JP2014080993A - 電動リニアアクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】摺動摩擦や摩耗の低減を図ると共に、簡便な構造で低コストなねじ軸の回り止め機構を備えた電動リニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】減速機構6を介して電動モータ3の回転運動を駆動軸7の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構8とを備えた電動リニアアクチュエータにおいて、ハウジング2aの袋孔9の内周に凸条21が形成され、この袋孔9にスリーブ18が嵌合され、このスリーブ18が液相メッキが施された冷間圧延鋼板からプレス加工によって形成され、円周方向等配に軸方向に延びる凹溝18aが成形されて、断面が花弁状に形成されると共に、ねじ軸12の端部に径方向に貫通する貫通孔19が形成され、この貫通孔19にガイドピン20が嵌挿され、スリーブ18の凹溝18aに係合されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、一般産業用の電動機、自動車等の駆動部に使用されるボールねじ機構を備えた電動リニアアクチュエータ、詳しくは、自動車のトランスミッションやパーキングブレーキ等で、電動モータからの回転入力をボールねじ機構を介して駆動軸の直線運動に変換する電動リニアアクチュエータに関するものである。
各種駆動部に使用される電動リニアアクチュエータにおいて、電動モータの回転運動を軸方向の直線運動に変換する機構として、台形ねじあるいはラックアンドピニオン等の歯車機構が一般的に使用されている。これらの変換機構は、滑り接触部を伴うため動力損失が大きく、電動モータの大型化や消費電力の増大を余儀なくされている。そのため、より効率的なアクチュエータとしてボールねじ機構が採用されるようになってきた。
従来の電動リニアアクチュエータとしては、例えば、ハウジングに支持された電動モータにより、ボールねじを構成するボールねじ軸を回転駆動自在とし、このボールねじ軸を回転駆動することによってナットに結合された出力部材を軸方向に変位可能としている。ボールねじ機構は、摩擦が非常に低く、出力部材側に作用するスラスト荷重によって簡単にボールねじ軸が回転してしまうので、電動モータが停止時に出力部材を位置保持する必要がある。
そこで、例えば、電動モータにブレーキ手段を設けたり、あるいは伝達手段としてウォームギアのような低効率なものを設けることがなされているが、その代表的なものとして、図8に示すような電動リニアアクチュエータが知られている。この電動リニアアクチュエータ50は、電動モータ(図示せず)により回転駆動されるボールねじ軸51と、このボールねじ軸51にボール(図示せず)を介して螺合されたボールねじナット52とを備えるボールねじ機構53を採用している。電動モータのモータ軸(図示せず)が回転すると、このモータ軸に連結されたボールねじ軸51が回転し、ボールねじナット52を直線運動(図の左右方向)に移動させる。
ボールねじ軸51は、円筒状のハウジング54、55に2つの転がり軸受56、57によって回転自在に支承されている。これらの転がり軸受56、57は、固定用の蓋58を介して緩み止め用の回り止め部材59によって固定されている。
ボールねじ軸51の外周には螺旋状のねじ溝51aが形成され、ボールを介して円筒状のボールねじナット52が螺合されている。ボールねじナット52の内周には螺旋状のねじ溝52aが形成され、端部に大径部60が形成されている。
大径部60の側面には、端面がフラットになるようにカットされたフラット部61が形成されている。このフラット部61の略中央部には、カムフォロア(回転止め手段)62が径方向の外側に向けて突設されている。
このように、カムフォロア62が切欠き部に嵌合されているので、ボールねじナット52は、ボールねじ軸51の回転に伴って連れ回りすることがなく、かつ、カムフォロア62が切欠き部に回転摺動するので、摺動摩擦や摩耗の問題を低減することができる(例えば、特許文献1参照。)。
特開2007−333046号公報
