JP2002331461A - 超仕上げ用砥石 - Google Patents
超仕上げ用砥石Info
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Abstract
砥石の目詰まり、目潰れの発生を抑制して、仕上げ性能
の安定したものとする。 【解決手段】 上記超微細砥粒1とビトリファイド結合
剤2と平均粒子径0.01mm以下の気孔剤を混合し、
液体バインダを加えて湿潤粉体とし、造粒後、乾燥して
得た乾燥造粒物に、その乾燥造粒物単位重量当たり0.
08〜0.20重量部の結合剤と0.05〜0.15重
量部の気孔剤を加えて混合し、加圧成形後、焼成して、
前記砥粒1が前記結合剤2で結合され、その結合剤2の
部分に一次気孔4が形成された単位の造粒小砥石3が結
合剤2’で結合されており、その結合剤2’層の部分に
二次気孔5が形成され、各造粒小砥石3が前記一次気孔
4用気孔剤の30〜100倍、かつ、前記二次気孔5用
気孔剤の15倍〜50倍の平均粒子径を有している砥石
を作製する。
Description
μm以下の超微細砥粒で形成される超仕上げ用砥石に関
する。
(1μm以下)の超微細砥粒を使用して超仕上げ加工を
行う超仕上げ用砥石のニーズが高まっている。
加工物が面接触して砥石を一定圧力で加工面に押圧する
超仕上げ加工では、一般的に、砥粒の平均粒子径が5μ
m以下になると、目詰まり、目潰れを起こし易くなり、
砥石の切削量は急激に減少するので、仕上げ比も低下す
る。上記のようなサブミクロンオーダの超微細砥粒を使
用した超仕上げ用砥石の場合は、その傾向が一層顕著と
なる。
超微細砥粒で形成される超仕上げ用砥石の目詰まり、目
潰れの発生を抑制して仕上げ比を向上させ、それを安定
なものにすることを課題とする。
に、この発明は、平均粒子径が1μm以下の超微細砥粒
と、結合剤と、平均粒子径が0.01mm以下の気孔剤
とを混合し、液体バインダを加えて湿潤粉体とし、造粒
後、乾燥して得た乾燥造粒物に、その乾燥造粒物単位重
量当たり0.08〜0.20重量部の前記結合剤と、前
記乾燥造粒物単位重量当たり0.05〜0.15重量部
の前記気孔剤とを加えて混合し、加圧成形後、焼成し
て、前記砥粒が前記結合剤で結合され、その結合剤の部
分に一次気孔が形成されて成る単位の造粒小砥石が前記
結合剤で結合されており、その単位の造粒小砥石を結合
している結合剤層の部分に二次気孔が形成されており、
各造粒小砥石が、その内部に形成される前記一次気孔用
の気孔剤の30〜100倍、かつ、造粒小砥石間の前記
結合剤層の内部に形成される前記二次気孔用の気孔剤の
15倍〜50倍の平均粒子径を有している砥石を作製す
るようにしたのである。
発明の砥石は、図1(a)に示すような構造をとる。図
中、符号1で指示したものが砥粒、2が結合剤、3が前
記造粒小砥石、4が前記一次気孔、5が前記二次気孔、
2’が前記造粒小砥石3同士を結合する結合剤である。
た結合剤は同じ物であるが、この発明の造粒砥石10が
形成された後では、符号2を付したものは各造粒小砥石
3を形成するもの、符号2’を付したものは各造粒小砥
石3同士を結合するものとして区別している。
3同士が結合剤2’によって積極的に結合されているの
で、図1(b)に示すような内部構造の比較例の砥石2
0が、造粒小砥石3間の単なる融着によって結合してい
る場合と違って、各造粒小砥石3間の結合が確実で安定
したものとなり、砥石の余分な損耗が抑制され、仕上げ
比が増し、かつ、安定する。
は、隣接造粒小砥石3同士を結合させている前記結合剤
2’の内部に形成されるので、比較例の砥石20の場合
のように、単に、隣接造粒小砥石3同士の重なりの隙間
