JP2015141307A5 - - Google Patents

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本発明の一側面としての光学フィルタは、屈折率ｎＨを有する平均層厚ｄＨの第１の光学層および屈折率ｎＨよりも低い屈折率ｎＬを有する平均層厚ｄＬの第２の光学層が交互に積層された幅Ｗ１の第１の多層膜と、前記第１および第２の光学層が交互に積層された幅Ｗ２の第２の多層膜と、を有し、前記第１および第２の多層膜は、前記第１および第２の光学層の積層方向において幅Ｄだけ互いにずれて配列された単位構造を構成し、｜Ｄ｜≦０．５（ｄＬ＋ｄＨ）の場合の前記単位構造の傾斜角をφ＝ｔａｎ−１（｜Ｄ｜／０．５（Ｗ１＋Ｗ２））、｜Ｄ｜＞０．５（ｄＬ＋ｄＨ）の場合の前記単位構造の傾斜角をφ＝ｔａｎ−１ ［｛（ｄＬ＋ｄＨ）−｜Ｄ｜｝／０．５（Ｗ１＋Ｗ２）］、とするとき、所定の関係を満たす。
本発明の一側面としての光学装置は、前記光学フィルタと光学素子とを有する。

Claims (13)

  1. 屈折率ｎＨを有する平均層厚ｄＨの第１の光学層および屈折率ｎＨよりも低い屈折率ｎＬを有する平均層厚ｄＬの第２の光学層が交互に積層された幅Ｗ１の第１の多層膜と、
    前記第１および第２の光学層が交互に積層された幅Ｗ２の第２の多層膜と、を有し、
    前記第１および第２の多層膜は、前記第１および第２の光学層の積層方向において幅Ｄだけ互いにずれて配列された単位構造を構成し、
    ｜Ｄ｜≦０．５（ｄＬ＋ｄＨ）の場合の前記単位構造の傾斜角をφ＝ｔａｎ−１（｜Ｄ｜／０．５（Ｗ１＋Ｗ２））、｜Ｄ｜＞０．５（ｄＬ＋ｄＨ）の場合の前記単位構造の傾斜角をφ＝ｔａｎ−１ ［｛（ｄＬ＋ｄＨ）−｜Ｄ｜｝／０．５（Ｗ１＋Ｗ２）］、とするとき、
    １５ｄｅｇ．＜φ＜３５ｄｅｇ．
    １．８＜ｄＨ／ｄＬ＜５．０
    を満たすことを特徴とする光学フィルタ。
  2. 前記光学フィルタの反射帯域における反射率５０％のときの長波長側の裾の波長をλｐｌｕｓ、前記第１および第２の多層膜の配列方向と前記積層方向とに平行な平面に対する光線の入射角の絶対値の最大値および最小値をそれぞれ｜θ｜ｍａｘおよび｜θ｜ｍｉｎ、Ｐ偏光の前記入射角が｜θ｜ｍｉｎから｜θ｜ｍａｘまで変化したときの波長シフト量をΔλｐｌｕｓ、とするとき、
    ｜Δλｐｌｕｓ｜＜３０ｎｍ
    ｃｏｓ｜θ｜ｍｉｎ−ｃｏｓ｜θ｜ｍａｘ＞０．３６５
    を満たすことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
  3. 前記第１および第２の多層膜の配列方向と前記積層方向とに平行な平面に対する光線の入射角の絶対値の最大値および最小値をそれぞれ｜θ｜ｍａｘおよび｜θ｜ｍｉｎとし、ｎｅｆｆ＝｛２／（１／ｎＨ２＋１／ｎＬ２）｝１／２ とするとき、
    ０．５（｜θ｜ｍａｘ＋｜θ｜ｍｉｎ）／２＜ｓｉｎ−１（ｎｅｆｆｓｉｎφ）＜１．５（｜θ｜ｍａｘ＋｜θ｜ｍｉｎ）／２
    を満たすことを特徴とする請求項１または２に記載の光学フィルタ。
  4. 前記入射角が（｜θ｜ｍａｘ＋｜θ｜ｍｉｎ）／２であるときのＰ偏光の反射中心波長をλ０とするとき、
    ０．３５・λ０＜（ｎＨ・ｄＨ＋ｎＬ・ｄＬ）ｃｏｓφ＜０．６５・λ０
    を満たすことを特徴とする請求項２または３に記載の光学フィルタ。
  5. 前記第１および第２の多層膜の配列方向と前記積層方向とに平行な平面に対する光線の入射角の絶対値の最大値および最小値をそれぞれ｜θ｜ｍａｘおよび｜θ｜ｍｉｎ、前記入射角が（｜θ｜ｍａｘ＋｜θ｜ｍｉｎ）／２であるときのＰ偏光の反射中心波長をλ０、とするとき、
    （Ｗ１＋Ｗ２）＜０．８５・λ０
    を満たすことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  6. ０．２５（ｄＨ＋ｄＬ）≦｜Ｄ｜≦０．７５（ｄＨ＋ｄＬ）
    を満たすことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  7. 隣接する２つの前記単位構造の中心間距離をＰとするとき、
    ０．５≦（Ｗ１＋Ｗ２）／Ｐ≦１
    を満たすことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  8. 隣接する２つの前記単位構造同士についての前記幅Ｄの乱雑さをΔｚとするとき、
    ０≦Δｚ≦２（ｄＨ＋ｄＬ）
    を満たすことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  9. Ｗ１＞Ｗ２
    Ｗ１／（Ｗ１＋Ｗ２）≦０．８
    を満たすことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  10. 前記第１および第２の多層膜は、前記屈折率ｎＨと前記屈折率ｎＬとの間の屈折率を有する層を含むことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  11. 前記第１および第２の多層膜は、前記第１および第２の光学層とは異なる材質の第３および第４の光学層を含むことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  12. 前記第１および第２の多層膜は、前記積層方向と直交する方向において二次元状に配列された複数の前記単位構造を構成していることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
  13. 請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の光学フィルタと光学素子とを有することを特徴とする光学装置。
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