こうした従来の電動リニアアクチュエータ50では、ボールねじナット52のとして回転止め手段としてカムフォロア62が使用されているため、摺動摩擦や摩耗の問題を低減すると共に、低トルク化を図ることができるが、カムフォロア62自体が転がり軸受を使用しているためコストが高騰する恐れがある。また、ハウジング54がアルミ材料を使用している場合は、摩耗対策が必要になってくる。
本発明は、こうした従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、摺動摩擦や摩耗の低減を図ると共に、簡便な構造で低コストなねじ軸の回り止め機構を備えた電動リニアアクチュエータを提供することを目的とする。
係る目的を達成すべく、本発明のうち請求項1に記載の発明は、円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、このボールねじ機構が、前記ハウジングに装着された支持軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持され、内周に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化され、外周に前記ナットのねじ溝に対応する螺旋状のねじ溝が形成され、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸とで構成されると共に、前記ハウジングに前記ねじ軸を収容する袋孔が形成された電動リニアアクチュエータにおいて、前記ハウジングの袋孔に前記ねじ軸の回り止め用のスリーブが嵌合され、このスリーブが鋼板からプレス加工によって形成されている。
このように、電動モータの回転力を伝達する減速機構と、この減速機構を介して電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、ボールねじ機構が、ハウジングに装着された一対の支持軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持され、内周に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、駆動軸と同軸状に一体化され、外周にナットのねじ溝に対応する螺旋状のねじ溝が形成され、ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸とで構成されると共に、ハウジングにねじ軸を収容する袋孔が形成された電動リニアアクチュエータにおいて、ハウジングの袋孔に前記ねじ軸の回り止め用のスリーブが嵌合され、このスリーブが鋼板からプレス加工によって形成されているので、簡便な構造で低コストなねじ軸の回り止め機構を備えた電動リニアアクチュエータを提供することができる。
好ましくは、請求項2に記載の発明のように、前記袋孔の内周に凸条が形成され、この凸条に前記スリーブが係合して当該スリーブの回り止めがされていれば、袋孔にスリーブを圧入しなくても円周方向に固定することができ、組立作業性を向上させることができる。
また、請求項3に記載の発明のように、前記スリーブが、円周方向等配に軸方向に延びる凹溝が成形されて、断面が花弁状に形成されていれば、ガイドピンをこの凹溝に係合させる工数を最小限に抑え、組立工数を簡素化することができる。
また、請求項4に記載の発明のように、前記スリーブがステンレス鋼板で形成されていても良いし、また、請求項5のように、前記スリーブが冷間圧延鋼板で形成され、その表面に液相メッキが施されていても良い。
また、請求項6に記載の発明のように、前記袋孔の端部に環状の係止溝が形成されると共に、この係止溝に固定板が弾性装着され、この固定板が前記スリーブに当接されていれば、簡単な構成でスリーブを軸方向に確実に固定することができる。
また、請求項7に記載の発明のように、前記固定板が鋼板からプレス加工によって形成され、前記係止溝に装着される円弧状の固定部と、この固定部から径方向内方に延び、前記スリーブの端面に当接する円板部を備え、前記固定部には円周方向等配にスリットが形成されていれば、係止溝への装着を容易にすることができ、組立性を向上させることができる。
また、請求項8に記載の発明のように、前記固定板がZAM鋼板で形成されていれば、低コストで耐食性を高めることができる。
