JP2014061585A - ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いてウエハを研削加工する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビトリファイドボンド超砥粒ホイールは、平均粒径1μm以下の超砥粒3をビトリファイドボンド2によって結合した超砥粒層6を有するビトリファイドボンド超砥粒ホイールであって、超砥粒層6は、気孔5が50〜70容量%と、ビトリファイドボンド2が5〜20容量%と、Al2O34が5〜30容量%を含む、ビトリファイドボンド超砥粒ホイールである。
【選択図】図1
Description
好ましくは、Al2O3の平均粒径は、超砥粒の平均粒径の200%以下である。
好ましくは、シリコン、サファイヤ、単結晶SiC、およびGaNからなる群より選ばれた少なくとも一種を含むウエハの研削加工に用いられる。
本発明の実施例1のビトリファイドボンド超砥粒ホイールの詳細は以下の通りである。ビトリファイドボンドの組成は以下の通りである。
まず、超砥粒層を製造するために、ダイヤモンド砥粒を19容量%と、平均粒径0.1μmのα-Al2O3を11容量%と、ビトリファイドボンドを10容量%と、気孔形成材と、バインダーを加えて混合し、乾燥、粉砕して所定の造粒粉を得た。次に、チップ状の成形体にプレスで成形し、大気雰囲気において脱バインダー処理を行い、引き続いて大気雰囲気において温度750℃で焼成を行った。
実施例2のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を9容量%と、α-Al2O3を21容量%と、ビトリファイドボンドを10容量%と、気孔を60容量%とから構成される。その他の仕様は実施例1と同一である。
その結果、切れ味はさらに良好で安定しており、しかも、超砥粒層の厚み方向の摩耗量はさらに少なかった。モーターの負荷電流値は2.4A、超砥粒層の厚み方向の摩耗はウエハ1枚当たり2μm、除去率53%であった。
実施例3のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を5容量%と、α-Al2O3を25容量%と、ビトリファイドボンドを10容量%と、気孔を60容量%とから構成される。その他の仕様は実施例1と同一である。
その結果、切れ味は実施例2よりも良好で安定しており、しかも、超砥粒層の厚み方向の摩耗量は実施例2よりもさらに少なかった。モーターの負荷電流値は2A、超砥粒層の厚みの摩耗はウエハ1枚当たり1μm、除去率30%であった。
実施例5のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を19容量%と、α-Al2O3を11容量%と、ビトリファイドボンドを8容量%と、気孔を62容量%とから構成される。その他の仕様は実施例1と同一である。
その結果、切れ味は良好で安定しており、モーターの負荷電流値は1.5A、超砥粒層の厚みの摩耗はウエハ1枚当たり14μm、除去率16%であった。
実施例6のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を9容量%と、α-Al2O3を21容量%と、ビトリファイドボンドを8容量%と、気孔を62容量%とから構成される。その他の仕様は実施例1と同一である。
その結果、切れ味は良好で安定しており、モーターの負荷電流値は1.5A、超砥粒層の厚みの摩耗はウエハ1枚当たり10μm、除去率25%であった。
実施例7のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を17容量%と、α-Al2O3を13容量%と、ビトリファイドボンドを11容量%と、気孔を59容量%とから構成される。その他の仕様は実施例1と同一である。
その結果、切れ味は良好で安定しており、モーターの負荷電流値は2.4A、超砥粒層の厚みの摩耗はウエハ1枚当たり7μm、除去率38%であった。
実施例8のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を14容量%と、α-Al2O3を16容量%と、ビトリファイドボンドを11容量%と、気孔を59容量%とから構成される。その他の仕様は実施例1と同一である。
その結果、切れ味は良好で安定しており、モーターの負荷電流値は1.8A、超砥粒層の厚みの摩耗はウエハ1枚当たり4μm、除去率36%であった。