6として形成されるものと違って安定性があるので、切
り屑の排出が安定して行われ、目詰まり、目潰れの起こ
りにくい砥石となる。
のではなく、一般に超仕上げ用砥石に用いられるダイヤ
モンドあるいは立方晶窒化ホウ素(CBN)等の硬質砥
粒だけでなく、酸化アルミニウム質又は炭化珪素質等の
一般の砥粒も適用でき、さらには、酸化セリウム(セリ
ヤ)あるいは酸化シリコン等の光学部品、電子部品の仕
上げ加工に使用する砥粒も適用可能である。
て、平均粒子径が1μm以下の超微細砥粒を対象とし、
ミクロングレードで0−1、0−1/2、0−1/4お
よび0−1/8等を適用できる。後述の実施例では、
0.25μmのものを適用している。
して、低膨張性あるいは結晶性のケイ酸塩ガラス系また
はホウケイ酸ガラス系のビトリファイド結合剤等を適用
する。
を発生しないものが望ましく、また、圧縮成形後に亀裂
を生じないよう、弾力性、吸水性の大きいものは好まし
くない。それらの要件を満たすものとして、スチロール
樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、あるいはエポ
キシ樹脂等が挙げられる。
に形成される前記一次気孔4用のもので0.001mm
〜0.01mmの範囲、造粒小砥石3間の結合剤層2’
内に形成される二次気孔5用気孔剤では0.002mm
〜0.02mmの範囲にあるべきことを実験で確認し
た。すなわち、図1(a)に示す内部構造を有するこの
発明の砥石を作製しようとすると、一次気孔4用気孔剤
の粒子径が0.01mmより大きすぎると造粒小砥石3
の形成が困難となり、0.001mmより小さいと一次
気孔4の形成がうまくいかないのである。また、二次気
孔5用気孔剤は、0.002mmより小さいと、安定し
た二次気孔5の生成が困難となり、また、造粒小砥石3
間の結合力が弱くなるのである。二次気孔5用気孔剤が
小さ過ぎると造粒小砥石3間の結合力が弱くなるのは以
下のような理由による。
ので、砥石の焼成時に、例えば、有機質等が不完全燃焼
すると脱炭の問題が生ずるが、気孔剤が0.002mm
以下のような小さい粒子径のものであると、砥粒1と結
合剤2の接合層に気孔剤が炭化残留して、直接結合力を
弱めるからである。
は、この発明では、湿潤粉体は一次気孔4用気孔剤の大
きさの30〜100倍、二次気孔5用気孔剤の大きさの
15〜50倍とする。
作製した各造粒砥石の表面をラップ仕上げした後、実削
試験前に、各砥石のSEM(走査電子顕微鏡)写真(図
1(a)に模式的に示す)を撮像しておいて、それらの
ものから、実削試験後、良好な仕上げ性能を示したもの
を抽出すると、それらの造粒小砥石3の径は0.05m
m〜0.1mmの範囲に収まっていることが確認され
た。これは、造粒小砥石3の径が0.05mmより小さ
くなると、通常の砥石組織に接近して目詰まり、目潰れ
を生じ易くなり、反対に0.1mmを越えて大きくなる
と、砥石組織が粗くなるので、砥石摩耗量が多く(仕上
げ比が小さく)なり、仕上げ面も粗くなることを物語っ
ている。
焼成条件を一定にした製造では、湿潤粉体の造粒小砥石
径は、焼成後、その1/2〜1/3に縮小変化すること
が分かっており、好ましい湿潤粉体の造粒小砥石径の範
囲は、上記範囲の造粒小砥石3径の2倍〜3倍が必要で
あるので、0.1mm〜0.3mmとなる。
剤の大きさが0.001mm〜0.01mmの範囲、二
次気孔5用で0.002mm〜0.02mmの範囲にあ
るべきことと合わせると、好ましい湿潤粉体の大きさ
は、一次気孔4用気孔剤の30〜100倍、二次気孔5
用気孔剤の15〜50倍の範囲のものとなる。
砥粒単位重量当たり0.35〜0.45重量部を配合す
る。
0.30重量部、好ましくは0.15〜0.20重量部
