JP7458562B2 - ビトリファイドボンド超砥粒ホイール - Google Patents
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Description
従来のビトリファイド超砥粒ホイールは摩耗しやすいという問題があった。
(実施例)
提供するビトリファイドボンド超砥粒ホイールはガラスの分散性の良好な超砥粒層を有している。これを製造するために、まず、ダイヤモンド砥粒、ガラスを含むビトリファイドボンド、気孔形成材、フィラー、バインダー、セラミックスボールを様々な組成で配合して混合粉末を得た。混合粉末を一定の回転数(15-150rpm)で、試料番号1および2では10時間、試料番号3から5では120時間以上混合し、乾燥、粉砕して所定の造粒粉を得た。次に、チップ状の成形体にプレスで成形し、大気雰囲気において脱バインダー処理を行い、引き続いて大気雰囲気において温度750℃で焼成を行った。これにより、様々な組成の超砥粒層の焼結体を得た。これらの焼結体の組成を分析した結果を以下に示す。
図2は、実施例の製造工程で得られた焼結体の模式図である。試料番号1から5に関して、焼結体100の前面101、上面102および後面103の各々から7mm×5mm×3mmの寸法のサンプルを切り出した。各々のサンプルの1箇所にCP(クロスセクションポリッシャー)加工とカーボンコーティングを施した。CP加工装置は日本電子製CROSSSECTION POLISHER IB-19530である。
粗大ガラス面積率=(A/B)×100
A=24枚の画像における30μm2以上の面積を持つビトリファイドボンド粒の面積の総和
B=24枚の画像のビトリファイドボンド粒の面積の総和
3つのサンプルにおいて粗大ガラス面積率を求め、平均値を求めた。さらに各試料のビッカーズ硬度を求めた。その結果を表3に示す。
ワーク:4インチSiC(結晶面方位の(0001)面を研削した後(000-1)面を研削する)
主軸回転速度(min-1):2000
ワーク回転速度(min-1):301
送り速度(μm/秒):0.4
取り代(μm):10
Spark Out(研削加工の最後に切込みがない状態で砥石を回転させる時間)(秒):10
摩耗率は、以下の式において計算した。
これらの結果を表3に示す。
粗大ガラスの面積率が10%以下であれば、摩耗率が極めて低くなり、摩耗しにくい寿命の長いビトリファイドボンド超砥粒ホイールとなることが分かる。
Claims (2)
- 超砥粒層を有するビトリファイドボンド超砥粒ホイールであって、
前記超砥粒層は、超砥粒、気孔およびビトリファイドボンドを含み、
前記超砥粒層において、30μm2以上の面積を有する粗大なビトリファイドボンド粒が存在し、前記粗大なビトリファイドボンド粒の面積率が10%以下であり、
前記超砥粒層は焼結体であり、前記焼結体から切り出したサンプルの1箇所にクロスポリッシャー加工とカーボンコーティングを施し、クロスポリッシャー加工された面においてEDXでSi元素を色付けしてSEMの反射電子像とEDX画像からSiを含む領域と含まない領域の分布状況および各々の領域の大きさに関する数値データを得て、散点状に存在する複数のSiを含む領域の各々が前記ビトリファイドボンド粒である、ビトリファイドボンド超砥粒ホイール。 - 前記超砥粒層はフィラーをさらに含み、5体積%以上20体積%以下の前記ビトリファイドボンド、および50体積%以上70体積%以下の前記気孔を含み、残部が前記超砥粒と前記フィラーである、請求項1に記載のビトリファイドボンド超砥粒ホイール。
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