキシプロピル)−ピペラジン、1−(3−モルホリノプロピル)ピペラジン、1−(3−フェニルプロピル)ピペラジン、1−(3−ピペリジノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピロリジノプロピル)ピペラジン、1−(4−クロロベンゾイル)ピペラジン、1−(4−クロロベンジル)ピペラジン、1−(4−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンゾイル)−ピペラジン、1−(4−メトキシブチル)ピペラジン、1−(4−フェニルブチル)−ピペラジン、1−(4−ピリジルメチル)ピペラジン、1−(4−tert−ブチルベンジル)ピペラジン、1−(シクロヘキシルカルボニル)ピペラジン、1−(エタンスルホニル)ピペラジン、1−(フェニルアセチル)ピペラジン、1−Cbz−ピペラジン−2−カルボン酸、1−ヘキサノイル−ピペラジン、1−メチルスルホニル−ピペラジン、2,3−ジフェニルピペラジン、2−(2−フリル)ピペラジン、2−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、2−(2−チエニル)ピペラジン、2−(3−オキソ−ピペラジン−1−カルボニル)−安息香酸、2−(4−クロロフェニル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、2−(4−メチルフェニル)ピペラジン、2−ベンジル−ピペラジン、3−(4−クロロフェニル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、3−フェニル−ピペラジン−1−カルボン酸エチルエステル、4−(4−Boc−ピペラジン−1−カルボニル)フェニルボロン酸ピナコールエステル、[5−(4−メチル−ピペラジン−1−スルホニル)−ピリジン−2−イル]−ヒドラジン、メチルピペラジン−1−カルボキシレート、1−エチル−2−メチル−ピペラジン、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、1−(2−メチル−アリル)−ピペラジン、2−(3−トリフルオロメチル−フェニル)−ピペラジン、4−N−Boc−2−メチル−ピペラジン、1−(テトラヒドロ−2−フロイル)−ピペラジン、1−(テトラヒドロ−2−フリルメチル)ピペラジン、(R)−1−Boc−2−エチル−ピペラジン、(R)−1−Boc−3−エチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−2−エチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−3−エチル−ピペラジン、1−[1−(2−メトキシフェニル)エチル]ピペラジン、1−[1−(3−メトキシフェニル)エチル]ピペラジン、1−[1−(4−メトキシフェニル)−エチル]−ピペラジン、1−[2−(2−メチルフェノキシ)エチル]ピペラジン、1−(4−エトキシ−ベンジル)−ピペラジン、1−Boc−2,6−ジメチル−ピペラジン、1−Boc−3,3−ジメチルピペラジン、1−Boc−3,5−ジメチル−ピペラジン、1−Boc−5−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、1−N−(tert−ブトキシカルボニル)−2−エチルピペラジン、2−(2−フルオロ−フェニル)−ピペラジン、2−(3−フルオロ−フェニル)−ピペラジン、2−メチル−1−(3−メチルフェニル)ピペラジン、4−(5−アミノピリジン−2−イル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−[2−(ジメチルアミノ)エチル]ピペラジン、1−(1−メチル−4−ピペリジニル)ピペラジン、1−アセチル−4−(4−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−[4−(トリフルオロメチル)ベンジル]ピペラジン、1−Boc−4−(2−ホルミルフェニル)ピペラジン、1−アミノ−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−Boc−(4−ベンジル)ピペラジン、1−Boc−4−[3−(エトキシカルボニル)フェニル]ピペラジン、1−ビス(4−フルオロフェニル)メチルピペラジン、1−Boc−4−(3−ヒドロキシプロピル)ピペラジン、1−Boc−4−(4−ホルミルフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(4−メトキシカルボニルフェニル)ピペラジン、1−(1,3−ジオキソラン−2−イルメチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]ピペラジン、1−(1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−2−イル)ピペラジン、1−(4−アミノブチル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(2−メトキシカルボニルフェニル)ピペラジン、1−Boc−4−(5−ニトロ−2−ピリジル)ピペラジン、(R)−1−Boc−2−ベンジルピペラジン、(R)−1−N−Boc−2−イソプロピルピペラジン、(R)−1−N−Boc−4−N−Fmoc−2−ピペラジンカルボン酸、(R)−1−N−Cbz−2−メチル−ピペラジン、(R)−4−N−トリチル−2−メチルピペラジン、(R)−N4−ベンジル−2−(ベンジルオキシメチル)ピペラジン、(S)−1−Boc−2−ヒドロキシメチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−2−イソブチル−ピペラジン、(S)−1−Boc−3−ベンジルピペラジン、(S)−1−Boc−3−イソプロピル−ピペラジン、(S)−1−N−Boc−4−N−Fmoc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−4−N−トリチル−2−メチル−ピペラジン、(S)−n4−ベンジル−2−(メチルチオエチ