を配合する。
レーション80〜120(砥石体積百分率20〜30
%)である。例えば、リング状砥石を使用した端面超仕
上げ加工で縁厚が小さく砥石作用面積の小さい場合は、
砥粒作動刃数を多くする必要からコンセントレーション
100〜120(同25〜30%)の高濃度とする。
ISR6240のHスケールによる。砥石作用面積の小
さいリング状砥石で、大きな加圧力あるいは圧力変動に
対しても、安定した砥石切削作用が得られるよう、例え
ば、RH硬度で30〜60の範囲とする。
について予備混合を行う。予備混合を行うのは、それら
各混合成分の均一な分散性、中でも気孔剤の分散性が重
要だからであり、その混合の一様式としてスラリー混合
を行う。スラリー混合は前記混合成分を大量の水に混ぜ
た泥漿状態で攪拌混合を行うものであり、比較的容易に
混合成分の分散を図ることができる。
経て乾燥粉体とする。この乾燥は、乾燥後の凝集結粒に
よる再粉砕を避けるため、低温乾燥が好ましい。
軟性・可塑性を付与するため、液体バインダを添加して
湿潤粉体とする。この液体バインダとしては、保形性付
与のためのものとしてデキストリン、ポリビニルアルコ
ール、メチルセルロース、アクリル系ポリマ等があり、
柔軟性・可塑性付与のためのものとしては、グリセリ
ン、ポリエチレングリコール等がある。
によって乾燥水分に相当した体積分、収縮して、強度と
適度の柔軟性を得る。造粒物の表面は乾燥効果により保
形性を増し、以下における造粒物間の気孔形成のための
混合工程および圧縮成形においても造粒物が崩壊するお
それがない。
しないよう、加熱により表面を硬化処理する。この硬化
処理を受けた造粒体が砥石を構成する造粒小砥石3とな
る。この場合、造粒小砥石3の好ましい平均造粒径は前
記したように0.05mm〜0.1mmの範囲にある。
に、造粒小砥石3の平均造粒径の2〜3倍が良く、0.
1〜0.3mmの範囲となる。後述の実施例では、加熱
前の湿潤造粒物をふるいに掛けて平均粒子径が0.25
mmのものとしている。
したものとするには、造粒子径に大きな差が無いことが
必要である。これは、通常砥石では、工作物と接触する
砥石作用面全体で切削が行われるのに対し、造粒砥石で
は個々の造粒小砥石3が切削を行うので、造粒子径に大
きな差があり、その内、小粒子が多量に存在した場合に
は、その小粒子が大粒子間を埋めてしまうので、安定し
た二次気孔の形成や造粒小砥石3の結合に悪影響を及ぼ
すからである。この発明では、安定した仕上げ機能をも
たらすための造粒子径は、平均造粒子径の0.5〜2倍
ぐらいのものであることを実験により確認している。
ド結合剤2、気孔剤および液体バインダとともに回転容
器中に投入して2次混合を行う。この2次混合におい
て、造粒小砥石3同士がビトリファイド結合剤2で結合
されるが、その結合剤量が少な過ぎれば造粒子間で十分
な結合力が得られにくく、多すぎれば造粒子表面に強く
作用して異常焼結する。この発明では、実験で得た結果
として、乾燥造粒小砥石の単位重量に対し、0.08〜
0.20重量部のビトリファイド結合剤2を配合する。
好ましくは0.12〜0.16重量部である。
不確実となり、多過ぎると結合力が弱いものとなるが、
この発明では、気孔形成が確実に行われ、結合力が確固
としたものとなるような気孔剤の配合割合として、乾燥
造粒小砥石の単位重量に対し、0.05〜0.15重量
部という実験結果を得ている。
投入し、結合した造粒小砥石3が圧壊しない程度の圧力
で加圧成形する。例えば、20〜50MPa程度であ
る。成形後、金型から取り出して、80℃前後で乾燥し
た後、焼成する。この乾燥・焼成工程中に各造粒小砥石
3内と造粒小砥石3間のビトリファイド結合剤2、2’
