JP2014081522A5 - - Google Patents

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第１の実施形態の光学部材の概略構成を示す断面模式図 設計変更例１の光学部材の概略構成を示す断面模式図 設計変更例２の光学部材の概略構成を示す断面模式図 微細凹凸層の平面視のＳＥＭ画像 微細凹凸層の断面視のＳＥＭ画像 凹凸層の膜厚、平坦層の膜厚とアルミニウムの成膜厚みとの関係を示す図 微細凹凸層および平坦層の屈折率を示す図 屈折率の微細凹凸構造高さ依存性を示す参考図 第２の実施形態の光学部材の概略構成を示す断面模式図 成膜角度φを説明するための図 曲面において周辺部での膜厚減少を示す成膜角度φ毎の反射率の波長依存性を示す図 実施例１の光学部材について成膜角度φ毎の反射率の波長依存性を示す図 実施例２の光学部材について成膜角度φ毎の反射率の波長依存性を示す図 比較例１において、反射率総和のＳｉＯ２膜厚依存性を示す図 比較例１の光学部材のうち、ＳｉＯ２膜厚１００ｎｍの場合の反射率の波長依存性を示す図
図４は、作製した微細凹凸層の平面視のＳＥＭ画像であり、図５は、断面視のＳＥＭ画像である。
図５に示す通り、表面には微細凹凸層が形成され、基板と凹凸層との間に平坦層が形成されている。
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