さらに、比較例1のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を30容量%と、ビトリファイドボンドを10容量%と、気孔を60容量%とから構成される。ただし、α-Al2O3をまったく含有しない。その他の仕様は実施例1と同一である。
その結果、実施例1〜3に比較して、切れ味は良好ではなく、超砥粒層の厚み方向の摩耗量は大きかった。モーターの負荷電流値は5A、超砥粒層の厚みの摩耗はウエハ1枚当たり10μm、除去率24%であった。
本発明の実施例4のビトリファイドボンド超砥粒ホイールの詳細は以下の通りである。
SiO2:40.5質量%、Al2O3:6.5質量%、B2O3:48.2質量%。
まず、超砥粒層を製造するために、ダイヤモンド砥粒を25容量%と、平均粒径0.1μmのα-Al2O3を15容量%と、ビトリファイドボンドを10容量%と、気孔形成材と、バインダーを加えて混合し、乾燥、粉砕して所定の造粒粉を得た。次に、チップ状の成形体にプレスで成形し、大気雰囲気において脱バインダー処理を行い、引き続いて大気雰囲気において温度750℃で焼成を行った。
実施例9のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を9容量%と、α-Al2O3を21容量%と、ビトリファイドボンドを10容量%と、気孔を60容量%とから構成される。その他の仕様は実施例4と同一である。
その結果、切れ味は良好で安定しており、モーターの負荷電流値は6.5A、超砥粒層の厚み方向の摩耗はウエハ1枚当たり4.3μmであった。
実施例10のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を5容量%と、α-Al2O3を26容量%と、ビトリファイドボンドを9容量%と、気孔を60容量%とから構成される。その他の仕様は実施例4と同一である。
その結果、切れ味は良好で安定しており、モーターの負荷電流値は6.9A、超砥粒層の厚み方向の摩耗はウエハ1枚当たり12.3μmであった。
実施例11のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を20容量%と、α-Al2O3を12容量%と、ビトリファイドボンドを8容量%と、気孔を60容量%とから構成される。その他の仕様は実施例4と同一である。
その結果、切れ味は良好で安定しており、モーターの負荷電流値は7.7A、超砥粒層の厚み方向の摩耗はウエハ1枚当たり11.7μmであった。
さらに、比較例2のビトリファイドボンドダイヤモンドホイールは、ダイヤモンド砥粒を40容量%と、ビトリファイドボンドを10容量%と、気孔を50容量%とから構成される。ただし、α-Al2O3をまったく含有しない。その他の仕様は実施例4と同一である。
その結果、実施例4に比較して、切れ味は良好ではなく、2枚目のウエハを加工している途中でモーターの負荷電流値が急激に上昇して、加工継続が困難となり、加工を中断した。
Claims (6)
- 超砥粒層を有するビトリファイドボンド超砥粒ホイールであって、
前記超砥粒層では、
気孔の割合が50〜70容量%、
ビトリファイドボンドの割合が5〜20容量%、
Al2O3の割合が5〜30容量%であり、
残部が平均粒径1μm以下の超砥粒である、ビトリファイドボンド超砥粒ホイール。 - 前記Al2O3は、α-Al2O3である、請求項1記載のビトリファイドボンド超砥粒ホ
イール。 - 前記Al2O3の平均粒径は、前記超砥粒の平均粒径の200%以下である、請求項1または2記載のビトリファイドボンド超砥粒ホイール。
- 前記ビトリファイドボンドの軟化温度は500〜900℃である、請求項1から3のいずれか1項に記載のビトリファイドボンド超砥粒ホイール。
- シリコン、サファイヤ、単結晶SiC、およびGaNからなる群より選ばれた少なくとも一種を含むウエハの研削加工に用いられる、請求項1から4のいずれか1項に記載のビトリファイドボンド超砥粒ホイール。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載のビトリファイドボンド超砥粒ホイールを用いてシリコン、サファイヤ、単結晶SiC、およびGaNからなる群より選ばれた少なくとも一種を含むウエハを研削加工する方法。
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