DE102015224103A1 - Touch-Panel-Struktur und Verfahren zu deren Herstellung, und Anzeigevorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents

Touch-Panel-Struktur und Verfahren zu deren Herstellung, und Anzeigevorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung Download PDF

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Abstract

Eine Kontaktöffnung 57M, die eine schützende Isolierschicht 64, eine Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und eine transparente Deckschicht 53 durchdringt und eine Oberfläche einer reflexionsarmen Schicht 52 nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, ist in einer Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet. Ein Unterschicht-Anschlussbereich 17B ist durch die reflexionsarme Schicht 52 und eine niederohmige leitfähige Schicht 51 unterhalb der Bodenfläche der Kontaktöffnung 57M ausgebildet. Eine Kontaktöffnung 67M, welche die schützende Isolierschicht 64 und eine transparente Deckschicht 63 durchdringt und eine Oberfläche der reflexionsarmen Schicht 62 nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, ist in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet. Ein Oberschicht-Anschlussbereich 18B wird durch die reflexionsarme Schicht 62 und eine niederohmige leitfähige Schicht 61 unterhalb der Bodenfläche der Kontaktöffnung 67M ausgebildet.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Touch-Panel-Struktur, die einen Farbfilter umfasst, und ein Verfahren zu deren Herstellung, und eine Anzeigevorrichtung und ein Verfahren zu deren Herstellung, und insbesondere auf eine Touch-Panel-Struktur, die für den Außeneinsatz geeignet ist.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Anzeigevorrichtungen, die Touch-Panels für den Außeneinsatz umfassen, müssen ausgezeichnete Anzeigeeigenschaften in einer Umgebung aufweisen, in der eine Menge einfallenden Lichts von außerhalb der Anzeigevorrichtungen, wie z. B. beim Einsatz unter Sonnenlicht, groß ist. Mit anderen Worten muss eine Verdrahtung der Touch-Panel-Eigenschaften einer geringen Reflexion gegenüber dem von außerhalb der Anzeigevorrichtungen einfallenden Licht und einer hohen Lichtdurchlässigkeit von Lichtquellen für die Anzeige aufweisen. Indessen muss auch ein elektrischer Widerstand für ein Ansprechverhalten und eine Empfindlichkeit der für die Touch-Panels benötigten Berührungssensoren niedrig sein.
  • Der Berührungssensor ist ferner auf einer Hauptoberfläche gegenüber der anderen Hauptoberfläche des gleichen Substrats ausgebildet, auf der ein Farbfilter ausgebildet ist, d. h. eine On-Cell bzw. Ein-Zelle ausgeführt ist, sodass eine Dicke eines Moduls in der gesamten Vorrichtung mehr als jene in einem Fall reduziert werden kann, bei dem ein Touch-Panel-Substrat getrennt vorgesehen ist. Somit sind die Anzeigevorrichtungen mit den Touch-Panels, auf denen die Ein-Zelle ausgeführt ist, durch Reduzieren der Dicke und des Gewichts bei der Verbesserung der Funktionen wirksam, und durch Vereinfachen einer Struktur bei der Kostenreduzierung wirksam.
  • Daher offenbart die internationale Patentveröffentlichung Nr. WO/065292 eine Touch-Panel-Struktur und ein Verfahren zu deren Herstellung wie folgt. Die Touch-Panel-Struktur umfasst einen Berührungssensor, der auf einer Hauptoberfläche gegenüber der anderen Hauptoberfläche des gleichen Substrats ausgebildet ist, auf der ein Farbfilter ausgebildet ist. Eine transparente leitfähige Schicht, die einen relativ hohen Widerstand verglichen mit Metall in einem Anzeigebereich aufweist, eine geringe Reflexion gegenüber einfallendem Licht von außerhalb einer Anzeigevorrichtung aufweist und eine hohe Lichtdurchlässigkeit von einer Lichtquelle für eine Anzeige aufweist, wird zum Verdrahten des Berührungssensors verwendet. Ein metallisches Material, wie z. B. Aluminium, das einen niedrigeren Widerstand als jener der transparenten leitfähigen Schicht aufweist, wird für einen Verbindungsanschlussbereich und von Ausgangsdrähten zum Ausgeben eines Elektrodenpotenzials eines Touch-Panels an ein externes Schaltungssubstrat verwendet.
  • Indessen beschreibt die internationale Patentanmeldung Nr. WO2011-052392 eine Touch-Panel-Struktur und ein Verfahren zu deren Herstellung wie folgt. Die Touch-Panel-Struktur umfasst einen Berührungssensor, der auf einer Hauptoberfläche gegenüber der anderen Hauptoberfläche des gleichen Substrats ausgebildet ist, auf der ein Farbfilter ausgebildet ist. Eine Metallschicht mit einem niedrigen Widerstand wird zum Verdrahten des Berührungssensors verwendet und der Berührungssensor ist an einer Position angeordnet, sodass dieser einen Bereich eines Anzeigebereichs, mit Ausnahme einer Öffnung, in Dickenrichtung eines Anzeigepanels überlappt, um kein Licht von einer Lichtquelle für eine Anzeige abzuschirmen.
  • Ferner beschreibt die offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 2013-222123 eine Touch-Panel-Struktur und ein Verfahren zu deren Herstellung wie folgt. Die Touch-Panel-Struktur wird zum Verdrahten des Touch-Panels mit einer Antireflexionsfunktion zum Zwecke des Anordnens einer Antireflexionsschicht auf einer Aluminiumlegierungsverdrahtung verwendet, um eine Reflexion einfallenden Lichts von außerhalb einer Anzeigenvorrichtung zu reduzieren, wobei die Verdrahtung durch eine Aluminiumschicht, eine Aluminiumnitridschicht (reflexionsarme Schicht) und eine transparente Schicht als Beispiel ausgebildet ist.
  • Die in der internationalen Patentveröffentlichung Nr. WO2011/065292 offenbarte Touch-Panel-Struktur ist jedoch kompliziert, und die transparente leitfähige Schicht im Anzeigebereich weist noch einen hohen Widerstand auf, und somit kann eine ausgezeichnete elektrische Eigenschaft insbesondere für ein Vergrößern (einen großen Bildschirm) nicht erreicht werden.
  • Die in der internationalen Patentveröffentlichung Nr. WO 2011/052392 offenbarte Touch-Panel-Struktur muss die Verdrahtung des Touch-Panel mit einer Lichtabschirmungsschicht des Farbfilters ausrichten, und daher ist die Konstruktion bzw. das Design stark eingeschränkt.
  • Andererseits umfasst die in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. WO2013/222123 offenbarte Touch-Panel-Struktur die Verdrahtung mit einem niedrigen Widerstand, die das Design einer dünnen Verdrahtungsbreite ermöglicht, und die optischen Eigenschaften und elektrischen Eigenschaften, die für das oben beschriebene Touch-Panel mit einem hohen Öffnungsverhältnis benötigt werden, ausreichend erfüllt.
  • Wenn jedoch, wie in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 2013-222123 offenbart, der Berührungssensor mit der reflexionsarmen Verdrahtung aus Aluminium (Al) auf dem Substrat unter der Annahme ausgebildet wird, dass ein Schritt des Ausbildens des Farbfilters auf der gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats anschließend ausgeführt wird, beschädigt eine alkalische Entwicklungslösung und ein Abdecklack-Abziehmittel, die in einem Schritt des Entwickelns des Farbfilters verwendet werden, einen Metallbereich, der als Verbindungsanschlussbereich einer Öffnung auf der Verdrahtung des Touch-Panels wirksam ist, was zum Auftreten von fehlerhaften Verbindungen zwischen dem Verbindungsanschlussbereich und der Verdrahtung führt.
  • Im Gegensatz dazu ist unter der Annahme, dass der Farbfilter zuerst auf dem Substrat ausgebildet wird und der Schritt des Ausbildens der Touch-Panel-Struktur, wie in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 2013-222123 offenbart, anschließend ausgeführt wird, der Farbfilter bereits auf der Unterseite des Substrats ausgebildet, wenn die Touch-Panel-Struktur ausgebildet wird. Dadurch wird der Farbfilter während eines Stadiums einer Adsorption und eines Transfers zerkratzt, wenn dieser im Schritt des Ausbildens der Touch-Panel-Struktur Licht ausgesetzt wird, wodurch sich deren Erträge reduzieren.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Berührungssensorschicht ohne Leistungsabfall in einer Touch-Panel-Struktur mit einer Farbfilterschicht zu schaffen, wobei die Berührungssensorschicht eine laminierte Verdrahtung mit Eigenschaften eines niedrigen Widerstands und eines geringen Reflexionsgrads aufweist.
  • Eine Touch-Panel-Struktur der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Substrat, das eine Hauptoberfläche und die andere Hauptoberfläche umfasst; eine Berührungssensorschicht, die auf der einen Hauptoberfläche des Substrats angeordnet ist und eine Anzeigeregion und eine Ausgangs-Verdrahtungsregion mit einem externen Anschlussbereich für eine externe Verbindung umfasst; und eine Farbfilterschicht, die auf der anderen Hauptoberfläche des Substrats angeordnet ist.
  • Die Farbfilterschicht ist so angeordnet, dass diese die Anzeigeregion der Berührungssensorschicht in einer Draufsicht überlappt. Die Berührungssensorschicht umfasst: eine laminierte Verdrahtung, die durch eine leitfähige Schicht, eine reflexionsarme Schicht und eine transparente Schicht ausgebildet ist, die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind; eine Isolierschicht, die zum Abdecken der laminierten Verdrahtung ausgebildet ist; und eine Öffnung, die in der Ausgangs-Verdrahtungsregion selektiv ausgebildet ist, die Isolierschicht und die transparente Schicht durchdringt und eine Oberfläche der reflexionsarmen Schicht aufweist, die als Bodenfläche nicht abgedeckt ist. Der externe Anschlussbereich ist durch die reflexionsartige Schicht und die leitfähige Schicht unterhalb der Bodenfläche der Öffnung ausgebildet.
  • Der externe Anschlussbereich in der Touch-Panel-Struktur der vorliegenden Erfindung umfasst die reflexionsartige Schicht, die auf der leitfähigen Schicht in der Endstruktur ausgebildet ist, und zumindest die reflexionsarme Schicht befindet sich in der oberen Schicht, wenn ein TFT-Arraysubstrat zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung zusammengebaut wird, um dadurch Einfluss auf die leitfähige Schicht in der Ausgangs-Verdrahtungsregion zu haben.
  • Ein Verfahren zum Herstellen einer Touch-Panel-Struktur der vorliegenden Erfindung umfasst die Schritte (a) bis (d). Der Schritt (a) fertigt ein Substrat an, das eine Hauptoberfläche und die andere Hauptoberfläche aufweist, der Schritt (b) bildet einen Hauptbereich einer Berührungssensorschicht auf der einen Hauptoberfläche des Substrats aus, wobei die Berührungssensorschicht eine Anzeigenregion und eine Ausgangs-Verdrahtungsregion aufweist, und der Schritt (c) bildet eine Farbfilterschicht auf der anderen Hauptoberfläche des Substrats nach dem Ausführen des Schritts (b) aus. Die Farbfilterschicht ist so angeordnet, dass diese die Anzeigeregion der Berührungssensorschicht in einer Draufsicht überlappt. Der Schritt (d) bildet einen externen Anschlussbereich für eine externe Verbindung in der Ausgangs-Verdrahtungsregion nach dem Ausführen des Schritts (c) aus.
  • Der Schritt (b) umfasst die Schritte (b-1) bis (b-3). Der Schritt (b-1) bildet eine laminierte Verdrahtung aus, die eine leitfähige Schicht, eine reflexionsarme Schicht und eine transparente Schicht umfasst, die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind, der Schritt (b-2) bildet eine Isolierschicht aus, welche die laminierte Verdrahtung abdeckt, und der Schritt (b-3) bildet selektiv eine Öffnung mit geringer Tiefe in der Ausgangs-Verdrahtungsregion aus, wobei die Öffnung mit geringer Tiefe die Isolierschicht durchdringt und eine Oberfläche der transparenten Schicht nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist.
  • Der Schritt (d) umfasst den Schritt (d-1) des Ausbildens einer Öffnung mit größerer Tiefe, die zumindest die transparente Schicht auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe durchdringt, wobei der externe Anschlussbereich zumindest die leitfähige Schicht unterhalb einer Bodenfläche der Öffnung mit größerer Tiefe umfasst.
  • Beim Verfahren zum Herstellen einer Touch-Panel-Struktur der vorliegenden Erfindung verbleiben die transparente Schicht und die reflexionsarme Schicht auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe in der Ausgangs-Verdrahtungsregion unmittelbar nach dem Ausführen des Schritts (b), sodass, wenn die Farbfilterschicht im Schritt (c) ausgebildet wird, der nach dem Schritt (b) ausgeführt wird, die leitfähige Schicht und die reflexionsarme Schicht in der Ausgangs-Verdrahtungsregion nicht beeinflusst werden.
  • Der Schritt (d), der nach dem Schritt (c) durchgeführt wird, beseitigt zumindest die transparente Schicht, die im Schritt (c) einer Umgebungsverarbeitung unterzogen wird und unmittelbar unterhalb der Bodenfläche der Öffnung mit größerer Tiefe ausgebildet wird, um dadurch den externen Anschlussbereich auszubilden, der zumindest die leitfähige Schicht umfasst.
