JP2012240418A5 - 超撥油性デバイス - Google Patents

Claims (4)

1. 基板と、
   ざらつきのある表面を備え、前記基板を覆って配置された半導体層であって、前記ざらつきのある表面は、柱構造、溝構造、およびそれらの組み合わせのうちの１つ以上によって形成される、半導体層と、
   前記半導体層の前記ざらつきのある表面に配置された適合性微粒子複合層であって、前記適合性微粒子複合層の表面は、複数の金属含有微粒子を備える、適合性微粒子複合層と、
   マルチスケールの超撥油性表面を前記デバイスに提供するために、前記適合性微粒子複合層に配置された適合性撥油性コーティングと
   を備える、超撥油性デバイス。
2. 前記複数の金属含有微粒子のそれぞれが、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、ＳｎＯ_２、ＺｎＯ、ＳｉＯ_２、ＳｉＣ、ＴｉＣ、Ｆｅ_２Ｏ_３、ＨｆＯ_２、ＴｉＮ、ＴａＮ、ＷＮ、ＮｂＮ、Ｒｕ、Ｉｒ、Ｐｔ、ＺｎＳ、ＧｅＯ_２、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項１に記載のデバイス。
3. 前記柱構造と前記溝構造とのそれぞれが、約０．３マイクロメートルから約４マイクロメートルの範囲の高さを有する、請求項１に記載のデバイス。
4. 前記柱構造と前記溝構造とのそれぞれが、波状側壁、オーバーハング構造、またはそれらの組み合わせを備え、
   前記柱構造と前記溝構造とのそれぞれが、約１マイクロメートルから約２０マイクロメートルの範囲の直径を有し、
   前記波状側壁は、複数の波形を備え、各波形は、約１００ナノメートルから約１，０００ナノメートルのサイズを有し、
   前記オーバーハング構造は、約１マイクロメートルから約２０マイクロメートルの範囲の上部幅を有する上部構造と、約０．５マイクロメートルから約１５マイクロメートルの範囲の底部幅を有する底部構造とを備えるＴ字型構造を備える、請求項１に記載のデバイス。