内の気孔剤が焼失し、各造粒小砥石3内に一次気孔4が
生成され、造粒小砥石3間のビトリファイド結合剤2’
内に二次気孔5が生成される。
・JISR6240のHスケールによる。砥石作用面積
の小さいリング状砥石で、大きな加圧力あるいは圧力変
動に対しても、安定した砥石切削作用が得られるよう、
例えば、RH硬度で30〜60の範囲とする。
す。実施例、比較例ともに、砥粒、ビトリファイド結合
剤、気孔剤、液体バインダについては同一材料を適用し
ている。すなわち、砥粒は、平均粒子径0.25μmの
人工ダイヤモンドで、ビトリファイド結合剤はRO−B
2 O3 −SiO2 組成系のもの、気孔剤はアクリル系ポ
リマである。液体バインダはデキストリン、エチレング
リコール及び少量の溶解剤を含む混成液としている。
記実施形態で述べた製造方法によって作製するが、ビト
リファイド結合剤と気孔剤の配合は、予備混合では砥粒
の単位重量部に対して配合し、2次混合においては、乾
燥造粒物の単位重量部に対して各々配合している。
合は、予備混合で砥粒の単位重量部に対し0.35重量
部、2次混合で乾燥造粒物の単位重量部に対し0.12
重量部、総量で0.47重量部としている。また、気孔
剤の配合割合は、小粒子は予備混合で砥粒の単位重量部
に対し0.20重量部、大粒子は2次混合で乾燥造粒物
の単位重量部に対し0.08重量部としている。
ーション100(砥粒体積百分率25%)およびRH硬
度−30±10(気孔体積百分率53〜55%)を目標
として生砥石の嵩比重で成形圧力を調整する。焼成後、
これらの砥石を乾燥した後、最高温度810℃で32時
間サイクルで焼成する。
の図1(a)に模式的に示した状態の造粒砥石10を得
ることができるが、後述の実削試験用に、気孔剤の平均
径の異なるものを3種類(実施例1、2、3)作製し
た。
のビトリファイド結合剤2’中の二次気孔5用の気孔剤
の径は0.005mm〜0.015mmで、造粒小砥石
3内の一次気孔4用の気孔剤の平均径0.003mm〜
0.008mmより大きく、約2倍に相当している。
前記した湿潤造粒小砥石の平均粒径0.25mmに対し
て、造粒小砥石3内の一次気孔4用の気孔剤の31〜8
3倍の範囲となっており、これも、本発明で提唱する3
0〜100倍の範囲内となっている。得られた造粒砥石
についてのRH硬度およびコンセントレーションの実測
結果を表1に示す。気孔剤の平均径の欄で、実施例1、
2、3では、上段が造粒小砥石3内の一次気孔剤、下段
が造粒小砥石3間の二次気孔剤の大きさを示している。
例のものとは異なり、図1(b)、(c)に模式的に示
されるものである。この比較例についても、(b)の内
部構造を有する造粒砥石20について、気孔剤の平均径
の異なるものを2種類(比較例1、2)と、内部構造が
(c)に示され、造粒砥石でない通常の多孔性砥石30
(比較例3)を作製している。
20では、実施例の予備混合に相当するものとして、気
孔剤の配合割合を砥粒1の単位重量部に対して0.2重
量部とし、比較例1の場合には、実施例での平均粒子径
(0.005mm)に相当する小気孔剤を配合し、比較
例2の場合は、実施例での最大粒子径(0.008m
m)に相当する気孔剤を配合している。ビトリファイド
結合剤2の配合割合は、砥粒1の単位重量部に対し、比
較例1、2とも0.4重量部としている。
た湿潤造粒小砥石をふるいに掛けて平均粒径を0.25
mmのものとし、二次混合なしで加熱処理し、表面硬化
後、成形、本乾燥し、焼成して図1(b)に示す構造の
ものを得る。
は、前記したように、造粒砥石ではなく、大小の複合気
孔7、8から成る従来の多孔性砥石30であり、気孔剤
の配合割合を砥粒1の単位重量部に対し、小粒子で0.