  • Demzufolge kann ein Material, wie z. B. Aluminium, mit einem niedrigen Widerstand für die im Schritt (b-1) ausgebildete leitfähige Schicht gewählt werden, und die Touch-Panel-Struktur, bei der die aus der laminierten Verdrahtung mit dem niedrigen Widerstand ausgebildete Berührungssensorschicht ohne Leistungsabfall ausgebildet wird, kann schließlich hergestellt werden.
  • BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus nachfolgender Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen.
  • Darin zeigt:
  • 1 eine Draufsicht, die eine Gesamtkonfiguration einer Anzeigevorrichtung in einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel und einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
  • 2 eine Querschnittsansicht, die einen Schnitt A-A in 1 veranschaulicht;
  • 3 eine Querschnittsansicht, die einen Schnitt B-B in 1 und eine Querschnittskonfiguration eines Ausgangs-Verdrahtungsbereichs für X-Positionserfassungsdrähte und Y-Positionserfassungsdrähte im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel veranschaulicht;
  • 4 eine Querschnittsansicht, die ein Verfahren zum Herstellen eines mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats in der Anzeigevorrichtung im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • 5 bis 23 Querschnittsansichten, die das Verfahren zum Herstellen des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel veranschaulichen;
  • 24 eine Querschnittsansicht, die den Schnitt B-B in 1 und eine Querschnittsstruktur eines Ausgangs-Verdrahtungsbereichs von X-Positionserfassungsdrähten und Y-Positionserfassungsdrähten im zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel veranschaulicht;
  • 25 und 26 Querschnittsansichten, die ein Verfahren zum Herstellen eines mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats im zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel veranschaulichen; und
  • 27 eine Querschnittsansicht, die eine Querschnittsstruktur eines mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats in der früheren Erfindung veranschaulicht.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Gesamtkonfiguration der Anzeigevorrichtung
  • 1 zeigt eine Draufsicht, die eine Gesamtkonfiguration veranschaulicht, welche Anzeigevorrichtungen in einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel und einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gemeinsam aufweisen. 2 zeigt eine Querschnittsansicht, die einen Schnitt A-A in 1 veranschaulicht. 1 zeigt ein senkrechtes XY-Koordinatensystem.
  • Eine in 1 und 2 dargestellte Anzeigevorrichtung 100 ermöglicht eine Eingabe mit einem Touch-Panel, das für einen Außeneinsatz prädestiniert ist, und die Anzeigevorrichtung 100 weist eine Zeigefunktion mit einem Finger oder dergleichen auf.
  • Wie in 2 dargestellt, ist die Anzeigevorrichtung 100 als Flüssigkristallanzeigepanel ausgebildet und weist eine laminierte Struktur einer Hintergrundbeleuchtungseinheit 21, eines TFT-Arraysubstrats 20, eines Flüssigkristallbereichs 35, eines Dichtmaterials 36 für den Flüssigkristallbereich 35 und eines mit einem Farbfilter (CF) ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30 in einem Gehäuse 14 auf. Das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 umfasst im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel ein mit einem CF ausgestattetes Touch-Panel-Substrat 30A, das nachfolgend beschrieben wird, und im zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel ein mit einem CF ausgestattetes Touch-Panel-Substrat 30B.
  • Das TFT-Arraysubstrat 20 umfasst eine TFT-Arrayschicht 23, die auf einem transparenten Substrat 22 ausgebildet ist. Indessen umfasst das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 ein transparentes Substrat 27 (Substrat), eine Berührungssensorschicht 50, die auf einer Hauptoberfläche (Oberseite in der Darstellung) des transparenten Substrats 27 ausgebildet ist, und eine Farbfilterschicht 40, die auf der anderen Hauptoberfläche (Unterseite in der Darstellung) des transparenten Substrats 27 ausgebildet ist. Das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 mit einer derartigen Konfiguration wird zum Verbinden mit einem Anzeigemodul verwendet, um eine grafische Benutzerschnittstellen-(GUI-)Vorrichtung zu bilden, und daher kann die Anzeigevorrichtung 100 die Zeigefunktion aufweisen. Darüber hinaus umfasst das Anzeigemodul den Flüssigkristallbereich 35, das TFT-Arraysubstrat, oder dergleichen.
  • Das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30, das ein projiziertes kapazitives Touch-Panel ist, ist auf dem transparenten Substrat 27 ausgebildet, das aus Glas oder Polyethylenterephthalat (PET) hergestellt ist. Das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 umfasst X-Positionserfassungsdrähte 2 und Y-Positionserfassungsdrähte 3. Die X-Positionserfassungsdrähte 2 sind in einer Spaltenrichtung (Y-Richtung (erste Richtung) in 1) erstreckend angeordnet, und die Y-Positionserfassungsdrähte 3 sind oberhalb der X-Positionserfassungsdrähte 2 angeordnet, wobei diese sich in eine Zeilenrichtung (X-Richtung in 1) erstrecken, um die X-Positionserfassungsdrähte 2 dreidimensional zu schneiden bzw. zu kreuzen. Mit anderen Worten verläuft die Zeilenrichtung, welche eine zweite Richtung bildet, senkrecht zur Spaltenrichtung, welche die erste Richtung bildet, und kreuzt die Spaltenrichtung in einer Draufsicht. Auf diese Weise umfasst die Berührungssensorschicht 50 eine Matrixverdrahtung, die durch die X-Positionserfassungsdrähte 2 und die Y-Positionserfassungsdrähte 3 gebildet ist.
  • Wie in 1 dargestellt, sind die X-Positionserfassungsdrähte 2 und die Y-Positionserfassungsdrähte 3 mit einem (Verbindungs-)Anschlussbereich 5 an einem Randbereich (unteren Bereich in der Abbildung) des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30 durch Ausgangsdrähte 4 elektrisch verbunden, wobei der Anschlussbereich 5 Signale von und nach außen eingibt und ausgibt. Das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 ist mit einem Steuersubstrat, das nicht dargestellt ist, durch den Anschlussbereich 5 für die externe Verbindung elektrisch verbunden.
  • Im nachfolgend beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel und zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die X-Positionserfassungsdrähte 2 als Unterlagen-Drähte (auf der Seite des transparenten Substrats 27) beschrieben, während die Y-Positionserfassungsdrähte 3 als Oberlagen-Positionserfassungsdrähte (auf einer Seite einer Polarisierungsplatte 66, die später beschrieben wird) beschrieben sind, aber die X-Positionserfassungsdrähte 2 und die Y-Positionserfassungsdrähte 3 können in der oberen und unteren Beziehung umgekehrt angeordnet werden.
  • Erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
  • Mit Bezug auf die Querschnittsstruktur der Anzeigevorrichtung 100 wird nachfolgend das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A (eine Touch-Panel-Struktur) im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben. 3 zeigt eine Querschnittsansicht, die einen Schnitt B-B in einer Anzeigeregion A7 in 1 und eine Querschnittsstruktur des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels veranschaulicht, bei der jeder Anschlussbereich in einer Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 für die X-Positionserfassungsdrähte 2 und die Y-Positionserfassungsdrähte 3 extrahiert und abstrahiert ist.
  • Wie in 3 dargestellt, umfasst die Berührungssensorschicht 50 eine selektiv ausgebildete niederohmige leitfähige Schicht 51 (erste leitfähige Schicht), eine reflexionsarme Schicht 52 (erste reflexionsarme Schicht) auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 51, und eine transparente Deckschicht 53 (erste transparente Schicht) auf der reflexionsarmen Schicht 52 auf der Oberfläche (einer Hauptoberfläche) des transparenten Substrats 27, das in der Anzeigeregion A7 aus Glas oder PET hergestellt ist. Ein Unterlagen-Draht 15 (eine erste laminierte Verdrahtung) weist eine laminierte Struktur auf, die durch die niederohmige leitfähige Schicht 51, die reflexionsarme Schicht 52 und die transparente Deckschicht 53 ausgebildet ist, die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind.
  • Eine Zwischenlagen-Isolierschicht 54 (erste Isolierschicht) ist zum Abdecken des Unterlagen-Drahts 15 ausgebildet. Der Unterlagen-Draht 15, der, wie in 3 dargestellt, aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 51, der reflexionsarmen Schicht 52 und der transparenten Deckschicht 53 in der Anzeigeregion A7 ausgebildet ist, entspricht einem der in 1 dargestellten X-Positionserfassungsdrähte 2. Man kann sagen, dass das transparente Substrat 27 eine darunterliegende Schicht zum Ausbilden des Unterlagen-Drahts 15 ist, sodass das transparente Substrat 27 auch als darunterliegende Schicht bezeichnet werden kann.
  • Darüber hinaus ist eine niederohmige leitfähige Schicht 61 (zweite leitfähige Schicht) auf der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 selektiv ausgebildet, eine reflexionsarme Schicht 62 (zweite reflexionsarme Schicht) ist auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 ausgebildet, und eine transparente Deckschicht 63 (zweite transparente Schicht) ist auf der reflexionsarmen Schicht 62 ausgebildet. Ein Oberlagen-Draht 16 (eine zweite laminierte Verdrahtung) weist eine laminierte Struktur auf, die durch die niederohmige leitfähige Schicht 61, die reflexionsarme Schicht 62 und die transparente Deckschicht 63 gebildet wird, die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind.
  • Eine schützende Isolierschicht 64 (zweite Isolierschicht) ist zum Abdecken des Oberlagen-Drahts 16 ausgebildet. Der Oberlagen-Draht 16 entspricht einem der Y-Positionserfassungsdrähte 3, die in 1 dargestellt sind. Man kann sagen, dass die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 eine darunterliegende Schicht zum Ausbilden des Unterlagen-Drahts 16 ist, sodass die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 auch als darunterliegende Schicht bezeichnet werden kann.
  • Indessen ist ein Kontaktloch 57 (eine Öffnung) in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet, wobei dieses die schützende Isolierschicht 64, die Zwischenlagen-Isolierschicht 54, die transparente Deckschicht 53 und die reflexionsarme Schicht 52 durchdringt und die Oberfläche der niederohmigen leitfähigen Schicht nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist. Ein Unterlagen-Anschlussbereich 17A (erster externer Anschlussbereich) wird nur durch die niederohmige leitfähige Schicht 51 auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 57 ausgebildet.
  • Gleichermaßen ist ein Kontaktloch 67 (eine Öffnung) in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet, wobei dieses die schützende Isolierschicht 64, die transparente Deckschicht 63 und die reflexionsarme Schicht 62 durchdringt und die Oberfläche der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist. Ein Oberlagen-Anschlussbereich 18A (zweiter externe Anschlussbereich) wird nur durch die niederohmige leitfähige Schicht 61 auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 67 ausgebildet.
  • In 1 entspricht der Unterlagen-Anschlussbereich 17A einem Teil des (Verbindungs-)Anschlussbereichs 5, der sich vom Unterlagen-Draht 15 (= der X-Positionserfassungsdraht 2) erstreckt und mit dem Unterlagen-Draht 15 durch den Ausgangsdraht 4 elektrisch verbunden ist, während der Oberlagen-Anschlussbereich 18A einem Teil des Anschlussbereichs 5 entspricht, der sich vom Oberlagen-Draht 16 (= der Y-Positionserfassungsdraht 3) erstreckt und mit dem Oberlagen-Draht 16 durch den Ausgangsdraht 4 elektrisch verbunden ist.
  • Die niederohmige leitfähige Schicht 51 für den Unterlagen-Draht 15 und den Unterlagen-Anschlussbereich 17A ist aus einer Legierung eines Al-Systems hergestellt, das ein Material mit niedrigem Widerstand, wie z. B. AlNiNd, ist und z. B. eine Dicke von 300 nm aufweist.
  • Die reflexionsarme Schicht 52 für den Unterlagen-Draht 15 und der Unterlagen-Anschlussbereich 17A ist aus einer Aluminium-(Al-)Nitridschicht hergestellt und weist z. B. eine Dicke von 50 nm auf, wobei die Al-Nitridschicht z. B. einen hohen Nitrierungsgrad von 30 bis 50 at% (Atom%) hinsichtlich eines Zusammensetzungsverhältnisses von Stickstoff aufweist.
  • Die Al-Nitridschicht kann einen Reflexionsgrad von 50% oder darunter durch eine geeignete Auswahl des Nitrierungsgrads unter der Bedingung aufweisen, dass der Nitrierungsgrad 30 bis 50 at% in Bezug auf das Zusammensetzungsverhältnis von Stickstoff beträgt. Die Al-Nitridschicht kann z. B. einen Reflexionsgrad von 30% oder darunter dadurch aufweisen, dass der Nitrierungsgrad ca. 45 at% hinsichtlich des Zusammensetzungsverhältnisses von Stickstoff beträgt. Wenn die Al-Nitridschicht eine große Dicke aufweist, kann sich ein Reflexionsgrad verringern, es ist jedoch technisch schwierig, die große Dicke mit hoher Präzision auszubilden. Dadurch kann, wie oben beschrieben, das Einstellen des Nitrierungsgrads und das Anpassen der Dicke gemäß dem Nitrierungsgrad eine optimale reflexionsarme Schicht 52 schaffen.
  • Die transparente Deckschicht 53 für den Unterlagen-Draht 15 und den Unterlagen-Anschlussbereich 17A ist z. B. aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) hergestellt und weist z. B. eine Dicke von 50 nm auf.
  • Die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 ist z. B. aus SiO2 hergestellt und weist z. B. eine Dicke von 600 nm auf.
  • Die niederohmige leitfähige Schicht 61 für den Oberlagen-Draht 16 und den Oberlagen-Anschlussbereich 18A ist aus einer Legierung eines Al-Systems, die ein Material mit niedrigem Widerstand, wie z. B. AlNiNd, ist und z. B. eine Dicke von 400 nm aufweist.