ル)ピペラジン、1−[(2,6−ジクロロフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(2−メチル−1,3−チアゾール−5−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4,5−ジメチル−1,3−オキサゾール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−シクロヘキシルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−イソブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−メチル−1,2,5−オキサジアゾール−3−イル)メチル]ピペラジン、1−[(4−sec−ブチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[(4−tert−ブチル−2,6−ジメチルフェニル)スルホニル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(ピリジン−3−イル)エチル]ピペラジン、1−[1−(チオフェン−2−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(1−プロピル)−オキシエチル]−ピペラジン、1−[2−(1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−[2−(2−メトキシ−フェノキシ)−エチル〕ピペラジン、1−[2−(ジアリルアミノ)−エチル]−ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)ピリジン−4−イル]ピペラジン、1−[2−(トリフルオロメチル)キノール−4−イル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[2−フルオロ−4−(メチルスルホニル)フェニル]−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−[3−(ジフルオロメトキシ)ベンゾイル]ピペラジン、1−[3−(トリフルオロメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン、1−[4−(メチルスルホニル)フェニル]ピペラジン、1−[4−(トリフルオロメチル)ピリミド−2−イル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ベンズヒドリルオキシ−エチル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチル−ピペラジン、1−(2−メチル−チアゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(2−N−Boc−アミノエチル)ピペラジン、1−(2−ピリジン−2−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−ピリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−チオフェン−2−イル−エチル)ピペラジン、1−(3,5−ジメチル−イソオキサゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メトキシ−ベンジル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ベンゾイル)−ピペラジン、1−(3−メチル−ピリジン−2−イルメチル)−ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−2−イル)ピペラジン、1−(3−メチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(4,6−ジメチルピリミジン−2−イル)ピペラジン、1−(4−シアノ−ベンジル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ベンゼンスルホニル)−ピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(4−フルオロベンジル)−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−4−カルボン酸tert−ブチルエステル、N−Boc−ピペリジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、(R)−1−Boc−3−メチルピペラジン、1−Boc−3−オキソピペラジン、1,4−ビス−(2−メトキシ−5−メチル−ベンゼンスルホニル)−2−メチルピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−3−イル)カルボニル]ピペラジン、1−[(1−メチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル]ピペラジン、1−(2−(N,N−ビス−(2−ヒドロキシプロピル)−アミノ)−エチル)−4−(2−ヒドロキシプロピル)−ピペラジン、1−(2−メトキシフェニル)−4−((4−(2−メトキシフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(3−(2,3−ジヒドロ−1,4−ベンゾジオキシン−6−イル)アクリロイル)−4−(4−フルオロフェニル)ピペラジン、1−(4−クロロフェニル)−4−[(7−{[4−(4−クロロフェニル)−1−ピペラジニル]スルホニル}−9H−フルオレン−2−イル)スルホニル]ピペラジン、1−(4−フルオロフェニル)−4−((4−(4−フルオロフェニル)−1−ピペラジニル)(オキソ)アセチル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(3−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−(4−ニトロフェニル)−4−(4−{[4−(4−ニトロフェニル)−1−ピペラジニル]カルボニル}ベンゾイル)ピペラジン、1−アセチル−4−(1−エチル−1H−イミダゾール−2−イル)ピペラジン、1−ベンズヒドリル−4−{2−[5−(ベンジルスルファニル)−4−(2−メチル−2−プロペニル)−4H−1,2,4−トリアゾール−3−イル]エチル}ピペラジン、1−ベンジル−4−[2−[(2',4'−ジフルオロ[1,1'−ビフェニル]−4−イル)オキシ]エチル]ピペラジン、1−ベンジル−4−(3−((2',4'−ジフルオロ(1,