JP2014078906A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 複数の開口がアレイ状に配置された基板と、
   前記基板の第１面において、前記開口に対して設けられた超音波トランスデューサー素子と、
   前記基板の前記第１面の反対側の面である第２面に固定されて、前記基板を補強する補強部材とを含み、
   前記補強部材が、前記開口と対向して形成される複数の第１の溝部を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
2. 請求項１において、
   前記補強部材が、複数の前記第１の溝部と連通する第２の溝部を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
3. 請求項２において、
   前記補強部材が、前記第２の溝部と外部空間とを連通し、前記補強部材の厚み方向に貫通する貫通孔を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
4. 請求項２又は３において、
   前記補強部材が、前記基板の前記開口を囲う周囲領域に対向する領域において、前記外部空間と連通し、前記第１の溝部及び前記第２の溝部のいずれにも連通しない第３の溝部を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
5. 請求項１又は２において、
   前記第１の溝部は、前記補強部材の前記基板と接合する面において、第１の方向に沿って設けられ、
   前記第２の溝部は、前記補強部材の前記基板と接合する面において、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って設けられ、
   前記第１の溝部の少なくとも一端は、前記基板の前記開口を囲う周囲領域に対向する領域において、前記第２の溝部と連結されることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
6. 請求項５において、
   前記補強部材の前記基板と接合する面において、前記基板の開口を囲う周囲領域に対向する領域には、
   前記外部空間と連通し、前記第１の溝部及び前記第２の溝部のいずれにも連通しない第３の溝部が設けられ、
   前記第３の溝部は、
   前記補強部材の前記第１の方向側の端辺又は前記第１の方向と反対側の端辺に沿う領域において、前記第１の方向に沿って設けられ、
   或いは、前記補強部材の前記第２の方向側の端辺又は前記第２の方向と反対側の端辺に沿う領域において、前記第２の方向に沿って設けられ、
   前記第３の溝部の一端は、前記第１の溝部及び前記第２の溝部のいずれからも分離し、前記第３の溝部の他端は、前記補強部材の前記端辺と接合することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
7. 請求項１乃至６のいずれかにおいて、
   前記補強部材は、
   アレイ状に配置された前記開口を隔てる仕切り壁部に対して、少なくとも１カ所の接合領域において接合されることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
8. 請求項１乃至７のいずれかにおいて、
   前記超音波トランスデューサー素子は、
   前記開口を塞ぐ振動膜と、
   前記振動膜の上に設けられる圧電素子部とを有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。
9. 請求項１乃至８のいずれかに記載の超音波トランスデューサーデバイスを含むことを特徴とするプローブヘッド。
10. 請求項９に記載のプローブヘッドと、
    前記超音波トランスデューサーデバイスからの信号を処理する処理装置とを含むことを特徴とする超音波プローブ。
11. 請求項１０に記載の超音波プローブを含むことを特徴とする電子機器。
12. 請求項１０に記載の超音波プローブと、
    表示用画像データを表示する表示部とを含むことを特徴とする超音波診断装置。