  • Die reflexionsarme Schicht 62 für den Oberlagen-Draht 16 und den Oberlagen-Anschlussbereich 18A ist aus einer Al-Nitridschicht hergestellt und weist z. B. eine Dicke von 50 nm auf, wobei die Al-Nitridschicht einen hohen Nitrierungsgrad von z. B. 30 bis 50 at% (Atom%) in Bezug auf ein Zusammensetzungsverhältnis von Stickstoff aufweist.
  • Wie oben beschrieben, kann die Al-Nitridschicht, die das Material für die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bildet, den Reflexionsgrad von 50% oder weniger durch eine geeignete Auswahl des Nitrierungsgrads unter der Bedingung aufweisen, dass der Nitrierungsgrad 30 bis 50 at% in Bezug auf das Zusammensetzungsverhältnis von Stickstoff beträgt. Die Al-Nitridschicht kann z. B. den Reflexionsgrad von 30% oder weniger dadurch aufweisen, dass diese den Nitrierungsgrad von ca. 45 at% in Bezug auf das Zusammensetzungsverhältnis von Stickstoff aufweist. Durch Anpassen der Dicke entsprechend dem Nitrierungsgrad kann eine optimale reflexionsartige Schicht erreicht werden.
  • Die transparente Deckschicht 63 für den Oberlagen-Draht 16 und den Oberlagen-Anschlussbereich 18A ist z. B. aus ITO hergestellt und weist eine Dicke von z. B. 50 nm auf.
  • Die schützende Isolierschicht 64 ist z. B. aus SiO2 hergestellt und weist eine Dicke von z. B. 300 nm auf.
  • Wie oben beschrieben, verbleibt die niederohmige leitfähige Schicht 51 in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 57, der Unterlagen-Anschlussbereich 17A wird nur durch die niederohmige leitfähige Schicht 51 gebildet, die niederohmige leitfähige Schicht 61 verbleibt auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 67 und der Oberlagen-Anschlussbereich 18A wird nur durch die niederohmige leitfähige Schicht 61 gebildet.
  • Die Farbfilterschicht 40 ist auf der Rückseite (der anderen Hauptoberfläche) des transparenten Substrats 27 gegenüber der Oberfläche ausgebildet, auf der die Berührungssensorschicht 50 ausgebildet ist. Die Farbfilterschicht 40 ist an einer solchen Position ausgebildet, dass diese die Anzeigeregion A7 der Berührungssensorschicht 50 in einer Draufsicht in der XY-Ebene von 1 überlappt.
  • Im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel wurde das Beispiel beschrieben, bei dem die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 aus der Al-Nitridschicht (AlNi-Schicht) hergestellt sind, aber dies ist nicht einschränkend. Die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 können aus Metall (Nitridmetall) hergestellt sein, das eine nitrierte Legierung des Al-Systems ist, die Al als Hauptbestandteil enthält, zu dem die anderen Metalle hinzugefügt werden. Die anderen Metalle umfassen z. B. Fe, Co, Ni, die Gruppe-8-Übergangsmetalle sind, und Nd, das ein Element der seltenen Erden ist.
  • Im oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel weist der Oberlagen-Draht 16, welcher der Y-Positionserfassungsdraht 3 ist, der sich in die Zeilenrichtung (X-Richtung) in der Anzeigeregion A7 der horizontalen Form erstreckt, eine längere Verdrahtungslänge als jene des Unterlagen-Drahts 15 auf, welcher der X-Positionserfassungsdraht 2 ist, der sich in die Spaltenrichtung (Y-Richtung) erstreckt, sodass die niederohmige leitfähige Schicht 61 eine größere Dicke als jene der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 aufweist, um einen Verdrahtungswiderstand zu reduzieren. Eine Dicke der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 des Unterlagen-Drahts 15 und eine Dicke der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 des Oberlagen-Drahts 16 können jedoch durch einen erforderlichen Widerstand frei bestimmt werden.
  • Im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel wurde das Beispiel beschrieben, bei dem die niederohmigen leitfähigen Schichten 51, 61 aus der Legierung des Al-Systems hergestellt sind, aber dies ist nicht einschränkend. Die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 können z. B. aus Ag hergestellt sein.
  • Das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A weist im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel den Effekt einer Reduzierung von Veränderungen in einer Reflexionsverteilung durch Unterdrücken einer Dickenverteilung von festgelegten Dicken der reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bei Beendigung eines Prozesses auf ca. {minimale Dicke/maximale Dicke > 0,6} auf.
  • Die Dicken der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und der schützenden Isolierschicht 64 können durch eine gewünschte Kapazität oder dergleichen frei bestimmt werden, und können durch ein Auswahlverhältnis einer Abdecklackschicht in einem Trockenätzprozess und durch eine Prozesszeit bestimmt werden. Die dickere Dicke reduziert oftmals einen Farbton und eine Differenz im Reflexionsgrad zwischen der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 oder der schützenden Isolierschicht 64 und dem Unterlagen-Draht, sodass die Dicke auf etwa 1 μm festgelegt wird und vorzugsweise auf 1,3 μm oder darüber festgelegt wird.
  • 4 bis 23 zeigen Querschnittsansichten, die ein Verfahren zum Herstellen des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A (der Touch-Panel-Struktur) im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel in der Anzeigevorrichtung 100 veranschaulichen, die in 1 bis 3 dargestellt ist. Nachfolgend wird mit Bezug auf die Zeichnungen das Verfahren zum Herstellen des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A beschrieben.
  • Zuerst wird, nachdem das aus Glas oder PET hergestellte transparente Substrat 27 wie in 4 dargestellt angefertigt ist, eine AlNiNd-Schicht 151 mit einer Dicke von 300 nm unter Verwendung eines AlNiNd-Targets, wie in 5 dargestellt, durch Sputtern ausgebildet. Danach wird die gleiche Vorrichtung zum Ausbilden einer Schicht verwendet, und eine Al-Legierungs-Nitridschicht 152, die eine Metall-Nitridschicht mit einen hohen Nitrierungsgrad ist und eine Dicke von 50 nm aufweist, wird auf der AlNiNd-Schicht 151 unter Verwendung des AlNiNd-Targets durch Sputtern in einer Atmosphäre von N2-Gas ausgebildet.
  • Für einen niedrigen Nitrierungsgrad ist die Al-Legierungs-Nitridschicht 152 eine Reflexionsschicht und keine reflexionsarme Schicht, und für einen hohen Nitrierungsgrad ist die Al-Legierungs-Nitridschicht 152 eine transparente Schicht und keine reflexionsarme Schicht. Daher muss eine Beziehung zwischen einem Partialdruck von N2 und Reflexionseigenschaften in der Vorrichtung zum Ausbilden einer zu verwendenden Schicht im Voraus erreicht werden, und es ist vorteilhaft, Bedingungen zum Ausbilden einer Schicht so zu bestimmen, dass eine reflexionsarme Schicht mit gewünschtem Reflexionsgrad erhalten wird.
  • Ferner wird, wie in 5 dargestellt, eine amorphe Indiumzinnoxid-(ITO-)Schicht 153 mit einer Dicke von 50 nm auf der Al-Legierungs-Nitridschicht 152 durch Sputtern ausgebildet. Darüber hinaus kann ein Mittel, wie z. B. eine Beschichtung, statt Sputtern verwendet werden.
  • Anschließend wird, wie in 5 dargestellt, nachdem ein Abdecklackmaterial auf die ITO-Schicht 153 aufgebracht wurde, ein Muster für den Unterlagen-Draht 15 belichtet und entwickelt, um dadurch einen Abdecklack (eine Maske) 71 auszubilden, der (die) für den Unterlagen-Draht 15 (sowie den Unterlagen-Anschlussbereich 17A und den Ausgangsdraht, der sich zum Unterlagen-Anschlussbereich 17A erstreckt) gemustert ist.
  • Anschließend wird, wie in 6 dargestellt, die ITO-Schicht 153 z. B. mit Oxalsäure unter Verwendung des Abdecklacks 71, der als Ätzmaske gemustert wurde, geätzt, um dadurch die gemusterte transparente Deckschicht 53 zu erhalten. Dann werden die Al-Legierungs-Nitridschicht 152 und die AlNiNd-Schicht 151 z. B. mit einer Säuremischung aus Phosphorsäure, Salpetersäure und Essigsäure unter Verwendung des Abdecklacks 71 und der transparenten Deckschicht 53 als Ätzmasken geätzt, um dadurch die reflexionsarme Schicht 52 und die niederohmige leitfähige Schicht 51 gemustert zu erhalten.
  • Wenn die Al-Legierungs-Nitridschicht 152 und die AlNiNd-Schicht 151 gleichzeitig geätzt werden, wird ein Nitrierungsgrad der Al-Legierungs-Nitridschicht 152 in einem Bereich festgelegt, der das Ätzen mit der Säuremischung ermöglicht.
  • Als nächstes wird der Abdecklack 71 unter Verwendung eines Abdecklack-Abziehmittels, wie z. B. einer Lösungsmischung z. B. aus Monoethnolamin und Dimethylsulfoxid, entfernt. Dadurch wird, wie in 6 dargestellt, der Unterlagen-Draht 15 der aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 51, der reflexionsarmen Schicht 52 und der transparenten Deckschicht 53 ausgebildet ist, im Anzeigebereich A7 ausgebildet, und die Struktur in der Vorstufe des Unterlagen-Anschlussbereich 17A, die aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 51, der reflexionsarmen Schicht 52 und der transparenten Deckschicht 53 ausgebildet ist, wird im Ausgangs-Verdrahtungsbereich A8 ausgebildet.
  • Als nächstes wird, wie in 7 dargestellt, eine SiO2-Schicht z. B. durch eine chemische Dampfabscheidung (CVD) ausgebildet, um die gesamte Oberfläche einschließlich des Unterlagen-Drahts 15 abzudecken, um dadurch die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 mit der Dicke von 600 nm auszubilden.
  • Anschließend wird der Oberlagen-Draht 16 auf der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 ausgebildet. Zuerst werden, wie in 8 dargestellt, eine AlNiNd-Schicht 161, eine Al-Legierungs-Nitridschicht (Metall-Nitridschicht) 162 und eine ITO-Schicht 163 nacheinander gleichermaßen wie bei der Bildung der AlNiNd-Schicht 151, der Al-Legierungs-Nitridschicht 152 und der ITO-Schicht 153 laminiert. Danach wird, nachdem das Abdecklackmaterial auf die ITO-Schicht 163 aufgebracht ist, ein Muster für den Oberlagen-Draht 16 einschließlich des Oberlagen-Anschlussbereichs 18A und des Ausgangsdrahts, der sich vom Oberlagen-Draht 16 und dem Oberlagen-Anschlussbereich 18A erstreckt) belichtet und entwickelt, um dadurch einen Abdecklack (eine Maske) 72 auszubilden, der (die) für den Oberlagen-Draht 16 gemustert ist.
  • Als nächstes wird, wie in 9 dargestellt, gleichermaßen wie bei der Bildung des Unterlagen-Drahts 15 die ITO-Schicht 163 unter Verwendung des Abdecklacks 72 geätzt, der als Ätzmaske gemustert wurde, um dadurch die gemusterte transparente Abdeckschicht 63 zu erhalten. Anschließend werden die Al-Legierungs-Nitridschicht 162, und die AlNiNd-Schicht 161 unter Verwendung des Abdecklacks 72 und der transparenten Abdeckschicht 63 als Ätzmasken geätzt, um dadurch die reflexionsarme Schicht 62 und die niederohmige leitfähige Schicht 61 zu erhalten, die gemustert wurden. Anschließend wird der Abdecklack 72 gleichermaßen wie der Abdecklack 61 entfernt.
  • Demzufolge ist, wie in 9 dargestellt, der aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 61, der reflexionsarmen Schicht 62 und der transparenten Deckschicht 63 ausgebildete Oberlagen-Draht 16, im Anzeigebereich A7 ausgebildet, und die Struktur in der Vorstufe des Oberlagen-Anschlussbereichs 18A, der aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 61, der reflexionsarmen Schicht 62 und der transparenten Deckschicht 63 ausgebildet ist, ist im Ausgangs-Verdrahtungsbereich A8 ausgebildet.
  • Nachdem der Oberlagen-Draht 16 ausgebildet ist, wird die SiO2-Schicht z. B. durch die CVD ausgebildet, um die gesamte Oberfläche einschließlich des Oberlagen-Drahts 16, wie in 10 dargestellt, abzudecken, um dadurch die schützende Isolierschicht 64 mit einer Dicke von 300 nm auszubilden.
  • Nachdem das Abdecklackmaterial auf die schützende Isolierschicht 64 aufgebracht ist, wird als nächstes, wie in 11 dargestellt, ein Muster in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8, in welcher der Anschlussbereich 5 (siehe 1) ausgebildet ist, belichtet und entwickelt, um einen Abdecklack (eine Maske) 73 zu erhalten, der (die) für den Unterlagen-Anschlussbereich 17A und den Oberlagen-Anschlussbereich 18A gemustert ist.
  • Anschließend werden, wie in 12 dargestellt, die schützende Isolierschicht 64 und die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 z. B. durch Trockenätzen unter Verwendung des Abdecklacks 73 als Ätzmaske geätzt, um dadurch ein Kontaktloch 67L (eine Öffnung mit geringer Tiefe) und ein Kontaktloch 57L (eine Öffnung mit geringer Tiefe) in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 zu erhalten. Das Kontaktloch 67L durchdringt die schützende Isolierschicht 64 und legt die Oberfläche der transparenten Deckschicht 63 frei. Das Kontaktloch 57L durchdringt die schützende Isolierschicht 64 und die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und legt die Oberfläche der transparenten Deckschicht 53 frei.