1'−ビフェニル)−4−イル)オキシ)プロピル)ピペラジン、1−イソプロピル−4−[(1−メチル−1H−ピロール−2−イル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−({7−[(4−メチル−1−ピペラジニル)スルホニル]−9H−フルオレン−2−イル}スルホニル)ピペラジン、1−フェニル−4−[フェニル(4−フェニル−1−ピペラジニル)メチル]ピペラジン、1−メチル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、4−(2−ヒドロキシ−エチル)−ピペラジン−1−カルボン酸(4−イソプロピル−フェニル)−アミド、6−ヒドロキシメチル−1,3−ジメチル−ピペラジン−2,5−ジオン、ビス(2−メトキシフェニル)2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジエタンスルホネート、1−(アダマンタン−1−スルフィニル)−4−メチル−ピペラジン、1−(フェニルスルホニル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−ベンジル−4−(2−メトキシプロパノイル)ピペラジン、1−シクロヘキシル−4−(メチルスルホニル)ピペラジン、1−エチル−4−(3−フリルメチル)ピペラジン、1−(3−フェノキシ−4−ピリジニル)ピペラジン、1−(2−ピリジニル)−4−(3−(2,3,4−トリメトキシフェニル)アクリロイル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(2−ピリジニル)ピペラジン、1−(3−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)アクリロイル)−4−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1,4−ビス−(2−ピリジルメチレンアミノ)−ピペラジン、1,4−ビス−(3,4,5−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、1,4−ビス−(アセトアセチル)−ピペラジン、1,4−ジ(2−フロイル)ピペラジン、1,4−ビス[2−(4−ピリジニル)エチル]ピペラジン、1,4−ビス(2−(2−ピリジニル)エチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−カルボキシベンゾイル)ピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、4−ベンジル−ピペラジン−1−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−オキソアセテート)、ジエチル2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジアセテート、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、(2E、2'E)−3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(2−ヒドロキシフェニル)プロプ−2−エン−1−オン)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(N−(1,5−ジメチル−3−オキソ−2−フェニル−2,3−ジヒドロ−1H−ピラゾール−4−イル)アセトアミド)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−(9H−カルバゾール−9−イル)プロパン−2−オール)フマレート、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルプロパン−1−オン)、3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)−ジプロパン−1−オール、4,4'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(3−エトキシシクロブタ−3−エン−1,2−ジオン、ピペラジン−1,4−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、1,4−ジ−tert−ブチルピペラジン−2,5−ジオン、1,4−ジドデシル−ピペラジン、1,4−ジヘキサデシル−ピペラジン、1−(1−ピペリジニルカルボニル)ピペラジン、1−(1−アダマンチルメチル)ピペラジン、1−(3,4−ジメトキシベンジル)ピペラジン、1−(3−ピリジニルカルボニル)ピペラジン、4−ピペラジノベンゾニトリル、(S)−3−メチル−2−ケトピペラジン、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、4−カルボニル(Boc−ピペラジン−1−イル)−3−ニトロ安息香酸、1,1'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパン−2−オール、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(1−フェニルエタノール)、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N'−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、1−ピペラジンプロパノール、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−フェニルエチル)ピペラジンカルボキシレート、tert−ブチル4−[2−(アミノメチル)フェニル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−[5−(ヒドロキシメチル)ピリド−2−イル]ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(3−アミノベンジル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−[(メチルアミノ)メチル]フェニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(4−シアノピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