また、請求項9に記載の発明のように、前記貫通孔が高周波焼入れによって所定の硬化層が形成されていれば、貫通孔の耐摩耗性を向上させ、長期間に亘ってガイドピンの安定した支持を行うことができる。
また、請求項10に記載の発明のように、前記ガイドピンの外周面にクラウニングが形成されていれば、貫通孔との接触においてエッジロードを防止して接触面圧を低下させて耐久性を向上させることができる。
また、請求項11に記載の発明のように、前記ハウジングがアルミ合金から形成されていれば、軽量化を図ることができると共に、スリーブがハウジングよりも材料強度と耐摩耗性が高い材質となって耐久性を向上させることができる。
本発明に係る電動リニアアクチュエータは、円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、このボールねじ機構が、前記ハウジングに装着された支持軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持され、内周に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化され、外周に前記ナットのねじ溝に対応する螺旋状のねじ溝が形成され、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸とで構成されると共に、前記ハウジングに前記ねじ軸を収容する袋孔が形成された電動リニアアクチュエータにおいて、前記ハウジングの袋孔に前記ねじ軸の回り止め用のスリーブが嵌合され、このスリーブが鋼板からプレス加工によって形成されているので、簡便な構造で低コストな、ねじ軸の回り止め機構を備えた電動リニアアクチュエータを提供することができる。
本発明に係る電動リニアアクチュエータの一実施形態を示す縦断面図である。 図1のボールねじ機構を示す縦断面図である。 本発明に係るスリーブ単体を示す斜視図である。 (a)は、図1のIV−IV線に沿った横断面図、(b)は、X−X矢視図である。 図3のスリーブの変形例を示す斜視図である。 (a)は、図4(a)と同様の横断面図、(b)は、図4(b)と同様の矢視図である。 (a)は、本発明に係るスリーブの固定板を示す要部拡大図、(b)は、(a)の固定板単体を示す斜視図である。 従来の電動リニアアクチュエータを示す縦断面図である。
円筒状のハウジングと、このハウジングに取り付けられた電動モータと、この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、このボールねじ機構が、前記ハウジングに装着された支持軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持され、内周に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化され、外周に前記ナットのねじ溝に対応する螺旋状のねじ溝が形成され、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸とで構成されると共に、前記ハウジングに前記ねじ軸を収容する袋孔が形成された電動リニアアクチュエータにおいて、前記ハウジングの袋孔の内周に凸条が形成され、この袋孔にスリーブが嵌合され、このスリーブが液相メッキが施された冷間圧延鋼板からプレス加工によって形成され、円周方向等配に軸方向に延びる凹溝が成形されて、断面が花弁状に形成されると共に、前記ねじ軸の端部に径方向に貫通する貫通孔が形成され、この貫通孔にガイドピンが嵌挿され、前記スリーブの凹溝に係合されている。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明に係る電動リニアアクチュエータの一実施形態を示す縦断面図、図2は、図1のボールねじ機構を示す縦断面図、図3は、本発明に係るスリーブ単体を示す斜視図、図4(a)は、図1のIV−IV線に沿った横断面図、(b)は、X−X矢視図、図5は、図3のスリーブの変形例を示す斜視図、図6(a)は、図4(a)と同様の横断面図、(b)は、図4(b)と同様の矢視図、図7(a)は、本発明に係るスリーブの固定板を示す要部拡大図、(b)は、(a)の固定板単体を示す斜視図である。