20重量部、大粒子で0.08重量部とし、ビトリファ
イド結合剤2の配合割合は、砥粒1の単位重量部に対
し、0.45重量部として混練後、均質化のためにさら
に混捏した後、ふるいに掛けて、0.1mm以下の原粒
を得る。これを成形、乾燥、焼成して図1(c)に示す
構造のものを得る。以上のようにして作製した実施例
(1、2、3)と比較例(1、2、3)の砥石の特性値
を表1に示す。実施例については先述した通りである
が、比較例3については、気孔剤の平均径の欄におい
て、上段が複合気孔剤の小粒子、下段が大粒子の大きさ
を示している。
と比較例(1、2、3)の砥石それぞれについて、以下
のような実削試験を行う。
脂肪油20%)を使用した軸受鋼(SAE52100、
ロックウェルCスケール60/62)の円筒外面(外径
18mm、幅12mm)を砥石作用面(円周方向の幅
3.5mm、軸方向の幅11mm)を使用してプランジ
カット超仕上げを行う。砥石の作用面はあらかじめ10
00メッシュ(砥粒径15μm)のダイヤモンドを電着
したダミー加工物で成形しておく。
1800cpm、砥石振幅2mm、加工物回転数285
rpmで、砥粒の正弦波運動軌跡の形状を与える最大傾
斜角を35°としている。
シュ(砥粒径6.25μm)で超仕上げし、面粗度0.
4μmRzに統一している。また、超仕上げの加工時間
は1.5分間とし、各測定値は加工試験数十個について
の平均値である。以上のようにして行った実削試験の結
果を表1に示す。
造粒砥石では、目詰まり・目潰れは全く見られず、切削
量Tがいずれも3μm以上あり、比較例のものに対して
多く、その標準偏差Sの値も小さく、変動の少ない安定
したものとなっている。そして、そのような高切削量な
がら砥石の損耗量Wの増加が見られず、仕上げ比T/W
は全て5以上と大きく、面粗度Rzも0.1μm未満で
十分に細かい。
は構造の異なる比較例1および2の場合は、若干ながら
目詰まり・目潰れがあり、切削量Tは2μm台の前半で
実施例より少なく、その標準偏差Sの値も実施例より大
きく、不安定なものとなっている。そして、仕上げ比T
/Wが小さく、面粗度も実施例より大きい。
砥石の比較例3の場合はさらに状況が悪化しており、目
詰まり・目潰れが激しく、従って、切削性も悪く、面粗
度も荒れたものとなっている。
粒子径が1μm以下の超微細砥粒と、結合剤と、平均粒
子径が0.01mm以下の気孔剤を混合し、液体バイン
ダを加えて湿潤粉体とし、造粒後、乾燥して得た乾燥造
粒物に、その乾燥造粒物単位重量当たり所定量の結合剤
と、前記乾燥造粒物単位重量当たり所定量の気孔剤を加
えて混合し、加圧成形後、焼成して、前記砥粒が前記結
合剤で結合され、その結合剤の部分に一次気孔が形成さ
れて成る単位の造粒小砥石が前記結合剤で結合されてお
り、その単位の造粒小砥石を結合している結合剤層の部
分に二次気孔が形成されており、各造粒小砥石が、その
内部に形成される前記一次気孔用気孔剤の30〜100
倍、かつ、造粒小砥石間の前記結合剤層の内部に形成さ
れる前記二次気孔用気孔剤の15倍〜50倍の平均粒子
径を有している砥石を作製するようにしたので、従来に
比べて、目詰まり、目潰れが格段に抑制され、仕上げ性
能も向上、かつ、安定するという効果がある。
し、(b)と(c)に比較例の砥石の内部構造を模式的
に示したものである。
Claims (2)
- 【請求項1】 平均粒子径が1μm以下の超微細砥粒か
らなる超仕上げ用砥石において、 前記砥粒が前記結合剤で結合され、その結合剤の部分に
一次気孔が形成されて成る単位の造粒小砥石が前記結合
剤で結合されており、その単位の造粒小砥石を結合して
いる結合剤層の部分に二次気孔が形成されており、各造
粒小砥石が、その内部に形成される前記一次気孔用の気
孔剤の30〜100倍、かつ、造粒小砥石間の前記結合
剤層の内部に形成される前記二次気孔用の気孔剤の15
倍〜50倍の平均粒子径を有していることを特徴とする
超仕上げ用砥石。 - 【請求項2】 平均粒子径が1μm以下の超微細砥粒
と、結合剤と、平均粒子径が0.01mm以下の気孔剤
を混合し、液体バインダを加えて湿潤粉体とし、造粒
後、乾燥して得た乾燥造粒物に、その乾燥造粒物単位重
量当たり0.08〜0.20重量部の前記結合剤と、前
記乾燥造粒物単位重量当たり0.05〜0.15重量部
の前記気孔剤を加えて混合し、加圧成形後、焼成するこ
とから成る超仕上げ用砥石の製造方法。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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ID=18984252
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Country Status (1)
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006315113A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Mizuho:Kk | ガラスセラミックス表面仕上げ用ビトリファイド砥石 |
JP2006346800A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ビトリファイドボンド砥石及びその製造方法 |
JP2007152484A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Noritake Co Ltd | ビトリファイド砥石の製造方法 |
JP2008129526A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Bridgestone Corp | 現像ローラの製造方法 |
JP2014012328A (ja) * | 2012-06-05 | 2014-01-23 | Allied Material Corp | ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いたウエハの製造方法 |
JP2014061585A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-04-10 | Allied Material Corp | ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いてウエハを研削加工する方法 |
JP2014061554A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-10 | Noritake Co Ltd | 超仕上砥石およびそれを用いた超仕上加工方法 |
CN106029300A (zh) * | 2013-12-30 | 2016-10-12 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 复合体及其形成方法 |
JP2019093468A (ja) * | 2017-11-21 | 2019-06-20 | 株式会社ミズホ | ビトリファイド砥石とその砥石の調質方法 |
US10500697B2 (en) | 2014-12-01 | 2019-12-10 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article including agglomerates having silicon carbide and an inorganic bond material |
