JP2014130972A - チャック及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャック23は、細長状の部材を処理対象物10とし、当該処理対象物10を挟んで固定する。また、チャック23は、バネ55を有し、バネ55に力を加えて変形させることで、弾性力により処理対象物10を固定可能な状態(図5(a))から、処理対象物10に弾性力が掛からない状態(図5(b))に切替可能である。なお、このチャック23は、例えば処理対象物に光を照射する露光装置に採用することができる。
【選択図】図5
Description
20 露光装置(処理装置)
21 ベース部
22 チャック取付部
23 チャック
24 露光部
41 筒状部材
42 固定具
51 挿入孔
52 キャピラリ
53 小径部(第2部材)
54 U字部材(第1部材)
55 バネ(弾性体)
Claims (8)
- 細長状の部材を処理対象物とし、当該処理対象物を挟んで固定するチャックにおいて、
弾性体を有し、前記弾性体に力を加えて変形させることで、弾性力により前記処理対象物を固定する状態から、前記処理対象物に弾性力が掛からない状態に切替可能なことを特徴とするチャック。 - 請求項1に記載のチャックであって、
断面が略U字状の第1部材と、
前記第1部材の間に配置される第2部材と、
を備え、
前記弾性体の弾性力により、前記第1部材と前記第2部材との間に前記処理対象物を固定することを特徴とするチャック。 - ベース部と、
前記ベース部に取り付けられるチャック取付部と、
前記チャック取付部に取り付けられる請求項1又は2に記載のチャックと、
を備える処理装置であって、
前記チャック取付部と前記チャックとが磁力により固定されることを特徴とする処理装置。 - 請求項3に記載の処理装置であって、
前記チャック取付部と前記チャックのうち、一方が磁石を備え、他方が磁性を有する固定具を備えることを特徴とする処理装置。 - 請求項3又は4に記載の処理装置であって、
前記処理対象物の表面にはレジスト層が形成されており、
前記チャックに固定された前記処理対象物に光を照射する露光部を備えることを特徴とする処理装置。 - 請求項5に記載の処理装置であって、
前記チャックは、前記処理対象物の長手方向を回転軸方向として回転可能であり、
前記チャック又は前記露光部は、前記処理対象物の長手方向に移動可能であることを特徴とする処理装置。 - 請求項3から6までの何れか一項に記載の処理装置であって、
前記処理対象物は、スプリング構造を有する通電検査用の接触子を作成するための部材であることを特徴とする処理装置。 - 請求項3から7までの何れか一項に記載の処理装置であって、
前記チャックは、前記処理対象物の両端に配置されていることを特徴とする処理装置。
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