この電動リニアアクチュエータ1は、図1に示すように、円筒状のハウジング2と、このハウジング2に取り付けられた電動モータ3と、この電動モータ3の回転力をモータ軸3aを介して伝達する一対の平歯車4、5からなる減速機構6と、この減速機構6を介して電動モータ3の回転運動を駆動軸7の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構8とを備えている。
ハウジング2は、A6063TEやADC12等のアルミ合金からなり、第1のハウジング2aと、その端面に衝合された第2のハウジング2bとを備え、固定ボルト(図示せず)によって一体に固定されている。第1のハウジング2aには電動モータ3が取り付けられると共に、第1のハウジング2aと第2のハウジング2bには、ねじ軸12を収容するための袋孔9、10が形成されている。
電動モータ3のモータ軸3aの端部には小平歯車4が圧入により相対回転不能に取り付けられ、第2のハウジング2bに装着された転がり軸受11によって回転自在に支持されている。大平歯車5は、後述するボールねじ機構8を構成するナット14に一体形成され、小平歯車4に噛合している。駆動軸7は、ボールねじ機構8を構成するねじ軸12と一体に構成されている。
ボールねじ機構8は、図2に拡大して示すように、ねじ軸12と、このねじ軸12にボール13を介して外装されたナット14とを備えている。ねじ軸12は、外周に螺旋状のねじ溝12aが形成され、軸方向移動自在に、かつ回転不可に支承されている。一方、ナット14は、ねじ軸12に外装されると共に、内周にねじ軸12のねじ溝12aに対応する螺旋状のねじ溝14aが形成され、これらねじ溝12a、14aとの間に多数のボール13が転動自在に収容されている。そして、ナット14は、ハウジング(図示せず)に対して、2つの支持軸受15、16を介して回転自在に、かつ軸方向移動不可に支承されている。17は、ナット14のねじ溝14aを連結して循環部材を構成する駒部材で、この駒部材17によって多数のボール13が無限循環することができる。
各ねじ溝12a、14aの断面形状は、サーキュラアーク形状であってもゴシックアーク形状であっても良いが、ここではボール13との接触角が大きくとれ、アキシアルすきまが小さく設定できるゴシックアーク形状に形成されている。これにより、軸方向荷重に対する剛性が高くなり、かつ振動の発生を抑制することができる。
ナット14はSCM415やSCM420等の肌焼き鋼からなり、真空浸炭焼入れによってその表面に55〜62HRCの範囲に硬化処理が施されている。これにより、熱処理後のスケール除去のためのバフ加工等を省略することができ、低コスト化を図ることができる。一方、ねじ軸12はS55C等の中炭素鋼あるいはSCM415やSCM420等の肌焼き鋼からなり、高周波焼入れ、あるいは浸炭焼入れによってその表面に55〜62HRCの範囲に硬化処理が施されている。
ナット14の外周には減速機構6を構成する大平歯車5が一体に形成されると共に、この大平歯車5の両側に2つの支持軸受15、16が所定のシメシロを介して圧入されている。これにより、駆動軸7からスラスト荷重が負荷されても支持軸受15、16と大平歯車5の軸方向の位置ズレを防止することができる。また、2つの支持軸受15、16は、両端部にシールド板が装着された密封型の深溝玉軸受で構成され、軸受内部に封入された潤滑グリースの外部への漏洩と、外部から摩耗粉等が軸受内部に侵入するのを防止している。
ここで、本実施形態では、図1に示すように、第1のハウジング2aの袋孔9に筒状のスリーブ18が嵌合されている。このスリーブ18は、冷間圧延鋼板(JIS規格のSPCC系等)からプレス加工によって形成され、図3に示すように、円周方向等配に軸方向に延びる凹溝18aが成形されて、断面が花弁状に形成されている。これにより、少なくともアルミ合金からなる第1のハウジング2aよりも材料強度と耐摩耗性が高くなり、耐久性を向上させることができると共に、後述するガイドピン20をこの凹溝18aに係合させる工数を最小限に抑え、組立工数を簡素化することができる。なお、スリーブ18の材質として、前述したもの以外に、オーステナイト系ステンレス鋼板(JIS規格のSUS304系等)やフェライト系ステンレス鋼板(JIS規格のSUS430系等)、冷間圧延鋼板に電気メッキ、無電解ニッケルメッキ等の液相メッキが施されたもの、あるいは、アルミニウム、マグネシウムの緻密な三元共晶組織からなる高耐食性溶融めっき鋼板(ZAM鋼板と呼称されている)等を例示することができる。