  • Als nächstes wird, wie in 13 dargestellt, der Abdecklack 73 unter Verwendung eines Abdecklack-Abziehmittels, wie z. B. die Lösungsmischung aus Monoethnolamin und Dimethylsulfoxid, entfernt, um dadurch die Öffnungen mit geringer Tiefe zurückzulassen, welche die Kontaktlöcher 57L und 67L bilden. Als Folge davon ist ein Hauptbereich der Berührungssensorschicht 50 mit Ausnahme des Unterlagen-Anschlussbereichs 17A und des Oberlagen-Anschlussbereichs 18A fertiggestellt.
  • Die Beschreibungen bis zu diesem Punkt lassen die folgende Beschreibung weg. Ein Material mit einem Brechungsindex von z. B. 1,7 bis 2,4, der höher als jene der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und der schützenden Isolierschicht 64 ist, wird für die transparenten Deckschichten 53 und 63 für den Unterlagen-Draht 15 bzw. den Oberlagen-Draht 16 ausgewählt, und die Schichten weisen eine Dicke von 30 nm bis 70 nm auf, um eine optische Weglänge L auf 0,05 bis 0,17 μm einzustellen, sodass die Reflexionsgrade der laminierten Verdrahtung weiter reduziert werden können.
  • Eine Reflexionsintensität Y beträgt z. B. 15,0 in einem Fall, bei dem eine SiO2-Schicht, die eine Dicke von 1000 nm aufweist und als Zwischenlagen-Isolierschicht 54 (schützende Isolierschicht 64) dient, auf der laminierten Schicht der Al-Legierungs-Nitridschicht 152 (162) und der AlNiNd-Schicht 151 (161) ausgebildet ist, und die SiO2-Schicht wird mit einer Normlichtart D65 bestrahlt. Demgegenüber beträgt eine Reflexionsintensität Y in einem Fall 6,7, bei dem eine IZO-Schicht, die einen Reflexionsgrad von 1,68 bis 2,10 und eine Dicke von 50 nm aufweist und als transparente Deckschicht 53 (63) dient, die auf der reflexionsarmen Schicht 52 (62) verbleibt. Darüber hinaus ist die Normlichtart D65 eine Lichtquelle, die zur Evaluierung einer Reflexionsintensität einer Schicht verwendet wird.
  • Beispiele eines allseits bekannten Verfahrens zum Ausbilden einer Al-Legierungs-Nitridschicht mit einer niedrigen Reflexion umfasst ein Sputtern unter Verwendung eines stickstoffhaltigen Gases. Wenn das Sputtern verwendet wird, kann ein Reflexionsgrad durch Anpassen eines Mischungsverhältnisses des Stickstoffgases eingestellt werden. Wenn das Mischungsverhältnis des Stickstoffgases zur Reduzierung des Reflexionsgrads ansteigt, nehmen Veränderungen in einem Nitrierungsgrad in einer Ebene einer reflexionsarmen Schicht zu, und eine Reflexionsverteilung in der Ebene erhöhtt sich. Wenn der Nitrierungsgrad der Al-Legierungs-Nitridschicht, welche die reflexionsarme Schicht bildet, zunimmt, nehmen daher Veränderungen im Nitrierungsgrad in der Ebene der reflexionsarmen Schicht zu und Veränderungen im Reflexionsgrad können ebenfalls zunehmen.
  • Jedoch weisen der Unterlagen-Draht 15 und der Oberlagen-Draht 16 die laminierten Strukturen auf, welche die transparente Deckschicht 53 bzw. die transparente Deckschicht 63 umfassen, sodass der Nitrierungsgrad der Al-Nitridschichten, welche die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 ausbilden, niedrig eingestellt werden kann. Dadurch werden Veränderungen des Nitrierungsgrads in den Ebenen der reflexionsarmen Schichten 52 und 62 unterdrückt, und somit können die reflexionsarmen Drähte mit einem einheitlichen Reflexionsgrad geschaffen werden. Darüber hinaus kann der Nitrierungsgrad der reflexionsarmen Schichten 52 und 62 niedrig eingestellt werden, sodass die Al-Nitridschichten auf einfache Weise geätzt werden und ein stabiler Arbeitsprozess erreicht werden kann. Die oben beschriebenen Effekte können gleichermaßen in einem Fall erreicht werden, bei dem die Al-Nitridschichten durch Al-Legierungs-Nitridschichten ersetzt werden.
  • Beispiele des Materials mit dem Brechungsindex von ca. 1,7 bis 2,4 für die transparenten Deckschichten 53 und 63 umfassen transparente leitfähige Schichten, wie z. B. IZO, ITO, SnO, ZnO und InO, und transparente dielektrische Schichten, wie z. B. SiN, Al2O3, transparentes AlN (mit einem Zusammensetzungsverhältnis von 1:1), TaO, NbO und TiO.
  • Das Verfahren zum Mustern der reflexionsarmen Schichten 52 und 62 und der niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 unter Verwendung der Abdecklacke 71 und 72 und der transparenten Deckschichten 53 und 63 als Abdecklack-Masken wurde oben beschrieben. Das Verfahren ist jedoch nicht einschränkend, und wenn die transparenten Deckschichten 53 und 63 aus einem Material mit einer hohen Ätzselektivität gegenüber den reflexionsarmen Schichten 52 und 62 und den niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 ausgebildet sind, werden die Abdecklacke 71 und 72 entfernt, nachdem die transparenten Deckschichten 53 und 73 gemustert sind, und die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 und die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 können mit den transparenten Deckschichten 53 und 63 gemustert werden, die als Ätzmasken gemustert wurden.
  • Wenn die transparenten Deckschichten 53 und 63 aus einem Material mit einer hohen Ätzselektivität nur für die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 ausgebildet sind, werden die Abdecklack-Masken entfernt, nachdem die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 gemustert sind, und die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 können mit den transparenten Deckschichten 53 und 63 gemustert werden, die als Ätzmasken gemustert wurden.
  • Das oben beschriebene erste bevorzugte Ausführungsbeispiel veranschaulicht das Beispiel, bei dem die schützende Isolierschicht 64 und die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 aus SiO2 ausgebildet sind, und eine Isolierschicht, bei der die Färbung von durchgelassenem Licht in einem Lichtdurchlassbereich mit Ausnahme der Verdrahtungsbereiche (Oberlagen-Draht 15, Unterlagen-Drahts 16) nicht signifikant ist, kann verwendet werden, und eine Spin-on-Glass-(SOG-)Schicht eines Beschichtungstyps kann z. B. verwendet werden. Die SOG-Schicht wird zum Ausbilden der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 verwendet, welche die Möglichkeit eines Auftretens eines gebrochenen Drahts an einen Schnittpunkt des Oberlagen-Drahts 16 und des Unterlagen-Drahts 15 reduzieren kann. Die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 ist mit der laminierten Struktur der SiO2-Schichten, SOG-Schichten oder dergleichen ausgebildet, und demzufolge kann eine Spannungsfestigkeit der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 verbessert werden. In diesem Fall ist die schützende Isolierschicht 64 mit der laminierten Struktur der SiO2-Schichten, SOG-Schichten oder dergleichen ausgebildet, wodurch die Härte eines Bereichs, der eine Unterseite in einem Schritt des Ausbildens eines Farbfilters bildet, erhöht wird. Dies verhindert das Auftreten von Defekten, wie z. B. eines Kratzers, was vorteilhaft ist.
  • Die Isolierschicht, bei der die Färbung von durchgelassenem Licht im lichtdurchlässigen Bereich mit Ausnahme der Verdrahtungsbereiche nicht signifikant ist, kann verwendet werden, und die schützende Isolierschicht 64 und die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 eines Beschichtungstyps können z. B. aus lichtempfindlichem Material ausgebildet werden. In diesem Fall ist die Ausbildung der Öffnungen mit geringer Tiefe, welche die Kontaktlöcher 57L und 67L in der Auslass-Verdrahtungsregion A8 bilden, durch Anwenden einer Belichtung und Entwicklung der lichtempfindlichen Zwischenlagen-Isolierschicht ersetzt werden. Dies eliminiert die Notwendigkeit des Trockenätzschritts und des Abdecklack-Abziehschritts unter Verwendung der Abdecklackmaske, sodass der Herstellungsprozess vereinfacht werden kann, um dadurch den Effekt des Niederhaltens der Herstellungskosten zu erhalten.
  • Als nächstes wird mit Bezug auf 14 bis 23 ein Verfahren zum Herstellen der Farbfilterschicht 40 beschrieben. Zuerst wird, wie in 14 dargestellt, die in 13 dargestellte Struktur umgedreht, sodass die andere Hauptoberfläche (nachfolgend als „Farbfilter bildende Oberfläche” bezeichnet) nach oben zeigt. Die Farbfilter bildende Oberfläche liegt der das Touch-Panel bildenden Oberfläche gegenüber, welche die eine Oberfläche des transparenten Substrats 27 mit der darauf ausgebildeten Berührungssensorschicht 50 ist.
  • Als nächstes wird, wie in 15 dargestellt, eine Cr-Schicht 41 mit einer Dicke von 300 nm unter Verwendung eines Cr-Targets z. B. durch Sputtern ausgebildet, um eine Schicht für eine schwarze Matrixschicht 41K auf der den Farbfilter bildenden Oberfläche des transparenten Substrats 27 auszubilden. Nachdem ein Abdecklackmaterial auf der Cr-Schicht 41 für die schwarze Matrixschicht aufgebracht ist, wird ein Muster für die schwarze Matrix belichtet und entwickelt, um dadurch einen die für die schwarze Matrix gemusterten Abdecklack (Maske) 75 auszubilden.
  • Eine alkalische Entwicklungslösung wird in der Regel zum Entwickeln des Abdecklacks 75 verwendet, aber die Berührungssensorschicht 50 weist im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel eine Konfiguration auf, bei der die reflexionsarme Schicht 52 und die transparente Deckschicht 53 auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 in der Öffnung mit geringer Tiefe verbleiben, die das Kontaktloch 57L in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 bildet, während die reflexionsarme Schicht 62 und die transparente Deckschicht 63 auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 in der Öffnung mit geringer Tiefe verbleiben, die das Kontaktloch 67L in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 bildet.
  • Auf diese Weise schützt die transparente Deckschicht 53, welche die oberste Schicht auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 57L bildet, die reflexionsarme Schicht 52 und die niederohmige leitfähige Schicht 51, welche die unteren Schichten bilden, während die transparente Deckschicht 63, welche die oberste Schicht auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 67L bildet, die reflexionsarme Schicht 62 und die niederohmige leitfähige Schicht 61 schützt, welche die unteren Lagen bilden. Wenn ein Material, wie z. B. Aluminium, für die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 der Verdrahtung (des Unterlagen-Drahts 15 und des Oberlagen-Drahts 16) des Touch-Panels verwendet wird, und zusätzlich dazu ein Material wie z. B. die Al-Nitridschicht für die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 verwendet wird, kann aus diesem Grund eine Beschädigung der Materialien durch die alkalische Entwicklungslösung und das Abdecklack-Abziehmittel zuverlässig verhindert werden. Die Beschädigung umfasst unter Umständen z. B. eine Korrosion von Al-Komponenten, welche die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 oder die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden, durch die alkalische Entwicklungslösung und das Abdecklack-Abziehmittel.
  • Im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel war die Berührungssensorschicht 50 bereits auf der das Touch-Panel bildenden Oberfläche des transparenten Substrats 27 ausgebildet, wenn die Farbfilterschicht 40 ausgebildet wird. Jedoch sind die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und die schützende Isolierschicht 64, die aus dem Material mit einer Härte wie z. B. SiO2 ausgebildet sind, auf der Oberfläche der Berührungssensorschicht 50 ausgebildet, was Defekte, wie z. B. einen Kratzer, auf der Berührungssensorschicht 50 in einem Schritt einer Vakuum-Adsorption in einer Phase oder durch einen Kontakt mit einem Arm während eines Transports bzw. Transfers reduzieren kann, wenn die Berührungssensorschicht 50 dem Licht ausgesetzt ist, während die Farbfilterschicht 40 ausgebildet wird.
  • Als nächstes wird, wie in 16 dargestellt, die Cr-Schicht 41 z. B. mit einer Lösung, die Cerammoniumnitrat als Hauptbestandteil enthält, unter Verwendung des Abdecklacks 75 als Ätzmaske geätzt, um dadurch die gemusterte schwarze Matrixschicht 41K zu erhalten.
  • Anschließend wird, wie in 17 dargestellt, der Abdecklack 75 unter Verwendung eines Abdecklack-Abziehmittels, wie z. B. einer Lösungsmischung aus Monoethnolamin und Dimethylsulfoxid, entfernt, um dadurch die schwarze Matrixschicht 41K fertigzustellen.
  • Das Abdecklack-Abziehmittel, das die Lösungsmischung aus Monoethnolamin und Dimethylsulfoxid bildet, wird gewöhnlich zum Abziehen bzw. Entfernen des Abdecklacks 75 verwendet, aber die Berührungssensorschicht 50 weist im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel eine Konfiguration auf, bei der die reflexionsarme Schicht 52 und die transparente Deckschicht 53 in der Öffnung mit geringer Tiefe angeordnet sind, die das Kontaktloch 57L in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 bildet, während die reflexionsarme Schicht 62 und die transparente Deckschicht 63 in der Öffnung mit geringer Tiefe angeordnet sind, die das Kontaktloch 67L in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 bildet.