(5−ホルミルピリド−2−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(オキセタン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピペリジン−3−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(ピロリジン−2−イルカルボニル)ピペラジン−1−カルボキシレート、tert−ブチル4−(1H−ピロロ[2,3−b]ピリジン−4−イル)ピペラジン−1−カルボキシレート、1−[2−(2,5−ジメチル−1H−ピロール−1−イル)エチル]ピペラジン、1−((1,5−ジメチル−1H−ピラゾール−4−イル)メチル)ピペラジン、1−(1−エチル−5−メチル−1H−ピラゾール−4−イルメチル)−ピペラジン、t−ブチル−4−(2−アミノ−1−[4−(トリフルオロメチル)フェニル]エチル)ピペラジンカルボキシレート、3−(4−フルオロ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステ
ル、3−(4−ヒドロキシ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−フラン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、3−チオフェン−2−イル−ピペラジン−1−カルボン酸ベンジルエステル、4−(2−アミノ−フェニル)−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−(2−アミノエチル)−1−boc−ピペラジン、4−(5−カルボキシ−ピリジン−2−イル)−2−メチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、4−Boc−1−(6−メチル−2−ピリジル)ピペラジン、Fmoc−4−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル4−Boc−ピペラジン−2−カルボキシレート、N,N−ジメチル−1−ピペラジンスルホンアミド、N−1−Boc−N−4−Fmoc−2−ピペラジンカルボン酸、N−4−Boc−N−1−cbz−ピペラジン−2−カルボン酸、N−4−Boc−N−1−Fmoc−2−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−1−カルボキシイミドアミド(1:1)、1−エチル−4−ピペリジン−4−イル−ピペラジン、1−フラン−2−イルメチル−ピペラジン、1−メチル−4−(2−ピペリジン−4−イル−エチル)−ピペラジン、1−メチル−4−(6−アミノピリジン−3−イル)ピペラジン、1−メチル−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−N−Boc−4−(アゼチジン−3−イル)ピペラジン、1−ピリジン−2−イルメチル−ピペラジン、1−ピリジン−3−イルメチル−ピペラジン、1−チアゾール−2−イル−ピペラジン、2−(2,5−ジメトキシ−フェニル)−ピペラジン、2−カルボキシメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、2−エトキシカルボニルメチル−3−オキソ−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−(4−メチル−シクロヘキシル)−ピペラジン、1−(4−メチル−ピペリジン−1−スルホニル)−ピペラジン、1−(4−トリフルオロメチル−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、1−(5−メチル−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(5−メチル−2−チアゾリル)−ピペラジン、1−(5−ニトロピリジン−2−イル)ピペラジン;1−(6−ブトキシ−2−ピリジニル)ピペラジン、1−(6−メチルピリド−2−イル)ピペラジン、1−(N−メチルピペリジン−3−イル−メチル)ピペラジン、1−(チエン−2−イルアセチル)ピペラジン、1−Boc−4−(ピペリジン−4−イル)−ピペラジン、1−Boc−4−シアノメチルピペラジン、1−シクロヘキサ−3−エニルメチル−ピペラジン、並びにこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、システム。 - 請求項17に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記ピペラジン誘導体が、(R)−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ピペラジン−2,6−ジオン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、1,4−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,4−ビス(アクリロイル)ピペラジン、ピペラジン−1−酢酸tert−ブチルエステル、1−(3−メチルベンジル)ピペラジン、4−(ピペラジン−1−カルボニル)−ピペリジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、ピペラジン−1−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−1−スルホンアミド、ピペラジン−2−カルボキサミド、1,2−ジメチルピペラジン、2−イソプロピル−ピペラジン、1−(2−ピリミジル)ピペラジン、1−(2−ピラジニル)−ピペラジン、1−(6−ピリダジニル)ピペラジン、1−(3−ヒドロキシフェニル)ピペラジン、1−(2−ピリジル)ピペラジン、1−(4−メトキシフェニル)ピペラジン、1−(4−ピリジル)ピペラジン、1−(4−アミノフェニル)ピペラジン、1−(4−メトキシベンジル)ピペラジン、1−(2−シアノフェニル)ピペラジン、1−(2−メトキシエチル)ピペラジン、1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(2−エトキシエチル)ピペラジン、(R)−1−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