また、図4(a)(b)に示すように、スリーブ18は、第1のハウジング2aの袋孔9に圧入されると共に、袋孔9の内周に形成された凸条21によって回り止めがされている。一方、ねじ軸12の端部には径方向に貫通する貫通孔19が形成され、この貫通孔19にガイドピン20が嵌挿されている。この貫通孔19は、高周波焼入れによって表面硬さを60〜64HRCの範囲に所定の硬化層が形成されている。
また、ガイドピン20は、耐摩耗性とせん断強度に優れると共に、入手性が良く低コストな針状ころ軸受用の針状ころ(ニードル)が使用されている。特に、針状ころを使用することにより、外周面にクラウニングが形成されているので、貫通孔19との接触においてエッジロードを防止して接触面圧を低下させて耐久性を向上させることができる。そして、このガイドピン20がスリーブ18の凹溝18aに係合し、ねじ軸12の軸方向の案内と共に回り止めを行う。このガイドピン20と、このガイドピン20に係合する凹溝18aを有するスリーブ18とでねじ軸12の回り止め機構を構成している。
このように、凹溝18aに係合するガイドピン20がねじ軸12の貫通孔19に嵌挿されているので、ガイドピン20が貫通孔19の中で回転自在となり、摺動摩擦や摩耗の低減を図ると共に、簡便な構造で低コストなねじ軸の回り止め機構を備えた電動リニアアクチュエータを提供することができる。また、貫通孔19が高周波焼入れによって表面硬さを60〜64HRCの範囲に所定の硬化層が形成されているので、ガイドピン20として針状ころを使用しても、貫通孔19の耐摩耗性を向上させ、長期間に亘ってガイドピン20の安定した支持を行うことができる。
次に、図5に前述したスリーブ18の変形例を示す。このスリーブ18’は、冷間圧延鋼板からプレス加工によって形成され、円周方向に対向して軸方向に延びる凹溝18aが成形されている。これにより、前述した実施形態と同様、アルミ合金からなる第1のハウジング2aよりも材料強度と耐摩耗性が高くなり、耐久性を向上させることができると共に、形状が簡素化されて加工が容易となって低コスト化を図ることができる。
また、図6(a)(b)に示すように、スリーブ18’は、第1のハウジング2aの袋孔9’に圧入されると共に、袋孔9’の内周に形成された凸条21によって回り止めがされている。一方、ねじ軸12の端部には径方向に貫通する貫通孔19が形成され、この貫通孔19にガイドピン20が嵌挿されている。そして、ガイドピン20がスリーブ18’の凹溝18aに係合し、ねじ軸12の軸方向の案内と共に回り止めを行う。このガイドピン20と、このガイドピン20に係合する凹溝18aを有するスリーブ18’とでねじ軸12の回り止め機構を構成している。
このように、本実施形態においても、凹溝18aに係合するガイドピン20がねじ軸12の貫通孔19に嵌挿されているので、ガイドピン20が貫通孔19の中で回転自在となり、摺動摩擦や摩耗の低減を図ると共に、簡便な構造で低コストなねじ軸の回り止め機構を備えた電動リニアアクチュエータを提供することができる。
また、スリーブ18は、図7(a)に示すように、第1のハウジング2aの袋孔9に圧入されると共に、固定板22によって軸方向に固定されている。この固定板22は、袋孔9の端部に形成された環状の係止溝23に弾性装着されている。
この固定板22は、亜鉛メッキ等の防錆処理された冷間圧延鋼板からプレス加工によって形成され、図7(b)に示すように、係止溝23に装着される円弧状の固定部22aと、この固定部22aから径方向内方に延びる円板部22bとを備えている。固定部22aには円周方向等配にスリット24が形成され、係止溝23への装着を容易にすることができると共に、円板部22bがスリーブ18の端面に当接して、当該スリーブ18の軸方向の抜け止めを行う。なお、固定板22の材質として、前述したもの以外に、オーステナイト系ステンレス鋼板やフェライト系ステンレス鋼板、あるいは、ZAM鋼板等を例示することができる。