US10800006B2 (en) | 2015-04-01 | 2020-10-13 | Reishauer Ag | Open-pore, ceramic-bonded grinding tools, method for producing same, and pore former mixtures used to produce same |
CN112659003A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-16 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种自锐性超硬材料砂轮及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01216774A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-30 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | 超砥粒ホイール及びその製造方法 |
JPH0615572A (ja) * | 1992-07-01 | 1994-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 研削砥石 |
JPH07108463A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Mitsubishi Materials Corp | 研削比の高いビトリファイドボンド砥石 |
JPH08155840A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-18 | Mizuho:Kk | 凝集砥粒砥石 |
-
2001
- 2001-05-08 JP JP2001137094A patent/JP2002331461A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01216774A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-30 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | 超砥粒ホイール及びその製造方法 |
JPH0615572A (ja) * | 1992-07-01 | 1994-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 研削砥石 |
JPH07108463A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Mitsubishi Materials Corp | 研削比の高いビトリファイドボンド砥石 |
JPH08155840A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-18 | Mizuho:Kk | 凝集砥粒砥石 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006315113A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Mizuho:Kk | ガラスセラミックス表面仕上げ用ビトリファイド砥石 |
JP2006346800A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ビトリファイドボンド砥石及びその製造方法 |
JP2007152484A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Noritake Co Ltd | ビトリファイド砥石の製造方法 |
JP2008129526A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Bridgestone Corp | 現像ローラの製造方法 |
JP2014012328A (ja) * | 2012-06-05 | 2014-01-23 | Allied Material Corp | ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いたウエハの製造方法 |
JP2014061585A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-04-10 | Allied Material Corp | ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いてウエハを研削加工する方法 |
JP2014061554A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-10 | Noritake Co Ltd | 超仕上砥石およびそれを用いた超仕上加工方法 |
CN106029300A (zh) * | 2013-12-30 | 2016-10-12 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 复合体及其形成方法 |
CN106029300B (zh) * | 2013-12-30 | 2019-06-28 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 复合体及其形成方法 |
US10500697B2 (en) | 2014-12-01 | 2019-12-10 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article including agglomerates having silicon carbide and an inorganic bond material |
US10800006B2 (en) | 2015-04-01 | 2020-10-13 | Reishauer Ag | Open-pore, ceramic-bonded grinding tools, method for producing same, and pore former mixtures used to produce same |
JP2019093468A (ja) * | 2017-11-21 | 2019-06-20 | 株式会社ミズホ | ビトリファイド砥石とその砥石の調質方法 |
JP7078972B2 (ja) | 2017-11-21 | 2022-06-01 | 株式会社ミズホ | ビトリファイド砥石とその砥石の調質方法 |
CN112659003A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-16 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种自锐性超硬材料砂轮及其制备方法 |
CN112659003B (zh) * | 2020-12-16 | 2022-06-03 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种自锐性超硬材料砂轮及其制备方法 |
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