  • Daher schützt die transparente Deckschicht 53, welche die oberste Lage bildet, die reflexionsarme Schicht 52 und die niederohmige leitfähige Schicht 51, welche die unterste Schichten bilden, während die transparente Deckschicht 63, welche die oberste Schicht bildet, die reflexionsarme Schicht 62 und die niederohmige leitfähige Schicht 61 schützt, welche die untersten Schichten bilden. Wenn ein Material, wie z. B. Aluminium, für die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 der Verdrahtung (den Unterlagen-Draht 15 und den Oberlagen-Draht 16) des Touch-Panels verwendet wird, und zusätzlich dazu ein Material, wie z. B. die Al-Nitridschicht, für die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 verwendet wird, kann aus diesem Grund eine Beschädigung der Materialien durch das Abdecklack-Abziehmittel zuverlässig verhindert werden. Die Beschädigung umfasst unter Umständen z. B. eine Korrosion von Al-Komponenten, welche die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 oder die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden, durch das Abdecklack-Abziehmittel.
  • Als nächstes wird, wie in 18 dargestellt, ein Farbmaterial, wie z. B. ein blaues, lichtempfindliches Material, aufgebracht, unter Verwendung einer Belichtungsmaske eines blauen Pixelmusters belichtet und entwickelt, um dadurch einen Farbmaterialbereich 42B des blauen Pixelmusters auszubilden. Dabei ist der Farbmaterialbereich 42B so ausgebildet, dass dieser die schwarze Matrixschicht 41K im geeigneten Bereich überlappt, um einen Lichtaustritt zu verhindern. Die alkalische Entwicklungslösung wird auch zum Zeitpunkt des Entwickelns der Farbmaterialien verwendet und eine Korrosion der niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 kann verhindert werden, weil die reflexionsarme Schicht 52 und die transparente Deckschicht 53 auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 in der Öffnung mit geringer Tiefe verbleiben, die das Kontaktloch 57L im Ausgangs-Verdrahtungsbereich A8 bildet, während die reflexionsarme Schicht 62 und die transparente Deckschicht 63 auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 in der Öffnung mit geringer Tiefe verbleiben, die das Kontaktloch 67L im Ausgangs-Verdrahtungsbereich A8 bildet.
  • Anschließend werden, wie in 19 und 20 dargestellt, ein Farbmaterialbereich 42G aus einem grünen Pixelmuster und ein Farbmaterialbereich 42R aus einem roten Pixelmuster gleichermaßen wie bei der Bildung des Farbmaterialbereichs 42B ausgebildet.
  • Anschließend wird, wie in 21 dargestellt, eine Überzugschicht 43 ausgebildet, um die schwarze Matrixschicht 41K und die Farbmaterialbereiche 42R, 42G, 42B abzudecken, um somit die Farbfilterschicht 40 fertigzustellen. Dabei wird die Farbfilterschicht 40 in einer Region ausgebildet, welche die Anzeigeregion A7 der Berührungssensorschicht 50 in einer Draufsicht überlappt. Darüber hinaus kann die Bildung der Überzugschicht 43 falls erforderlich weggelassen werden.
  • Das Beispiel des Schritts des Ausbildens der Farbfilterschicht 40 wurde oben beschrieben, und eine Farbfilterschicht, mit Ausnahme der im oben beschriebenen Schritt ausgebildeten Farbfilterschicht 40, kann ausgebildet werden. Eine Farbfilterschicht kann z. B. eine Farbe durch Interferenzfarben anstatt der Farbfilterschicht entwickeln, welche die Farbmaterialien umfasst. Das oben beschriebene Verfahren zum Ausbilden der Farbfilterschicht 40 umfasst die Metallschicht als schwarze Matrixschicht 41K, jedoch können eine Metalloxidschicht (z. B. Chromoxid) oder ein schwarzes Harz-Matrixmaterial können als schwarzes Matrixmaterial zum Ausbilden der Farbfilterschicht 40 verwendet werden.
  • Nachdem die Farbfilterschicht 40 ausgebildet ist, wird die in 21 dargestellte Struktur umgedreht, sodass die das Touch-Panel bildende Oberfläche, wie in 22 dargestellt, nach oben zeigt.
  • Anschließend werden, wie in 23 dargestellt, die transparenten Deckschichten 53 und 63, die auf den Bodenflächen der Öffnungen mit geringer Tiefe nicht abgedeckt sind, welche die Kontaktlöcher 57L und 67L bilden, entfernt. Außerdem werden die reflexionsarmen Schichten 52 und 62, die nach der Entfernung der transparenten Deckschichten 53 und 63 nicht abgedeckt sind, ebenfalls entfernt, um dadurch die Öffnungen (Öffnungen mit größerer Tiefe) zu erhalten, welche die Kontaktlöcher 57 und 67 bilden, welche die Oberflächen der niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 nicht abgedeckt als Bodenflächen aufweisen.
  • Insbesondere werden die aus den ITO-Schichten ausgebildeten transparenten Deckschichten 53 und 63 selektiv durch Ätzen, z. B. mit einer auf Schwefelsäure basierenden Säuremischung, unter Verwendung der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und der schützenden Isolierschicht 64 als Ätzmasken entfernt, die das Kontaktloch 57L bzw. das Kontaktloch 67L aufweisen. Anschließend werden die aus den Al-Legierungs-Nitridschichten ausgebildeten reflexionsarmen Schichten 52 und 62 durch Ätzen, z. B. mit einer Säuremischung aus Phosphorsäure, Salpetersäure und Essigsäure, unter Verwendung der schützenden Isolierschicht 64 und der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 als Ätzmasken selektiv entfernt.
  • Somit werden die Kontaktlöcher 57 und 67, welche die nicht abgedeckten Oberflächen der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 bzw. der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 aufweisen, in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 geschaffen, um dadurch den Unterlagen-Anschlussbereich 17A, der nur aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 ausgebildet ist, und den Oberlagen-Anschlussbereich 18A fertigzustellen, der nur aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 ausgebildet ist.
  • Die Ätzbehandlung der transparenten Deckschichten 53 und 63 im oben beschriebenen Schritt, die den Unterlagen-Anschlussbereich 17A und den Oberlagen-Anschlussbereich 18A schafft, wird durchgeführt, während die Farbfilterschicht 40, die bereits ausgebildet wurde, auf der Unterseite des transparenten Substrats 27 angeordnet ist. In einem Fall, bei dem die Ätzbehandlung insbesondere eine Nassätzbehandlung ist, ist es jedoch ausreichend, dass eine chemische Lösung der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 auf der Oberseite des transparenten Substrats 27 zugeführt wird, und einen Kontaktbereich zwischen der Vorrichtung und der Unterseite des transparenten Substrats 27 ist während des Schritts der Nassätzbehandlung normalerweise klein, sodass eine Beschädigung der Farbfilterschicht 40 verhindert werden kann.
  • Demzufolge ist, wie in 23 dargestellt, das mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30A fertiggestellt, das die Berührungssensorschicht 50, die auf der Oberfläche (der Touch-Panel bildenden Oberfläche) des transparenten Substrats 27 ausgebildet ist, und die Farbfilterschicht 40 umfasst, die auf der Rückseite (der Farbfilter bildenden Oberfläche) des transparenten Substrats 27 ausgebildet ist.
  • Mit anderen Worten ist das mit dem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A, das die Berührungssensorschicht 50 und die Farbfilterschicht 40 umfasst, die auf der Vorderseite bzw. der Rückseite einstückig ausgebildet sind, als Gegensubstrat des TFT-Arraysubstrats 20 fertiggestellt.
  • In den in 22 und 23 dargestellten Schritten wird die in 21 dargestellte Struktur umgedreht, und die transparenten Deckschichten 53 und 63, welche die Bodenflächen der Kontaktlöcher 57L bzw. 67L bilden, werden entfernt. Danach werden die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 entfernt, um das Kontaktloch 57, das die niederohmige leitfähige Schicht 51 erreicht, welche die untere Schicht bildet, und das Kontaktloch 67 auszubilden, das die niederohmige leitfähige Schicht 61 erreicht, welche die obere Schicht bildet.
  • Anstatt dieses Ausführungsverfahrens kann eine Ätzbehandlung auch durch Zuführen einer chemischen Ätzlösung in die Kontaktlöcher 57L und 67L in der Unterseite des transparenten Substrats 27 im Schritt der Ätzbehandlung ausgeführt werden, ohne die in 21 dargestellte Struktur umzudrehen. In diesem Fall weist die Berührungssensorschicht 50, welche die Unterseite bildet, eine relativ hohe Festigkeit auf, sodass ein Auftreten von Defekten, wie z. B. eines Kratzers, verhindert wird, was vorteilhafter ist.
  • Es wird angenommen, dass die transparenten Deckschichten 53 und 63 aus einem Material, wie z. B. kristallisiertem ITO, ausgebildet sind, das durch Ätzen mit einer typischen Ätzlösung in der Ätzbehandlung zum Ausbilden der Kontaktlöcher 57 und 67 zum Ausbilden der externen Anschlussbereiche (des Unterlagen-Anschlussbereichs 17A, des Oberlagen-Anschlussbereichs 18A) kaum selektiv entfernt wird. In diesem Fall ist es vorteilhaft, dass, nachdem die transparenten Deckschichten 53 und 63 in der Ausgangs-Verdrahtungsregionen A8 durch Ätzen selektiv entfernt wurden, ein Schritt des Kristallisierens der verbleibenden transparenten Deckschichten 53 und 63 durchgeführt wird.
  • Im oben beschriebenen Herstellungsverfahren sind die transparenten Deckschichten 53 und 63 (Schichten, die als Ätz-Schutzschichten wirken), welche die ITO-Schichten bilden, auf den Al-Legierungs-Nitridschichten ausgebildet, welche die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden, wodurch verhindert wird, dass die Al-Legierungs-Nitridschichten, welche die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden, direkt einer alkalischen Abdecklack-Abziehlösung zum Zeitpunkt des Entfernens des Abdecklacks 71 und des Abdecklacks 72 mit der Abdecklack-Abziehlösung ausgesetzt werden. Daher werden die Al-Legierungs-Nitridschichten, welche die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden, mit der alkalischen Abdecklack-Abziehlösung geätzt, sodass die Schichten geringe Dicken aufweisen, wodurch verhindert wird, dass sich eine von den reflexionsarmen Schichten 52 und 62 erwartete Antireflexionsfunktion aufgrund eines Anstiegs des Reflexionsvermögens verschlechtert und verloren geht. Somit ermöglichen die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 eine Bereitstellung eines stabilen Touch-Panels, das die reflexionsarmen Verdrahtungsmuster (Muster des Unterlagen-Drahts 15 und des Oberlagen-Drahts 16) umfasst, die in einem bestimmten Bereich von Reflexionsgraden gehalten werden, und das eine ausgezeichnete Sichtbarkeit eines Anzeigebilds für die Verwendung im Freien aufweist.
  • Das Beispiel, bei dem die transparenten Deckschichten 53 und 63 aus den amorphen ITO-Schichten hergestellt sind, wurde oben beschrieben, jedoch ist dieses nicht einschränkend. Materialien, welche die reflexionsarmen Schichten 52, 62 und die niederohmigen leitfähigen Schichten 51, 61 während der Ätzbehandlung der transparenten Deckschichten 53 und 63 nicht beschädigen, können für die transparenten Deckschichten 53 und 63 ausgewählt werden. Zum Beispiel kann das Ätzen mit einer auf Oxalsäure basierenden Lösung durchgeführt werden, wenn amorphes Indium-Zink-Oxid (IZO) für die transparenten Deckschichten 53 und 63 verwendet wird, das die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 sowie die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 nicht beschädigt.
  • Das obige Beispiel veranschaulicht die Ätzbehandlung der Al-Legierungs-Nitridschichten mit der Säuremischung aus Phosphorsäure, Salpetersäure und Essigsäure, aber ein Ätzen mit einer alkalischen Lösung kann durchgeführt werden, und ein Trockenätzen kann ebenfalls durchgeführt werden.
  • Wenn mit einer Lösung mit einer hohen Ätzselektivität gegenüber den niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 geätzt wird, können die Al-Legierungs-Nitridschichten, welche die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden, einen höheren Nitrierungsgrad als jenen im Fall unter Verwendung der oben beschriebenen Säuremischung aufweisen, und somit kann eine Reflexion auch weiter reduziert werden.
  • Um das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A auszubilden, werden eine transparente leitfähige Schicht, wie z. B. ITO, und Stützenabstandshalter zum Anpassen von Zwischenräumen zwischen den Flüssigkristallzellen, die in 4 bis 23 weggelassen wurden, nach Bedarf angeordnet. Die transparenten Deckschichten 53 und 63 sowie die transparente leitfähige Schicht werden vorzugsweise zum Ausbilden der transparenten leitfähigen Schicht, wie z. B. aus ITO, ausgewählt, um eine Ätzselektivität zum Zeitpunkt des Entfernens der transparenten Deckschichten 53 und 63 in den Kontaktlöchern 57L bzw. 67L aufzuweisen.
  • Auf diese Weise werden in dem mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30A (der Touch-Panel-Struktur) des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels die reflexionsarme Schicht 52 und die transparente Deckschicht 53 auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe, die das Kontaktloch 57L bildet, in der Berührungssensorschicht 50 ausgebildet, und die reflexionsarme Schicht 62 und die transparente Deckschicht 63 werden auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe, die das Kontaktloch 67L bildet, in der Berührungssensorschicht 50 ausgebildet, wenn die in 14 bis 21 dargestellte Farbfilterschicht 40 ausgebildet wird.
