JP2014111532A - 多結晶シリコン塊の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】底面から洗浄水が供給される洗浄槽本体の内部に、複数の開口部を有する内かごを設けておき、開口部よりも目の大きい複数の貫通孔を有する洗浄かごに多結晶シリコン塊を収容し、洗浄槽本体に洗浄水を連続的に供給してこの洗浄槽本体の上部から洗浄水を溢水させながら、内かごの内部で洗浄かごを揺動させることにより、多結晶シリコン塊の表面からシリコンの微粉末や小片、不純物を離脱させ、これら微粉末や小片、不純物を内かごにより回収するとともに、洗浄水中に浮遊する微粉末や小片、不純物をこの洗浄水とともに洗浄槽本体から排出する。
【選択図】図2
Description
流が洗浄槽本体内に形成されやすいため、洗浄水中のシリコンの微粉末や小片、不純物をオーバーフロー部から円滑に排出することができる。また、処理後にこの給水口を使用して排水する場合、排水を円滑にできるとともに、排水時に洗浄水中のシリコンの微粉末や小片、不純物が槽内に滞留することを防止できる。なお、処理後に円滑に排水するとともに排水時に洗浄水中のシリコンの微粉末や小片、不純物が槽内に滞留することを防止するために、排水口をこの底面の最下部に設けてもよい。
口部16aを底面16bに有する内かご16と、洗浄かご12を保持し、この洗浄かご12を内かご16内で揺動させる揺動装置30とを備え、洗浄槽本体14に、この洗浄槽本体14の上部から溢水する洗浄水Wを回収するオーバーフロー部15が設けられている。
この洗浄かご12を収容する内かご16は、樹脂板により箱状に形成されている。この内かご16の底面16bは、図3に示すように、その樹脂板に、洗浄かご12の貫通孔12aより大きい、たとえば直径20mmの貫通孔に網(たとえばメッシュサイズ2mm〜3mm)を取り付けることにより、貫通孔12aよりも目の小さい開口として形成された複数の開口部16aが設けられている。また、内かご16の側面は、その樹脂板に直径8mmの貫通孔16cが設けられている。なお、この内かご16は、たとえば図2Aに示すように、上端に形成されたハンドル16dを洗浄槽本体14の上部に載せることにより、洗浄槽本体14内部に吊り下げた状態で保持される。ハンドル16dは、洗浄水Wの流出を妨げない形状で一カ所または複数箇所に形成されている。
12 洗浄かご
12a 貫通孔
12b フランジ
14 洗浄槽本体
14a 底面
14b 給水口
14c 邪魔板
15 オーバーフロー部
15a 排水口
16 内かご
16a 開口部
16b 底面
16c 貫通孔
16d ハンドル
20 多結晶シリコンロッド
22 多結晶シリコン塊
30 揺動装置
31 蓋
31a 通水孔
32 保持ハンド
33 ウレタン板
40,41 コンベア
42 駆動装置
G 隙間
W 洗浄水
Claims (1)
- 多結晶シリコンロッドを切断または破砕することにより細分化して得られた多結晶シリコン塊の洗浄方法であって、
底面から洗浄水が供給される洗浄槽本体の内部に、複数の開口部を有する内かごを設けておき、
前記開口部よりも目の大きい複数の貫通孔を有する洗浄かごに前記多結晶シリコン塊を収容し、
前記洗浄槽本体に前記洗浄水を連続的に供給してこの洗浄槽本体の上部から前記洗浄水を溢水させながら、前記内かごの内部で前記洗浄かごを揺動させることにより、
前記多結晶シリコン塊の表面からシリコンの微粉末や小片、不純物を離脱させ、これら微粉末や小片、不純物を前記内かごにより回収するとともに、前記洗浄水中に浮遊する前記微粉末や小片、不純物をこの洗浄水とともに前記洗浄槽本体から排出することを特徴とする多結晶シリコン塊の洗浄方法。
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