以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、本発明はこうした実施の形態に何等限定されるものではなく、あくまで例示であって、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
本発明に係る電動リニアアクチュエータは、一般産業用の電動機、自動車等の駆動部に使用され、電動モータからの回転入力をボールねじ機構を介して駆動軸の直線運動に変換するボールねじ機構を備えた電動リニアアクチュエータに適用できる。
1 電動リニアアクチュエータ
2 ハウジング
2a 第1のハウジング
2b 第2のハウジング
3 電動モータ
3a モータ軸
4 小平歯車
5 大平歯車
6 減速機構
7 駆動軸
8 ボールねじ機構
9、9’、10 袋孔
11 転がり軸受
12 ねじ軸
12a、14a ねじ溝
13 ボール
14 ナット
15、16 支持軸受
17 駒部材
18、18’ スリーブ
18a 凹溝
19 貫通孔
20 ガイドピン
21 凸条
22 固定板
22a 固定部
22b 円板部
23 係止溝
24 スリット
50 電動リニアアクチュエータ
51 ボールねじ軸
51a、52a ねじ溝
52 ボールねじナット
53 ボールねじ機構
54、55 ハウジング
56、57 転がり軸受
58 固定用の蓋
59 緩み止め用の回り止め部材
60 ナットの大径部
61 フラット部
62 カムフォロア

Claims (11)

  1. 円筒状のハウジングと、
    このハウジングに取り付けられた電動モータと、
    この電動モータの回転力をモータ軸を介して伝達する減速機構と、
    この減速機構を介して前記電動モータの回転運動を駆動軸の軸方向の直線運動に変換するボールねじ機構とを備え、
    このボールねじ機構が、前記ハウジングに装着された支持軸受を介して回転可能に、かつ軸方向移動不可に支持され、内周に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、
    このナットに多数のボールを介して内挿され、前記駆動軸と同軸状に一体化され、外周に前記ナットのねじ溝に対応する螺旋状のねじ溝が形成され、前記ハウジングに対して回転不可に、かつ軸方向移動可能に支持されたねじ軸とで構成されると共に、
    前記ハウジングに前記ねじ軸を収容する袋孔が形成された電動リニアアクチュエータにおいて、
    前記ハウジングの袋孔に前記ねじ軸の回り止め用のスリーブが嵌合され、このスリーブが鋼板からプレス加工によって形成されていることを特徴とする電動リニアアクチュエータ。
  2. 前記袋孔の内周に凸条が形成され、この凸条に前記スリーブが係合して当該スリーブの回り止めがされている請求項1に記載の電動リニアアクチュエータ。
  3. 前記スリーブが、円周方向等配に軸方向に延びる凹溝が成形されて、断面が花弁状に形成されている請求項1または2に記載の電動リニアアクチュエータ。
  4. 前記スリーブがステンレス鋼板で形成されている請求項1乃至3いずれかに記載の電動リニアアクチュエータ。
  5. 前記スリーブが冷間圧延鋼板で形成され、その表面に液相メッキが施されている請求項1乃至3いずれかに記載の電動リニアアクチュエータ。
  6. 前記袋孔の端部に環状の係止溝が形成されると共に、この係止溝に固定板が弾性装着され、この固定板が前記スリーブに当接されている請求項1または2に記載の電動リニアアクチュエータ。
  7. 前記固定板が鋼板からプレス加工によって形成され、前記係止溝に装着される円弧状の固定部と、この固定部から径方向内方に延び、前記スリーブの端面に当接する円板部を備え、前記固定部には円周方向等配にスリットが形成されている請求項6に記載の電動リニアアクチュエータ。
  8. 前記固定板がZAM鋼板で形成されている請求項6または7に記載の電動リニアアクチュエータ。
  9. 前記貫通孔が高周波焼入れによって所定の硬化層が形成されている請求項1に記載の電動リニアアクチュエータ。
  10. 前記ガイドピンの外周面にクラウニングが形成されている請求項1に記載の電動リニアアクチュエータ。
  11. 前記ハウジングがアルミ合金から形成されている請求項1に記載の電動リニアアクチュエータ。
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