  • Selbst wenn die Farbfilterschicht 40 hergestellt wird, nachdem die Berührungssensorschicht 50 ausgebildet ist, werden daher die niederohmigen leitfähigen Schichten 51, 61 und die reflexionsarmen Schichten 52, 62 nicht beeinflusst, weil die transparente Deckschicht 53, welche die oberste Schicht auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 57L in der Ausgangs-Verdrahtungsregionen A8 bildet, die niederohmige leitfähige Schichte 51 und die reflexionsarme Schicht 52 schützt, während die transparente Deckschicht 63, welche die oberste Schicht auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 67L in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 bildet, die niederohmige leitfähige Schicht 61 und die reflexionsarme Schicht 62 schützt. Folglich davon können die Herstellungserträge des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A verbessert werden.
  • Somit ist die niederohmige leitfähige Schicht 51 (61) aus einem niederohmigen Material, wie z. B. Aluminium, ausgebildet, während die reflexionsarme Schicht 52 (62) aus einem reflexionsarmen Material ausgebildet sein kann. Daher kann das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A, in dem die Berührungssensorschicht 50, die den Unterlagen-Draht 15 und den Oberlagen-Draht 16 (eine laminierte Verdrahtung) umfasst, ohne Leistungsabfall ausgebildet ist, geschaffen werden, wobei der Unterlagen-Draht 15 und der Oberlagen-Draht 16 die Eigenschaften eines niedrigen Widerstands und eines geringen Reflexionsgrads aufweisen.
  • Im mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30A des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels sind der Unterlagen-Anschlussbereich 17A und der Oberlagen-Anschlussbereich 18A (Anschlussbereich 5) zudem nur durch die niederohmige leitfähige Schicht 51 bzw. die reflexionsarme leitfähige Schicht 61 ausgebildet. Der Unterlagen-Anschlussbereich 17A und der Oberlagen-Anschlussbereich 18A sind mit dem Unterlagen-Draht 15 (X-Positionserfassungsdraht 2) bzw. dem Oberlagen-Draht 16 (Y-Positionserfassungsdraht 3) durch die Ausgangsdrähte 4 elektrisch verbunden.
  • Im mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30A können daher die aus dem Unterlagen-Draht 15 und dem Oberlagen-Draht 16 ausgebildeten Matrixdrähte, die zum Erzielen der Bereitstellung der Berührungssensorfunktion unverzichtbar sind, mit niedrigem Widerstand und geringem Reflexionsvermögen ausgebildet werden.
  • Nach der Fertigstellung des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A wird das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A, das einem Zellen-Montageschritt unterzogen wird, mit einem Dichtmaterial an das TFT-Arraysubstrat 20 geklebt. Ferner sind der Flüssigkristallbereich 35, der aus Flüssigkristallmaterialien hergestellt ist, und das Dichtmaterial 36 im Zwischenraum zwischen dem mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30A und dem TFT-Arraysubstrat 20 angeordnet, um dadurch im Touch-Panel integrierte Flüssigkristallzellen (das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A + den Flüssigkristallbereich 35 + das TFT-Arraysubstrat (die Antriebseinheit des Flüssigkristallbereichs 35)) auszubilden.
  • Anschließend wird eine Polarisationsplatte 66 oder dergleichen auf der Oberfläche der Berührungssensorschicht 50 und des TFT-Arraysubstrats 20 angeordnet. Ferner werden flexible gedruckte Schaltungen (FCP's) und ein Steuersubstrat mit der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 und der Berührungssensorschicht 50 durch den Unterlagen-Anschlussbereich 17A und den Oberlagen-Anschlussbereich 18A elektrisch verbunden, die aus der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 bzw. der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 ausgebildet sind, wodurch eine elektrische Verbindung mit niedrigem Widerstand und hoher Zuverlässigkeit erreicht wird.
  • Anschließend werden die im Touch-Panel integrierten Flüssigkristallzellen mit der Hintergrundbeleuchtungseinheit 21 im Gehäuse 14 untergebracht, und damit ist die Anzeigevorrichtung 100, welche die in 1 und 2 dargestellte Struktur aufweist und das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A umfasst, im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel fertiggestellt.
  • Durch Ausführen des Schritts des Ausbildens des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A und des Schritt des Ausbildens der Flüssigkristallzellen, sodass die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und die Seite der schützenden Isolierschicht 64 in der Anzeigeregion A7 eine Anzeige-Betrachtungsoberfläche sind, kann auf diese Weise die Anzeigevorrichtung 100, die das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A umfasst, im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel hergestellt werden.
  • Somit kann die Anzeigevorrichtung 100, die das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A umfasst, bei dem die Berührungssensorschicht 50, die aus dem Unterlagen-Draht 15 und dem Oberlagen-Draht 16 ausgebildet ist, welche die laminierte Verdrahtung bilden, ohne Leistungsabfall ausgebildet ist, geschaffen werden, wobei der Unterlagen-Draht 15 und der Oberlagen-Draht 16 die Eigenschaften eines niedrigen Widerstands und eines geringen Reflexionsgrads aufweisen.
  • Zweites bevorzugtes Ausführungsbeispiel
  • Anschließend wird mit Bezug auf die Querschnittsstruktur der Anzeigevorrichtung 100 das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30B (die Touch-Panel-Struktur) in einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben. 24 zeigt eine Querschnittsansicht, welche den Schnitt B-B in der Anzeigeregion A7 in 1 und eine Querschnittsstruktur des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels veranschaulicht, in der jeder Anschlussbereich in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 für die X-Positionserfassungsdrähte 2 und die Y-Positionserfassungsdrähte 3 extrahiert und abstrahiert ist. Im Folgenden werden die gleichen Komponenten wie jene des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A im ersten Ausführungsbeispiel durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet, die Beschreibungen entsprechend weggelassen und hauptsächlich Unterschiede zwischen dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel und diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel beschrieben.
  • Ein Kontaktloch 57M (eine Öffnung) ist in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet, wobei dieses die schützende Isolierschicht 64, die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und die transparente Deckschicht 53 durchdringt und die Oberfläche der reflexionsarmen Schicht 52 nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist. Die reflexionsarme Schicht 52 und die niederohmige leitfähige Schicht 51 unterhalb der Bodenfläche des Kontaktlochs 57M bilden einen Unterlagen-Anschlussbereich 17B (ersten externen Anschlussbereich).
  • Ein Kontaktloch 67M (eine Öffnung) wird gleichermaßen in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet, wobei dieses die schützende Isolierschicht 64 und die transparente Deckschicht 63 durchdringt und die Oberfläche der reflexionsarmen Schicht 62 nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist. Die reflexionsarme Schicht 62 und die niederohmige leitfähige Schicht 61 unterhalb der Bodenfläche des Kontaktlochs 67M bilden einen Oberlagen-Anschlussbereich 18B (zweiten externen Anschlussbereich).
  • Auf diese Weise verbleiben die reflexionsarme Schicht 52 und die niederohmige leitfähige Schicht 51 auf dem Boden des Kontaktlochs 57M in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8, und somit bilden die reflexionsarme Schicht 52 und die niederohmige leitfähige Schicht 51 den Unterlagen-Anschlussbereich 17B. Die reflexionsarme Schicht 62 und die niederohmige leitfähige Schicht 61 verbleiben auf dem Boden des Kontaktlochs 67M in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8, und somit bilden die reflexionsarme Schicht 62 und die niederohmige leitfähige Schicht 61 den Oberlagen-Anschlussbereich 18B.
  • 25 und 26 zeigen Querschnittsansichten, die ein Verfahren zum Herstellen des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30B im in 24 dargestellten zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel veranschaulichen. Mit Bezug auf die Zeichnungen wird nachfolgend das Verfahren zum Herstellen des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30B im zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel beschrieben.
  • Zuerst werden die gleichen Schritte wie im Herstellungsverfahren im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel, die in 4 bis 21 dargestellt sind, ausgeführt, um die in 21 dargestellte Struktur zu erhalten.
  • Danach wird, wie in 25 dargestellt, die in 21 dargestellte Struktur umgedreht, sodass die das Touch-Panel bildende Oberfläche nach oben zeigt.
  • Anschließend werden, wie in 26 dargestellt, die nicht abgedeckten transparenten Deckschichten 53 und 63 in den Öffnungen mit geringer Tiefe, welche die Kontaktlöcher 57L und 67L bilden, entfernt, um dadurch Öffnungen (Öffnungen mit größerer Tiefe) zu schaffen, welche die Kontaktlöcher 57M und 67M der Formen bilden, welche die nicht abgedeckten Oberflächen der niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 aufweisen.
  • Genauer gesagt werden die transparenten Deckschichten 53 und 63, die aus den ITO-Schichten ausgebildet sind, durch Ätzen z. B. mit einer auf Schwefelsäure basierenden Säuremischung unter Verwendung der Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und der schützenden Isolierschicht 64 als Ätzmasken selektiv entfernt, die das Kontaktloch 57L bzw. das Kontaktloch 67L aufweisen.
  • Demzufolge werden die Kontaktlöcher 57M und 67M, welche die nicht abgedeckten Oberflächen der reflexionsarmen Schicht 52 bzw. der reflexionsarmen Schicht 62 aufweisen, in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 erhalten, um dadurch den Unterlagen-Anschlussbereich 17B, der aus der reflexionsarmen Schicht 52 und der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 ausgebildet ist, und den Oberlagen-Anschlussbereich 18B fertig zu stellen, der aus der reflexionsarmen Schicht 62 und der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 ausgebildet ist.
  • Die Ätzbehandlung der transparenten Deckschichten 53 und 63 im oben beschriebenen Schritt, der den Unterlagen-Anschlussbereich 17B und den Oberlagen-Anschlussbereich 18B schafft, wird durchgeführt, während die Farbfilterschicht 40, die bereits ausgebildet wurde, auf der Unterseite des transparenten Substrats 27 angeordnet ist. In einem Fall, bei dem die Ätzbehandlung insbesondere eine Nassätzbehandlung ist, ist es jedoch ausreichend, dass eine chemische Lösung der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 der Oberseite des transparenten Substrats 27 zugeführt wird, und eine Kontaktfläche zwischen der Vorrichtung und der Unterseite des transparenten Substrats 27 während des Schritts der Nassätzbehandlung ist normalerweise klein, sodass eine Beschädigung der Farbfilterschicht 40 verhindert werden kann.
  • Demzufolge ist, wie in 26 dargestellt, das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30B fertiggestellt, das die Berührungssensorschicht 50, die auf der Oberfläche des transparenten Substrats 27 ausgebildet ist, und die Farbfilterschicht 40 umfasst, die auf der Rückseite des transparenten Substrats 27 ausgebildet ist.
  • In den in 25 und 26 dargestellten Schritten wird die in 21 dargestellte Struktur umgedreht und die auf den Bodenflächen der Kontaktlöcher 57L und 67L nicht abgedeckten transparenten Deckschichten 53 und 63 werden durch die Ätzbehandlung entfernt, um das Kontaktloch 57M, welches die reflexionsarme Schicht 52 erreicht, welche die untere Schicht bildet, und das Kontaktloch 67M auszubilden, welches die reflexionsarme Schicht 52 erreicht, welche die obere Schicht bildet.
  • Anstelle dieses Ausbildungsverfahrens kann auch eine Ätzbehandlung durch Zuführen einer ätzenden chemischen Lösung in die Kontaktlöcher 57M und 67M auf der Unterseite des transparenten Substrats 27 im Schritt der Ätzbehandlung durchgeführt werden, ohne die in 21 dargestellte Struktur umzudrehen. In diesem Fall weist die Berührungssensorschicht 50, welche die Unterseite bildet, eine relativ hohe Festigkeit auf, sodass das Auftreten von Defekten, wie z. B. eines Kratzers, verhindert wird, was vorteilhafter ist.
  • Es wird angenommen, dass die transparenten Deckschichten 53 und 63 aus einem Material, wie z. B. kristallisiertem ITO, ausgebildet sind, das durch Ätzen mit einer typischen Ätzlösung zum Zeitpunkt des Ätzens im Öffnungsausbildungsschritt des Ausbildens der Kontaktlöcher 57M und 67M während des Ausbildens der externen Anschlussbereiche (des Unterlagen-Anschlussbereichs 17A, des Oberlagen-Anschlussbereichs 18A) kaum selektiv entfernt wird. In diesem Fall ist es vorteilhaft, dass, nachdem die transparenten Deckschichten 53 und 63 in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 durch Ätzen selektiv entfernt wurden, ein Schritt des Kristallisierens der verbleibenden transparenten Deckschichten 53 und 63 durchgeführt wird.
  • Im oben beschriebenen Herstellungsverfahren werden die transparenten Deckschichten 53 und 63, welche die ITO-Schichten bilden, auf den Al-Legierungs-Nitridschichten ausgebildet, welche die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden. Daher werden, gleichermaßen wie im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel, die Al-Legierungs-Nitridschichten, welche die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 bilden, mit der Abdecklack-Abziehlösung zum Entfernen des Abdecklacks 71 und des Abdecklacks 72 geätzt, sodass die Schichten geringe Dicken aufweisen, wodurch verhindert wird, dass sich eine von den reflexionsarmen Schichten 52 und 62 erwartete Antireflexionsfunktion aufgrund eines Anstiegs des Reflexionsvermögens verschlechtert und verloren geht. Somit ermöglichen die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 die Bereitstellung eines stabilen Touch-Panels, das die reflexionsarmen Verdrahtungsmuster umfasst, die in einem bestimmten Bereich von Reflexionsgraden gehalten werden, und das eine ausgezeichnete Sichtbarkeit eines Anzeigebilds für den Einsatz im Freien aufweist.