(R)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(R)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、(S)−3−ヒドロキシメチル−ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、(S)−4−N−Boc−ピペラジン−2−カルボン酸、1−(1−ピペリジニルスルホニル)ピペラジン、1−(2−ジイソプロピルアミノエチル)ピペラジン、1−(2−ジプロピルアミノエチル)−ピペラジン、1−(2−エトキシフェニル)ピペラジン、1−(2−エチルブタノイル)ピペラジン、1−(2−イソプロポキシエチル)ピペラジン、1−(2−メチルメルカプトフェニル)ピペラジン、1−(2−モルホリノエチル)ピペラジン、1−(2−ピペリジノエチル)ピペラジン、1−(2−ピロリジノエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−(3−シアノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジエチルアミノプロピル)ピペラジン、1−(3−ジプロピルアミノプロピル)−ピペラジン、1−(3−メトキシプロピル)ピペラジン、1−(3−モルホリノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピペリジノプロピル)ピペラジン、1−(3−ピロリジノプロピル)ピペラジン、1−(4−メトキシブチル)ピペラジン、1−(4−ピリジルメチル)ピペラジン、1−(エタンスルホニル)ピペラジン、3−オキソ−ピペラジン−2−カルボン酸、4−メチルピペラジン−1−カルボキシレート、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、4−(5−アミノピリジン−2−イル)ピペラジン−1−カルボン酸tert−ブチルエステル、1−[2−(ジメチルアミノ)エチル]ピペラジン、1−(1−メチル−4−ピペリジニル)ピペラジン、1−アミノ−4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−(3−アミノプロピル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(ジメチルアミノ)プロピル]ピペラジン、1−(4−アミノブチル)−4−(2−メトキシフェニル)ピペラジン、1−[3−(1−ピペリジニルカルボニル)−2−ピリジニル]ピペラジン、1−(1H−イミダゾール−2−イルメチル)ピペラジン、1−(2,6−ジメチルピリジン−4−イル)ピペラジン、1−(2−ヒドロキシエチル)−4−イソプロピルピペラジン、1−(2−イミダゾール−1−イル−エチル)−ピペラジン、1−(2−イソシアノ−エチル)−4−メチルピペラジン、1−(4−エトキシ−ピリジン−2−イル)−ピペラジン、2−メチルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、トランス−2,5−ジメチルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ビス(3−ピリジニルメチル)ピペラジン、1−(エトキシカルボニルメチル)ピペラジン、2,3,5,6−テトラヒドロキシ−ピペラジン−1,4−ジカルボアルデヒド、ジメチル3,3'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパノエート、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンアミド、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ジプロパンニトリル、(R)−3−メチル−2−ケトピペラジン、2,2'−(ピペラジン−1,4−ジイル)ビス(2−メチルプロパンニトリル)、ピペラジン−N、N'−ビス(2−エタンスルホン酸)、1−ホルミルピペラジン、PIPESナトリウム塩、PIPES二ナトリウム塩、PIPES二カリウム塩、ピペラジン−N、N'−ビス(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、エチル1−ピペラジンカルボキシレート、POPSO二ナトリウム塩、4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、4−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−1−エタンスルホン酸、4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンプロパンスルホン酸、HEPESナトリウム塩、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(4−ブタンスルホン酸)、3−メチル−2−ケトピペラジン、HEPESカリウム塩、3−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、システム。
- 請求項17に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学添加剤が、モノ置換1−(2−アミノエチル)ピペラジン、ビス置換1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、システム。
- 請求項17に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学添加剤が、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、アルキルアンモニウムシアネート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるシアネート塩である、システム。
- 請求項17に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学機械研磨(CMP)組成物が、
腐食防止剤、
pH緩衝剤、
界面活性剤、及び
研磨組成物のpHが5.0〜8.0である場合はバイオサイド
のうちの1つ又は複数をさらに含む、システム。
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