  • Das Beispiel, bei dem die transparenten Deckschichten 53 und 63 aus den amorphen ITO-Schichten hergestellt sind, wurde oben beschrieben, jedoch ist dieses nicht einschränkend. Materialien, welche die reflexionsarmen Schichten 52, 62 und die niederohmigen leitfähigen Schichten 51, 61 zum Zeitpunkt des Ätzens der transparenten Deckschichten 53 und 63 nicht beschädigen, können für die transparenten Deckschichten 53 und 63 ausgewählt werden. Zum Beispiel kann das Ätzen mit einer auf Oxalsäure basierenden Lösung durchgeführt werden, wenn amorphes IZO für die transparenten Deckschichten 53 und 63 verwendet wird, das die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 sowie die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 nicht beschädigt.
  • Auf diese Weise werden in dem mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30A (der Touch-Panel-Struktur) des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels die reflexionsarme Schicht 52 und die transparente Deckschicht 53 auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe, die das Kontaktloch 57L bildet, in der Berührungssensorschicht 50 ausgebildet, und die reflexionsarme Schicht 62 und die transparente Deckschicht 63 werden auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe, die das Kontaktloch 67L bildet, in der Berührungssensorschicht 50 ausgebildet, wenn die in 14 bis 21 dargestellte Farbfilterschicht 40 ausgebildet wird.
  • Selbst wenn die Farbfilterschicht 40 hergestellt wird, nachdem die Berührungssensorschicht 50 ausgebildet ist, werden daher die niederohmigen leitfähigen Schichten 51, 61 und die reflexionsarmen Schichten 52, 62 nicht beeinflusst, weil die transparente Deckschicht 53, welche die oberste Schicht auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 57L in der Ausgangs-Verdrahtungsregionen A8 bildet, die niederohmige leitfähige Schicht 51 und die reflexionsarme Schicht 52 schützt, während die transparente Deckschicht 63, welche die oberste Schicht auf der Bodenfläche des Kontaktlochs 67L in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 bildet, die niederohmige leitfähige Schicht 61 und die reflexionsarme Schicht 62 schützt. Folglich können Herstellungserträge des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30B verbessert werden.
  • Dadurch weist das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30B im zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel im Wesentlichen die gleichen Wirkungen wie jene des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel auf.
  • Darüber hinaus verbleiben im Endstadium der Fertigstellung die reflexionsarme Schicht 52 und die reflexionsarme Schicht 62 als Unterlagen-Anschlussbereich 17B bzw. Oberlagen-Anschlussbereich 18B des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30B im zweiten Ausführungsbeispiel. Selbst wenn sich ein Herstellungsschritt ändert, sodass der Unterlagen-Anschlussbereich 17B und der Oberlagen-Anschlussbereich 18B vor dem Ausbilden der in 14 bis 21 dargestellten Farbfilterschicht 40 ausgebildet werden, werden die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 somit nicht beeinflusst, da diese durch die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 geschützt werden, welche die oberen Schichten in einem Fall bilden, bei dem die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 Schichten sind, die kein Ätzen mit einer alkalischen Lösung ermöglichen.
  • Auf diese Weise kann das zweite bevorzugt Ausführungsbeispiel die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 mit einem niederohmigen Material, wie z. B. Aluminium ausbilden, wenn sich der Herstellungsschritt, wie oben beschrieben, ändert. Demzufolge erreicht das zweite bevorzugte Ausführungsbeispiel inhärente Effekte zum Erhalt des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30B, bei dem die Berührungssensorschicht 50, die den Unterlagen-Draht 15 und den Oberlagen-Draht 16 umfasst, ohne einen Leistungsabfall in dem Fall ausgebildet ist, bei dem die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 Schichten sind, die kein Ätzen mit der alkalischen Lösung ermöglichen, wobei der Unterlagen-Draht 15 und der Oberlagen-Draht 16 Eigenschaften eines niedrigen Widerstands und eines geringen Reflexionsgrads aufweisen.
  • Nach der Fertigstellung des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30B wird das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrats 30B, das einem Zellen-Montageschritt unterzogen wird, mit einem Dichtmaterial an das TFT-Arraysubstrat 20 geklebt. Ferner sind der Flüssigkristallbereich 35, der aus Flüssigkristallmaterialien hergestellt ist, und das Dichtmaterial 36 im Zwischenraum zwischen dem mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30B und dem TFT-Arraysubstrat 20 angeordnet, um dadurch im Touch-Panel integrierte Flüssigkristallzellen (das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30B + den Flüssigkristallbereich 35 + das TFT-Arraysubstrat 20 (die Antriebseinheit des Flüssigkristallbereichs 35)) auszubilden.
  • Anschließend wird die Polarisierungsplatte 66 oder dergleichen auf der Oberfläche der Berührungssensorschicht 50 und des TFT-Arraysubstrats 20 angeordnet. Darüber hinaus sind die FPC's oder dergleichen mit der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 der Berührungssensorschicht 50 durch den Unterlagen-Anschlussbereich 17B, der aus der reflexionsarmen Schicht 52 und der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 ausgebildet ist, und den Oberlagen-Anschlussbereich 18B elektrisch angeschlossen, der aus der reflexionsarmen Schicht 62 und der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 ausgebildet ist.
  • Der Unterlagen-Anschlussbereich 17B und der Oberlagen-Anschlussbereich 18B sind normalerweise mit den FPCs durch eine anisotrope leitfähige Schicht (ACF) verbunden. Ein Partikeldurchmesser von leitfähigen Partikeln, die in der ACF enthalten sind, und Dicken der reflexionsarmen Schichten 52 und 62 werden vorzugsweise berücksichtigt. Mit den leitfähigen Partikeln einer Form mit einem Durchmesser und Vorsprüngen, welche die Dicken der reflexionsarmen Schichten 52 und 62 ausreichend durchdringen, durchdringen die leitfähigen Partikel in der ACF insbesondere die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 und erreichen die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61, um mit dem Kontrollsubstrat elektrisch verbunden zu werden. Dies kann eine elektrische Verbindung mit niedrigem Widerstand und hoher Zuverlässigkeit zwischen dem Unterlagen-Anschlussbereich 17B und dem Oberlagen-Anschlussbereich 18B und den FCP's schaffen.
  • Anschließend werden die im Touch-Panel integrierten Flüssigkristallzellen mit der Hintergrundbeleuchtungseinheit 21 im Gehäuse 14 untergebracht, um dadurch die Anzeigevorrichtung 100 fertigzustellen, die das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30B im zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel umfasst und die in 1 und 2 dargestellte Struktur aufweist.
  • Durch Ausführen des Schritts des Ausbildens des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30B und des Schritts des Ausbildens der Flüssigkristallzellen, sodass die Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und die Seite der schützenden Isolierschicht 64 in der Anzeigeregion A7 eine Anzeige-Betrachtungsoberfläche sind, kann auf diese Weise die Anzeigevorrichtung 100, die das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A umfasst, im zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel hergestellt werden.
  • Folglich kann die Anzeigevorrichtung 100, die das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30B umfasst, bei dem die Berührungssensorschicht 50, die aus dem Unterlagen-Draht 15 und dem Oberlagen-Draht 16 ausgebildet ist, welche die laminierte Verdrahtung bilden, ohne Leistungsabfall ausgebildet ist, geschaffen werden, wobei der Unterlagen-Draht 15 und der Oberlagen-Draht 16 die Eigenschaften eines niedrigen Widerstands und eines geringen Reflexionsgrads aufweisen.
  • Im oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel und zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel verbessert das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 (einschließlich 30A und 30B) für die sogenannte Ein-Zelle eine Ertragsrate der niederohmigen Verdrahtungsstruktur der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 (61), wie z. B. Al, und somit kann eine Dicke des Moduls in der gesamten Vorrichtung reduziert werden, wobei das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 (einschließlich 30A und 30B) die Berührungssensorschicht 50 bzw. den Farbfilter 40 umfasst, die auf der Vorderseite bzw. der Rückseite des gleichen transparenten Substrats 27 ausgebildet sind. Demzufolge kann die Anzeigevorrichtung 100, die das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30 umfasst, das mit dem TFT-Arraysubstrat 20 im Gehäuse 14 untergebracht ist, die Effekte einer Reduzierung der Kosten durch Reduzieren von Dicke und Gewicht, was zu einer Verbesserung der Funktionen führt, und durch Vereinfachen der Struktur aufweisen.
  • Vergleich mit einer früheren Erfindung
  • Der Anmelder der vorliegenden Anmeldung konzipierte vor der beanspruchten Erfindung, die das erste bevorzugte Ausführungsbeispiel und das zweite bevorzugte Ausführungsbeispiel umfasst, die frühere Erfindung (die japanische Patentanmeldung Nr. JP 2014-130972 , die nicht öffentlich bekannt ist, zur Erreichung ähnlicher Zwecke.
  • 27 zeigt eine Querschnittsansicht, die eine Querschnittsstruktur eines mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30P gemäß der früheren Erfindung veranschaulicht. 27 zeigt eine Querschnittsansicht, die den Schnitt B-B im Anzeigebereich A7 in 1 und eine Querschnittsstruktur veranschaulicht, bei der jeder Anschlussbereich in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 für die X-Positionserfassungsdrähte 2 und die Y-Positionserfassungsdrähte 3 extrahiert und abstrahiert ist. Im Folgenden sind die gleichen Komponenten wie jene des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30A im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet, Beschreibungen in geneigter Weise weggelassen und charakteristische Bereiche des mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrats 30P beschrieben.
  • Ein Kontaktloch 57 ist in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet, wobei dieses die schützende Isolierschicht 64, die Zwischenlagen-Isolierschicht 54, die transparente Deckschicht 53 und die reflexionsarme Schicht 52 durchdringt und die nicht abgedeckte Oberfläche der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 aufweist. Eine leitfähige Schutzschicht 55 ist auf der Bodenfläche und den Seiten des Kontaktlochs 57 einschließlich der Oberfläche der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 sowie einem Teil der Oberfläche der schützenden Isolierschicht 64 ausgebildet. Die laminierte Struktur der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 und der leitfähigen Schutzschicht 55 bilden einen Unterlagen-Anschlussbereich 17P für den Unterlagen-Draht 15.
  • Gleichermaßen ist ein Kontaktloch 67 in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet, wobei dieses die transparente Deckschicht 63 und die reflexionsarme Schicht 62 durchdringt und die nicht abgedeckte Oberfläche der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 aufweist. Eine leitfähige Schutzschicht 65 ist auf der Bodenfläche und den Seiten des Kontaktlochs 67 einschließlich der Oberfläche der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 sowie einem Teil der Oberfläche der isolierenden Schutzschicht 64 ausgebildet. Die laminierte Struktur der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 und der leitfähigen Schutzschicht 65 bilden einen Oberlagen-Anschlussbereich 18P für den Oberlagen-Draht 16.
  • Im Folgenden werden das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30A im ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel und das mit einem CF ausgestattete Touch-Panel-Substrat 30B im zweiten Ausführungsbeispiel mit dem mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30P in der früheren Erfindung verglichen.
  • Die auf dem mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30P ausgestatteten leitfähigen Schutzschichten 55 und 65 sind Komponenten, die zu Schutzzwecken der niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61, welche die unteren Schichten bilden, jeweils neu hinzugefügt wurden. Somit sind die leitfähigen Schutzschichten 55 und 65 zusätzlich ausgebildet, sodass ein Anstieg der Kosten der Vorrichtung und Herstellungskosten verursacht wird.
  • Demgegenüber benötigen die mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrate 30A und 30B die den leitfähigen Schutzschichten 55 und 65 entsprechenden Komponenten nicht, sodass die Kosten der Vorrichtung und die Herstellungskosten reduziert werden können.
  • Darüber hinaus verbleiben beim CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30B des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 als Komponenten des Unterlagen-Anschlussbereichs 17B bzw. des Oberlagen-Anschlussbereichs 18B. Dies eliminiert den Schritt des Entfernens der reflexionsarmen Schichten 52 und 62, sodass die Herstellungskosten reduziert werden können.
  • Wenn die leitfähigen Schutzschichten 55 und 65 in der unteren Schicht und der oberen Schicht gleichermaßen mit dem mit einem CF ausgestatteten Touch-Panel-Substrat 30P ausgebildet werden, müssen die leitfähigen Schutzschichten 55 und 65 außerdem jeweils in den Kontaktlöchern 57 und 67 ausgebildet werden, welche die Öffnungen mit den zwei unterschiedlichen Tiefen sind. Folglich können Abdeckungsdefekte der leitfähigen Schutzschichten 55 und 65 an den Öffnungsrandbereichen der Kontaktlöcher 57 und 67 auftreten. Falls der Abdeckungsfehler auftritt, tritt die zum Ausbilden der Farbfilterschicht 40 verwendete Entwicklungslösung in den Zwischenraum der leitfähigen Schutzschichten 55 und 65 ein, welche den Unterlagen-Anschlussbereich 17P und den Oberlagen-Anschlussbereich 18P bilden, was zu einer Korrosion von Al-Komponenten der niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 führt.
  • Wenn demgegenüber bei den mit dem CF ausgestatteten Touch-Panel Substraten 30A und 30B die Farbfilterschicht 40 ausgebildet wird, werden die reflexionsarme Schicht 52 und die transparente Deckschicht 53 auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 51 ohne einen Zwischenraum laminiert, während die reflexionsarme Schicht 62 und die transparente Deckschicht 63 auf der niederohmigen leitfähigen Schicht 61 ohne einen Zwischenraum laminiert sind. Folglich kann eine Auftrittsrate des Korrosionsproblems durch die Entwicklungslösung im Schritt der Herstellung der Farbfilterschicht 40 weiter reduziert werden.
  • Sonstiges
  • Eine äußerste Schicht der Anzeigenoberflächenseite (Betrachterseite) ist mit einem Klebematerial zur Erhöhung der Festigkeit auf eine Schutzglasplatte geklebt, wodurch die Haltbarkeit verbessert wird.
  • Die oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele geben Beispiele wieder, bei denen die niederohmige Verdrahtung, welche die niederohmigen leitfähigen Schichten 51 und 61 bilden, die reflexionsarmen Schichten 52 und 62 und die transparenten Deckschichten 53 und 63 auf die Verdrahtung (den Unterlagen-Draht 15 und den Oberlagen-Draht 16) der Berührungssensorschicht 50 aufgebracht sind, diese können aber auf die Verdrahtung der Flüssigkristallanzeige, welche die Anzeigevorrichtung 100 bildet, aufgebracht werden und können auch auf eine Lichtabschirmschicht aufgebracht werden, die Reflexionen der Anzeigenoberflächenseite der Flüssigkristallanzeige reduziert.
  • Darüber hinaus können die obigen bevorzugten Ausführungsbeispiele gemäß der vorliegenden Erfindung beliebig kombiniert werden oder jedes bevorzugte Ausführungsbeispiel kann im Schutzumfang der Erfindung in geeigneter Weise verändert oder weggelassen werden.
  • Obwohl die Erfindung detailliert dargestellt und beschrieben wurde, ist die vorstehende Beschreibung in allen Aspekten veranschaulichend und nicht einschränkend. Es ist daher selbstverständlich, dass zahlreiche Modifikationen und Änderungen erfolgen können, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuweichen.
  • Zusammenfassend ist festzustellen:
  • Eine Kontaktöffnung 57M, die eine schützende Isolierschicht 64, eine Zwischenlagen-Isolierschicht 54 und eine transparente Deckschicht 53 durchdringt und eine Oberfläche einer reflexionsarmen Schicht 52 nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, ist in einer Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet. Ein Unterschicht-Anschlussbereich 17B ist durch die reflexionsarme Schicht 52 und eine niederohmige leitfähige Schicht 51 unterhalb der Bodenfläche der Kontaktöffnung 57M ausgebildet. Eine Kontaktöffnung 67M, welche die schützende Isolierschicht 64 und eine transparente Deckschicht 63 durchdringt und eine Oberfläche der reflexionsarmen Schicht 62 nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, ist in der Ausgangs-Verdrahtungsregion A8 ausgebildet. Ein Oberschicht-Anschlussbereich 18B wird durch die reflexionsarme Schicht 62 und eine niederohmige leitfähige Schicht 61 unterhalb der Bodenfläche der Kontaktöffnung 67M ausgebildet.
  • Neben der vorstehenden schriftlichen Beschreibung der Erfindung wird zu deren ergänzender Offenbarung hiermit explizit auf die zeichnerische Darstellung der Erfindung in den 1 bis 27 Bezug genommen.
  • Bezugszeichenliste
    • 2
    X-Positionserfassungsdrähte
    3
    Y-Positionserfassungsdrähte
    4
    Ausgangsdraht
    5
    Anschlussbereich
    14
    Gehäuse
    15
    Unterlagen-Draht
    16
    Oberlagen-Draht
    17A
    Unterlagen-Anschlussbereich
    18A
    Oberlagen-Anschlussbereich
    20
    TFT-Arraysubstrat
    21
    Hintergrundbeleuchtungseinheit
    22, 27
    Transparentes Substrat
    23
    TFT-Arrayschicht
    30, 30A, 30B, 30P
    Touch-Panel-Substrat
    35
    Flüssigkristallbereich
    36
    Dichtmaterial
    40
    Farbfilterschicht
    41
    Cr-Schicht
    41K
    schwarze Matrixschicht
    42B, 42G, 42R
    Farbmaterialbereich
    50
    Berührungssensorschicht
    51, 61
    niederohmige leitfähige Schicht
    52, 62
    reflexionsarme Schicht
    53, 63
    transparente Deckschicht
    54
    Zwischenlagen-Isolierschicht
    57, 57L, 67, 67L
    Kontaktloch
    64
    schützende Isolierschicht
    71, 72, 73, 75
    Abdecklack
    100
    Anzeigevorrichtung
    151, 161
    AlNiNd-Schicht
    152, 162
    Al-Legierungs-Nitridschicht
    153, 163
    ITO-Schicht
    A7
    Anzeigebereich
    A8
    Ausgangs-Verdrahtungsregion
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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    • WO 2011/052392 [0008]
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    • JP 2014-130972 [0156]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • Normlichtart D65 [0081]

Claims (11)

  1. Touch-Panel-Struktur, umfassend: ein Substrat (27), das eine Hauptoberfläche und die andere Hauptoberfläche aufweist; eine Berührungssensorschicht (50), die auf der einen Hauptoberfläche des Substrats angeordnet ist und eine Anzeigeregion (7) und eine Ausgangs-Verdrahtungsregion (8) mit einem externen Anschlussbereich (17B, 18B) für eine externe Verbindung umfasst; und eine Farbfilterschicht (40), die auf der anderen Hauptoberfläche des Substrats so angeordnet ist, dass die Farbfilterschicht die Anzeigeregion der Berührungssensorschicht in einer Draufsicht überlappt, wobei die Berührungssensorschicht umfasst: eine laminierte Verdrahtung (15, 16), die durch eine leitfähige Schicht (51, 61) ausgebildet ist, eine reflexionsarme Schicht (52, 62) und eine transparente Schicht (53, 63), die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind; eine Isolierschicht (54, 64), die zum Abdecken der laminierten Verdrahtung ausgebildet ist; und eine Öffnung (57M, 67M), die in der Ausgangs-Verdrahtungsregion selektiv ausgebildet ist, die Isolierschicht und die transparente Schicht durchdringt und eine Oberfläche der reflexionsarmen Schicht nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, und der externe Anschlussbereich durch die reflexionsarme Schicht und die leitfähige Schicht unterhalb der Bodenfläche der Öffnung ausgebildet ist.
  2. Touch-Panel-Struktur nach Anspruch 1, wobei die transparente Schicht einen höheren Brechungsindex als den der Isolierschicht aufweist.
  3. Touch-Panel-Struktur nach Anspruch 1 oder 2, wobei die transparente Schicht ein Material mit einem Brechungsindex von 1,7 bis 2,4 umfasst und eine auf 30 bis 70 nm eingestellte Dicke aufweist.
  4. Touch-Panel-Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die reflexionsarme Schicht eine so festgelegte Dicke aufweist, dass ein Verhältnis einer minimalen Dicke zu einer maximalen Dicke (minimale Dicke/maximale Dicke) 0,6 übersteigt.
  5. Touch-Panel-Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die reflexionsarme Schicht aus einer Metallnitridschicht ausgebildet ist, die Aluminium als Hauptbestandteil enthält, und ein Nitrierungsgrad in Bezug auf ein Zusammensetzungsverhältnis von Stickstoff 30 bis 50 Atom% beträgt.
  6. Touch-Panel-Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die laminierte Verdrahtung eine erste laminierte Verdrahtung (15), die sich in eine erste Richtung erstreckt, und eine zweite laminierte Verdrahtung (16) umfasst, die sich in eine zweite Richtung erstreckt und oberhalb der ersten laminierten Verdrahtung angeordnet ist, wobei die zweite Richtung die erste Richtung in einer Draufsicht kreuzt, der externe Anschlussbereich einen ersten externen Anschlussbereich und einen zweiten externen Anschlussbereich (17B und 18B) umfasst, die in der gleichen Schicht wie die erste laminierte Verdrahtung bzw. die zweite laminierte Verdrahtung ausgebildet sind, wobei die leitfähige Schicht eine erste leitfähige Schicht und eine zweite leitfähige Schicht (51 und 61) umfasst, die reflexionsarme Schicht eine erste reflexionsarme Schicht und eine zweite reflexionsarme Schicht (52 und 62) umfasst, und die transparente Schicht eine erste transparente Schicht und eine zweite transparente Schicht (53 und 63) umfasst, die erste laminierte Verdrahtung durch die erste leitfähige Schicht (51), die erste reflexionsarme Schicht (52) und die erste transparente Schicht (53) ausgebildet ist, die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind, die zweite laminierte Verdrahtung durch die zweite leitfähige Schicht (61), die zweite reflexionsarme Schicht (62) und die zweite transparente Schicht (63) ausgebildet ist, die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind, der erste externe Anschlussbereich durch die erste leitfähige Schicht und die erste reflexionsarme Schicht ausgebildet ist, und der zweite externe Anschlussbereich durch die zweite leitfähige Schicht und die zweite reflexionsarme Schicht ausgebildet ist, und die Isolierschicht eine erste Isolierschicht (54) die zum Abdecken der ersten laminierten Verdrahtung ausgebildet ist, und eine zweite Isolierschicht (64 umfasst, die zum Abdecken der zweiten laminierten Verdrahtung ausgebildet ist, die auf der zweiten Isolierschicht ausgebildet ist.
  7. Anzeigevorrichtung, welche die Touch-Panel-Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 6 aufweist, wobei die Seite der Isolierschicht in der Anzeigenregion als Anzeige-Betrachtungsfläche dient.
  8. Verfahren zum Herstellen einer Touch-Panel-Struktur, die folgende Schritte umfasst: (a) Anfertigen eines Substrats (27), das eine Hauptoberfläche und die andere Hauptoberfläche aufweist; (b) Ausbilden eines Hauptbereichs einer Berührungssensorschicht (50) auf der einen Hauptoberfläche des Substrats, wobei die Berührungssensorschicht eine Anzeigenregion (7) und eine Ausgangs-Verdrahtungsregion (8) aufweist; (c) Ausbilden einer Farbfilterschicht (40) auf der anderen Hauptoberfläche des Substrats nach dem Ausführen des Schritts (b), wobei die Farbfilterschicht ausgebildet ist, die Anzeigeregion der Berührungssensorschicht in einer Draufsicht zu überlappen; und (d) Ausbilden eines externen Anschlussbereichs (17A, 18A, 17B, 18B) für eine externe Verbindung in der Ausgangs-Verdrahtungsregion nach dem Ausführen des Schritts (c), wobei der Schritt (b) folgende Schritte aufweist: (b-1) Ausbilden einer laminierten Verdrahtung auf dem Substrat, wobei die laminierte Verdrahtung durch eine leitfähige Schicht (51, 61), eine reflexionsarme Schicht (52, 62) und eine transparente Schicht (53, 63) ausgebildet ist, die in der angegebenen Reihenfolge laminiert sind; (b-2) Ausbilden einer Isolierschicht (54, 64), welche die laminierte Verdrahtung abdeckt; und (b-3) selektives Ausbilden einer Öffnung (57L, 67L) mit geringer Tiefe in der Ausgangs-Verdrahtungsregion, wobei die Öffnung mit geringer Tiefe die Isolierschicht durchdringt und eine Oberfläche der transparenten Schicht nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, und der Schritt (d) den Schritt (d-1) des Ausbildens einer Öffnung (57, 67, 57M, 67M) mit größerer Tiefe umfasst, die zumindest die transparente Schicht auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe durchdringt, wobei der externe Anschlussbereich zumindest durch die leitfähige Schicht unterhalb einer Bodenfläche der Öffnung mit größerer Tiefe ausgebildet wird.
  9. Verfahren zum Herstellen einer Touch-Panel-Struktur nach Anspruch 8, wobei der Schritt (d-1) den Schritt (d-1-1) des Ausbildens der Öffnung (57, 67) mit größerer Tiefe aufweist, welche die transparente Schicht und die reflexionsarme Schicht auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe durchdringt und eine Oberfläche der leitfähigen Schicht nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, wobei der externe Anschlussbereich durch die leitfähige Schicht unterhalb der Bodenfläche der Öffnung mit größerer Tiefe ausgebildet wird.
  10. Verfahren zum Herstellen einer Touch-Panel-Struktur nach Anspruch 8, wobei der Schritt (d-1) den Schritt (d-1-2) des Ausbildens der Öffnung (57M, 67M) mit größerer Tiefe umfasst, welche die transparente Schicht auf der Bodenfläche der Öffnung mit geringer Tiefe durchdringt und eine Oberfläche der reflexionsarmen Schicht nicht abgedeckt als Bodenfläche aufweist, wobei der externe Anschlussbereich durch die reflexionsarme Schicht und die leitfähige Schicht unterhalb der Bodenfläche der Öffnung mit größerer Tiefe ausgebildet wird.
  11. Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung, dass die folgenden Schritte umfasst: Schaffen der Touch-Panel-Struktur durch das Verfahren zum Herstellen einer Touch-Panel-Struktur nach einem der Ansprüche 8 bis 10; und Ausbilden von Strukturen eines Flüssigkristallbereichs und einer Antriebseinheit des Flüssigkristallbereichs mit Ausnahme der Touch-Panel-Struktur, sodass die Seite der Isolierschicht in der Anzeigeregion als Anzeige-Betrachtungsfläche dient.
DE102015224103.3A 2014-12-05 2015-12-02 Touch-Panel-Struktur und Verfahren zu deren Herstellung, und Anzeigevorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung Withdrawn DE102015224103A1 (de)

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